DE4137533A1 - Positioniertischanordnung - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung geht aus von einem Positionierele­ ment gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und betrifft im besonderen eine Positioniertischanordnung zur Positionierung eines Tisches an einen gewünschten Ort mit hoher Genauigkeit.

In einer typischen Positioniertischanordnung nach dem Stand der Technik enthält ein mit einem Tisch starr verbundener Motor eine Welle, die mit einer Kugelumlaufspindel derart verbunden ist, daß der Tisch in eine von der Drehrichtung des Motors abhängige gewünschte Richtung bewegt werden kann. Ein derartiger Aufbau ist jedoch im allgemeinen sperrig und der am Tisch montierte Motor neigt dazu, aufgrund seines großen Gewichts eine akkurate Steuerung der Positionierung zu behindern. Damit ist die Notwendigkeit entstanden, eine neuartige und in ihren Ausmaßen kompakte Positioniertisch­ anordnung hoher Genauigkeit zu entwickeln.

Durch die vorliegende Erfindung wird eine verbesserte Posi­ tioniertischanordnung geschaffen, welche für gewöhnlich ein Paar von zueinander parallel verlaufenden voneinander beab­ standeten Führungsschienen, einen zwischen dem Paar von Fuh­ rungsschienen angeordneten Tisch und eine Vielzahl von roll­ fähigen oder Wälzlagerelementen enthält, die zwischen den Tisch und jede der Führungsschienen angeordnet ist, um einen rollenden Kontakt zwischen dem Tisch und jeder der Führungs­ schienen herzustellen. Der Tisch besteht im wesentlichen aus zwei Bereichen, nämlich einem äußeren (oder Rahmen-)Bereich und einem in dem äußeren Bereich befindlichen mittleren (oder Kern-)Bereich, wobei der Tisch einen einstückigen Aufbau haben kann.

In einer bevorzugten Ausführungsform ist der Tisch mit einer Vielzahl von äußeren Schlitzen an und entlang seiner vier Seiten ausgebildet, womit der Tisch in den äußeren Bereich und den mittleren Bereich unterteilt wird. Durch die Anbrin­ gung dieser äußeren Schlitze kann der mittlere Bereich relativ zu dem äußeren Bereich ausgelenkt werden, obwohl der mittlere Bereich einstückig mit dem äußeren Bereich verbunden ist. In mindestens einer dieser äußeren Schlitze ist mindestens eine Verstelleinrichtung, vorzugsweise ein piezoelektrisches Bau­ element, derart angeordnet, daß der mittlere Bereich relativ zu dem äußeren Bereich ausgelenkt werden kann, wenn das piezoelektrische Element aktiviert wird.

Der Tisch ist zusätzlich mit einem mittleren Schlitz ausge­ bildet, der sich in einer gewünschten Orientierung erstreckt. Eine Antriebseinrichtung, typischerweise eine Motorwelle eines Antriebsmotors erstreckt sich durch den mittleren Schlitz. Normalerweise besteht kein Kontakt zwischen der Antriebsein­ richtung und irgendeiner Wandfläche des mittleren Schlitzes des Tisches. Wenn die Verstelleinrichtung zur Auslenkung des mittleren Bereichs relativ zu dem äußeren Bereich aktiviert wird, so kommt die Wandfläche des mittleren Schlitzes in Rei­ bungskontakt mit der Antriebseinrichtung, die sich norma­ lerweise in Drehbewegung befindet, so daß der Tisch infolge einer durch den Reibungskontakt zwischen der Antriebsein­ richtung und dem Tisch übertragenen Antriebskraft in eine Bewegung entlang der Führungsschienen versetzt wird.

Wenn das piezoelektrische Bauelement deaktiviert wird, kehrt der mittlere Bereich relativ zu dem äußeren Bereich durch eine als Rückfederung wirkende und zwischen dem mittleren und dem äußeren Bereich angebrachte Verbindung in seine Ausgangsposi­ tion zurück, so daß die Antriebseinrichtung von der Wandfläche des mittleren Schlitzes getrennt wird. Damit wird der Tisch relativ zu den Führungsschienen zum Halten gebracht.

Ein erstes Ziel der vorliegenden Erfindung ist es daher, die oben beschriebenen Nachteile des Standes der Technik zu um­ gehen und eine verbesserte Positioniertischanordnung zu schaffen.

Ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, eine ver­ besserte, in ihren Ausmaßen kompakte Positioniertischanord­ nung hoher Genauigkeit zu schaffen.

Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, eine verbesserte Positioniertischanordnung anzugeben, die sich durch Einfachheit in Aufbau und Herstellung auszeichnet, und damit kostengünstig ist.

Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Dabei werden noch weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung zur Sprache kommen. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Draufsicht einer Positioniertischanordnung gemäß einer ersten Ausfüh­ rungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 eine schematische Darstellung einer teilweisen Quer­ schnittsansicht der relativen Beziehung zwischen einem Tisch und einem Antriebsmotor in der Anordnung von Fig. 1;

Fig. 3 eine schematische Darstellung einer Draufsicht eines Tisches gemäß einer anderen Ausführungsform der Er­ findung;

Fig. 4 eine schematische Darstellung einer Draufsicht der Struktur eines Tisches in etwas vergrößertem Maßstab gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung an einer mit der gestrichelten Linie in Fig. 1 bezeichneten Ecke; und

Fig. 5 eine schematische Darstellung einer auseinanderge­ zogenen perspektivischen Ansicht einer X-Y-Positionier­ tischanordnung gemäß einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

In Fig. 1 ist eine Positioniertischanordnung gemäß einer Aus­ führungsform der vorliegenden Erfindung schematisch darge­ stellt. Die vorliegende Positioniertischanordnung enthält ge­ wöhnlich ein Paar von zueinander parallel verlaufenden und voneinander beabstandeten Führungsschienen 1 und 2, einen zwischen das Paar von Führungsschienen 1 und 2 angeordneten Tisch 5, und eine Vielzahl von zwischen den Tisch 5 und jede der Führungsschienen 1 und 2 angeordneten rollfähigen oder Wälzlagerelementen 4. Der Tisch 5 ist damit relativ zu den Führungsschienen 1 und 2 in einer Richtung parallel zu der longitudinalen Richtung der Schienen 1 und 2 beweglich.

Wie am besten in Fig. 5 zu sehen ist, besitzen die Führungs­ schienen 1 und 2 eine längliche Struktur und sind jeweils mit einer äußeren Führungsrille 1a und 2a an ihrer inneren Ober­ fläche ausgebildet. Eine Vielzahl von Rollelementen 4 (4₁-4 _n) als rollfähige oder Wälzlagerelemente sind in den äußeren Führungsrillen 1a und 2a angeordnet und werden in ihrer Position durch eine Halteplatte 3 gehalten. In der darge­ stellten Ausführungsform ist die Halteplatte 3 mit einer Vielzahl von Fenstern 3a (3a₁-3a_n) in einem vorbestimmten Teilungsabstand versehen und diese Fenster 3 sind derart aus­ gebildet, daß die Rollelemente 4 teilweise freigelegt sind, wobei die Drehachsen jeder zwei benachbarten Rollelemente 4 von einer longitudinalen Achse einer der Schienen 1 oder 2 aus betrachtet senkrecht zueinander verlaufen. Eine End­ schraube 7 oder 8 ist in jedes Ende der Führungsschienen 1 und 2 geschraubt, um als Anschlag für die Halteplatte 3 zu dienen.

Der Tisch 5 hat andererseits im allgemeinen eine rechteckige Form und seine gegenüberliegenden seitlichen Oberflächen sind jeweils mit inneren Führungsrillen 5a und 5b ausgebildet, so daß jene Bereiche der Rollelemente 4, die durch die Fenster 3 freigelegt werden, durch die entsprechenden inneren Führungs­ rillen 5a und 5b des Tisches 5 aufgenommen werden können. Damit wird ein rollender Kontakt zwischen dem Tisch 5 und den Führungsschienen 1 und 2 geschaffen, so daß der Tisch 5 sich relativ zu und entlang der Führungsschienen 1 und 2 in jeder Richtung bewegen kann.

In der dargestellten Ausführungsform hat der Tisch 5 die Form einer Platte und ist im wesentlichen in zwei Bereiche geteilt, nämlich einen mittleren oder Kernbereich 5i und einen äußeren Bereich 5p, welcher den mittleren Bereich 5i umgibt. In dem in Fig. 1 gezeigten Aufbau ist die Platte 5 durch die Ausbil­ dung einer Vielzahl von äußeren Schlitzen, wie 5d und 5h in den mittleren und äußeren Bereich 5i und 5p geteilt. Im ein­ zelnen ist der Tisch 5 in Fig. 1 mit einem Paar von relativ breiten äußeren Schlitzen 5d1 und 5d2 und einem Paar von relativ schmalen äußeren Schlitzen 5h1 und 5h2 versehen. Der relativ breite äußere Schlitz 5d1 ist an seinen beiden Enden mit kreisförmigen Löchern 5f1 und 5f2 jeweils durch relativ schmale Schlitze 5e1 und 5e2 verbunden. Entsprechend ist der relativ breite Schlitz 5d2 an seinen beiden Enden mit kreis­ förmigen Löchern 5f3 und 5f4 jeweils über relativ schmale Schlitze 5e3 und 5e4 verbunden. Andererseits ist der relativ schmale äußere Schlitz 5h1 direkt mit kreisförmigen Löchern 5g1 und 5g3 an seinen beiden Enden verbunden. Entsprechend ist der relativ schmale äußere Schlitz 5h2 direkt mit kreis­ förmigen Löchern 5g2 und 5g4 an seinen beiden Enden verbun­ den. Damit ist die Platte 5 funktionell in zwei Bereiche ge­ teilt, den mittleren Bereich 5i und den äußeren Bereich 5p, die nach wie vor über vier Verbindungsbereiche mit den Brei­ ten 11-14 miteinander verbunden sind, die als elastische, rückfedernde Verbindungen dienen. Mit diesem Aufbau kann der mittlere Bereich 5i relativ zu dem äußeren Bereich 5p ver­ schoben werden und der mittlere Bereich 5i kann infolge der federnden Eigenschaft der Verbindungsbereiche in seine Aus­ gangsposition zurückkehren.

Der mittlere Bereich 5i des Tisches 5 ist zusätzlich mit einem mittleren Schlitz 5c ausgebildet, der sich in der vorliegen­ den Ausführungsform parallel zu den relativ breiten Schlitzen 5d1 und 5d2 erstreckt. Wie gezeigt in Fig. 1, erstreckt sich eine Mitnahmewelle 6a eines Antriebsmotors 6 in das mittlere Loch 5c in eine Richtung senkrecht zu der Ebene des Tisches 5. Die Breite des mittleren Schlitzes 5c ist derart bemessen, daß sie ein wenig größer als der Durchmesser der Mitnahmewel­ le 6a ist. In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Wand­ fläche des mittleren Schlitzes 5c mit einem Antigleitmittel beschichtet oder bedeckt, um einen optimalen Reibungskontakt zwischen der Mitnahmewelle 6a und dem Tisch 5 herzustellen. Ein solches Antigleitmittel kann entweder an beiden oder nur an einem der Elemente der Mitnahmewelle 6a und Wandfläche des mittleren Schlitzes 5c angebracht werden. Wenn ein optimaler Reibungskontakt zwischen der Mitnahmewelle 6a und der Wand­ fläche des mittleren Schlitzes 5c erzielt werden kann, be­ steht keine Notwendigkeit für den Einsatz eines solchen Anti­ gleitmittels. Wie weiter unten im Detail beschrieben wird, ist die Mitnahmewelle 6a unter Normalbedinungen nicht in Kon­ takt mit der Wandfläche des mittleren Schlitzes 5c und ist somit von dem Tisch 5 getrennt. Wenn jedoch der mittlere Be­ reich 5i relativ zu dem äußeren Bereich 5p verstellt wird, so wird die Wandfläche des mittleren Schlitzes 5c in Reibungs­ kontakt mit der Mitnahmewelle 6a gebracht, so daß eine An­ triebskraft von dem Motor 6 an den Tisch 5 übertragen wird.

Wie gezeigt in Fig. 1, ist ein Paar von piezoelektrischen Bau­ elementen A1 und A2 am Tisch 5 montiert, indem sie von dem länglichen, relativ breiten Schlitz 5d1 in einem Abstand von­ einander aufgenommen werden. Entsprechend wird ein anderes Paar von piezoelektrischen Bauelementen B1 und B2 am Tisch 5 befestigt, indem diese von dem länglichen, relativ breiten Schlitz 5d2 aufgenommen werden. Diese piezoelektrischen Bau­ elemente A und B dehnen sich aus und ziehen sich zusammen, abhängig davon, ob sie von einer Steuerschaltung wie einen Mikroprozessor (nicht gezeigt) aktiviert oder deaktiviert werden, und damit fungieren diese Bauelemente A und B als Auslenkeinrichtung zur Auslenkung des mittleren Bereichs 5i relativ zu dem äußeren Bereich 5p. In der dargestellten Ausführungsform sind alle piezoelektrischen Bauelemente A und B identisch im Aufbau.

Wenn also die piezoelektrischen Bauelemente A1 und A2 akti­ viert werden, dehnen sie sich aus, so daß der mittlere Be­ reich 5i relativ zu dem äußeren Bereich 5p in die durch den Pfeil P in Fig. 1 angezeigte Richtung ausgelenkt wird, wo­ durch die Verbindungsbereiche 11 und 12 verbogen werden. Dem­ zufolge wird eine obere innere Wandfläche 5ca des mittleren Schlitzes 5c in Reibungskontakt mit der Mitnahmewelle 6a ge­ bracht, die sich in einer Drehbewegung mit einer durch den Pfeil angezeigten Drehrichtung befindet. Damit wird die An­ triebskraft von der Mitnahmewelle 6a zu dem Tisch 5 übertra­ gen, der dadurch eine Translationsbewegung in einer durch den Pfeil A angezeigten und durch die Führungsschienen 1 und 2 vorgegebene Richtung ausführt. Wenn umgekehrt die piezoelek­ trischen Bauelemente B1 und B2 aktiviert werden, wird der mittlere Bereich 5i dazu veranlaßt, sich in eine durch den Pfeil -P angezeigte Richtung auszulenken. Demzufolge wird eine untere innere Wandfläche 5cb des mittleren Schlitzes 5c in Reibungskontakt mit der sich drehenden Mitnahmewelle 6a gebracht, so daß der Tisch 5 als Ganzes sich in eine durch den Pfeil B angezeigte und durch die Führungsschienen 1 und 2 vorgegebene Richtung bewegt.

Wenn andererseits die piezoelektrischen Bauelemente A und B gleichzeitig aktiviert werden, werden sowohl die obere als auch die untere Wandfläche 5ca und 5cb gleichzeitig in Rei­ bungskontakt mit der Mitnahmewelle 6a gebracht, so daß der Tisch 5 zum Halten gebracht wird. In diesem Sinne ist der mittlere Bereich 5i ebenso funktionell unterteilt in zwei Unterbereiche, die sich unabhängig voneinander verformen kön­ nen. Um diese Aufgabe erfüllen zu können, sollte der mittlere Schlitz 5c eine ausreichende Länge aufweisen, so daß eine Hälfte des mittleren Bereiches 5i sich unabhängig von der anderen Hälfte verbiegen kann. Auf diese Art wird der Tisch 5 durch Steuerung der Aktivierung der piezoelektrischen Bau­ elemente A und B in jede gewünschte Richtung entlang der Füh­ rungsschienen 1 und 2 bewegt oder an einer gewünschten Posi­ tion zum Halten gebracht.

In der Fachwelt bekannt und daher nicht besonders hervorge­ hoben ist ein lichtemittierendes Bauelement und ein licht­ empfangendes Bauelement, die zwischen den Führungsschienen 1 und 2 und dem Tisch 5 angebracht sind, um die Position des Tisches 5 relativ zu den Führungsschienen 1 und 2 zu erfassen. Ein Signal eines Photosensors, der das lichtempfangende Bau­ element enthält, wird einer Steuerschaltung zur Bestimmung der momentanen Position des Tisches 5 relativ zu den Füh­ rungsschienen 1 und 2 zugeführt.

Im Betrieb, wenn keine der piezoelektrischen Bauelemente A und B aktiviert sind, besteht kein Reibungskontakt zwischen der Mitnahmewelle 6a und der Wandfläche des inneren Schlitzes 5c, so daß der Tisch 5 sich nicht in Bewegung befindet. Wenn der Tisch 5 zu einer gewünschten Position entlang der Führungs­ schienen 1 und 2 bewegt werden soll, werden z. B. die piezo­ elektrischen Bauelemente A aktiviert, so daß der mittlere Bereich 5i des Tisches 5 sich in eine durch P angezeigte Richtung auslenkt, wodurch wiederum die obere innere Wand­ fläche 5ca des mittleren Schlitzes 5c in Reibungskontakt mit der sich drehenden Mitnahmewelle 6a gerät und dadurch der Tisch 5 dazu veranlaßt wird, sich in eine durch den Pfeil A angezeigte Richtung zu bewegen. Wenn andererseits eine Be­ wegung des Tisches 5 in eine durch den Pfeil B angezeigte Richtung gewünscht wird, werden die piezoelektrischen Bauele­ mente B aktiviert, so daß der mittlere Bereich 5i dazu veran­ laßt wird, sich in eine durch den Pfeil -P angezeigte Rich­ tung auszulenken. Wenn der Tisch zum Halten gebracht werden soll, werden, nachdem dem Motor 6 von der Steuerschaltung ein Stopp-Signal zugeführt wird, beide piezoelektrischen Bauele­ mente A und B aktiviert, um sowohl die obere als auch die untere Wandfläche 5ca und 5cb in Kontakt mit der Mitnahmewel­ le 6a zu bringen.

In Fig. 3 ist eine andere Ausführungsform des Tisches 5 dar­ gestellt, die in vielerlei Hinsicht mit der vorher beschrie­ benen ähnlich ist. In der vorliegenden Ausführungsform ist der mittlere Schlitz 5c an beiden Enden mit kreisförmigen Löchern 5c1 und 5c2 jeweils durch relativ schmale Schlitze verbunden. Demzufolge ist der mittlere Schlitz 5c den oberen und unteren äußeren Schlitzen ähnlich im Aufbau. Ein Paar von kreisförmigen Löchern 5j1 bis 5j4, jeweils verbunden durch einen relativ schmalen Schlitz, ist zwischen zwei benachbar­ ten kreisförmigen Löchern angebracht. In dieser Struktur sind acht schmale Verbindungsbereiche l5 bis l12 zwischen dem mittleren Bereich 5i und dem äußeren Bereich 5p geschaffen und dadurch ist die funktionelle Unterteilung des mittleren Bereichs 5i in eine obere und eine untere Hälfte stärker aus­ gepragt.

In der in Fig. 3 gezeigten Struktur wird der mittlere Bereich 5i, oder genauer seine obere Hälfte, in eine durch den Pfeil P angezeigte Richtung relativ zu dem äußeren Bereich 5p aus­ gelenkt, wenn die piezoelektrischen Bauelemente A aktiviert werden, um einen Reibungskontakt zwischen der Mitnahmewelle 6a (nicht gezeigt in Fig. 3) und einer oberen Wandfläche des inneren Schlitzes 5c herzustellen. Andererseits, wenn die piezoelektrischen Bauelemente B aktiviert werden, wird der mittlere Bereich 5i, oder genauer seine untere Hälfte, in eine durch den Pfeil -P angezeigte Richtung relativ zu dem äußeren Bereich 5p ausgelenkt.

In der Fig. 4 ist eine weitere Ausführungsform des Tisches 5 dargestellt. Diese Ausführungsform enthält im wesentlichen die gleiche Struktur wie die in Fig. 1 gezeigte Ausführungs­ form, ausgenommen die in Fig. 4 gezeigte Struktur. Der in Fig. 4 gezeigte Kreis entspricht dem durch die gestrichelte Linie in Fig. 1 bezeichneten Kreis. In der in Fig. 4 gezeig­ ten Struktur werden jeweils anstelle der kreisförmigen Löcher 5f1 und 5g1 profilierte Löcher 5k1 und 5l1 eingeformt. Jede der profilierten Löcher 5k1 und 5l1 hat einen herzförmigen Teil und damit hat der von diesen zwei profilierten Löchern 5k1 und 5l1 definierte Verbindungsbereich zwei eingeschnürte Bereiche. Eine solche Struktur gestattet die Herbeiführung einer verbesserten Auslenkbarkeit des mittleren Bereichs 5i.

In der Fig. 5 ist eine X-Y-Positioniertischanordnung darge­ stellt gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, in der eine Positionierung entlang zweier Achsen durchgeführt werden kann. Die in Fig. 5 gezeigte Struktur kann einfach durch Zusammensetzen eines Satzes von Tisch und zugehörigen Führungsschienen auf einen anderen Satz aufge­ baut werden, wobei sich die Richtungen der Bewegung der Tische von dem ersten Satz in Bezug auf den anderen unter­ scheiden, vorzugsweise senkrecht aufeinanderstehen. Da sowohl der obere als auch der untere Satz von Tisch und dazugehöri­ gen Schienen im Aufbau identisch zu der in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform ist, davon abgesehen, daß der Antriebsmotor 6 gemeinsam benutzt wird, wird zur Vermeidung von Wiederholun­ gen im folgenden keine detaillierte Erklärung zum Aufbau ge­ geben.

Wenn im Betrieb eine Bewegung des X-Tisches gewünscht wird, werden entsprechend einem Steuerbefehl von einem Steuer­ schaltkreis (nicht gezeigt) die piezoelektrischen Bauelemente A aktiviert, so daß der mittlere Bereich 5i in eine durch den Pfeil P angezeigte Richtung ausgelenkt wird, um einen Rei­ bungskontakt zwischen der sich drehenden Mitnahmewelle 6a und dem mittleren Bereich 5i herzustellen, womit der Tisch 5 in eine durch den Pfeil A angezeigte Richtung bewegt wird. Ande­ rerseits, wenn eine Bewegung des Tisches 5 in eine durch den Pfeil B angezeigte Richtung gewünscht wird, werden die piezo­ elektrischen Bauelemente B aktiviert, um den mittleren Bereich 5i in eine durch den Pfeil -P angezeigte Richtung auszulenken, so daß ein Reibungskontakt zwischen der sich drehenden Mit­ nahmewelle 6a und dem mittleren Bereich 5i hergestellt wird. Wenn der X-Tisch zum Halten gebracht werden soll, wird dem Antriebsmotor 6 ein Haltebefehl zugeführt und dann werden die piezoelektrischen Bauelemente A und B aktiviert, um die gegen­ überliegenden Wandflächen des mittleren Schlitzes 5c von bei­ den Seiten in Kontakt mit der Mitnahmewelle 6a zu bringen.

Auf ähnliche Weise wie oben beschrieben, kann der Y-Tisch, der unterhalb des X-Tisches in Fig. 5 gesetzt ist, an einen gewünschten Ort bewegt und an jedem gewünschten Ort zum Hal­ ten gebracht werden. Auf diese Art kann nach dem in Fig. 5 gezeigten Aufbau eine Positionierung nicht nur in einer Rich­ tung, in diesem Beispiel X, sondern auch in einer anderen Richtung, in diesem Beispiel Y, durchgeführt werden.

Während die vorstehenden Erläuterungen die bevorzugten Aus­ führungsformen der vorliegenden Erfindung vollständig offen­ baren, können auch alternative Konzepte, verschiedene Ab­ wandlungen und Äquivalente verwendet werden, ohne dabei von dem wahren Erfindungsgedanken und dem Schutzbereich der Er­ findung wegzugehen. Z.B. wurden in den oben beschriebenen Ausführungsformen piezoelektrische Bauelemente als Einrich­ tungen zur Auslenkung des mittleren Bereichs relativ zu dem äußeren Bereich eingesetzt; zu diesem Zweck können jedoch auch andere Einrichtungen, wie magnetostriktive Materialien, eingesetzt werden. Im übrigen wurden in den oben beschriebe­ nen Ausführungsformen Schlitze und Löcher zur Unterteilung des Tisches 5 in den mittleren und den äußeren Bereich ver­ wendet; der mittlere und der äußere Bereich können jedoch auch einzeln gefertigt werden und durch Verbindungseinrich­ tungen, wie Federn, miteinander verbunden werden. Darüber hinaus kann der Mechanismus der Relativbewegung zwischen dem Tisch und den dazugehörigen Führungsschienen auch durch einen anderen Aufbau, wie einen Mechanismus einer endlosen Umlauf­ verbindung mit Rollenkontakten oder einen Schleifkontakt­ mechanismus, herbeigeführt werden.

Daher sollte die obige Beschreibung und Erläuterung nicht als den Schutzumfang der Erfindung begrenzend aufgefaßt wer­ den, der durch die beigefügten Ansprüche festgelegt ist.

Claims (6)

1. Positioniertischanordnung, gekennzeichnet durch ein Paar von parallel zueinander verlaufenden und voneinander beabstandeten Führungsschienen (1, 2);
einen zwischen das Paar von Führungsschienen (1, 2) angeord­ neten Tisch (5), wobei der Tisch (5) einen mittleren Bereich (5i) und einen äußeren Bereich (5p) enthält, welcher den mitt­ leren Bereich (5i) umgibt und mit dem mittleren Bereich (5i) durch mindestens einen Verbindungsbereich (l_i) derart verbun­ den ist, daß der mittlere Bereich (5i) relativ zu dem äußeren Bereich (5p) auslenkbar ist, und der mittlere Bereich (5i) mit einem sich in einer Richtung parallel zu einer longitudi­ nalen Achse einer der Führungsschienen (1, 2) erstreckenden mittleren Schlitz (5c) ausgebildet ist;
eine Vielzahl von rollfähigen oder Wälzlagerelementen (4), welche zwischen das Paar von Führungsschienen (1, 2) und den Tisch (5) angeordnet sind, um einen Rollkontakt zwischen den Führungsschienen (1, 2) und dem Tisch (5) herzustellen;
eine Auslenkeinrichtung (A₁, A₂; B₁, B₂), welche an dem Tisch (5) zur Auslenkung des mittleren Bereichs (5i) relativ zu dem äußeren Bereich (5p) montiert ist; und
eine Antriebseinrichtung mit einem sich drehenden Bereich (6), der sich in den mittleren Schlitz (5c) erstreckt.

2. Positioniertischanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Tisch (5) in Form einer Platte mit vier Seiten und einer Vielzahl von äußeren Schlitzen entlang den und in der Nähe der vier Seiten des plattenförmigen Tisches (5) ausgebildet ist, wodurch der Tisch (5) in einen mittleren Bereich (5i) und einen äußeren Bereich (5p) unter­ teilt wird.

3. Positioniertischanordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Auslenkeinrichtung (A₁, A₂; B₁, B₂) in mindestens einigen dieser äußeren Schlitze angeordnet ist, welche sich parallel zu den longitudinalen Achsen jeder der beiden Führungsschienen (1, 2) erstrecken.

4. Positioniertischanordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der mittlere Schlitz (5c) sich ebenso parallel zu der longitudinalen Achse von jeder der Führungs­ schienen (1, 2) erstreckt.

5. Positioniertischanordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Auslenkeinrichtung (A₁, A₂, B₁, B₂) mindestens ein piezoelektrisches Bauelement enthält.

6. Positioniertischanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebseinrichtung (6) einen An­ triebsmotor mit einer Mitnahmewelle (6a) enthält, welche den sich drehenden Bereich bildet.