DE4125434A1 - Vorrichtung zum ueberpruefen zweier optischer achsen - Google Patents

Vorrichtung zum ueberpruefen zweier optischer achsen

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Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Eine derartige Vorrichtung ist aus der DE 39 32 078 A1 bekannt.
Zum Überprüfen der Parallelität zweier Achsen auch bei größeren Achsabständen einschließlich einer Selbstjustierung der dazu erforderlichen Meßvorrichtung ist es aus der DE 39 32 078 A1 bekannt, einen Winkelspiegel und einen Planspiegel vorzusehen, welche jeweils eine der beiden Achsen schneiden. Der Winkelspiegel und der Planspiegel sind dabei so zueinander positioniert, daß ihre drei Spiegelebenen senkrecht zueinander verlaufen. Zur Überprüfung dieser Positionierung (Selbstjustierung) sind ein erster Autokollimator, ein zweiter, starr mit dem Planspiegel verbindender Autokollimator und ein statt auf dem Winkelspiegel in, Strahlengang des zweiten Autokollimators befestigter Hilfs- Winkelspiegel vorgesehen. In einer Kalibrierstellung liegt der Winkelspiegel mit seiner vorderen Stirnseite bündig an der Spiegelfläche des Planspiegels an, wo die exakt senkrechte Ausrichtung der drei Spiegelflächen dadurch eingestellt wird, daß der gegen den Winkelspiegel gerichtete Strahl des ersten Kollimators von dem Planspiegel total reflektiert wird. In dieser exakt rechtwinkligen Positionierung aller Spiegelebenen wird visuell oder elektronisch die Ablage der Abbildung der Zielkreuzmarkierung des zweiten Autokollimators von dessen Zielkreuz ermittelt und festgehalten. In der Meßstellung mit voneinander entfernten Spiegeln werden die Spiegel so positioniert, daß sich die im zweiten Autokollimator festgehaltene Ablage aus der Kalibrierung einstellt. Im Falle einer elektronischen Erfassung der Ablage ist es auch möglich, eine Nachjustierung des Winkelspiegels mit Hilfe eines 3-Koordinatenantriebs vorzunehmen, welcher von dem elektronischen Ablagesignal so lange nachgeführt wird, bis die Ablage zu Null wird.
Bei der praktischen Anwendung der bekannten Vorrichtung hat sich jedoch gezeigt, daß die Ausrichtung der beiden Spiegel auf die zu vermessenden Achsen umständlich und zeitraubend ist, insbesondere im Falle der Vermessung der optischen Achsen von Kampffahrzeugen.
Die Aufgabe der Erfindung besteht demgegenüber darin, eine Vorrichtung der eingangs erwähnten Art konstruktiv so weiterzubilden, daß die Meß- und Selbstjustiervorgänge einfach und rasch durchführbar sind, ohne die Genauigkeit der Messung zu beinträchtigen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst.
Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind die beiden Spiegel (Planspiegel und Winkelspiegel) an den Enden einer scherenartigen Tragkonstruktion so angebracht, daß sie in allen Öffnungswinkeln der Trägerrohre stets dieselbe relative Lage zueinander haben, d. h., sich stets "anschauen". Um zwei optische Achsen zu vermessen, braucht nur die Tragkonstruktion entsprechend dem Achsabstand aufgeklappt und die Spiegelflächen in den Strahlengang der Achsen positioniert zu werden. Eine Befestigung der Meßvorrichtung erfolgt nur an einem Ende, insbesondere an dem Trägerrohr, wo der Winkelspiegel gelagert ist. In dieser Befestigungslage läßt sich durch Zusammenklappen der Trägerrohre die Selbstjustierung (Kalibrierung) durchführen. Die erhaltene Einstellung wird dann vollautomatisch eingehalten. Durch die Verwendung eines Winkelspiegels (Dach­ kantspiegels) mit zwei senkrecht zueinander stehenden Spiegelflächen ist dabei gewährleistet, daß unabhängig von Lage- und Temperaturverformungen der Trag­ konstruktion die beiden Spiegelebenen des Dachkantspiegels und die dritte Spiegelebene des Planspiegels stets senkrecht zueinander positioniert sind, was in der Kalibrierstellung überprüft und gegebenenfalls korrigiert werden kann. Zum Ausgleich der mechanischen Instabilitäten zwischen den beiden Spiegeln ist ein laserortisches Meßsystem vorgesehen, welches über Motorantriebe entsprechende Winkelkorrekturen durchführt. Die exakte Sollwertlage wird bei einer Kalibrie­ rung mittels Autokollimator durchgeführt, so daß vom gesamten mechanischen Aufbau sowie dem Nachführsystem keine Absolut- bzw. Langzeitstabilität gefor­ dert wird (Fig. 1).
Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung in Meßstellung;
Fig. 2 eine perspektivische Ansicht der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung in Kalibrierstellung;
Fig. 3 eine perspektivische, teilweise aufgeschnittene und schematisierte Ansicht einer Gelenkverbindung der Meßvorrichtung nach Fig. 1 und 2;
Fig. 4 eine Ansicht des freien Endes eines Trägerrohrs der Meßvorrichtung nach Fig. 1 und 2;
Fig. 5 einen Schnitt durch das freie Ende des Trägerrohrs gemäß Fig. 4;
Fig. 6 eine schematische Darstellung der beiden Spiegel der Meßvorrichtung in Kalibrierstellung gemäß Fig. 2 sowie der zur automatischen Durchführung der Kalibrierung vorgesehenen Meß- und Stelleinrichtungen;
Fig. 7 eine schematische Darstellung des bei der Meßeinrichtung nach Fig. 6 vorgesehen opto-elektronischen Wandlers zur Erfassung von Ablagen in der Z-Koordinatenrichtung, und
Fig. 8 eine schematische Darstellung des bei der Meßeinrichtung nach Fig. 6 vorgesehenen opto-elektronischen Wandlers zur Erfassung von Ablagen in den X-und Y-Koordinatenrichtungen.
Die in Fig. 1 in der Meßstellung und in Fig. 2 in der Kalibrierstellung dargestellte Meßvorrichtung 1 weist einen Planspiegel 10 und einen Winkelspiegel (Dachkantprisma) 20 auf. Die Ebene des Planspiegels 10 muß in sämtlichen Stellungen der Meßvorrichtung 1 senkrecht zu den beiden Ebenen des Winkelspiegels 20 positioniert sein, welche ihrerseits senkrecht zueinander orientiert sind. Wenn diese Bedingung erfüllt ist, wird ein auf die Spiegelfläche des Planspiegels 10 in der Achse 3 einfallender Lichtstrahl von dem Planspiegel 10 zu dem Winkelspiegel 20 reflektiert und von dort in die Achse 4 gespiegelt, welche exakt parallel zu der Achse 3 verläuft. Für Meßzwecke wird beispielsweise am Geschützrohr eines Kampffahrzeugs eine Lichtquelle befestigt, deren Lichtstrahl 3 parallel zu der Rohrachse verläuft. Der in die Achse 4 reflektierte Lichtstrahl wird in das Zielfernrohr des Kampffahrzeugs gelenkt. Trifft der reflektierte Lichtstrahl exakt im Schnittpunkt des Zielkreuzes des Zielfernrohrs auf, so bedeutet dies, daß die Achsen des Zielfernrohrs und des Geschützrohrs parallel zueinander sind.
Der Planspiegel 10 ist mit seinem Spiegelgehäuse 11 an dem einen Ende eines ersten Trägerrohrs 40 mit Rechteckquerschnitt so befestigt, daß er sich bezüglich einer um eine Hochachse gegenüber dem Trägerrohr 40 drehbaren Lagerplatte 62 in allen drei Raumkoordinatenrichtungen X, Y und Z mittels eines 3-Achsen- Motorantriebs 80 (Fig. 6) verstellen läßt. Einzelheiten hierzu werden später noch anhand von Fig. 6 erläutert.
Der Winkelspiegel 20 ist mit seinem Spiegelgehäuse 21 an dem einen Ende eines zweiten Trägerrohrs 30 mit Rechteckquerschnitt so befestigt, daß er bezüglich einer Lagerplatte (die der Lagerplatte 62 entspricht) unbeweglich gelagert ist, wobei auch diese Lagerplatte um eine Hochachse gegenüber dem Trägerrohr 30 drehbar ist.
Die beiden Trägerrohre 30, 40 sind über eine Gelenkverbindung 50 so miteinander verbunden, daß sie in der durch die beiden Längsachsen der Trägerrohre verlaufenden Ebene scherenartig gegeneinander verstellt werden können. In der Justierstellung gemäß Fig. 2 sind die Trägerarme 30, 40 maximal soweit angenähert, daß sich die Spiegelflächen der beiden Spiegel 10, 20 fast berühren. Die Meßvorrichtung ist nur am Ende des Trägerrohrs 30 über ein verstellbares Drehgelenk 70 befestigt.
Wie aus Fig. 3 ersichtlich ist, weist die Gelenkverbindung 50 eine obere Gehäuseplatte 51a und eine untere Gehäuseplatte 51b auf, welche sich über zwei, mit den Platten 51a und 51b starr durch Schraubbolzen 55 verbundene Zahntrommeln 52a (von denen nur die dem Trägerrohr 30 zugeordnete Zahntrommel gezeigt ist) gegeneinander abstützen. Die Zahntrommeln 52a sind auf feststehenden Getriebewellen 52, 53 in radialer Richtung gelagert, welche senkrecht zu den Platten 51a, 51b verlaufen. Die als ringförmige Flansche 30c ausgebildeten Enden der aus jeweils zwei schalenförmigen Hälften 30a, 30b bzw. 40a, 40b (Fig. 5) bestehenden Trägerrohre 30, 40 umgreifen jeweils eine zugeordnete Zahntrommel 52a und stützen sich auf deren zahnfreien Endabschnitten über ein (nicht dargestelltes) oberes und ein unteres Wälzlager 54 ab. Auf der Ober- und Unterseite jedes ringförmigen Flansches 30c sind zwei Stirnzahnräder 52b befestigt (z. B. verschraubt), die sich mit ihrer Innenbohrung ebenfalls auf den Wälzlagern 54 abstützen. Zwischen den insgesamt vier Stirnzahnrädern 52b und den beiden Gehäuseplatten 51a, 51b befindet sich genügend Spielraum, damit sich die Stirnzahnräder 52b zusammen mit den damit starr verbundenen Trägerrohren 30, 40 frei um die jeweiligen Zahntrommeln 52a bzw. die Längsachse der jeweiligen Getriebewellen 52, 53 verschwenken können. Die paarweise vorgesehenen Stirnzahnräder 52b kämmen wechselseitig miteinander. Hierzu stehen die Stirnzahnräder 52b um ein entsprechendes Maß über die ringförmigen Flansche 30c über. Bei einer Schwenkung eines der Trägerrohre 30, 40 bezüglich der Gehäuseplatten 51a, 51b wird das mit dem betreffenden Trägerrohr verbundene Stirnzahnradpaar 52b in derselben Richtung und um denselben Winkelbetrag gedreht. Die Drehbewegung des einen Stirnzahnradpaares teilt sich über den kämmenden Eingriff auch dem anderen Stirnzahnradpaar gegenläufig mit, wodurch sich dessen zugeordnetes Trägerrohr bezüglich der Gehäuseplatten 51a, 51b gegensinnig zu der Verschwenkrichtung des bewegten Trägerrohrs verschwenkt.
Jede der beiden Zahntrommeln 52a kämmt mit einem zugeordneten Endlos- Zahnriemen 31 (Fig. 3) bzw. 41 (Fig. 5), welcher innerhalb des zugeordneten Trägerrohrs 30 bzw. 40 verläuft. Am entgegengesetzten, freien Ende jedes Trägerrohrs 30, 40 (wo die Spiegel 10, 20 gelagert sind), kämmen die Zahnriemen 31, 41 jeweils mit einer drehbar gelagerten weiteren Zahntrommel 63, wie Fig. 5 zeigt. Eine Schwenkbewegung der beiden Trägerrohre 30, 40 führt zu einer Abrollbewegung der darin umlaufenden Endlos-Zahnriemen 31, 41 auf den Zahnflanken der feststehenden Zahntrommeln 52a (Fig. 3). Diese Abrollbewegung der Endlos-Zahnriemen 31, 41 überträgt sich auf die drehbar gelagerten Zahntrommeln 63, die sich um einen entsprechenden Winkelbetrag drehen. Bei spielfreiem Eingriff zwischen den Zahntrommeln 52a und 63 mit den Zahnriemen 31, 41 ist daher die Drehung der drehbaren Zahntrommeln 63 proportional dem Winkel, um welchen die Trägerrohre 30, 40 gegeneinander verschwenkt werden. Die Bedeutung dieser Proportionalbeziehung liegt darin, daß die Zahntrommeln 63 die Lagerplatten 62 tragen (Fig. 5), auf welchen die Spiegel 10, 20 gelagert sind. Damit sind die Spiegel 10 und 20 unabhängig von der jeweils gewählten Scherenstellung der beiden Tragerrohre 30, 40 stets unter dem gleichen "Blickwinkel" zueinander ausgerichtet, wenngleich nur mit der groben Genauigkeit der Getriebeverbindung zwischen den Zahntrommeln 52a, 63 und den Endlos-Zahnriemen 31, 41. Für eine exakte Winkelziehung sorgt der schon erwähnte 3-Achsen-Motorantrieb 80, dessen Steuerung später anhand von Fig. 6 noch näher erläutert wird. Zunächst sollen aber die Einzelheiten der in Fig. 4 in der Ansicht und in Fig. 5 im Schnitt dargestellten Lager 60 an den freien Enden der Trägerrohre 30, 40 betrachtet werden.
Jedes Lager 60 umfaßt eine obere Ringplatte 60a und eine untere Ringplatte 60b, zwischen welchen die wiederum als ringförmige Flansche 30d, 40d ausgebildeten Enden des zugehörigen Trägerrohrs 30 bzw. 40 angeordnet und starr mit den beiden Ringplatten 60a, 60b verbunden sind. In die gleich großen, miteinander fluchtenden Bohrungen der Ringplatten 60a, 60b und des ringförmigen Flansches 30d bzw. 40d des betreffenden Trägerrohrs 30 bzw. 40 sind ein oberer Wälzlagerring 65a und ein unterer Wälzlagerring 65b eingepaßt. Auf den beiden Wälzlagerringen 65a, 65b stützen sich die Zahntrommel 63 sowie zwei als axiale Verlängerung der Zahntrommel 63 ausgebildete und mit dieser verschraubte, ringförmige Platten 62, 64 drehbar ab. Die miteinander übereinstimmenden Innenbohrungen der Platten 62, 64 und der Zahntrommel 63 werden von einem gemeinsamen Bolzen 61 durchsetzt, welche senkrecht zu den beiden Ringplatten 60a, 60b orientiert ist. Während die ringförmige Platte 64 lediglich einen bündigen Abschluß zu der sie umgebenden unteren Ringplatte 60b bildet, dient die ringförmige Platte 62 - wie schon erwähnt - als Lagerplatte für den Spiegel 10 bzw. 20. Hierzu ist die Platte 62 an ihrem über die obere Ringplatte 60a überstehenden Abschnitt flanschartig vergrößert, um eine entsprechend große Montagefläche für das betreffende Spiegelgehäuse zur Verfügung zu stellen. Die aus den Teilen 61, 63, 64 bestehende Einheit ist bezüglich der Ringplatten 60a, 60b und des betreffenden Trägerrohrs 30 bzw. 40 auf Grund der Wälzlagerringe 65a, 65b frei drehbar, wodurch sich die vorstehend erläuterte Verdrehung der Zahntrommel 63 proportional zu dem Verschwenkwinkel der beiden Trägerrohre 30, 40 ergibt.
In Fig. 6 ist die Feinjustierung (Kalibrierung) der beiden Spiegel 10, 20 näher veranschaulicht. Hierzu wird die Meßvorrichtung 1 in die Kalibrierstellung gemäß Fig. 2 bewegt, in welcher sich die Flächen der Spiegel 10, 20 unter einem geringen Abstand gegenüberliegen. Die richtige gegenseitige Lagezuordnung der beiden Spiegel 10, 20 - in welcher alle drei Spiegelflächen senkrecht zueinander orientiert sind - wird mit Hilfe eines Autokollimators 2 (Fig. 2) überprüft, welcher einen Meßstrahl längs der Achse 3 aussendet und eine Betrachtung des längs der Achse 4 reflektierten Meßstrahls als Zielkreuzabbildung bezüglich seines Fadenkreuzes gestattet. Fehlerhafte Ablagen werden im Autokollimator 2 durch Doppelstrichbilder sichtbar gemacht. Beim Justiervorgang wird durch Verändern der Offsetwerte der Regelkreise für die X-Y und Z-Antriebe eine Winkeljustierung der drei Achsen durchgeführt, bis die Doppelstrichbilder in ein Strichbild übergehen. Die Eingabe der Offsetwerte erfolgt entweder durch eine Querverschiebung der Detektoren 23 und 24 oder durch elektronische Signale. Diese Spiegelstellung wird bei allen Scherenstellungen und mechanischen Fehlereinflüssen automatisch eingestellt. Für diese automatische Achsenvermessung ist an dem Planspiegel 10 ein Hilfs-Winkelspiegel 12 in Form eines Dachkantprismas starr angebracht, welcher von einem am Winkelspiegel 20 ortsfest eingebauten Lasersender 22 mit einem Meßstrahl beleuchtet wird. Der obere Teil der Fig. 6 zeigt dabei eine schematische, teils geschnittene Ansicht in der XY-Ebene, während der untere Teil der Fig. 4 einen Schnitt in der Z-Ebene zeigt. Somit dient für die Messung der Z-Achse der im unteren Teil von Fig. 6 dargestellte Teil der Meßeinrichtung.
Der vom Lasersender 22 emittierte Laserstrahl wird zunächst über einen optischen Vorsatz aufgeweitet, durch einen Strahlteiler 25 geleitet und mittels einer Kollimatorlinse 26 in parallele Einzelstrahlen gebündelt. Der resultierende Meßstrahl wird beim Auftreffen auf den Hilfs-Winkelspiegel 12 zu einem Teil an dessen erster Dachkante um 90° in den Glaskörper des Dachkantprismas umgelenkt. Der Weg durch das Dachkantprisma entspricht einem Versatz in Z-Richtung. Der um 90° umgelenkte Meßstrahl trifft nach Durchlaufen des Glaskörpers auf die zweite Dachkante des Dachkantprismas, wo eine erneute Umlenkung um 90° erfolgt. Der zweifach umgelenkte Meßstrahl ist bei richtiger Justierung der Spiegel 10, 20 in Z-Richtung parallel zu dem vom Laser 22 ausgesendeten Meßstrahl orientiert und wird von einem 4-Quadrantendetektor 24 aufgefangen, welcher am Winkelspiegel 20 in derselben Ebene und parallel zu dem Lasersender 22 angebracht ist. Die kreisförmige Sensorfläche des Detektors 24 ist, wie aus Fig. 7 näher hervorgeht, in vier Quadranten I bis IV untergeteilt, von denen die Quadranten I und IV sowie die Quadranten II und III elektrisch parallel geschaltet sind. Trifft der zweifach umgelenkte Meßstrahl genau auf die Trennlinie zwischen den Quadrantenpaaren I/IV und II/III auf, so sind die von beiden Quadrantenpaaren erzeugten Fotoströme gleich groß. Bei einer Ablage des auftreffenden Strahls bezüglich der erwähnten Trennlinie ergeben sich Unterschiede in den beiden Fotoströmen, die in einem Differenzbildner 27 erfaßt und als Fehlersignal für die Z-Achse an den 3-Motor-Antrieb 80 übertragen werden (Fig. 6).
Für die Messung der X- und der Y-Achse wird der an der ersten Dachkante des Hilfs-Winkelspiegels 12 in sich selbst gespiegelte Teil des vom Lasersender 22 emittierten Meßstrahls zu dem Lasersender 22 zurückreflektiert und über den Strahlteiler 25 um 90° zu einem 4-Quadrantendetektor 23 umgelenkt. Die in Fig. 8 näher dargestellte Sensorfläche des Detektors 23 ist in gleicher Weise wie bei dem Detektor 24 in vier Quadranten unterteilt, deren Fotoströme einzeln ausgewertet werden. Und zwar werden die Fotoströme der sich diagonal gegenüberliegenden Quadranten I und III einem Differenzbildner 28 zugeführt, an dessen Ausgang das Fehlersignal für die Y-Achse gebildet wird, welches dem 3-Achsen-Motorantrieb 80 zugeführt wird (Fig. 6). Die Fotoströme der beiden anderen diagonalen Quadranten II und IV werden einem Differenzbildner 29 zugeführt, an dessen Ausgang das Fehlersignal für die X-Achse gebildet wird, das wiederum dem 3-Achsen-Antrieb 80 zugeführt wird. Der 3-Achsen-Antrieb 80 verstellt entsprechend den ermittelten Fehlersignalen für die X-, Y- und Z-Achse das Gehäuse 11 des Planspiegels 10 so lange, bis die Abweichungen zu Null werden. Da der Detektor 24 auch Fehler der X-Achse registriert, hat die Einstellung der X-Achse zeitliche Priorität vor der Nachstellung der Z-Achse.
Eine durch mechanische Fehler in den Trägerrohren 30, 40 bedingte Querver­ schiebung der beiden Spiegel 10, 20 in der X-Achse würde sich am Detektor 24 durch eine Auswanderung des Laserstrahles längs der Quadranten-Trennlinie bemerkbar machen. Daraus resultierende Fehler auf Grund differentieller Inhomogenitäten des Detektors 24 werden durch die Zylinderlinse 27 kompensiert.
Die Spiegelfläche des Planspiegels 10 ist starr in das Gehäuse 11 eingepaßt, was eine einfache Abdichtung ermöglicht. Der 3-Achsen-Antrieb 80 greift auf der geschützten Unterseite des Gehäuses 11 an, wodurch Störungen der Verstellbewegungen auf Grund von Verschmutzungen praktisch ausgeschlossen werden können.
Der Hilfs-Winkelspiegel 12 kann auch, wie Fig. 1 zeigt, durch zwei kleine Spiegel gebildet werden, die auf der Spiegelfläche des Planspiegels 10 im Bereich seiner äußeren Ränder aufgeklebt werden.
Mit Hilfe der erläuterten Vorrichtung ist es nicht nur möglich, zwei optische Achsen auf Parallelität zu überprüfen, sondern auch eine sogenannte Punktjustierung zu überprüfen. Hierbei schneiden sich die zu überprüfenden optischen Achsen in einem fernen Punkt. Bei der Verstellung des Planspiegelgehäuses 11 wird in diesem Falle dem vorstehend erläuterten Meßsignal für eine Ablage in X-Richtung ein fester Wert hinzuaddiert, welcher einer vorgegebenen Paralaxe der beiden Strahlen 3, 4 entspricht.

Claims (9)

1. Vorrichtung zum Überprüfen zweier optischer Achsen, insbesondere auf Parallelität oder auf Schnitt in einem fernen Punkt, mit einem Winkelspiegel und einem Planspiegel, welche an den Enden zweier gelenkig miteinander verbundener Trägerrohre drehbar befestigt und so zueinander positionierbar sind, daß ihre drei Spiegelebenen senkrecht zueinander verlaufen und dabei die eine optische Achse im Falle einer Achsenparallelität in die andere optische Achse spiegeln, dadurch gekennzeichnet, daß die Gelenkverbindung (50) der beiden Trägerrohre (30, 40) ein Getriebegehäuse (51a, 51b) mit zwei zueinander parallelen, drehfesten Getriebewellen (52, 53) aufweist, um welche die Trägerrohre (30, 40) schwenkbar gelagert sind, daß an jeder Getriebewelle (52, 53) eine Zahntrommel (52a) drehfest gelagert ist, welche jeweils mit einem in einem zugeordneten Trägerrohr (30 bzw. 40) verlaufenden Zahnriemen (31 bzw. 41) in kämmendem Eingriff stehen, daß die Trägerrohre (30, 40) an ihren freien Enden jeweils eine weitere Zahntrommel (63) aufnehmen, welche gegenüber dem jeweiligen Trägerrohr drehbar gelagert ist und mit dem Zahnriemen (31 bzw. 41) innerhalb des betreffenden Trägerrohrs kämmt, und daß an den weiteren Zahntrommeln (63) die Spiegel (10, 20) gelagert sind, deren Winkellage zueinander unabhängig von dem Öffnungswinkel beider Trägerrohre (30, 40) durch eine den Änderungen der Öffnungswinkel proportionale Drehung der weiteren Zahntrommeln (63) im wesentlichen konstant gehalten wird.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß um jede Getriebewelle (52, 53) wenigstens ein Stirnzahnrad (52b) drehbar gelagert ist, welches mit dem zugehörigen Trägerrohr (30 bzw. 40) starr gekoppelt ist und daß die Stirnzahnräder (51b) beider Getriebewellen (52b) in gegenseitigem Eingriff sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Planspiegel (10) nach Maßgabe von opto-elektronisch ermittelten Justierfehlern der drei Spiegelebenen in allen drei Raumkoordinatenrichtungen motorisch verstellbar ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erfassung einer Fehljustierung der drei Spiegelebenen an dem Planspiegel (10) ein Hilfs-Winkelspiegel (12) und an dem Winkelspiegel (20) ein Lasersender (22) sowie opto-elektronische Wandler (23, 24) befestigt sind, derart, daß der Hilfs-Winkelspiegel (12) den auf seine erste Spiegelebene einfallenden Meßstrahl des Lasersenders (22) teilweise unmittelbar zu dem Lasersender (22) und einem in dessen Strahlengang eingeschalteten ersten Wandler (23) und teilweise zu seiner zweiten Spiegelebene und von dort unter einem Versatz in Z-Richtung zu einem in derselben Ebene wie der Lasersender (22) angebrachten zweiten Wandler (24) reflektiert.
5. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstellung des Planspiegels (10) entsprechend einer vorgegebenen Parallaxe der drei Spiegelebenen beider Spiegel (10, 20) erfolgt, wobei der vorgegebene Parallaxenwert einem Schnitt der zu überprüfenden optischen Achsen (3, 4) in einem fernen Punkt (Punktjustage) entspricht.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß im Strahlengang des Laserstrahls (22) ein Strahlteiler (25) angeordnet ist, welcher den Meßstrahl des Lasersenders (22) unbeeinflußt hindurch treten läßt und den von dem Hilfs- Winkelspiegel (12) reflektierten Teilstrahl um 90° zu dem ersten Wandler (23) ablenkt.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß dem Lasersender (22) eine Aufweitoptik nachgeschaltet ist und daß - im Strahlengang des Laser-Meßstrahls gesehen - hinter dem Strahlteil (25) eine Kollimatorlinse (26) angeordnet ist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekenn­ zeichnet, daß als erster Wandler (23) ein 4-Quadrantendetektor vorgesehen ist, von welchem jeweils zwei diagonal gegenüberliegende Quadranten elektrisch zu einem Differenzbildner (28 bzw. 29) führen, dessen Ausgangs-Differenzsignal ein Stellsignal für den X- bzw. Y-Koordinateneingang eines 3-Achsen-Motorantriebs (80) für die Verstellung des Planspiegels (10) darstellt.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekenn­ zeichnet, daß als zweiter Wandler (24) ein 4-Quadrantendetektor vorgesehen ist, von welchem jeweils zwei übereinanderliegende Quadranten elektrisch parallelgeschaltet sind und die so gebildeten Quadrantenpaare mit einem Differenzbildner (27) verbunden sind, dessen Ausgangs-Differenzzsignal ein Stellsignal für den Z-Koordinateneingang des 3-Achsen-Motorantriebs (80) darstellt.
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