DE4213579A1 - Alkalifreies glas - Google Patents
Alkalifreies glasInfo
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Description
Die Erfindung betrifft alkalifreies Glas mit ausgezeichneter
Hitzebeständigkeit und chemischer Beständigkeit, das in der
elektronischen Industrie als Substratmaterial etc. verwendet
werden kann.
In den letzten Jahren sind Substrate aus alkalifreiem Glas
oftmals als transparente Substrate von Displays etc. verwen
det worden. Transparente leitende Filme, isolierende Filme,
verschiedene Halbleiterfilme und dgl. werden auf den Ober
flächen dieser Substratgläser gebildet und es erfolgt eine
Musterbildung um Schaltkreise zu bilden. Da beim Bildungs
prozeß der Filme auf den Glassubstraten eine Hitzebehandlung
bei hohen Temperaturen durchgeführt wird, müssen die Glas
substrate eine genügende Hitzebeständigkeit haben, so daß
sie solchen Temperaturen widerstehen können. Wenn weiterhin
Ionen von Alkalimetallen, wie Natrium etc., in Halbleiter
elemente eingearbeitet werden, dann erfolgen Qualitätsver
schlechterungen. Wenn die Glassubstrate Alkalimetalloxide
enthalten, dann diffundieren Alkaliionen während der Wärme
behandlung in die Halbleiterelemente hinein und die Qualität
der Halbleiterelemente wird verschlechtert. Es ist daher
notwendig, daß die Glassubstrate von Alkalimetalloxiden
praktisch frei sind. Da beim Musterbildungsprozeß eine
chemische Behandlung mit Flußsäure, Alkalien etc. durchge
führt wird, ist es erforderlich, daß die Glassubstrate als
solche durch diese Chemikalien nicht korrodiert werden. Wenn
weiterhin in den Gläsern Bläschen, Steine, Streifen u. dgl.
vorhanden sind, dann werden die Displays fehlerhaft. Somit
müssen die Gläser optisch homogen sein. Neben diesen Bedin
gungen ist es erwünscht, daß es bei der Herstellung der Glä
ser keine Probleme gibt, d. h. daß die Gläser eine gute
Schmelzbarkeit, eine hohe Verformbarkeit haben und für die
Massenproduktion geeignet sind.
Glas #7059 der Corning Glass Works ist als Glas, das annä
hernd den obigen Erfordernissen entspricht, verwendet wor
den. Da das Glas #7059 jedoch ein Aluminoborosilicatglas,
das eine große Menge von Barium enthält, ist, ist es mit den
Nachteilen behaftet, daß die Viskosität des Glases bei hoher
Temperatur hoch wird und daß es kaum geschmolzen werden
kann. Weiterhin hat es eine niedrige untere Kühltemperatur
und somit eine niedrige Hitzebeständigkeit.
In den letzten Jahren sind weiterhin Aluminoborosilicatglä
ser vorgeschlagen worden, die andere Erdalkalioxide als von
Barium enthalten.
So wird in der JP-OS 74 935/1988 (Kokai) ein Glas für Sub
strate beschrieben, das eine ausgezeichnete chemische Be
ständigkeit besitzt, weil es weder Oxide von Magnesium noch
von Blei enthält. Dieses Glas hat aber eine hohe Viskosität
bei hohen Temperaturen und eine schlechte Schmelzbarkeit.
Weiterhin ist es für die Massenproduktion nicht geeignet. In
dieser Veröffentlichung wird beschrieben, daß das Glas TiO2
und ZrO2 enthalten kann. Die durch TiO2 und ZrO2 angegebenen
Effekte werden jedoch in dieser Veröffentlichung nicht ange
geben. Auch in den Beispielen wird dies nicht gezeigt.
Die JP-OS 1 60 844/1989 (Kokai) beschreibt ein alkalifreies
Glas mit einer unteren Kühltemperatur von mehr als 625°C.
Dieses Glas ist aber für die Bildung einer Überfließ-Ab
wärtszug-Platte bestimmt und es hat eine hohe Viskosität bei
hoher Temperatur. Daher ist es für die Massenproduktion
durch beispielsweise das Verfahren zur Herstellung von Fen
sterglas nicht geeignet.
Die JP-OS 2 01 041/1989 (Kokai) beschreibt ein alkalifreies
Glas, das von ZnO frei ist und das nach dem Herstellungsver
fahren für Fensterglas gebildet werden kann. Diese Druck
schrift beschreibt zwar, daß ZrO2, TiO2 etc. zugesetzt wer
den können, um die Schmelzbarkeit, die Läuterung und die
Formbarkeit zu verbessern, jedoch wird die Tatsache nicht
erwähnt, daß ZrO2 und TiO2 die chemische Beständigkeit des
alkalifreien Glases verbessern. Da weiterhin das genannte
Glas relativ große Mengen von BaO und SrO enthält, sind die
Kosten für die Ausgangsmaterialien hoch.
Die JP-OS 1 33 334/90 (Kokai) beschreibt ein alkalifreies Glas
für Substrate, dessen chemische Beständigkeit (chemische
Dauerhaftigkeit) dadurch verbessert worden ist, daß der Ge
halt von MgO auf weniger als 2 Gew.-% eingestellt wird und
daß weiterhin TiO2 und ZrO2 eingearbeitet werden. Da das ge
nannte Glas zur Verbesserung der Hitzebeständigkeit relativ
viel SiO2 enthält, ist die Schmelzbarkeit schlecht. Daher
ist das genannte Glas für die Massenproduktion nicht ge
eignet.
Aufgabe dieser Erfindung ist es, die obigen Mängel zu über
winden und ein alkalifreies Glas bereitzustellen, das eine
genügende Flußsäurebeständigkeit und eine hohe untere Kühl
temperatur hat und trotzdem eine ausgezeichnete Schmelzbar
keit und Verformbarkeit aufweist, wobei das genannte Glas
erforderlichenfalls durch ein Verfahren zur Herstellung von
Fensterglas verformt werden soll.
Das erfindungsgemäße alkalifreie Glas enthält 56 bis 68 Mol-%
SiO2, 7 bis 17 Mol-% B2O3, 5 bis 13 Mol-% Al2O3, 0 bis 9
Mol-% MgO, 2 bis 12 Mol-% GaO, 0 bis 3 Mol-% SrO, 0 bis 10
Mol-% BaO, 0 bis 3 Mol-% ZnO, 0 bis 4 Mol-% TiO2, 0 bis 4
Mol-% ZrO2 und 0 bis 1,5 Mol-% Läuterungsmittel, mit der
Maßgabe, daß der Bedingung B2O3/Al2O32,2 genügt wird.
Nachstehend werden die Gründe für die Begrenzung der Mengen
der einzelnen Komponenten angegeben.
Wenn die SiO2-Menge weniger als 56 Mol-% ist, dann wird die
chemische Dauerhaftigkeit des Glases vermindert. Wenn sie
andererseits über 68 Mol-% hinausgeht, dann nimmt die
Schmelzbarkeit des Glases ab, die Bildungstemperatur wird
erhöht und die Verformbarkeit verschlechtert sich. Die SiO2-
Menge beträgt vorzugsweise 61 bis 64 Mol-%.
B2O3 erhöht die Flußsäurebeständigkeit des Glases zusammen
mit dem SiO2 und es vermindert die Viskosität des Glases bei
hoher Temperatur. Es verbessert die Schmelzbarkeit. Bei Men
gen von B2O3 von weniger als 7 Mol-% ist das Glas schwer zu
schmelzen. Bei Mengen von mehr als 17 Mol-% wird die Hit
zebeständigkeit des Glases vermindert. Die B2O3-Menge be
trägt vorzugsweise 10 bis 14 Mol-%.
Um die Flußsäurebeständigkeit des Glases zu erhöhen und eine
gute Schmelzbarkeit und Hitzebeständigkeit aufrechtzuerhal
ten, ist es zweckmäßig, daß die Gesamtmenge von SiO2 und
B2O3 70 bis 77 Mol-%, vorzugsweise 72 bis 75 Mol-%, beträgt.
Al2O3 verbessert die Hitzebeständigkeit des Glases und es
unterdrückt die Phasentrennung. Bei Al2O3-Mengen von weniger
als 5 Mol-% tritt nur ein geringer Effekt hinsichtlich der
Unterdrückung der Phasentrennung des Glases auf. Anderer
seits nimmt bei Mengen von mehr als 13 Mol-% die Säurebe
ständigkeit des Glases ab und das Glas wird schwer schmelz
bar. Die Al2O3-Menge beträgt vorzugsweise 7 bis 10 Mol-%.
Das B2O3/Al2O3-Verhältnis steht mit dem Auftreten einer Pha
sentrennung im Zusammenhang. Es ist notwendig, daß der Be
dingung B2O3/Al2O32,2 genügt wird. Bevorzugt wird, daß
der Bedingung B2O3/Al2O31,8 genügt wird.
SiO2, B2O3 und Al2O3 sind Komponenten zur Bildung eines
Glasnetzwerks. Wenn man die Gesamtmenge dieser Komponenten
auf 80 bis 86 Mol-%, vorzugsweise 81 bis 85 Mol-%, ein
stellt, dann kann ohne Verschlechterung der Schmelzbarkeit
des Glases ein Glas erhalten werden, das eine ausgezeichnete
Hitzebeständigkeit und chemische Beständigkeit hat und einen
mittleren Koeffizienten der thermischen Ausdehnung von weni
ger als 55×10-7/°C aufweist.
Das MgO wird dazu verwendet, um die Viskosität, die Entgla
sungsneigung und den Koeffizienten der thermischen Ausdeh
nung des Glases einzustellen. Wenn die Menge an MgO über 9
Mol-% hinausgeht, dann nimmt die Flußsäurebeständigkeit ab.
Die Menge beträgt vorzugsweise 1 bis 6 Mol-%.
CaO vermindert die Hochtemperaturviskosität des Glases und
es unterdrückt die Neigung zu einer Entglasung. Bei CaO-Men
gen von weniger als 2 Mol-% sind die obigen Effekte nur ge
ring. Wenn die Menge andererseits über 12 Mol-% hinausgeht,
dann nimmt die Flußsäurebeständigkeit ab. Vorzugsweise be
trägt die Menge 6 bis 10 Mol-%.
SrO und BaO unterdrücken die Phasentrennung, wobei das BaO
einen höheren Effekt hat als das SrO. Weiterhin ist das SrO
teuer. Demgemäß beträgt die Menge von SrO 3 Mol-% oder weni
ger, vorzugsweise 1 bis 3 Mol-%. Wenn die BaO-Menge über 10
Mol-% hinausgeht, dann wird der Koeffizient der thermischen
Ausdehnung des Glases zu hoch. Weiterhin nimmt in diesem
Fall die Hochtemperaturviskosität des Glases zu und die
Schmelzbarkeit verschlechtert sich. Die BaO-Menge beträgt
vorzugsweise 2 bis 9 Mol-%.
Das ZnO steigert die Flußsäurebeständigkeit im Vergleich zu
den Erdalkalimetalloxiden, die das erfindungsgemäße Glas
bilden. Wenn die ZnO-Menge jedoch größer als 3 Mol-% ist,
dann nimmt die Hitzebeständigkeit des Glases ab. Sie beträgt
vorzugsweise 2 Mol-% oder weniger. Da das ZnO reduziert wer
den kann, ist es zweckmäßig, kein ZnO als Glaskomponente zu
verwenden, wenn das erfindungsgemäße Glas nach dem Fenster
glasverfahren hergestellt wird.
TiO2 ist eine erwünschte Komponente, um die chemische Dauer
haftigkeit des Glases zu verbessern. Unter Berücksichtigung
der Tatsache, daß das TiO2 etwas die Hitzebeständigkeit ver
mindert, bei großen Mengen dazu neigt das Glas zu verfärben
und teuer ist, wird daher die obere Grenze der TiO2-Menge
auf 4 Mol-% angesetzt. Die TiO2-Menge beträgt vorzugsweise 3
Mol-% oder weniger.
ZrO2 verbessert die chemische Dauerhaftigkeit und die Hitze
beständigkeit. Jedoch unter Berücksichtigung der Tatsache,
daß bei erhöhten Mengen von ZrO2 im Glas das Glas kaum ge
schmolzen werden kann und daß die Liquidustemperatur des
Glases erhöht wird, wird seine Obergrenze auf 4 Mol-% fest
gesetzt. Die ZrO2-Menge beträgt vorzugsweise 2 Mol-% oder
weniger. Die Gesamtmenge von TiO2 und ZrO2 beträgt vorzugs
weise 0,4 bis 4 Mol-%.
Da TiO2 und ZrO2 die chemische Dauerhaftigkeit erhöhen, ist
ihre Gesamtmenge vorzugsweise 0,4 Mol-% oder mehr. Wenn je
doch die Gesamtmenge über 4 Mol-% hinausgeht, dann treten
Probleme, wie die Verfärbung des Glases, eine Verschlechte
rung der Schmelzbarkeit und eine Erhöhung der Liquidustempe
ratur, auf.
Als Läutermittel können die Mittel verwendet werden, die üb
licherweise beim Schmelzen des Glases eingesetzt werden.
Beispiele hierfür sind As2O3, Sb2O3 und CeO2, die durch eine
Redoxreaktion Sauerstoff freisetzen und absorbieren, Sul
fate, wie BaSO4, CaSO4 und SrSO4, und halogenhaltige Verbin
dungen, wie CaCl2 und CaF. Wenn die Menge der Läutermittel
über 1 Mol-% hinausgeht, dann wird der Effekt auf die Läute
rung des Glases nicht höher, und es muß umgekehrt befürchtet
werden, daß die anderen Eigenschaften des Glases verschlech
tert würden. Aus diesem Grunde beträgt die Gesamtmenge der
Läutermittel 1,5 Mol-% oder weniger, vorzugsweise 0,5 Mol-%
oder weniger. Die Menge der Läutermittel gibt die Menge von
As2O3, Sb2O3 oder CeO2, die als solche in dem Glas zurück
bleiben, die Menge von BaSO4 oder CaSO4, die als SO3 in dem
Glas zurückbleiben, und die Menge von CaCl2 oder CaF, die
als Cl oder F in dem Glas zurückbleiben, an.
Das Glas kann Verunreinigungen, wie Eisen etc., enthalten,
solange die Effekte der Erfindung nicht beeinträchtigt wer
den. Es ist vorgesehen, daß die Menge an Alkalimetalloxiden
0,5 Mol-% oder weniger beträgt.
Die Erfindung wird in dem folgenden Beispiel näher erläu
tert.
Ein Ansatz aus Siliziumdioxidsand, Borsäure, Aluminiumhydro
xid, basischem Magnesiumcarbonat, Calciumcarbonat, Stronti
umcarbonat, Bariumcarbonat, Zinkoxid, Titanoxid, Zirkonium
oxid und Läutermitteln wurde gemäß Tabelle 1 hergestellt.
Bariumsulfat und Strontiumsulfat wurden als Läutermittel
verwendet. Die Gesamtmenge an BaO und SrO aus den Läuter
mitteln betrug entsprechend dieser Formulierung 1 Mol-% oder
weniger als SO3. Der Ansatz wurde in einen Platintiegel ein
gefüllt und geschmolzen, indem er 4 Stunden lang in einem
Elektroofen bei 1500°C erhitzt wurde. Die Glasschmelze wurde
zu einer Platte verformt und vergütet.
Die Tabelle 1 zeigt auch die Liquidustemperatur, die
Schmelztemperatur, die Bearbeitungstemperatur, den Koeffizi
enten der thermischen Ausdehnung, den Glasübergangspunkt und
Beständigkeit gegenüber Flußsäure.
Die Liquidustemperatur wurde wie folgt gemessen. Das Glas
wurde pulverisiert, und die Glasteilchen wurden durch ein
Sieb mit einer Maschenweite von 1680 µm geleitet. Das auf
einem Sieb mit einer lichten Maschenweite von 1190 µm zu
rückbleibende Produkt wurde in Alkohol eingetaucht, mit Ul
traschall gesäubert und in einem Ofen mit konstanter Tempe
ratur getrocknet. Die genannten Glasteilchen wurden in viele
Löcher mit einem Durchmesser von 1 mm in ein Platinschiff
chen in einer Linie, die in Längsrichtung des Schiffchens
verlief, eingegeben. Das Ganze wurde 4 Stunden lang in einem
Elektroofen aufbewahrt, der auf einen geeigneten Temperatur
gradienten in Längsrichtung des Schiffchens eingestellt war.
Die Glasteilchen auf dem aus dem Ofen entnommenen Platin
schiffchen wurden inspiziert. Die maximale Temperatur, bei
der eine Entglasung auftrat, wurde als Liquidustemperatur
bezeichnet.
Die Viskosität wurde nach der Kugelzugmethode bestimmt.
Der Koeffizient der thermischen Ausdehnung des Glases wurde
in einer einfachen Dilatometervorrichtung gemessen. Zu die
sem Zeitpunkt wurde die Längenzunahme eines Glasstabs im
Vergleich zu glasartigem Siliziumdioxid gemessen.
Die Glasübergangstemperatur wurde nach dem herkömmlichen
Verfahren unter Verwendung einer thermischen Expansionskurve
eines Glases gemessen.
Die Flußsäurebeständigkeit wurde durch die Gewichtsvermin
derung bezogen auf die Oberfläche nach dem Eintauchen einer
polierten Glasprobe mit den Abmessungen 20×30×1 (mm),
die aus Flachglas herausgeschnitten war, in einer Mischlö
sung von 25°C aus 6 Gewichtsteilen einer wäßrigen Ammonium
fluoridlösung (40 Gew.-%) und 1 Gewichtsteil einer wäßrigen
Flußsäurelösung (46 Gew.-%) bestimmt. Die Verweilzeit in der
Mischlösung betrug 20 Minuten.
(Fußnoten)
TL: Liquidustemperatur
TM: Schmelztemperatur, bei der die Viskosität des Glases 102,5 p beträgt
TW: Bearbeitungstemperatur des Glases, bei der die Viskosität des Glases 10⁴ p wird
α: Durchschnittlicher Koeffizient der thermischen Ausdehnung des Glases für den Bereich von 50 bis 350°C (x 10-7/°C)
TG: Glasübergangstemperatur
Flußsäurebeständigkeit: mg/cm²
TL: Liquidustemperatur
TM: Schmelztemperatur, bei der die Viskosität des Glases 102,5 p beträgt
TW: Bearbeitungstemperatur des Glases, bei der die Viskosität des Glases 10⁴ p wird
α: Durchschnittlicher Koeffizient der thermischen Ausdehnung des Glases für den Bereich von 50 bis 350°C (x 10-7/°C)
TG: Glasübergangstemperatur
Flußsäurebeständigkeit: mg/cm²
In Tabelle 1 ist das Vergleichsbeispiel Glas #7059 der Corn
ing Glass Works.
Wie aus dem Beispiel ersichtlich wird, besteht in dem erfin
dungsgemäßen Glas nur eine geringe Differenz zwischen der
Bearbeitungstemperatur und der Liquidustemperatur. Ein sol
ches Glas kann daher leicht durch ein Walzverfahren oder das
Fensterglasverfahren gebildet werden. Das Glas im Ver
gleichsbeispiel ist wegen seiner hohen Schmelztemperatur
kaum geschmolzen und es ist für die Massenproduktion nicht
geeignet. Beim erfindungsgemäßen Glas des Beispiels ist die
Schmelztemperatur nicht so hoch und das Schmelzen erfolgt
daher relativ leicht. Ein solches Glas ist daher gut für die
Massenproduktion durch das Fensterglasverfahren etc. ge
eignet.
Was weiterhin die thermischen Eigenschaften betrifft, so hat
das erfindungsgemäße Glas einen niedrigen Koeffizienten der
thermischen Ausdehnung und eine hohe Glasübergangstempera
tur. Es besitzt daher eine ausgezeichnete Hitzebeständig
keit.
Wie aus dem Beispiel weiterhin hervorgeht, hat das erfin
dungsgemäße alkalifreie Glas eine ausgezeichnete Hitzebe
ständigkeit und Flußsäurebeständigkeit sowie einen niedri
gen Koeffizienten der thermischen Ausdehnung. Es ist daher
für verschiedene Substrate geeignet wie sie auf dem Gebiet
der Elektronikindustrie verwendet werden, zum Beispiel als
Substrat für Displays, als Substrat für Photomasken u. dgl.
Da schließlich das alkalifreie Glas eine ausgezeichnete
Schmelzbarkeit und Verformbarkeit hat, ist es für die Mas
senproduktion, beispielsweise durch das Fensterglasverfah
ren, geeignet.
Claims (8)
1. Alkalifreies Glas, das im wesentlichen von einem
Alkalimetalloxid frei ist, dadurch gekenn
zeichnet, daß es im wesentlichen 56 bis 68 Mol-%
SiO2, 7 bis 17 Mol-% B2O3, 5 bis 13 Mol-% Al2O3, 0 bis 9
Mol-% MgO, 2 bis 12 Mol-% CaO, 0 bis 3 Mol-% SrO, 0 bis 10
Mol-% BaO, 0 bis 3 Mol-% ZnO, 0 bis 4 Mol-% TiO2, 0 bis 4
Mol-% ZrO2 und 0 bis 1,5 Mol-% Läutermittel umfaßt, mit der
Maßgabe, daß der Bedingung B2O3/Al2O32,2 genügt wird.
2. Alkalifreies Glas nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Gesamtmenge von SiO2 und
B2O3 70 bis 77 Mol-% ist.
3. Alkalifreies Glas nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Gesamtmenge von SiO2,
B2O3 und Al2O3 80 bis 86 Mol-% ist.
4. Alkalifreies Glas nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß es 61 bis 64 Mol-% SiO2
enthält.
5. Alkalifreies Glas nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß es 10 bis 14 Mol-% B2O3
enthält.
6. Alkalifreies Glas nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß es 7 bis 10 Mol-% Al2O3
enthält.
7. Alkalifreies Glas nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß es 1 bis 6 Mol-% MgO ent
hält.
8. Alkalifreies Glas nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß es 6 bis 10 Mol-% CaO ent
hält.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12516591A JP2871163B2 (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 無アルカリガラス |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4213579A1 true DE4213579A1 (de) | 1992-10-29 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19924213579 Withdrawn DE4213579A1 (de) | 1991-04-26 | 1992-04-24 | Alkalifreies glas |
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---|---|
JP (2) | JP2871163B2 (de) |
DE (1) | DE4213579A1 (de) |
FR (1) | FR2675795B1 (de) |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10000839C1 (de) * | 2000-01-12 | 2001-05-10 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendungen |
DE10000837C1 (de) * | 2000-01-12 | 2001-05-31 | Schott Glas | Alkalifreie Aluminoborosilicatgläser und ihre Verwendungen |
EP1118595A2 (de) | 2000-01-12 | 2001-07-25 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendungen |
EP1118593A2 (de) | 2000-01-12 | 2001-07-25 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendung |
US6319867B1 (en) | 1998-11-30 | 2001-11-20 | Corning Incorporated | Glasses for flat panel displays |
DE10064804A1 (de) * | 2000-12-22 | 2002-07-11 | Schott Glas | Alkalifreie Aluminoborosilicatgläser und ihre Verwendung |
DE10114581A1 (de) * | 2001-03-24 | 2002-10-10 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und Verwendungen |
US7833919B2 (en) | 2006-02-10 | 2010-11-16 | Corning Incorporated | Glass compositions having high thermal and chemical stability and methods of making thereof |
US8007913B2 (en) | 2006-02-10 | 2011-08-30 | Corning Incorporated | Laminated glass articles and methods of making thereof |
DE19680967B3 (de) * | 1995-09-28 | 2012-03-01 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Alkalifreies Glassubstrat |
US20120135853A1 (en) * | 2010-11-30 | 2012-05-31 | Jaymin Amin | Glass articles/materials for use as touchscreen substrates |
US8713967B2 (en) | 2008-11-21 | 2014-05-06 | Corning Incorporated | Stable glass sheet and method for making same |
US8796165B2 (en) * | 2010-11-30 | 2014-08-05 | Corning Incorporated | Alkaline earth alumino-borosilicate crack resistant glass |
WO2015179489A1 (en) * | 2014-05-21 | 2015-11-26 | Corning Incorporated | Alkali-doped and alkali-free boroaluminosilicate glass |
CN112759256A (zh) * | 2021-01-05 | 2021-05-07 | 河北光兴半导体技术有限公司 | 玻璃用组合物、中性玻璃及其制备方法和应用 |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5116787A (en) * | 1991-08-12 | 1992-05-26 | Corning Incorporated | High alumina, alkaline earth borosilicate glasses for flat panel displays |
GB9204537D0 (en) * | 1992-03-03 | 1992-04-15 | Pilkington Plc | Alkali-free glass compositions |
FR2692883B1 (fr) * | 1992-06-25 | 1994-12-02 | Saint Gobain Vitrage Int | Verres thermiquement stables et chimiquement résistants. |
US5374595A (en) * | 1993-01-22 | 1994-12-20 | Corning Incorporated | High liquidus viscosity glasses for flat panel displays |
US5508237A (en) * | 1994-03-14 | 1996-04-16 | Corning Incorporated | Flat panel display |
DE19680966T1 (de) * | 1995-09-28 | 1998-01-08 | Nippon Electric Glass Co | Alkalifreies Glassubstrat |
JP2987523B2 (ja) * | 1995-09-28 | 1999-12-06 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス基板 |
JP3988209B2 (ja) * | 1996-06-03 | 2007-10-10 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよび液晶ディスプレイパネル |
JP3861272B2 (ja) * | 1996-12-18 | 2006-12-20 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス及びその製造方法 |
JP3897194B2 (ja) * | 1997-07-24 | 2007-03-22 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス及びその製造方法 |
US6060168A (en) * | 1996-12-17 | 2000-05-09 | Corning Incorporated | Glasses for display panels and photovoltaic devices |
EP0921583A1 (de) * | 1997-12-05 | 1999-06-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Abdichten von Hochtemperatur-Brennstoffzellen und von Hochtemperatur-Brennstoffzellenstapel |
JP3119850B2 (ja) | 1999-04-21 | 2000-12-25 | 旭硝子株式会社 | ガラスの溶融方法 |
JP2003040641A (ja) * | 2001-07-26 | 2003-02-13 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス用混合原料 |
JP3996017B2 (ja) * | 2002-08-22 | 2007-10-24 | 東洋ガラス株式会社 | フッ酸を用いる洗浄装置のフッ酸と接触するガラス部材 |
JP4789058B2 (ja) * | 2004-06-23 | 2011-10-05 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス基板 |
JP2008273782A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Ohara Inc | ガラス |
JP5234387B2 (ja) * | 2007-06-12 | 2013-07-10 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよび無アルカリガラス基板並びにその製造方法 |
US8975199B2 (en) * | 2011-08-12 | 2015-03-10 | Corsam Technologies Llc | Fusion formable alkali-free intermediate thermal expansion coefficient glass |
JP2015127291A (ja) * | 2013-11-27 | 2015-07-09 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス |
JP7256747B2 (ja) * | 2017-10-25 | 2023-04-12 | 日本板硝子株式会社 | ガラス組成物 |
CN117164228A (zh) * | 2019-04-12 | 2023-12-05 | Agc株式会社 | 玻璃板和其制造方法 |
CN111233320A (zh) * | 2019-11-21 | 2020-06-05 | 中国科学院微电子研究所 | 一种等离子体显示器用玻璃及其制造方法 |
CN116601122A (zh) * | 2020-12-18 | 2023-08-15 | Agc株式会社 | 玻璃板、夹层玻璃、建筑用窗玻璃和车辆用窗玻璃 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL125167C (de) * | 1963-01-17 | |||
JPS6374935A (ja) * | 1986-09-17 | 1988-04-05 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 耐薬品性に優れたガラス基板 |
US4824808A (en) * | 1987-11-09 | 1989-04-25 | Corning Glass Works | Substrate glass for liquid crystal displays |
-
1991
- 1991-04-26 JP JP12516591A patent/JP2871163B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-04-24 FR FR9205105A patent/FR2675795B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1992-04-24 DE DE19924213579 patent/DE4213579A1/de not_active Withdrawn
-
1998
- 1998-10-12 JP JP28983998A patent/JPH11199268A/ja active Pending
Cited By (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19655399B3 (de) * | 1995-09-28 | 2014-04-03 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Alkalifreies Glassubstrat |
DE19680967B3 (de) * | 1995-09-28 | 2012-03-01 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Alkalifreies Glassubstrat |
US6319867B1 (en) | 1998-11-30 | 2001-11-20 | Corning Incorporated | Glasses for flat panel displays |
US7524784B2 (en) | 1998-11-30 | 2009-04-28 | Corning Incorporated | Glasses for flat panel displays |
US7365038B2 (en) | 1998-11-30 | 2008-04-29 | Corning Incorporated | Glasses for flat panel displays |
US6831029B2 (en) | 1998-11-30 | 2004-12-14 | Corning Incorporated | Glasses for flat panel displays |
US6867158B2 (en) | 2000-01-12 | 2005-03-15 | Schott Glas | Flat panel liquid-crystal display such as for a laptop computer |
EP1118596A2 (de) | 2000-01-12 | 2001-07-25 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendung |
DE10000836A1 (de) * | 2000-01-12 | 2001-07-26 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendungen |
DE10000837C1 (de) * | 2000-01-12 | 2001-05-31 | Schott Glas | Alkalifreie Aluminoborosilicatgläser und ihre Verwendungen |
EP1118595A2 (de) | 2000-01-12 | 2001-07-25 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendungen |
EP1118594A2 (de) | 2000-01-12 | 2001-07-25 | Schott Glas | Alkalifreie Aluminoborosilicatgläser und ihre Verwendung |
DE10000838A1 (de) * | 2000-01-12 | 2001-07-26 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendungen |
US6671026B2 (en) | 2000-01-12 | 2003-12-30 | Schott Glas | Flat panel liquid-crystal display such as for a laptop computer |
EP1118593A2 (de) | 2000-01-12 | 2001-07-25 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendung |
US6852658B2 (en) | 2000-01-12 | 2005-02-08 | Schott Glas | Flat panel liquid-crystal display, such as for a laptop computer |
DE10000839C1 (de) * | 2000-01-12 | 2001-05-10 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendungen |
DE10000838B4 (de) * | 2000-01-12 | 2005-03-17 | Schott Ag | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendungen |
DE10000836B4 (de) * | 2000-01-12 | 2005-03-17 | Schott Ag | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendungen |
DE10064804C2 (de) * | 2000-12-22 | 2003-03-20 | Schott Glas | Alkalifreie Aluminoborosilicatgläser und ihre Verwendung |
DE10064804A1 (de) * | 2000-12-22 | 2002-07-11 | Schott Glas | Alkalifreie Aluminoborosilicatgläser und ihre Verwendung |
DE10114581A1 (de) * | 2001-03-24 | 2002-10-10 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und Verwendungen |
DE10114581C2 (de) * | 2001-03-24 | 2003-03-27 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und Verwendungen |
US8007913B2 (en) | 2006-02-10 | 2011-08-30 | Corning Incorporated | Laminated glass articles and methods of making thereof |
US7833919B2 (en) | 2006-02-10 | 2010-11-16 | Corning Incorporated | Glass compositions having high thermal and chemical stability and methods of making thereof |
US8753993B2 (en) | 2006-02-10 | 2014-06-17 | Corning Incorporated | Glass compositions having high thermal and chemical stability and methods of making thereof |
US8763429B2 (en) | 2006-02-10 | 2014-07-01 | Corning Incorporated | Glass compositions having high thermal and chemical stability and methods of making thereof |
US10364177B2 (en) | 2006-02-10 | 2019-07-30 | Corning Incorporated | Glass compositions having high thermal and chemical stability and methods of making thereof |
US8713967B2 (en) | 2008-11-21 | 2014-05-06 | Corning Incorporated | Stable glass sheet and method for making same |
US20120135853A1 (en) * | 2010-11-30 | 2012-05-31 | Jaymin Amin | Glass articles/materials for use as touchscreen substrates |
US8796165B2 (en) * | 2010-11-30 | 2014-08-05 | Corning Incorporated | Alkaline earth alumino-borosilicate crack resistant glass |
WO2015179489A1 (en) * | 2014-05-21 | 2015-11-26 | Corning Incorporated | Alkali-doped and alkali-free boroaluminosilicate glass |
CN112759256A (zh) * | 2021-01-05 | 2021-05-07 | 河北光兴半导体技术有限公司 | 玻璃用组合物、中性玻璃及其制备方法和应用 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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JP2871163B2 (ja) | 1999-03-17 |
FR2675795A1 (fr) | 1992-10-30 |
JPH04325436A (ja) | 1992-11-13 |
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