DE4212881A1 - Einrichtung zur Bestimmung des Beschichtungszustandes eines Gegenstandes in einem galvanischen Bad und Verfahren zur Herstellung solcher Einrichtungen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie ein Verfahren zur Herstellung derartiger Einrichtungen gem. dem Oberbegriff des Anspruchs 11.

Zur Beschichtung von Schaltungsplatinen aus elektrisch isolierendem Material in einem galvanischen Bad wird bislang üblicherweise derart vorgegangen, daß Schaltungsplatinen in einer Pilotfertigung beschichtet und von den beschichteten Schaltungsplatinen Schliffbilder angefertigt werden. Bei dieser Vorgehensweise kann bereits das Einfahren des galvanischen Bades zur Optimierung der Beschichtung der Schaltungsplatinen mehrere Wochen in Anspruch nehmen. Besonders problematisch ist die Beschichtung von elektrischen bzw. elektronischen Schaltungsplatinen, wenn diese mit Durchgangslöchern ausgebildet sind, die mit einer entsprechenden galvanischen Beschichtung versehen sein müssen.

Die GB-A 2 209 867 beschreibt bspw. eine mehrlagige Schaltungsplatine mit Leitungsbahnen und mit Durchgangslöchern, die zur elektrisch leitenden Verbindung entsprechender Leitungsbahnen mit einer Metallisierung ausgebildet sind.

Ein mehrlagiges Substrat für eine gedruckte Schaltung ist aus der EP-A 0 203 203 bekannt. Auch dort sind im Substrat, d. h. in der Schaltungsplatine Durchgangslöcher ausgebildet, die zur Herstellung entsprechender Schaltungsverbindungen mit einer Metallisierung versehen sind.

Ein Verfahren zur Angleichung der Teilströme in einem galvanischen Bad zur Optimierung der Schichtdickenverteilung ist aus der DE-A 37 32 476 bekannt.

Eine Anordnung zur Gleichstromverteilung in einer Galvanisieranlage offenbart die DE-OS 28 31 948.

Aus der DE-A 22 24 045 ist eine Schaltungsanordnung zur Weitergabe von Wareninformationen in einer automatischen Galvanisieranlage bekannt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, mit welcher in relativ kurzer Zeit eine Bestimmung und eine Optimierung des Beschichtungszustandes einer mindestens ein Durchgangsloch aufweisenden Schaltungsplatine bzw. insbes. des Beschichtungszustandes des besagten Durchgangsloches möglich ist, und ein Verfahren zur Herstellung solcher Einrichtungen anzugeben.

Diese Aufgabe wird bei einer Einrichtung der eingangs genannten Art erfindungsgemäß durch die Merkmale des kennzeichnenden Teiles des Anspruchs 1 gelöst. Bevorzugte Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Einrichtung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet. Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe wird verfahrensgemäß durch die Merkmale des kennzeichnenden Teils des Anspruchs 11 gelöst. Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Verfahrens sind in den Ansprüchen 12 bis 14 gekennzeichnet.

Die erfindungsgemäße Einrichtung bildet einen Sensor für den Galvanisierprozeß, d. h. für die Beschichtung der/jeder im galvanischen Bad befindlichen, zu beschichtenden Schaltungsplatine und insbes. einen Sensor für das mindestens eine in einer Schaltungsplatine ausgebildete und zu beschichtende Durchgangsloch. Mit Hilfe der verschiedenen Isoliermateriallagen des den Sensor bildenden Prüfkörpers und den zu den Isoliermateriallagen zugehörigen elektronischen Schaltungsbausteine, die mittels eines Verbindungskabels mit einer externen Prüfschaltung verbunden sind, ist in Echtzeit z. B. mittels einer Widerstandsmessung der jeweilige Beschichtungszustand der Schaltungsplatine bzw. insbes. des mindestens einen in der Schaltungsplatine ausgebildeten Durchgangsloches möglich. Zu diesem Zweck weist das mindestens eine Durchgangsloch im Prüfkörper vorzugsweise denselben Durchmesser und die gleiche axiale Abmessung auf, wie das entsprechende Durchgangsloch in der Schaltungsplatine. Die erfindungsgemäße Einrichtung wird also gemeinsam mit der zu beschichtenden Schaltungsplatine im galvanischen Bad angeordnet und gleichzeitig mit dieser beschichtet.

Nachdem bei elektrischen bzw. elektronischen Schaltungsplatinen die Durchgangslöcher genormte Durchmesser von bspw. 0,3 mm, 0,6 mm oder 0,9 mm aufweisen, ist es vorteilhaft, wenn bei der erfindungsgemäßen Einrichtung der Prüfkörper Durchgangslöcher entsprechenden Durchmessers aufweist, um mit einer erfindungsgemäßen Einrichtung Schaltungsplatinen mit unterschiedlichen Durchgangsloch-Durchmessern prüfen zu können, d. h. den Beschichtungszustand der Durchgangslöcher in den Schaltungsplatinen feststellen und durch Einstellung des galvanischen Bades optimieren zu können. Aus demselben Grunde ist es zweckmäßig, den bzw. jeden Prüfkörper mit einer Gesamtdicke von z. B. 1,6 mm, 2,4 mm oder 3,2 mm auszubilden, weil Schaltungsplatinen normalerweise eine solche Dicke besitzen.

Zur Badeinstellung wird bspw. die Badtemperatur und/oder die Stromdichte im galvanischen Bad wunschgemäß eingestellt.

Um die erfindungsgemäße Einrichtung wiederholt verwenden zu können, ist es möglich, das mindestens eine im Prüfkörper ausgebildete Durchgangsloch nach einem Einsatz des Prüfkörpers auszubohren, um die im Durchgangsloch befindliche Beschichtung zu entfernen. Eine andere Möglichkeit besteht darin, die Innenfläche mit Gold zu bekeimen, weil sich gezeigt hat, daß eine solche Goldauflage die Entfernung einer Kupferbeschichtung sehr vereinfacht.

Wichtig ist, daß die elektronischen Schaltungsbausteine an der erfindungsgemäßen Einrichtung symmetrisch verteilt vorgesehen sind, um nicht durch Unsymmetrien Verfälschungen der Meßergebnisse zu erhalten.

Mit der erfindungsgemäßen Einrichtung ergibt sich außerdem der Vorteil, daß weder ein langwieriges Einfahren des galvanischen Beschichtungsbades erforderlich ist, noch daß es erforderlich ist, Schliffbilder von in einer Pilotfertigung beschichteten Schaltungsplatinen herzustellen und aus diesen Schliffbildern Rückschlüsse auf die Badeinstellung bzw. -führung zu ziehen.

Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von in der Zeichnung schematisch und stark vergrößert dargestellten Ausführungsbeispielen der erfindungsgemäßen Einrichtung zur Bestimmung des Beschichtungszustandes mindestens eines Durchgangsloches in einer Schaltungsplatine. Es zeigen:

Fig. 1 einen Schnitt durch eine erste Ausbildung der Einrichtung, bestehend aus einem mehrlagigen Prüfkörper mit einem ringförmigen Schaltungsträger, auf dem elektronische Schaltungsbausteine angeordnet sind,

Fig. 2 eine Ansicht der Einrichtung in Blickrichtung des Pfeiles II in Fig. 1, d. h. von oben, wobei auf die Darstellung des ringförmigen Schaltungsträgers und der auf diesem angeordneten elektronischen Schaltungsbausteine verzichtet worden ist,

Fig. 3 einen Schnitt entlang der Schnittlinie III-III in Fig. 1, wobei auf die Darstellung des ringförmigen Schaltungsträgers und der auf diesem angeordneten elektronischen Schaltungsbausteine verzichtet worden ist,

Fig. 4 einen Schnitt entlang der Schnittlinie IV-IV in Fig. 1 ähnlich dem Schnitt gem. Fig. 3,

Fig. 5 einen Schnitt entlang der Schnittlinie V-V in Fig. 1 ähnlich den Fig. 3 und 4,

Fig. 6 einen Schnitt entlang der Schnittlinie VI-VI in Fig. 1 zur Verdeutlichung der Oberseite der untersten Lage des mehrlagigen Prüfkörpers mit den voneinander beabstandeten Anschlußbahnen für die Ringabschnitte der diversen Isoliermateriallagen des Prüfkörpers,

Fig. 7 eine Ansicht des Prüfkörpers gem. Fig. 1 in Blickrichtung von unten, wobei die unterste Lage des Prüfkörpers nur abschnittweise gezeichnet ist,

Fig. 8 eine stark vergrößerte Ansicht einer zweiten Ausführungsform der Einrichtung zur Bestimmung des Beschichtungszustandes von Durchgangslöchern unterschiedlichen Durchmessers mit einem Prüfkörper, der vier entsprechende Durchgangslöcher unterschiedlichen Durchmessers besitzt,

Fig. 9 einen Abschnitt einer stark vergrößert gezeichneten Einrichtung zur Verdeutlichung der elektrisch leitenden Verbindung der auf dem ringförmigen Schaltungsträger angeordneten elektronischen Schaltungsbausteine mit den zugehörigen Anschlußbahnen der verschiedenen Ringabschnitte des entsprechenden Durchgangsloches im Prüfkörper, und

Fig. 10 eine der Fig. 9 ähnliche Darstellung einer anderen Ausbildung der elektrisch leitenden Verbindung zwischen den elektronischen Schaltungsbausteinen und den besagten Anschlußbahnen.

Fig. 1 zeigt eine einfache Ausbildung der Einrichtung 10 zur Bestimmung des Beschichtungszustandes eines Durchgangsloches in einer Schaltungsplatine, wobei die Einrichtung 10 einen mehrlagigen Prüfkörper 12 aufweist, der mit einem Durchgangsloch 14 ausgebildet ist. Der Prüfkörper 12 weist eine Dicke auf, die der Dicke der zu beschichtenden Schaltungsplatine entspricht. Der Durchmesser des Durchgangsloches 14 im Prüfkörper 12 entspricht dem Durchmesser des Durchgangsloches in der zu beschichtenden Schaltungsplatine. Auf diese Weise ist es durch Bestimmung des jeweiligen Beschichtungszustandes des Durchgangsloches 14 im Prüfkörper 12 möglich, simultan den entsprechenden Beschichtungszustand im Durchgangsloch der zu beschichtenden Schaltungsplatine zu bestimmen.

In dem in Fig. 1 gezeichneten Ausführungsbeispiel weist der Prüfkörper 12 vier Isoliermateriallagen 16, 18, 20 und 22 mit einem bestimmten Außendurchmesser auf, der für alle diese Isoliermateriallagen 16 bis 22 gleich groß ist. Er beträgt z. B. 10 mm. Eine fünfte Isoliermateriallage 24 schließt den Prüfkörper 12 einseitig ab, sie weist einen größeren Außendurchmesser auf als die zuerst erwähnten Isoliermateriallagen 16 bis 22 und bildet eine Kontaktlage.

Das Durchgangsloch 14 erstreckt sich durch alle fünf Isoliermateriallagen 16 bis 24 hindurch, wobei die Isoliermateriallagen 16 bis 24 kreisrunden Umfangsrandes 26 bzw. 28 zum Durchgangsloch 14 konzentrisch vorgesehen sind.

Jede Isoliermateriallage 16, 18, 20, 22 bzw. 24 weist mindestens eine strukturierte Metallisierung 30 (sh. insbes. Fig. 2), 32 (sh. insbes. Fig. 3), 34 (sh. insbes. Fig. 4), 36 (sh. insbes. Fig. 5), 38 (sh. insbes. Fig. 6) bzw. 40 (sh. insbes. Fig. 7) auf. Jede dieser strukturierten Metallisierungen 30 bis 40 weist einen Ringabschnitt 42 auf, der das Durchgangsloch 14 unmittelbar umschließt. Vom Ringabschnitt 42 der Metallisierung 30 auf der ersten Isoliermateriallage 16 steht in radialer Richtung ein Verlängerungsabschnitt 44 weg, der mittels eines Verbindungselementes 46 mit einer an der Isoliermateriallage 24 großen Durchmessers vorgesehenen Anschlußbahn 48 (sh. Fig. 6) elektrisch leitend verbunden ist. Das Verbindungselement 46 erstreckt sich also durch die Isoliermateriallagen (16, 18, 20 und 22) hindurch.

Vom Ringabschnitt 42 der strukturierten Metallisierung 32 auf der zweiten Isoliermateriallage 18 steht radial ein Verlängerungsabschnitt 50 weg, der in Umfangsrichtung gegen den Verlängerungsabschnitt 44 versetzt ist, wie durch einen Vergleich der Fig. 2 und 3 ersichtlich ist. Der Verlängerungsabschnitt 50 ist mittels eines Verbindungselementes 52 mit einer Anschlußbahn 54 auf der Isoliermateriallage 24 großen Durchmessers (sh. Fig. 6) elektrisch leitend verbunden. Das Verbindungselement 52 erstreckt sich also durch die Isoliermateriallagen 18, 20 und 22 hindurch.

Vom Ringabschnitt 42 der strukturierten Metallisierung 34 der dritten Isoliermateriallage 20 steht radial ein Verlängerungsabschnitt 56 weg, der in Umfangsrichtung gegen die Verlängerungsabschnitte 44 (sh. Fig. 2) und 50 (sh. Fig. 3) versetzt ist. Der Verlängerungsabschnitt 56 ist mit einer Anschlußbahn 58 mittels eines Verbindungselementes 60 elektrisch leitend verbunden, das sich durch die Isoliermateriallagen 20 und 22 hindurcherstreckt. Die Anschlußbahn 58 ist wie die Anschlußbahnen 48 und 54 auf der Isoliermateriallage 24 großen Durchmessers vorgesehen. Außerdem sind auf der Isoliermateriallage 24 großen Durchmessers eine Anschlußbahn 62, eine Anschlußbahn 64 und eine Anschlußbahn 66 vorgesehen. Die Anschlußbahn 64 ist mittels eines Verbindungselementes 70 mit einem Verlängerungsabschnitt 72 elektrisch leitend verbunden, der radial vom Ringabschnitt 42 der strukturierten Metallisierung 36 der vierten Isoliermateriallage 22 wegsteht. Das Verbindungselement 70 erstreckt sich also nur durch die Isoliermateriallage 22 hindurch. Die Anschlußbahn 66 auf der Isoliermateriallage 24 großen Durchmessers ist mittels eines Verbindungselementes 74 mit einem Verlängerungsabschnitt 76 elektrisch leitend verbunden, der radial vom Ringabschnitt 42 der strukturierten Metallisierung 40 auf der Unterseite der Isoliermateriallage 24 großen Durchmessers wegsteht. Die strukturierte Metallisierung 38 auf der Oberseite der Isoliermateriallage 24 großen Durchmessers ist mit der Anschlußbahn 62 ausgebildet, die gleichzeitig die radiale Verlängerung des entsprechenden Ringabschnittes 42 bildet.

Mit der Bezugsziffer 14 ist in allen diesen Figuren das Durchgangsloch bezeichnet, das sich durch alle Isoliermateriallagen 16 bis 24 hindurcherstreckt. Bei den Verbindungselementen 46, 52, 60, 70 und 74 handelt es sich bspw. um Drahtstücke entsprechender Längenabmessung.

Nachdem die mit Durchgangslöchern ausgebildeten elektronischen Schaltungsplatinen bspw. aus einem glasfaserverstärkten Kunstharzmaterial bestehen, ist es zweckmäßig, die Isoliermateriallagen 16 bis 24 des Prüfkörpers 12 aus demselben Material herzustellen. Die strukturierten Metallisierungen 30 bis 40 bestehen bspw. aus einer 0,1 mm dicken Kupferschicht.

Zur Herstellung des Prüfkörpers 12 wird bspw. wie folgt vorgegangen: Die jeweils mit einer Metallschicht versehenen Isoliermateriallagen 16 bis 24 werden in an sich bekannter Weise strukturiert, was z. B. mittels Fotolitografie und anschließendes Ätzen erfolgen kann. Die Strukturierung erfolgt hierbei derart, daß sich eine ein entsprechendes (noch nicht vorhandenes) Loch 14 unmittelbar umgebende strukturierte Metallisierung 30 bis 40 ausbildet. Anschließend werden die Isoliermateriallagen 16 bis 24 genau positioniert derart übereinandergestapelt, daß die entsprechenden strukturierten Metallisierungen der einzelnen Lagen miteinander axial fluchten. Die Isoliermateriallagen 16 bis 24 werden dann miteinander mechanisch fest verbunden, was beispielsweise durch Verklebung erfolgen kann. Anschließend wird das mindestens eine Durchgangsloch 14 gebohrt, wodurch die einzelnen Metallisierungen 30 bis 40 einen Ringabschnitt 42 erhalten. Dieser Herstellungsprozeß entspricht dem herkömmlichen Mehrlagen-Printed-Circuit-Board-Herstellungsverfahren.

Die Metallisierungen 30 und 40 bilden jeweils eine äußere offene Kontaktfläche, die durch die strukturierte Metallisierung abzüglich des Kerndurchmessers des entsprechenden Loches 14 gegeben ist, d. h. die durch den Ringabschnitt 42 gebildet ist. Die inneren Metallisierungen 32 bis 38 besitzen eine Kontaktfläche, die jeweils durch den Kerndurchmesser des Loches 14 und durch die Dicke der Metallisierungen 32 bis 38 bestimmt ist. Die Dicke der Metallisierungen 32 bis 38 kann größenordnungsmäßig bei 100 µm liegen, während die äußeren Metallisierungen 30 und 40 bis größenordnungsmäßig 20 µm liegen können. Selbstverständlich können die Metallisierungen auch andere Dicken besitzen.

Die Kontaktflächen der Metallisierungen 32 bis 38, die entsprechend den obigen Ausführungen relativ klein sind, können zusätzlich durch ein an sich bekanntes Rückätzen vergrößert werden. Dabei wird gezielt das Isoliermaterial zwischen den Metallisierungen abgetragen, wodurch zusätzlich Metallisierung freigelegt wird. Außerdem kann durch Erhöhung der Lagenzahl und durch beliebige Kontaktierung von Metallisierungen untereinander die Kontaktfläche insgesamt vergrößert werden.

Im nachfolgenden Arbeitsschritt wird der mehrlagige Prüfkörper 12 derart abgedreht oder vorzugsweise abgefräßt, daß die Lagen 16 bis 22 einen kleineren Durchmesser besitzen als die Isoliermateriallage 24. Bei diesem Arbeitsschritt ist selbstverständlich darauf zu achten, daß die auf der Isoliermateriallage 24 ausgebildeten Anschlußbahnen 48, 54, 58, 62, 64, 66 und 68 nicht unterbrochen werden. Auf dem derartig hergestellten Prüfkörper 12 ist es dann möglich, einen ringförmigen Schaltungsträger 78 (sh. Fig. 1) aus elektrisch isolierendem Material anzuordnen, auf dem symmetrisch elektronische Schaltungsbausteine 80 vorgesehen sind. Die elektronischen Schaltungsbausteine 80 werden mit den entsprechenden Anschlußbahnen 48, 54, 58, 62, 64 und 66 symmetrisch kontaktiert, um durch Unsymmetrien bedingte Meßfehler zu eliminieren. Die elektronischen Schaltungsbausteine 80 der Einrichtung 10 sind mittels eines (nicht gezeichneten) Verbindungskabels mit einer externen Meßeinrichtung verbunden, mit der es möglich ist, den jeweiligen Beschichtungszustand des Durchgangsloches 14 in der Einrichtung 10 z. B. durch Widerstandsmessungen festzustellen. Das bedeutet jedoch, daß es mit Hilfe der im selben galvanischen Bad wie die zu beschichtenden Schaltungsplatinen befindlichen Einrichtung 10 möglich ist, zuverlässig und genau den Beschichtungszustand in den Durchgangslöchern der zu beschichtenden elektronischen-- Schaltungsplatinen festzustellen.

Fig. 8 zeigt in einem stark vergrößerten Maßstab eine Einrichtung 10, bei welcher der Prüfkörper 12 mit vier Durchgangslöchern 14 unterschiedlichen Durchmessers ausgebildet ist. Die Durchmesser der Durchgangslöcher 14 betragen z. B. 0,3 mm, 0,6 mm und 0,9 mm. In dieser Figur ist auch der ringförmige Schaltungsträger 78 angedeutet, der mit elektronischen Schaltungsbausteinen 80 symmetrisch bestückt ist, die in dieser Figur nicht sichtbar sind, weil sie unter einer elektrisch isolierenden Umhüllung angeordnet sind. Die Schaltungsbausteine sind mittels eines Verbindungskabels 82 mit einer externen Meßeinrichtung verbunden.

Fig. 9 verdeutlicht in einem stark vergrößerten Maßstab abschnittweise einen Prüfkörper 12 mit Isoliermateriallagen 24, 22, 20 und 18, wobei auf der Isoliermateriallage 24 großen Durchmessers ein ringförmiger Schaltungsträger 78 angeordnet ist. Auf dem ringförmigen Schaltungsträger 78 sind elektronische Schaltungsbausteine 80 angeordnet. Der ringförmige Schaltungsträger 78 ist mit Anschlüssen 84 ausgebildet, die mit den zugehörigen Anschlußbahnen 48 bzw. 54 bzw. 58 bzw. 62, 64 bzw. 66 elektrisch leitend verbunden sind. In Fig. 9 ist eine Verbindung der Anschlüsse 84 des ringförmigen Schaltungsträgers 78 mit den zugehörigen Anschlußbahnen der Kontaktlage 24 großen Durchmessers mittels Verbindungsdrähten 86 gezeichnet, wobei von der Gesamtzahl an Verbindungsdrähten nur ein einziger sichtbar ist. In Fig. 9 ist ein Verbindungsdraht 86 auf der radial inneren Seite des ringförmigen Schaltungsträgers 78 dargestellt. Bei diesen Verbindungsdrähten 86 handelt es sich bspw. um sog. Bonddrähte, die an den Anschlüssen 84 und an den Anschlußbahnen der Kontaktlage 24 festgebondet werden. Selbstverständlich wäre es auch möglich, die Anschlußdrähte 86 am radial äußeren Rand des ringförmigen Schaltungsträgers 78 mit den Anschlußbahnen der Kontaktlage 24 zu kontaktieren. Eine solche Kontaktierung ist in Fig. 10 gezeichnet, wobei sich diese Ausbildung von der in Fig. 9 gezeichneten auch noch dadurch unterscheidet, daß die Anschlüsse 84 des ringförmigen Schaltungsträgers 78 mit den zugehörigen Anschlußbahnen 48; 54; 58; 62, 64 bzw. 66 der Kontaktlage 24 großen Durchmessers durch gut zugängliche Lötverbindungen 88 elektrisch leitend kontaktiert sind. Bei dieser Ausbildung sind die Anschlüsse 84 am ringförmigen Schaltungsträger 78 um dessen Außenrand 90 passend herumgeführt. Die Schaltungsbausteine 80 selbst sind mit ihren Anschlußelementen 92 mit den zugehörigen Anschlüssen 84 des ringförmigen Schaltungsträgers 78, der z. B. aus einem Keramikmaterial besteht, kontaktiert. Das kann durch Bonden oder Löten erfolgen.

Claims (14)

1. Einrichtung zur Bestimmung des Beschichtungszustandes eines Gegenstandes in einem galvanischen Bad, insbes. des Beschichtungszustandes mindestens eines Durchgangsloches in einer Schaltungsplatine, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (10) einen mehrlagigen Prüfkörper (12) aus dicht übereinander angeordneten und miteinander fest verbundenen Isoliermateriallagen (16, 18, 20, 22, 24) aufweist, der mit mindestens einem Loch (14) ausgebildet ist, wobei sich das/jedes Loch (14) durch die Isoliermateriallagen hindurcherstreckt, daß jede Isoliermateriallage (16, 18, 20, 22, 24) mindestens eine der Anzahl Löcher entsprechende Anzahl strukturierte Metallisierungen (30, 32, 34, 36, 38, 40) aufweist, die an das entsprechende Loch (14) unmittelbar angrenzen, und daß die Metallisierungen (30, 32, 34, 36, 38, 40) der verschiedenen Isoliermateriallagen (16, 18, 20, 22, 24) des Prüfkörpers (12) zur Bestimmung des Beschichtungszustandes an der Lochwandung des entsprechenden Loches (14) mit elektronischen Schaltungsbausteinen (80) kontaktiert sind.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Prüfkörper (12) mit einer Anzahl voneinander Beabstandeter Löcher (14) ausgebildet ist, die verschiedene Durchmesser aufweisen.

3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Prüfkörper (12) aus demselben Material besteht wie die zu beschichtende Schaltungsplatine, deren Beschichtungszustand an der Wandung des/jedes Platinenloches bestimmt werden soll, und daß der Prüfkörper (12) eine Dicke besitzt, die der Dicke der zu beschichtenden Schaltungsplatine entspricht.

4. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die zu einem Loch (14) zugehörige strukturierte Metallisierung (30, 32, 34, 36, 38, 40) jeder Isoliermateriallage (16, 18, 20, 22, 24) einen das entsprechende Loch (14) umgebenden Ringabschnitt (42) und einen an den Ringabschnitt (42) anschließenden Verlängerungsabschnitt (44, 50, 56, 72, 76) aufweist, und daß eine Isoliermateriallage (24) als Kontaktlage mit voneinander Beabstandefen Anschlußbahnen (48, 54, 58, 62, 64, 66) zur Kontaktierung mit den entsprechenden elektronischen Schaltungsbausteinen (80) ausgebildet ist, wobei jede Anschlußbahn mittels eines Verbindungselementes (46, 52, 60, 70, 74) durch die entsprechenden Isoliermateriallagen hindurch mit dem zugehörigen Verlängerungsabschnitt der entsprechenden strukturierten Metallisierung elektrisch leitend verbunden ist.

5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß an den Anschlußbahnen (48, 54, 58, 62, 64, 66) der Kontaktlage (24) des Prüfkörpers (12) pro Loch (14) eine der Anzahl Isoliermateriallagen (16, 18, 20, 22, 24) entsprechende Anzahl elektronische Schaltungsbausteine (80) elektrisch leitend angeschlossen ist.

6. Einrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Isoliermateriallagen (16, 18, 20, 22, 24) einen kreisförmigen Umfangsrand (26, 28) aufweisen, wobei die Kontaktlage (24) einen größeren Durchmesser besitzt also die übrigen Isoliermateriallagen (16, 18, 20, 22) und zu diesen konzentrisch vorgesehen ist.

7. Einrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktlage (24) eine Außenlage des mehrlagigen Prüfkörpers (12) bildet.

8. Einrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die elektronischen Schaltungsbausteine (80) an einem ringförmigen Schaltungsträger (78) aus elektrisch isolierendem Material angeordnet sind, der auf der Kontaktlage (24) angeordnet ist, wobei der Schaltungsträger (78) Anschlüsse (84) aufweist, die mit den zugehörigen Anschlußbahnen (48, 54, 58, 62, 64, 66) der Kontaktlage (24) elektrisch leitend verbunden sind.

9. Einrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Anschlüsse (84) des ringförmigen Schaltungsträgers (78) mit den zugehörigen Anschlußbahnen (48, 54, 58, 62, 64, 66) der Kontaktlage (24) mittels Verbindungsdrähten (86) elektrisch leitend verbunden sind.

10. Einrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Anschlüsse (84) des ringförmigen Schaltungsträgers (78) mit den zugehörigen Anschlußbahnen (48, 54, 58, 62, 64, 66) der Kontaktlage (24) durch Lötverbindungen (88) elektrisch leitend kontaktiert sind.

11. Verfahren zur Herstellung einer zur Bestimmung des Beschichtungszustandes eines Gegenstandes in einem galvanischen Bad, insbesondere des Beschichtungszustandes mindestens eines Durchgangsloches in einer Schaltungsplatine, vorgesehenen Einrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß eine Anzahl Isoliermateriallagen (16, 18, 20, 22, 24), die jeweils auf mindestens einer ihrer beiden Hauptflächen mit einer Metallschicht festhaftend bedeckt sind, einer Strukturierung unterzogen werden, bei welcher strukturierte Metallisierungen (30, 32, 34, 36, 38, 40) ausgebildet werden, daß die mit den strukturierten Metallisierungen ausgebildeten Isoliermateriallagen dann genau passend übereinander angeordnet und miteinander dicht und fest unter Ausbildung eines Mehrlagen-Printed-Board- Zwischenproduktes verbunden werden, daß anschließend das besagte Zwischenprodukt relativ zu den strukturierten Metallisierungen (30, 32, 34, 36, 38, 40) genau passend derart durchbohrt wird, daß sich jeweils ein Ringabschnitt (42) ergibt und weitere Bohrungen sich durch von den Ringabschnitten (42) wegerstreckende Verlängerungsabschnitte (44, 50, 56, 72, 76) hindurcherstrecken, daß danach die sich durch die Verlängerungsabschnitte erstreckenden Bohrungen mit Verbindungselementen (46, 52, 60, 70, 74) versehen werden, und daß dann das so entstandene Mehrlagen-Printed-Board-Produkt unter Ausbildung des Umfangsrandes (26, 28) abgedreht oder abgefräßt wird.

12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß Isoliermateriallagen (16, 18, 20, 22, 24) verwendet werden, die an ihren beiden Hauptflächen jeweils mit einer passend strukturierten Metallisierung (30, 32, 34, 36, 38, 40) versehen sind.

13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Isoliermateriallagen (16, 18, 20, 22, 24), die an ihren beiden Hauptflächen jeweils mit einer passend strukturierten Metallisierung (30, 32, 34, 36, 38, 40) versehen sind, Isoliermateriallagen angeordnet sind, die keine Metallisierung aufweisen.

14. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Isoliermateriallagen (16, 18, 20, 22, 24) Flächenabmessungen aufweisen, die um ein Vielfaches größer sind als die Abmessungen einer einzelnen fertigen Einrichtung zur Bestimmung des Beschichtungszustandes, wobei aus einem entsprechenden großflächigen Mehrlagen-Printed-Board- Zwischenprodukt nach Durchführung des Vielfach- Bohrarbeitsganges eine entsprechende Anzahl Einrichtungen ausgefräßt werden, die dann mit zugehörigem elektronischen Schaltungsbausteinen (80) kontaktiert werden.