DE4208952C2 - Supraleitende Verbindungseinrichtung zwischen zwei Leiterelementen aus Hochtemperatursupraleitermaterial - Google Patents
Supraleitende Verbindungseinrichtung zwischen zwei Leiterelementen aus HochtemperatursupraleitermaterialInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine supraleitende Verbin
dungseinrichtung zwischen einem ersten Leiterelement in ei
ner ersten Leitungsebene und einem zweiten Leiterelement in
einer davon verschiedenen, zweiten Leitungsebene, wobei die
Leiterelemente mindestens eine Schicht aus einem Supralei
termaterial mit hoher Sprungtemperatur und hoher kritischer
Stromdichte enthalten und jeweils in Richtung ihrer Lei
tungsebenen eine größere kritische Stromdichte als senkrecht
dazu aufweisen. Eine entsprechende supraleitende Verbin
dungseinrichtung ist in der Veröffentlichung "Appl. Phys.
Lett.", Vol. 56, No. 3, 4.6.1990, Seiten 2336 bis 2338 ange
deutet.
Supraleitende Metalloxide mit hohen Sprungtemperaturen Tc
von insbesondere über 77 K, die deshalb mit flüssigem Stick
stoff (LN2) bei Normaldruck gekühlt werden können, sind all
gemein bekannt. Entsprechende Metalloxide, bei denen es sich
insbesondere um Kuprate handelt, basieren beispielsweise auf
einem Stoffsystem des Typs Me1-Me2-Cu-O, wobei die Komponen
ten Me1 ein Seltenes Erdmetall oder Yttrium und Me2 ein Erd
alkalimetall zumindest enthalten. Hauptvertreter von diesem
Typ ist das vierkomponentige Stoffsystem Y-Ba-Cu-O (Abkür
zung: YBCO). Daneben weisen auch Phasen von fünf- oder höher
komponentigen, seltenerdfreien Kupraten wie z. B. auf Basis
des Stoffsystems Bi-Sr-Ca-Cu-O (Abkürzung; BSCCO) oder T1-
Ba-Ca-Cu-O Sprungtemperaturen TC von deutlich über 77 K auf.
Es ist gelungen, insbesondere mittels spezieller PVD- oder
CVD-Prozesse dünne Schichten aus diesen Hochtemperatur(HTS)-
Materialien herzustellen, die eine hohe kritische Stromdich
te gewährleisten. Man ist deshalb bestrebt, mit solchen
Schichten supraleitende Strukturen wie z. B. SQUIDs oder Spu
len oder HF-Elemente auszubilden. Solche Dünnschichtstruktu
ren weisen Leiterteile oder -elemente auf, die mit weiteren
Leiterelementen so kontaktiert werden sollten, daß die hohe
kritische Stromdichte auch im Kontaktbereich zumindest weit
gehend erhalten bleibt. Hierbei tritt jedoch die Problematik
auf, daß die bekannten metalloxidischen HTS-Materialien nur
eine kurze Kohärenzlänge und eine starke kristalline Aniso
tropie aufweisen. Das heißt, Dünnschichten aus diesen HTS-
Materialien, die hohe kritische Stromdichten ermöglichen,
müssen deshalb so texturiert sein, daß ihre für die Strom
führung verantwortlich zu machenden Cu-O-Ebenen zumindest
annähernd in der Ebene liegen, in der sich die stromführen
den Leiterteile der Dünnschicht erstrecken. Senkrecht zu
dieser Leitungsebene bzw. zu der Stromführungsrichtung ist
nämlich die kritische Stromdichte wesentlich geringer.
Will man nun zwei in verschiedenen Leitungsebenen liegende
Leiterteile aus einem HTS-Material mit jeweils hoher kriti
scher Stromdichte in diesen Ebenen miteinander verbinden, so
besteht die Schwierigkeit, daß der Strom am Kontakt entweder
entlang einer für die kritische Stromdichte ungünstigen Kri
stallrichtung der HTS-Kristalle oder über eine sogenannte
Korngrenze fließen muß. Beides führt zu einer Schwachstelle
der Stromtragfähigkeit, die man im allgemeinen durch eine
Überdimensionierung der Kontaktflächen auszugleichen ver
sucht.
Entsprechende Probleme sind auch bei der aus der eingangs
genannten Literaturstelle aus "Appl. Phys. Lett.", Vol. 56
zu entnehmenden supraleitenden Verbindungseinrichtungen
gegeben. Mit dieser Einrichtung sollen zwei in parallelen,
durch eine SrTiO3-Isolationsschicht getrennten Leitungs
ebenen liegende Leiterelemente aus dem YBCO-Material mit
einander verbunden werden. Die beiden Leiterelemente sind
dabei im Kontaktbereich so unmittelbar aneinandergefügt,
daß ihre kristallinen Ebenen hoher kritischer Stromdichte
parallel zueinander liegen. Deshalb muß auch hier der
Strom über die ungünstigere Kristallrichtung fließen.
Aus der DE 38 11 051 C2 ist ein supraleitendes Kabel mit
mindestens einer Leiterader zu entnehmen, die einen
Stützkörper aufweist, um den ein bandförmiger Leiter mit
HTS-Material schraubenförmig gewickelt ist. Der bandför
mige Leiter kann dabei im Querschnitt gesehen stufenförmig
ausgebildet sein, um so einen Überlapp benachbarter Leiter
jeweils etwa zur Hälfte zu ermöglichen. Probleme einer
ungünstigen Kristallorientierung und damit verbunden Be
einträchtigung der Stromtragfähigkeit spielen dabei keine
Rolle, da bei dem bekannten Leiter der Stromtransport
nicht in Richtung über seine Stufe erfolgt.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es deshalb, die su
praleitende Verbindungseinrichtung mit den eingangs ge
nannten Merkmalen dahingehend auszugestalten, daß keine
wesentliche Beeinträchtigung der Stromtragfähigkeit im
Kontaktbereich gegeben ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß
mindestens eines der Leiterelemente mittels eines ent
sprechend aufgebauten Leiterstücks über eine gegenüber
seiner Leitungsebene geneigte Schräge auf das Niveau einer
für das jeweils andere Leiterelement und das Leiterstück
gemeinsamen Kontaktierungsebene geführt ist und daß in
dieser Kontaktierungsebene das andere Leiterelement und
das Leiterstück an jeweils stirnseitigen Kontaktflächen
miteinander kontaktiert sind.
Bei den erfindungsgemäßen Maßnahmen wird von der Tatsache
Gebrauch gemacht, daß texturierte, d. h., eine zumindest
weitgehend geordnete Kristallstruktur aufweisende Dünn
schichten aus metalloxidischen HTS-Materialien mit senkrecht
bezüglich der Schichtebene ausgerichteten c-Kristallachsen
praktisch störungsfrei hinsichtlich ihrer Kristallorientie
rung über einen kantenförmig ausgebildeten Grenzbereich zwi
schen der Schichtebene und einer gegenüber dieser Ebene nur
leicht geneigten Flanke oder Schräge hinwegwachsen können.
Erst bei stärker geneigten Flanken werden dort nämlich Korn
grenzen ausgebildet. Auf diese Weise ist es möglich, das
Leiterstück aus der Leitungsebene eines der Leiterelemente
auf das Niveau der Kontaktebene, die insbesondere die Lei
tungsebene des anderen Leiterelementes sein kann, zu brin
gen, ohne daß die für eine Stromführung günstige Kristall
ordnung der Cu-O-Ebenen in den HTS-Kristallen wesentlich ge
stört wird. In der Kontaktierungsebene können dann das dort
befindliche Leiterelement und das Leiterstück so zusammen
wachsen, daß ihre Cu-O-Ebenen in etwa ineinander übergehen.
Die mit den erfindungsgemäßen Maßnahmen verbundenen Vorteile
sind dann insbesondere darin zu sehen, daß im Kontaktbereich
die hohe kritische Stromdichte in Stromführungsrichtung zu
mindest weitgehend zu gewährleisten ist.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Verbin
dungseinrichtung gehen aus den abhängigen Ansprüchen hervor.
Zur weiteren Erläuterung der Erfindung wird nachfolgend auf
die Zeichnung Bezug genommen, in deren Fig. 1 der prinzi
pielle Aufbau der erfindungsgemäßen Verbindungseinrichtung
schematisch veranschaulicht ist. Fig. 2 zeigt schematisch
ein Ausführungsbeispiel mit einer solchen Verbindungsein
richtung. In den Figuren sind sich entsprechende Teile mit
denselben Bezugszeichen versehen.
Die in Fig. 1 im Schnitt gezeigte, allgemein mit 2 bezeich
nete Verbindungseinrichtung ist zwischen zwei Leiterelemen
ten 3 und 4 ausgebildet, die sich in zwei verschiedenen,
beispielsweise zueinander parallel liegenden Ebenen E1 und
E2 befinden. Diese Ebenen sind nachfolgend als Leitungsebe
nen bezeichnet und stellen jeweils die Ebenen dar, auf denen
das jeweilige Leiterelement abgeschieden wird. Eines der
Leiterelemente, z. B. das Element 4, enthält ein Leiterstück
5, d. h., bildet mit diesem Leiterstück ein gemeinsames Bau
teil. Dieses Leiterstück ist über eine Schräge 6 auf das Ni
veau der Leitungsebene E1 des anderen Leiterelementes 3 ge
führt. Diese Ebene E1 stellt eine gemeinsame Kontaktierungs
ebene dar. Jedes der Leiterelemente 3 und 4 sowie das Lei
terstück 5 weisen einen Dünnschicht-Aufbau mit einer Dicke D
zwischen beispielsweise 10 nm und 1 µm aus einem bekannten
metalloxidischen Supraleitermaterial mit hoher Sprungtempe
ratur Tc von insbesondere über 77 K auf. Die Zusammensetzung
entsprechender HTS-Materialien basiert dabei auf einem me
tallische Komponenten und Sauerstoff enthaltenden Stoffsy
stem. Als Ausführungsbeispiel sei aus dem speziellen Stoff
system Y-Ba-Cu-O das HTS-Material YBa2Cu3O7-x (mit
0 ≦ x < 1) ausgewählt. Die Materialien für die erfindungsge
mäße Verbindungseinrichtung sind jedoch nicht auf dieses
spezielle Stoffsystem beschränkt; d. h., es sind ebensogut
auch andere mehrkomponentige oxidkeramische HTS-Supraleiter
materialien, welche diesem speziellen Stoffsystem nicht zu
zurechnen sind und zumindest teilweise andere und/oder zu
sätzliche metallische Komponenten und Sauerstoff enthalten.
Ein Ausführungsbeispiel hierzu wäre das Bi2Sr2Ca2Cu3O10+y
(mit 0,1 < y < 0,5).
Die Leiterelemente 3 und 4 einschließlich des Leiterstücks 5
sind epitaktisch auf einer oder mehreren Unterlagen a und b
abgeschieden und sollen jeweils eine hohe kritische Strom
tragfähigkeit (Stromdichte) in der Größenordnung von minde
stens 104 A/cm2 in der Nähe der Sprungtemperatur TC des ge
wählten HTS-Materials gewährleisten. Sie sind deshalb so
texturiert, daß ihre für die hohe Stromtragfähigkeit verant
wortlichen Cu-O-Kristallebenen in kristallinen a-b-Ebenen
zumindest in etwa parallel zur jeweiligen Unterlage liegen.
Diese stromführenden Kristallebenen sind in der Figur durch
dünne Linien 8 nicht maßstabgerecht veranschaulicht.
Bei den Unterlagen 7a und 7b kann es sich insbesondere um an
sich bekannte Substrate handeln, auf denen das HTS-Material
nach bekannten Verfahren epitaktisch aufwachsen kann. Ent
sprechende Substratmaterialien, deren jeweilige kristalline
Einheitszelle vorteilhaft an die entsprechenden Abmessungen
der Einheitszelle des verwendeten HTS-Materials angepaßte
Maße hat, sind z. B. SrTiO3, BaTiO3, LaAlO3, NdAlO, NdGaO3,
MgO, MgAl2O4 oder Y-stabilisiertes ZrO2. Auch ist als Sub
strat Si, das zudem noch dotiert oder als Si-Verbindung vor
liegen kann, geeignet, wenn es im allgemeinen mit einer dif
fusionshemmenden Zwischenschicht, einer sogenannten "Buffer
layer", abgedeckt ist. Als Si-Substrat kann dabei auch eine
Si-Schicht auf Saphir dienen. Für das Ausführungsbeispiel
seien im folgenden SrTiO3-Substrate als Unterlagen ausge
wählt.
Da das das obere Leiterelement 4 verlängernde Leiterstück 5
von der oberen Leitungsebene E2 auf die untere Leitungsebene
E1 führen soll, bildet es eine Stufe aus, die in Fig. 1 mit
9 bezeichnet ist. Die die Stufenhöhe h bestimmende gegensei
tige Entfernung der beiden Ebenen E1 und E2 kann dabei z. B.
zwischen 100 nm und 1 µm liegen. Die Stufe 9 kann beispiels
weise durch entsprechende Ätzung in einem Substrat erzeugt
werden. Zwischen einer Stufenoberkante 10 an der Leitungs
ebene E2 und einer Stufenunterkante 11 an der Leitungsebene
E1 weist die Stufe die Schräge 6 auf. Dort schließt die Nor
male N auf die Schräge 6 mit der Normalen N' auf die Ebene
E1 (oder E2) einen vorbestimmten, spitzen Winkel α ein.
Dieser Winkel α ist dabei so klein gewählt, daß die Ausbil
dung von Korngrenzen an den Kanten 10 und 11 unterdrückt
ist. Im allgemeinen liegt deshalb α unter 20°, vorzugsweise
unter 10°.
Die in der Leitungs- bzw. Kontaktierungsebene E1 liegenden,
einander zugewandten Enden des unteren Leiterelementes 3 und
des Leiterstücks 5 des oberen Leiterelementes 4 können nun
mit ihren Kontaktflächen F1 und F2 in an sich bekannter Wei
se so aneinandergefügt werden, daß in einem Kontaktbereich
13 die Ausrichtung der stromführenden Cu-O-Ebenen 8 zumin
dest weitgehend erhalten bleibt. Dabei können im Kontaktbe
reich 13 geringe Versetzungen der Cu-O-Ebenen 8 auftreten.
Derartige mögliche Versetzungen sind in der Figur übertrie
ben stark dargestellt. Eine besondere thermische Behandlung,
mit der ein entsprechendes Zusammenwachsen der aneinander
gefügten Teile bewirkt wird, ist im allgemeinen nicht nötig.
Das Leiterstück 5 wächst nämlich bei den üblichen Deposi
tionsbedingungen für das Leiterelement 4 normalerweise in
der gewünschten Weise an das untere Leiterelement 3 an. Ge
gebenenfalls ist ein vorhergehendes kurzes Absputtern des
unteren Leiterelementes 3 mit Hilfe von Ar-Ionen zur Reini
gung der Kontaktfläche vorteilhaft.
Abweichend von dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbei
spiel kann das Leiterelement 4 an der oberen Stufenkante 10
auch allmählich in das Leiterstück 5 auf der Schräge 6 über
gehend ausgebildet sein. Ein entsprechender Übergang ist
selbstverständlich auch an der unteren Stufenkante 11 mög
lich. In einem solchen Fall ist selbstverständlich auch ein
größerer Neigungswinkel α möglich.
Außerdem muß die Stufe 9 auch nicht unbedingt in ein als Un
terlage für das Leiterstück 5 dienende Substrat eingeätzt
sein. Vielmehr kann es sich um einen beliebigen, entspre
chend strukturierten Unterbau handeln, auf dem das Leiter
stück an das Leiterelement 3 oder das Leiterelement 4 heran
geführt wird.
Ferner läßt sich das Leiterstück 5 auch als ein diskretes
Bauteil ausbilden, das zwischen die Leiterelemente 3 und 4
eingefügt und somit an zwei Kontaktbereichen mit diesen Ele
menten erfindungsgemäß verbunden ist.
Darüber hinaus brauchen der somit mindestens eine Kontaktbe
reich 13 bzw. seine entsprechenden Kontaktflächen F1 und F2
auch nicht genau senkrecht bezüglich der Kontaktierungsebene
E1 oder E2 ausgerichtet zu sein. Gegebenenfalls sind sogar
Kontaktflächen von Vorteil, die mit der jeweiligen Kontak
tierungsebene einen Winkel einschließen, der deutlich klei
ner als 90° ist. Auf diese Weise läßt sich ein verhältnis
mäßig großflächiger Kontakt erhalten.
Statt der jeweils nur aus einer einzigen Dünnschicht aus dem
HTS-Material bestehenden supraleitenden Leiterteile 3, 4 und
5 können selbstverständlich mit der Verbindungseinrichtung
nach der Erfindung auch vergleichsweise dickere Leiterele
mente, die z. B. sandwichartig aufgebaute stromführende
Schichten enthalten, entsprechend kontaktiert werden.
Fig. 2 zeigt als einen Ausschnitt einer beispielsweise
ringähnlichen supraleitenden Struktur 15 in Schrägansicht
eine Verbindungseinrichtung 16 nach der Erfindung zwischen
einem HTS-Leiterelement bzw. einem Leiterteil 17 in einer
unteren Leitungsebene E1 und einem HTS-Leiterelement 18 in
einer oberen Leitungsebene E2. Das untere Leiterelement 17
ist dabei von einer Isolationsschicht z. B. aus epitaktisch
gewachsenem, einkristallinem SrTiO3 oder aus LaAl2O3 abge
deckt. Als ein zwischen diesen Leiterelementen 17 und 18
verlaufendes, entsprechend den Leiterelementen ausgebildetes
Leiterstück 20 dient ein stufenartig strukturierter Strei
fenleiter. Zum Anfügen und Kontaktieren dieses Streifenlei
ters an dem Leiterelement 17 kann man beispielsweise in die
ses Leiterelement und seine darauf befindliche Isolations
schicht 19 eine Stufe 21 einarbeiten, z. B. einätzen. In der
Figur stellen wiederum dünne Linien 8 die für die Stromfüh
rung mit hoher kritischer Stromdichte verantwortlichen Cu-O-
Kristallebenen dar. Außerdem ist ein von der oberen Lei
tungsebene E2 in die untere Leitungsebene E1 über das Lei
terstück 20 geleiteter Strom I durch eine gepfeilte Linie
veranschaulicht.
Claims (8)
1. Supraleitende Verbindungseinrichtung zwischen einem er
sten Leiterelement in einer ersten Leitungsebene und einem
zweiten Leiterelement in einer davon verschiedenen, zweiten
Leitungsebene, wobei die Leiterelemente mindestens eine
Schicht aus einem Supraleitermaterial mit hoher Sprungtempe
ratur und hoher kritischer Stromdichte enthalten und jeweils
in Richtung ihrer Leitungsebenen eine größere kritische
Stromdichte als senkrecht dazu aufweisen, dadurch
gekennzeichnet, daß mindestens eines (4, 18)
der Leiterelemente (3, 17 oder 4, 18) mittels eines entspre
chend aufgebauten Leiterstücks (5, 20) über eine gegenüber
seiner Leitungsebene (E2) geneigte Schräge (6) auf das Ni
veau einer für das jeweils andere Leiterelement (3, 17) und
das Leiterstück (5, 20) gemeinsamen Kontaktierungsebene (E1)
geführt ist und daß in dieser Kontaktierungsebene (E1) das
andere Leiterelement (3, 17) und das Leiterstück (5, 20) an
jeweils stirnseitigen Kontaktflächen (F1, F2) miteinander
kontaktiert sind.
2. Verbindungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die stirnseitigen Kon
taktflächen (F1, F2) bei der Abscheidung des Leiterstücks
(5, 20) zusammengewachsen sind.
3. Verbindungseinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, da
durch gekennzeichnet, daß in einem Kon
taktbereich (13) zwischen den Kontaktflächen (F1, F2) eine
geordnete Kristallstruktur des anderen Leiterelementes (3,
17) und des Leiterstücks (5, 20) zumindest annähernd einge
halten ist.
4. Verbindungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß die Kon
taktflächen (F1, F2) mit der Kontaktierungsebene (E1) einen
Winkel < 90° einschließen.
5. Verbindungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß der Nei
gungswinkel (α) der Schräge (6) gegenüber den Leitungsebe
nen (E1, E2) höchstens 20°, vorzugsweise höchstens 10° be
trägt.
6. Verbindungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
gekennzeichnet durch ein Leiterstück
(5, 20), das mit einem Leiterelement (4, 18) ein gemeinsames
Bauteil bildet.
7. Verbindungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
gekennzeichnet durch ein Leiterstück,
das als ein diskretes Bauteil zwischen die Leiterelemente
eingefügt ist.
8. Verbindungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
gekennzeichnet durch eine um einen vor
bestimmten Winkel (α) geneigte Schräge (6).
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19924208952 DE4208952C2 (de) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | Supraleitende Verbindungseinrichtung zwischen zwei Leiterelementen aus Hochtemperatursupraleitermaterial |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
DE19924208952 DE4208952C2 (de) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | Supraleitende Verbindungseinrichtung zwischen zwei Leiterelementen aus Hochtemperatursupraleitermaterial |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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DE4208952A1 DE4208952A1 (de) | 1993-09-23 |
DE4208952C2 true DE4208952C2 (de) | 1999-04-29 |
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ID=6454530
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DE19924208952 Expired - Fee Related DE4208952C2 (de) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | Supraleitende Verbindungseinrichtung zwischen zwei Leiterelementen aus Hochtemperatursupraleitermaterial |
Country Status (1)
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Families Citing this family (1)
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---|---|---|---|---|
DE102015010634A1 (de) * | 2015-08-12 | 2017-02-16 | Karlsruher Institut für Technologie | Verbinder für supraleitfähige Leiter und Verwendung des Verbinders |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3811051C2 (de) * | 1988-03-31 | 1992-02-20 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen, De |
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1992
- 1992-03-19 DE DE19924208952 patent/DE4208952C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3811051C2 (de) * | 1988-03-31 | 1992-02-20 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen, De |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
WELLSTOOD, F.C. et al.: Superconducting thin-film multiturn coils of YBa2Cu307-x In: Appl. Phys. Lett. 56(23) 4. Juni 1990, S. 2336-2338 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4208952A1 (de) | 1993-09-23 |
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