DE4222500A1 - Verfahren zur Herstellung von Bauteilen aus Metall und/oder von Bauteilen mit dichtereduzierter Metallbeschichtung im Vakuum, insbesondere im Weltall - Google Patents
Verfahren zur Herstellung von Bauteilen aus Metall und/oder von Bauteilen mit dichtereduzierter Metallbeschichtung im Vakuum, insbesondere im WeltallInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von
Bauteilen aus Metall und/oder von Bauteilen mit dichte
reduzierter Metallbeschichtung im Vakuum, insbesondere
im Weltall.
Bezüglich der Errichtung von Weltraumstationen kann es,
was die zur Konstruktion benötigten (Gerüst-)Bauteile
derartiger Stationen angeht, von Vorteil sein, diese
Bauteile nicht auf der Erde sondern im Weltraum zu fer
tigen. Dies kann vor allem deshalb gelten, da das er
forderliche Transportvolumen für den Transport der Kon
struktions-Bauteile reduziert wird, wenn lediglich das
Material, z. B. Aluminium, in den Weltraum transportiert
wird und dort zu Profilen o. dgl. weiterverarbeitet wird.
Die Fertigung im Weltraum bringt aber auch in Bezug auf
die mengenmäßigen Materialtransportkosten Vorteile, da
sich im Vakuum Bauteile aus dichtereduziertem Material
mit einer den Belastungen im Weltraum standhaltenden
Festigkeit fertigen lassen, was unter erdatmosphärischen
Bedingungen nicht ohne weiteres möglich ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren
der eingangs genannten Art zu schaffen, mit dem sich
unter Ausnutzung von Vakuum- oder Weltraumbedingungen
Bauteile insbesondere zur Konstruktion von Weltraum
stationen kostengünstig fertigen lassen.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird mit der Erfindung ein
Verfahren zur Herstellung von Bauteilen aus Metall und/
oder von Bauteilen mit dichtereduzierter Metallbeschich
tung im Vakuum, insbesondere im Weltall, vorgeschlagen,
bei dem
- - das Metall in einen gasdicht verschlossenen druck festen Ofen mit mindestens einer steuerbaren Aus laßöffnung verbracht wird,
- - das Metall in dem Ofen bis zur zumindest partiellen Verdampfung erhitzt wird,
- - die mindestens eine Auslaßöffnung geöffnet wird und das flüssige Metall und/oder der Metalldampf in folge des Dampfdrucks im Ofen aus diesem in ein Vakuum außerhalb des Ofens tritt und
- - das austretende flüssige Metall und/oder der Metalldampf im Vakuum bis zur Erstarrung des Metalls abkühlt.
Gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren wird das Metall,
aus dem das Bauteil gefertigt werden soll, in einen
druckfesten Ofen verbracht, dessen Beschickungsöffnung
gasdicht verschlossen wird. Anschließend wird das Metall
in dem Ofen bis zur Verdampfung erhitzt. Vorzugsweise
ist dem Ofen vor der Aufheizung ein inertes Gas (z. B.
Helium oder Stickstoff) zugeführt worden. Das interne
(Schutz-)Gas verleiht dem Innenraum des Ofens einen be
stimmten Vordruck, bevor die Erhitzung beginnt. Die
Erhitzung erfolgt vorzugsweise mit einer Induktions
heizung, die um einen das Metall aufnehmenden Schmelz
tiegel herum angeordnet ist. Der Schmelztiegel besteht
zweckmäßigerweise aus einem elektrisch nicht leitenden
Material, z. B. einem Keramik-Material. Unabhängig von
der elektrischen Beschaffenheit des Materials des Ofens
sollte seine Schmelztemperatur weit höher liegen als
diejenige des Metalls, das in dem Ofen bis zur (zumin
dest teilweisen) Verdampfung erhitzt wird. Neben seiner
Beschickungsöffnung weist der Ofen auch mindestens eine
steuerbare Auslaßöffnung auf. Bei Öffnung dieser min
destens einen Auslaßöffnung gelangt das flüssige und/
oder gasförmige Metall aus dem Ofen heraus in das den
Ofen umgebende Vakuum. Dabei wird das Metall bis zu
seiner Erstarrung abgekühlt.
Zum Betreiben des erfindungsgeinäßen Prozesses ist ledig
lich eine Heizquelle erforderlich. Das Ausströmen des
Metalls aus dem Ofen erfolgt durch den Verdampfungsdruck
innerhalb des Ofens sozusagen von selbst. Der Innendruck
des Ofens bei zumindest teilweise verdampften Metall
kann durch die Vorbeschickung des Ofens mit inertem Gas
wesentlich erhöht werden, da in einem solchen Fall die
Druckerhöhung ausgehend von dem Druck des inerten Gases
die Druckerhöhung erfolgt.
Die Energie zur Erhitzung des Metall kann durch die
Sonnenenergie gewonnen werden. Die thermische Isolation
des Ofens erfolgt vorteilhafterweise durch einen Innen
verspiegelung. Da im Vakuum ein Wärmeverlust ausschließ
lich durch Wärmestrahlung, also nicht durch Wärmekonvek
tion erfolgt, sind die Wärmeverluste bei dem erfindungs
gemäßen Verfahren relativ gering.
Auch zum Abkühlen des aus der mindestens einen Auslaß
öffnung austretenden flüssigen oder dampfförmigen
Metalls bedarf es keinerlei auf zubringender Energie. Die
Abkühlung erfolgt vorzugsweise entweder infolge der
Expansion des Metalls beim Austritt aus dem Ofen, in dem
das Metall dem Dampfdruck ausgesetzt ist, ins Vakuum
und/oder durch Wärmeabstrahlung. Kühlvorrichtungen sind
also nicht erforderlich. Das reduziert den apparativen
Aufbau bei der Realisierung des erfindungsgemäßen Ver
fahrens.
Vorteilhafterweise wird das austretende flüssige und/
oder gasförmige Metall verdüst und schlägt sich auf
einem Trägerkörper nieder. Die mindestens eine Auslaß
öffnung ist hierbei als Düse ausgebildet, über die das
Metall versprüht wird. Normalerweise handelt es sich bei
dem austretenden Metall um einen Zweiphasen-Material
strom, der gasförmige und flüssige Anteile aufweist. Das
sich niederschlagende Metall scheidet sich als Metallbe
schichtung auf dem Trägerkörper ab, die porös ist. Das
sich niederschlagende Metall bildet Cluster. Diese
Clusterbildung führt zu einer porösen Metallbeschich
tung, deren Dichte gegenüber einer "soliden" Metallbe
schichtung reduziert ist. Die Dichte und die Festigkeit
lassen sich vorteilhafterweise durch Variation des Ab
standes des Trägerkörpers von der mindestens einen Aus
laßöffnung und durch entsprechende Wahl der in dem Ofen
herrschenden Temperatur einstellen. Bei dem Trägerkörper
handelt es sich um ein leichtgewichtiges Material, das
keine Eigenformstabilität aufweisen muß. Als Trägerkör
permaterial eignet sich beispielsweise Folienmaterial.
Soll beispielsweise auf die oben beschriebene Art und
Weise ein dichtreduziertes Metallrohr hergestellt wer
den, kann als Trägerkörper eine zu einem Rohr geformte
Folie eingesetzt werden. Dieses Trägerrohr wird der min
destens einen Auslaßöffnung gegenüberliegend angeordnet
oder an dieser vorbeigeführt und somit dem Metall-Sprüh
nebel ausgesetzt. Das Metall schlägt sich an der Außen
fläche des Trägerrohres nieder. Auf dem Trägerrohr ent
steht so eine poröse Metallschicht ausreichender Dichte
und Festigkeit. Das derart gefertigte Rohr mit poröser
Metall-Außenbeschichtung kann als Konstruktionselement
für beispielsweise Weltraumstationen eingesetzt werden.
Der Materialbedarf für das poröse Rohr bzw. Profil ist
wesentlich geringer als in dem Fall, in dem das Rohr
eine durchgehende Metallbeschichtung aufweist. Auf diese
Weise können der Materialbedarf für die Konstruktions
elemente reduziert und damit Materialtransportkosten
eingespart werden. Bei dem hier beschriebenen Verfahren
zur Metallbeschichtung von Trägerkörpern wird die Expan
sion des Zweiphasen-Gemisches aus Metalldampf und
Metallschmelze ins Vakuum bzw. in den Weltraum und die
damit verbundene Abkühlung des Metalls ausgenutzt. Die
Dicke der porösen Metallbeschichtung kann durch die Ver
weildauer des Trägerkörpers, für die er dem Metall-
Sprühnebel ausgesetzt ist, eingestellt werden. Vorzugs
weise ist der Ofen mit einer Vielzahl von ventilartigen
Auslaßöffnungen versehen, die den zu beschichtenden
Oberflächen des Trägerkörpers gegenüberliegend angeord
net und gleichmäßig verteilt sind.
Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren läßt sich aber auch
ein Strangpressen von Profilen im Vakuum bzw. im Weltall
realisieren. Der Dampfdruck im Innern des Ofens sorgt
für die erforderliche Kraft zum Herausdrücken des
Metalls aus der mindestens einen Austrittsöffnung. Zu
sätzliche Druckquellen(stempel-Pressen-Einheiten) sind
nicht erforderlich. Auch Kühlvorrichtungen können ent
fallen, da die Abkühlung durch Wärmeabstrahlung aus
reichend ist.
Vorzugsweise wird die bei der Abkühlung des Metalls und/
oder des Metalldampfes freiwerdende Energie rückgewon
nen. Dies erfolgt beispielsweise dadurch, daß der
metallbeschichtete Trägerkörper oder - im Falle des
Strangpressens - das Profil nach der Herstellung in eine
Kammer o. dgl. verbracht wird, die eine wärmestrahlungs
absorbierende Innenbeschichtung und kühlmitteldurchflos
sene Wandungen aufweist. Eine andere Möglichkeit der
Energierückgewinnung besteht darin, die Kammer auf ihren
der Wärmestrahlung ausgesetzten Flächen mit fotoelek
trischen Elementen zu versehen, die Wärmerückgewinnung
also unter Ausnutzung fotovoltaischer Effekte zu reali
sieren. Die rückgewonnene Energie wird vorzugsweise dem
Prozeß wieder zurückgeführt und beispielsweise zum Er
hitzen des Metalls im Ofen verwendet. Die Rückgewinnung
der Abkühlungsenergie hat insbesondere Vorteile bei dem
Einsatz des erfindungsgemäßen Verfahrens im Weltraum.
Das erfindungsgemäße Verfahren erlaubt eine relativ
kostengünstige Herstellung von leichtgewichtigen Bau
teilen, die den Beanspruchungen für die Konstruktion von
Weltraumstationen genügt.
Nachfolgend wird anhand der Zeichnung ein Ausführungs
beispiel der Erfindung näher erläutert. In der Zeichnung
ist im Schnitt eine bevorzugte Vorrichtung zur Durchfüh
rung des erfindungsgemäßen Verfahrens dargestellt.
In der Zeichnung sind die wesentlichen Teile einer Vor
richtung 10 dargestellt, mit der sich Bauteile mit
dichtereduzierter Metallbeschichtung im Weltraum her
stellen lassen. Die Vorrichtung 10 weist einen kugel
förmigen Ofen 12 auf, dessen Wandung aus einem druck
festen (elektrisch nicht leitenden) Material besteht.
Bei dem Ofen 12 handelt es sich um einen gasdichten
Druckbehälter mit einer verschließbaren Beschickungsöff
nung 14. Der kugelförmige Ofen 12 wird von einem im
Querschnitt runden Durchlaßkanal 16 diametral durch
zogen. Die Wandung des Ofens 12 ist mit zwei einander
diametral gegenüberliegenden Öffnungen 18 versehen, die
mit dem Durchlaßkanal 16 fluchten. Der Durchlaßkanal 16
ist an seinen stirnseitigen Enden innen mit der Wandung
des Ofens 12 gasdicht verbunden. In der Wandung 20 des
Durchlaßkanals 16 sind eine Vielzahl von gleichmäßig
verteilten Auslaßöffnungen 22 in Form einzelner steuer
barer Ventile angeordnet. Bei geöffneten Auslaßöffnungen
22, ist der Innenraum 24 des Ofens 12 mit dem Durchlaß
kanal 16 verbunden. In dem Ofen 12 ist ein Tiegel 25
angeordnet, der zu schmelzendes bzw. zu verdampfendes
Material aufnimmt. Der Tiegel 25 ist von einer Induk
tionsheizung 26 umgeben. Der Tiegel besteht aus elek
trisch nicht leitendem Material, beispielsweise aus
einem keramischen Material.
An dem Ofen 12 ist eine kugelförmige Kammer 28 ange
flanscht. In der Wandung der Kammer 28 sind zwei einan
der diametral gegenüberliegende Öffnungen 30 ausgebil
det. Eine der beiden Öffnungen 30 fluchtet dabei mit
einer der beiden Öffnungen 18 des Ofens 12. Die Kammer
28 weist eine wärmestrahlungsabsorbierende Innenbe
schichtung 32 auf und ihre Wandung ist mit einer Kühl
mittelleitung 34 versehen. In der Kammer 28 sind bei 36
angedeutete Führungen vorgesehen, deren Bedeutung noch
erläutert werden wird.
Der Vorrichtung 10 wird ein Trägerkörper 38 in Form
eines dünnwandigen Rohres aus geeignetem Material zuge
führt. Der Trägerkörper 38 wird in Richtung des Pfeils
40 durch die der Kammer 28 abgewandte Öffnung 18 des
Ofens 12 in den Durchlaßkanal 16 eingeführt. Bei 42 an
gedeutete Führungen dienen der Zuführung des Trägerkör
pers 38. Innerhalb des Durchlaßkanals 16 erfolgt eine
Beschichtung des Trägerkörpers 38 mit über die Ventil-
Auslaßöffnungen 22 austretendem Material.
Das Beschichtungsmaterial 45, bei dem es sich um ein
Metall handelt, wird in festem Aggregatzustand über die
Beschickungsöffnung 14 in den Tiegel 25 des Ofens 12
verbracht. Mit Hilfe der Induktionsheizung 26 wird das
Metall 45 bis zur Verdampfung erhitzt, wobei es bis zu
diesem Zeitpunkt in dem Schmelztiegel 25 gehalten
bleibt. Aufgrund der Schwerelosigkeit bildet sich inner
halb des Ofens 12 ein statistisch gleichmäßig verteiltes
Zweiphasen-Gemisch mit flüssigen und gasförmigen Be
standteilen. Sobald das Metall 45 bis zur Verdampfung
erhitzt worden ist und sich ein ausreichend hoher Dampf
druck innerhalb des Ofens 12 gebildet hat, öffnen sich
die Ventil-Auslaßöffnungen 22 bzw. werden die Ventil-
Auslaßöffnungen 22 geöffnet, so daß das Zweiphasen-
Gemisch unter Verdüsung in den Durchlaßkanal 16 ein
tritt. Innerhalb des Durchlaßkanals 16 trifft es auf die
Außenfläche des Trägerkörpers 38, wo es sich nieder
schlägt. In dem Durchlaßkanal 16 erfolgt infolge der
Expansion des Zweiphasen-Metalls ins Vakuum (die Vor
richtung 10 befindet sich im Weltraum) eine Abkühlung
des Metalls. Die Abkühlung des Metalls führt zusammen
mit seiner Abscheidung zu einer porösen Metallbeschich
tung 44 auf dem Trägerkörper 38. Infolge von Cluster
bildung des abkühlenden Metalls bildet sich auf der
Außenfläche des Trägerkörpers 38 eine Metallbeschich
tung, die aufgrund ihrer Porosität eine geringere Dichte
aufweist als die Dichte des verwendeten Metalls. Durch
weiteres Vorschieben des Trägerkörpers 38 in den Durch
laßkanal 16 wird der gesamte Trägerkörper 38 mit einer
porösen Metallbeschichtung 44 versehen. Die Ventil-Aus
laßöffnungen 22 sind dabei derart gesteuert, daß mit
zunehmender Einführung des Trägerkörpers 38 in den
Durchlaßkanal 16 stets diejenigen Ventil-Auslaßöffnungen
22 geöffnet sind, denen gegenüber der Trägerkörper 38
oder ein Teil von diesem liegt. Der Abstand zwischen den
Ventil-Auslaßöffnungen 22 und der Oberfläche des Träger
körpers 38 bestimmt zusammen mit der Temperatur aus den
Auslaßöffnungen 22 austretenden Zweiphasen-Gemisches die
Dichte und Festigkeit der Metallbeschichtung 44. Der
Abstand ist ausschlaggebend dafür, wie stark das Zwei
phasen-Gemisch bereits abgekühlt ist, wenn es auf den
Trägerkörper 38 auftrifft.
Die Vorrichtung 10 kann auch derart ausgestaltet sein,
daß der Trägerkörper 38 zunächst vollständig in den
Durchlaßkanal 16 eingeführt werden muß, bevor die Be
sprühung mit dem Metall-Zweiphasen-Gemisch beginnt.
Ferner kann eine Konstruktion vorgesehen sein, die es
erlaubt, den Abstand der Ventil-Auslaßöffnungen 22 zum
zu beschichteten Trägerkörper 38 zu verändern. Durch
Regelung der Temperatur zusammen mit der Einstellung des
Abstandes zwischen Ventil-Auslaßöffnungen 22 und Träger
körper 38 läßt sich also die Dichte und Festigkeit der
porösen Metallbeschichtung des Trägerkörpers 38 einstel
len. Über die Geschwindigkeit, mit der der Trägerkörper
38 in Richtung des Pfeils 40 vorbewegt wird, läßt sich
die Verweildauer des Trägerkörpers 38 in dem Durchlaß
kanal 16 einstellen; auf diese Weise ist es möglich, die
Dicke der Metallbeschichtung zu beeinflussen.
Nachdem die Metallbeschichtung des Trägerkörpers 38 er
folgt ist, wird dieser über die Öffnungen 18, 30 in die
Kammer 28 eingebracht. In dieser Kammer 28 erfolgt die
Abkühlung der Metallbeschichtung 44 auf dem Trägerkörper
38. Wegen der Weltraumbedingungen (Vakuum in der Kammer
28) erfolgt die Abkühlung in der Kammer 28 ausschließ
lich durch Wärmeabstrahlung. Die abgestrahlte Wärme wird
von der Innenbeschichtung 32 absorbiert, wodurch sich
die Wandung der Kammer 28 aufheizt. Diese bei der Abküh
lung freiwerdende Energie wird über ein Medium, das die
Kühlmittelleitung 34 durchströmt, abgeführt und kann,
gegebenenfalls nach Umwandlung, dem Prozeß wieder zuge
führt werden.
Die Vorrichtung 10 kann mit Solarenergie versorgt wer
den. Anhand des Beispiels der Erhitzung von Aluminium
bis zur Schmelze soll dies nachfolgend erläutert werden.
Die Schmelzenergie für 1000 kg Aluminium beträgt ca.
6 105 KJ. Aufgrund der im Weltraum herrschenden Sonnen
strahlung ergibt sich eine Leistung von 1,3 KW/m2. Unter
der Vorgabe, daß das Aluminium innerhalb einer Stunde
geschmolzen werden soll, ergibt sich eine Fläche von
128 m2 an Solarpanels. Die obigen Überlegungen schließen
Verluste und Wirkungsgrade nicht mit ein. Sie sind
lediglich dazu gedacht, zu belegen, daß sich die Vor
richtung 10 grundsätzlich mit Solarenergie speisen läßt.
Die Wärmeverluste innerhalb der Vorrichtung 10 können
beispielsweise dadurch reduziert werden, daß der Ofen 12
innenverspiegelt wird. Durch die Zurückführung des weit
aus größten Teils der Energie durch Rückgewinnung der
beim Abkühlen freiwerdenden Energie in der Kammer 28
verbessert sich die Energiebilanz für den Betrieb der
Vorrichtung 10. Eine weitere Maßnahme zur Reduzierung
von Energieverlusten besteht darin, den Ofen 12 ther
misch zu isolieren, was beispielsweise durch eine Ver
spiegelung der Innenseite des Ofens 12 erfolgen kann.
Der Einsatz der Vorrichtung 10 ist Weltraum erlaubt
darüber hinaus die Beschichtung von Trägerkörpern bzw.
die Herstellung beliebiger Legierungen. Wegen der
Schwerelosigkeit vermischt sich das aus den Auslaß
öffnungen austretende Gemisch ideal homogen nach der
Braunschen Molekularbewegung.
Claims (5)
1. Verfahren zur Herstellung von Bauteilen aus Metall
und/oder von Bauteilen mit dichtereduzierter
Metallbeschichtung im Vakuum, insbesondere im Welt
all, vorgeschlagen, bei dem
- - das Metall in einen gasdicht verschlossenen druckfesten Ofen (12) mit mindestens einer steuerbaren Auslaßöffnung (22) verbracht wird,
- - das Metall in dem Ofen (12) bis zur zumindest partiellen Verdampfung erhitzt wird,
- - die mindestens eine Auslaßöffnung (22) geöffnet wird und das flüssige Metall und/oder der Metalldampf infolge des Dampfdrucks im Ofen (12) aus diesem in ein Vakuum außerhalb des Ofens (12) tritt und
- - das austretende flüssige Metall und/oder der Metalldampf im Vakuum bis zur Erstarrung des Metalls abkühlt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das flüssige Metall und/oder der Metalldampf
durch Expansion ins Vakuum beim Austritt aus der
mindestens einen Austrittsöffnung (22) abgekühlt
und versprüht wird und als poröse Metallbeschich
tung (44) auf einen Trägerkörper (38) niederge
schlagen wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der Abstand des Trägerkörpers (38) von der min
destens einen Auslaßöffnung (22) und die Er
hitzungstemperatur im Ofen (12) zur Variation der
Dichte und Festigkeit der porösen Metallbeschich
tung (44) verändert werden.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß das flüssige Metall bei Aus
tritt aus der mindestens einen Austrittsöffnung
(22) durch Wärmeabstrahlung bis zur Erstarrung ab
gekühlt wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß die bei der Abkühlung des flüs
sigen Metalls und/oder des Metalldampfes freiwer
dende Energie rückgewonnen und dem Prozeß wieder
zugeführt wird, vorzugsweise zum Erhitzen des Ofens
(12) verwendet wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19924222500 DE4222500A1 (de) | 1992-07-09 | 1992-07-09 | Verfahren zur Herstellung von Bauteilen aus Metall und/oder von Bauteilen mit dichtereduzierter Metallbeschichtung im Vakuum, insbesondere im Weltall |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19924222500 DE4222500A1 (de) | 1992-07-09 | 1992-07-09 | Verfahren zur Herstellung von Bauteilen aus Metall und/oder von Bauteilen mit dichtereduzierter Metallbeschichtung im Vakuum, insbesondere im Weltall |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4222500A1 true DE4222500A1 (de) | 1994-01-13 |
Family
ID=6462799
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19924222500 Ceased DE4222500A1 (de) | 1992-07-09 | 1992-07-09 | Verfahren zur Herstellung von Bauteilen aus Metall und/oder von Bauteilen mit dichtereduzierter Metallbeschichtung im Vakuum, insbesondere im Weltall |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4222500A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102015107297A1 (de) * | 2015-05-11 | 2016-11-17 | Von Ardenne Gmbh | Prozessieranordnung |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4061800A (en) * | 1975-02-06 | 1977-12-06 | Applied Materials, Inc. | Vapor desposition method |
-
1992
- 1992-07-09 DE DE19924222500 patent/DE4222500A1/de not_active Ceased
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4061800A (en) * | 1975-02-06 | 1977-12-06 | Applied Materials, Inc. | Vapor desposition method |
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DE102015107297A1 (de) * | 2015-05-11 | 2016-11-17 | Von Ardenne Gmbh | Prozessieranordnung |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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