DE4212077C2 - - Google Patents

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DE4212077C2
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Joerg Dr. O-6902 Jena De Fuchs
Wolfgang Prof. O-6902 Jena De Karthe
Thomas O-6901 Stiebritz De Martin
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    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
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    • GPHYSICS
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    • GPHYSICS
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