DE4125258A1 - Verbindungen mit saeurelabilen schutzgruppen und damit hergestelltes positiv arbeitendes strahlungsempfindliches gemisch - Google Patents
Verbindungen mit saeurelabilen schutzgruppen und damit hergestelltes positiv arbeitendes strahlungsempfindliches gemischInfo
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Description
Die Erfindung betrifft Verbindungen mit säurelabilen
Schutzgruppen, Verfahren zu ihrer Herstellung sowie posi
tiv arbeitende strahlungsempfindliche Gemische, die diese
Verbindungen als Lösungsinhibitoren enthalten. Sie be
trifft weiterhin ein damit hergestelltes Aufzeichnungs
material, das für Photoresists, elektrische Bauteile und
Druckplatten sowie zum Formteilätzen geeignet ist.
In der industriellen Herstellung mikroelektronischer Bau
teile werden derzeit mehrere lithographische Techniken
eingesetzt, wobei an die dabei verwendeten Photoresistge
mische jeweils verschiedene Anforderungen gestellt wer
den. So finden in der g-line-Lithographie, bei der Strah
lung einer Wellenlänge von 436 nm eingesetzt wird, in der
Regel klassische Diazonaphthochinon-Novolak-Photoresists
Verwendung. Eine neuere Entwicklung ist die i-line-Litho
graphie, bei der Strahlung einer Wellenlänge von 365 nm
genutzt wird. Diese Technik erlaubt es, Details einer
Maskenvorlage in einer verbesserten Auflösung bis herab
zu 0,5 µm abzubilden. Neuere Modifikationen, wie die
Phase-Shifting-Mask-Technologie, erlauben eine weitere
Verkleinerung der abzubildenden Strukturen bis herab zu
etwa 0,35 µm und sogar noch feiner. Eine noch weiter
gesteigerte Auflösung werden in Zukunft die "UV-2"-Photo
resists gestatten. Hierbei unterscheidet man zwischen
zwei Ansätzen: der DV-2 Breitbandbestrahlung (240 bis 260
nm) und der Bestrahlung mit KrF-Excimer-Lasern (248 nm).
Wie bereits aus dem Vorangehenden ersichtlich, ist die
Grenze der Auflösung durch die Wellenlänge der verwende
ten Strahlung vorgegeben. Die stetige Verkleinerung der
Strukturdimensionen bis weit in den Submikron-Bereich,
insbesondere bei Mikrochips, erfordert daher veränderte
Lithographie-Techniken. Wegen ihrer kurzen Wellenlänge
eignen sich hier insbesondere energiereiche UV-Strahlung,
Elektronen- oder Röntgenstrahlung. Eine Übersicht über
die Ansprüche, die an die jeweils verwendeten strahlungs
empfindlichen Gemische gestellt werden, ist in dem Auf
satz von C.G. Willson, "Organic Resist Materials- Theory
and Chemistry" (Introduction to Microlithography, Theory,
Materials, and Processing; Herausgeber: L.F. Thompson,
C.G. Willson, M.J. Bowden; ACS Symp. Ser., 219 (1983) S.
87, American Chemical Society, Washington) zu finden. Es
besteht daher ein verstärkter Bedarf an strahlungsemp
findlichen Gemischen, die in den fortgeschrittenen Tech
nologien, insbesondere der mid- und deep-UV-, der Elek
tronen- und Röntgenstrahl-Lithographie, einsetzbar sind
und vorzugsweise darüber hinaus in einem weiten Spek
tralbereich empfindlich und somit auch in der kon
ventionellen UV-Lithographie einsetzbar sind.
Ein vielfach verwendetes positiv arbeitende strah
lungsempfindliches Gemisch zur Herstellung strah
lungsempfindlicher Aufzeichnungsmaterialien enthält ein
o-Chinondiazid-Derivat und ein in wäßrig-alkalischen
Lösemitteln lösliches Bindemitteln, z. B. einen Novolak
oder ein- Polyhydroxystyrol. Die Empfindlichkeit der Auf
zeichnungsmaterialien gegenüber UV-Strahlung, insbeson
dere hochenergetischer, kurzwelliger Strahlung,
beispielsweise Licht eines KrF-Excimer-Lasers mit einer
Wellenlänge von 248 nm oder Elektronenstrahlung, ist je
doch allgemein unzureichend.
Eine verbesserte Empfindlichkeit weisen positiv arbei
tende strahlungsempfindliche Gemische auf, in denen ein
Photoinitiator durch Einwirkung von aktinischer Strahlung
eine Säure bildet. Diese Säure spaltet in einer Folge
reaktion ein säurespaltbares Material und macht es da
durch in wäßrig-alkalischen Entwicklern löslich.
Es ist ferner bekannt, daß Verbindungen mit phenolischen
OH-Gruppen durch tert.-Butoxycarbonylgruppen "maskiert"
werden können. Durch Säuren wird dieses Derivat in die
phenolische Ausgangsverbindung, Kohlendioxid und Isobuten
gespalten. Auch solche Verbindungen können als lichtemp
findliche Löslichkeitsinhibitoren genutzt werden.
Strahlungsempfindliche Gemische mit säurespaltbaren Lös
lichkeitsinhibitoren benötigen immer eine geringe Menge
einer Verbindung, die bei Bestrahlung Säure bildet, die
wiederum die Spaltung der oben genannten Materialien
bewirkt. Als photolytische Säurebildner wurden bisher
insbesondere Onium-Salze, wie Diazonium-, Phosphonium-,
Sulfonium- und Jodonium-Salze von nicht nucleophilen Säu
ren, wie HSbF6, HAsF6, oder HPF6 verwendet. Daneben sind
Halogenverbindungen, insbesondere Trichlormethyltriazin-
Derivate oder Trichlormethyloxadiazol-Derivate,
o-Chinondiazidsulfochloride, o-Chinondiazid-4-sulfonsäure
ester, Organometall-Organohalogen-Kombinationen, Bis(sul
fonyl)diazomethane, Sulfonyl-carbonyl-diazomethane oder
Nitrobenzyltosylate empfohlen.
Derartige Gemische mit z. T. hohen Empfindlichkeiten ge
genüber aktinischer Strahlung werden als photokata
lytische 3-Komponentensysteme bezeichnet, da sie als
wesentliche Bestandteile ein polymeres, in wäßrig-alkali
schen Lösungen lösliches Bindemittel - zumeist ein pheno
lisches Harz -, eine photoaktive Verbindung und einen
säurespaltbaren Löslichkeitsinhibitor enthalten. Unter
diesen Gemischen konnten sich in der Praxis besonders
solche durchsetzen, die als säurelabile Komponente Ver
bindungen mit Acetalgruppen aufweisen, da diese einer
seits ausreichende Spaltbarkeit, andererseits aber auch
ausreichende Lagerstabilität, insbesondere in gelöster
Form, miteinander kombinieren. Das Acetal muß dabei unter
anderem ein weitgehend hydrophobes molekulares Gerüst
aufweisen, damit es als Lösungsinhibitor fungieren kann.
Acetale mit freien phenolischen Hydroxylgruppen sind als
Lösungsinhibitoren völlig ungeeignet, da sie eher die
Löslichkeit in wäßrig-alkalischen Lösungen verstärken.
Darüber hinaus ist allgemein zu beobachten, daß das
Prozeßfenster, d. h. der Spektralbereich der Durchlässig
keit, für die Belichtung dieser Gemische sehr schmal und
häufig nicht eindeutig reproduzierbar ist, was zu unge
nauen Vorlagewiedergaben führt. Das unzureichend schmale
Prozeßfenster äußert sich insbesondere in einer starken
Abhängigkeit der Qualität der Bildwiedergabe von der
Zeitdifferenz zwischen Belichtung und Entwicklung, der
sogenannten "delay time". Die Ursachen dieser Verschlech
terung der Bildwiedergabe sind nicht im einzelnen bekannt
oder nur mangelhaft untersucht worden. Grundsätzlich ist
davon auszugehen, daß Diffusionsvorgänge, die zu diesem
Verhalten führen, nicht einfach steuerbar sind. Es läßt
sich jedoch vermuten, daß es während der Trocknung des
Gemisches auf einem Substratmaterial zu einer partiellen
Verdampfung des Photoinitiators oder der säurelabilen
Verbindung oder zu einer Entmischung der einzelnen
Gemischbestandteile kommt, was besonders häufig bei
säurelabilen Verbindungen mit geringer Löslichkeit in den
üblichen Beschichtungslösemitteln beobachtet wird.
Der entscheidende Nachteil der bekannten, Acetalgruppen
aufweisenden Verbindungen beruht darin, daß die durch
ihre Spaltung resultierende Löslichkeitsdifferenzierung
zwischen belichteten und unbelichteten Bildbereichen im
allgemeinen ungenügend ist. Als Ursache ist anzunehmen,
daß entweder das als Lösungsinhibitor eingesetzte
Acetalderivat eine unzureichende Inhibierungseigenschaft
aufweist und bei einer bildmäßigen Differenzierung neben
den belichteten Bildstellen auch solche stark angegriffen
und abgetragen werden, die nicht belichtet wurden, oder
aber, daß die belichteten Bereiche keine ausreichende
Löslichkeit aufweisen, um bei der Entwicklung eine bild
mäßige Differenzierung zu ermöglichen. Das Problem ist,
daß es mit den bekannten Verbindungen nicht gelingt, ein
Material bereitzustellen, das eine ausreichend große
Löslichkeitsdifferenz zwischen belichteten und unbelich
teten Bereichen hervorruft. Während dieser Effekt bei den
gemäß dem Stand der Technik verwendeten Novolakharzen im
allgemeinen noch akzeptabel ist, beobachtet man bei Ver
wendung von anderen Polymeren, daß die bekannten
Acetalderivate praktisch keinerlei Inhibierungswirkung
mehr zeigen und damit eine praxisgerechte Bilddifferen
zierung nicht mehr erlauben.
Bei der säurekatalysierten Spaltung von 1 mol des Acetals
entstehen 1 mol des entsprechenden Aldehyds und 2 mol
Alkohol. Der Alkohol trägt im allgemeinen zur verbesser
ten Löslichkeit in alkalischen Entwicklern bei. Der Alde
hyd hingegen vermindert die Löslichkeit, so daß er häufig
durch einen zusätzlichen Backschritt aus dem Gemisch ver
dampft wird. Es ist jedoch vorteilhafter, den Aldehyd in
der aus dem Gemisch bestehenden Schicht zu belassen, da
er nur in nicht kontrollierbarer Weise verdampft werden
kann, insbesondere bei unterschiedlichen Schichtdicken.
Dies führt zu nicht reproduzierbaren Ergebnissen bezüg
lich Empfindlichkeit und Entwicklungsverhalten.
In beiden Fällen werden daher keine optimalen Ergebnisse
erhalten. Muß der lösungsinhibierende, durch Spaltung er
zeugte Aldehyd aus dem Gemisch herausgedampft werden, ist
ein zusätzlicher Verarbeitungsschritt notwendig, um die
bestmögliche Löslichkeit der belichteten Bereiche zu
erhalten. Bleibt der inhibierend wirkende Aldehyd in dem
Gemisch, so wird keine praxisgerechte Differenzierung der
Löslichkeit zwischen belichteten und unbelichteten
Schichtbereichen erreicht. Dies hat wiederum dann beson
ders nachteilige Folgen, wenn das Gemisch in einem
Aufzeichnungsmaterial verwendet wird. In diesem Fall müs
sen längere Belichtungs- und Entwicklungszeiten in Kauf
genommen werden, und das erhaltene Reliefbild weist in
folge der unzureichenden Löslichkeitsdifferenzierung zwi
schen belichteten und unbelichteten Bereichen Schwächen
im Kontrast, im Strukturprofil und im Dunkelabtrag auf.
Es bestand daher die Aufgabe, Verbindungen bereitzustel
len, die einerseits die Löslichkeit in Wasser wirksam
herabsetzen, deren Spaltprodukte jedoch in wäßrig-alkali
schen Entwicklern sehr gut löslich sind, den Entwick
lungsprozeß in den belichteten Bereichen unterstützen und
gleichzeitig eine geringe Flüchtigkeit aufweisen, damit
sie auch bei einer thermischen Nachbehandlung nicht aus
dem Gemisch herausdampfen, und somit die Eigenschaften
des strahlungsempfindlichen Gemischs kontrollierbar blei
ben.
Gelöst wird die Aufgabe durch neue, substituierte Acetale
und Ketale der folgenden allgemeinen Formel I, die unter
dem Einfluß ausreichend starker Säure gespalten werden
und dabei einen hydroxysubstituierten aromatischen Alde
hyd oder ein hydroxysubstituiertes aromatisches Keton
freisetzen.
Gegenstand der vorliegenden Erfindung sind daher Verbin
dungen der allgemeinen Formel I
worin
X ein Phenyl-, [1]Naphthyl- oder [2]Naphthylrest
ist, der jeweils mit mindestens einer tert.-
Butoxycarbonyloxygruppe substituiert ist und
gegebenenfalls einen oder mehr als einen zusätzlichen
Substituenten aufweist,
R¹ für ein Wasserstoffatom, einen (C₁-C₆)Alkyl-, einen (C₆-C₁₀)Arylrest oder einen der Reste X steht und
R² und R³ gleich oder verschieden sind und einen (C₁-C₁₂)Alkylrest, in dem gegebenenfalls bis zu drei Methylengruppen durch Brückenglieder, die mindestens ein Heteroatom aufweisen, wie -O-, -S-, -NR⁴-, -CO-, -CO-O-, -CO-NH-, -O-CO-NH-, -NH-CO-NH-, -CO-NH-CO-, -SO₂-, -SO₂-O-, oder -SO₂-NH-, ersetzt sind, einen (C₃-C₁₂)Alkenyl-, (C₃-C₁₂)Alkinyl, (C₄-C₁₂)Cycloalkyl-, (C₄-C₁₂) Cycloalkenyl- oder (C₈-C₁₆)Aralkylrest, in dem gegebenenfalls bis zu drei Methylengruppen des aliphatischen Teils durch Brückenglieder der oben genannten Art ersetzt sind und der im aromatischen Teil durch Fluor-, Chlor- oder Bromatome, durch (C₁-C₄)Alkyl-, (C₁-C₄)Alkoxy-, Nitro-, Cyano- oder tert.-Butoxycarbonyloxygruppen substituiert sein kann, bedeuten, wobei
R⁴ für einen Acyl-, insbesondere einen (C₁-C₆) Alkanoylrest, steht.
R¹ für ein Wasserstoffatom, einen (C₁-C₆)Alkyl-, einen (C₆-C₁₀)Arylrest oder einen der Reste X steht und
R² und R³ gleich oder verschieden sind und einen (C₁-C₁₂)Alkylrest, in dem gegebenenfalls bis zu drei Methylengruppen durch Brückenglieder, die mindestens ein Heteroatom aufweisen, wie -O-, -S-, -NR⁴-, -CO-, -CO-O-, -CO-NH-, -O-CO-NH-, -NH-CO-NH-, -CO-NH-CO-, -SO₂-, -SO₂-O-, oder -SO₂-NH-, ersetzt sind, einen (C₃-C₁₂)Alkenyl-, (C₃-C₁₂)Alkinyl, (C₄-C₁₂)Cycloalkyl-, (C₄-C₁₂) Cycloalkenyl- oder (C₈-C₁₆)Aralkylrest, in dem gegebenenfalls bis zu drei Methylengruppen des aliphatischen Teils durch Brückenglieder der oben genannten Art ersetzt sind und der im aromatischen Teil durch Fluor-, Chlor- oder Bromatome, durch (C₁-C₄)Alkyl-, (C₁-C₄)Alkoxy-, Nitro-, Cyano- oder tert.-Butoxycarbonyloxygruppen substituiert sein kann, bedeuten, wobei
R⁴ für einen Acyl-, insbesondere einen (C₁-C₆) Alkanoylrest, steht.
Die gegebenenfalls zusätzlich in den Resten X vorkommen
den Substituenten sind bevorzugt Fluor-, Chlor-, Brom- oder
Jodatome, Nitro-, Cyano- oder Carboxygruppen,
(C1-C9)-, besonders bevorzugt (C1-C6)Alkylreste, in denen
gegebenenfalls bis zu drei, besonders bevorzugt bis zu
zwei, Methylengruppen durch Brückenglieder der oben ge
nannten Art ersetzt sind, Phenylreste, die wiederum sub
stituiert sein können, insbesondere mit tert.-Butoxycar
bonylgruppen, (C1-C4)Alkylresten, (C1-C4)Alkoxyresten
und/oder Halogen-atomen, sowie (C8-C12)-, besonders be
vorzugt (C8-C10)Aralkylreste, in denen gegebenenfalls bis
zu zwei Methylengruppen durch Brückenglieder der obenge
nannten Art ersetzt sind, (C6-C10)Aryloxyreste oder
(C7-C10)Aralkoxyreste.
Die Heteroatome enthaltenden Brückenglieder in den Alkyl- und
Aralkylresten können innerhalb der Alkylkette auftre
ten oder das Verbindungsglied zum Rest X darstellen.
Allgemein bevorzugt sind Verbindungen der allgemeinen
Formel I, in denen X für einen substituierten Phenylrest
steht. Besonders bevorzugt sind Verbindungen der allge
meinen Formel I, in denen R1 darüber hinaus ein Wasser
stoffatom bedeutet.
Die erfindungsgemäßen Verbindungen stellen Acetale bzw.
Ketale dar, die ausgeprägt hydrophob und daher als
Lösungsinhibitoren geeignet sind, während die Produkte,
die aus der sauer katalysierten Spaltung dieser Verbin
dungen hervorgehen, außerordentlich hydrophil sind und
daher als Lösungspromotoren wirken.
Gegenstand der Erfindung ist weiterhin ein Verfahren zur
Herstellung der Verbindungen der allgemeinen Formel I, in
dem man eine Carbonylverbindung der allgemeinen Formel II
X-CO-R¹ (II)
worin X und R1 die oben genannten Bedeutungen besitzen,
mit einem niedrigsiedenden Alkohol in Gegenwart eines
Katalysators zu den entsprechenden Acetalen bzw. Ketalen
der allgemeinen Formel III
umsetzt. Der niedrigsiedende Alkohol ist vorzugsweise
Methanol oder Ethanol, das heißt m ist vorzugsweise 1
oder 2.
Um das bei der Umsetzung gebildete Reaktionswasser irre
versibel aus dem Reaktionsgemisch zu entfernen, enthält
die Mischung zweckmäßig ein geeignetes wasserentziehendes
Mittel, z. B. ein Trocknungsmittel.
Die erfindungsgemäßen Verbindungen der allgemeinen Formel
I werden dann durch Umsetzung mit den höhersiedenden
Alkoholen R2-OH und/oder R3-OH in Gegenwart eines Kataly
sators gewonnen.
Die Verbindungen der allgemeinen Formel II lassen sich
aus den entsprechenden, mit Hydroxygruppen substituierten
aromatischen Aldehyden bzw. Ketonen in an sich bekannter
Weise (F. Houlihan, et. al., Can. J. Chem., 63, 153
(1985)) durch Umsetzung mit tert.-Butoxycarbonylchlorid
oder Pyrokohlensäure-di-tert.-butylester herstellen.
Besonders bevorzugte Ausgangsmaterialien sind hydroxysubstituierte
aromatische Aldehyde, wie
2-, 3- und 4-Hydroxybenzaldehyd,
2,3-, 2,4-, 2,5- und 3,4-Dihydroxybenzaldehyd,
2,3,4-Trihydroxybenzaldehyd,
4-Hydroxy-3-methylbenzyldehyd,
2-Hydroxy-4- und -5-methoxybenzaldehyd,
3-Hydroxy-4-methoxybenzaldehyd,
4-Hydroxy-3-methoxybenzaldehyd,
3,5-Dimethyl-4-hydroxybenzaldehyd,
3,4-Dimethoxy-5-hydroxybenzaldehyd,
3-Ethoxy-4-hydroxybenzaldehyd,
2-Hydroxy-5-nitrobenzaldehyd,
3-Hydroxy-4-nitrobenzaldehyd,
4-Hydroxy-3-nitrobenzaldehyd,
5-Hydroxy-2-nitrobenzaldehyd oder
2-Hydroxy-1-naphthaldehyd.
2-, 3- und 4-Hydroxybenzaldehyd,
2,3-, 2,4-, 2,5- und 3,4-Dihydroxybenzaldehyd,
2,3,4-Trihydroxybenzaldehyd,
4-Hydroxy-3-methylbenzyldehyd,
2-Hydroxy-4- und -5-methoxybenzaldehyd,
3-Hydroxy-4-methoxybenzaldehyd,
4-Hydroxy-3-methoxybenzaldehyd,
3,5-Dimethyl-4-hydroxybenzaldehyd,
3,4-Dimethoxy-5-hydroxybenzaldehyd,
3-Ethoxy-4-hydroxybenzaldehyd,
2-Hydroxy-5-nitrobenzaldehyd,
3-Hydroxy-4-nitrobenzaldehyd,
4-Hydroxy-3-nitrobenzaldehyd,
5-Hydroxy-2-nitrobenzaldehyd oder
2-Hydroxy-1-naphthaldehyd.
Diese Aldehyde sind käuflich, während sich andere, als
Vorprodukte ebenfalls geeignete aromatische Hydroxyalde
hyde oder -ketone nach den unterschiedlichsten Methoden
im allgemeinen auf einfache Weise herstellen lassen
(siehe Houben Weyl, Methoden der organischen Chemie, Bd.
7/1).
Um eine Spaltung der tert.-Butoxycarbonyloxygruppe zu
vermeiden, wird die Acetalisierung bzw. Ketalisierung der
Verbindungen der Formel II mit den niedrigsiedenden Alko
holen in Gegenwart eines speziellen Katalysators aus
geführt. Als geeignet haben sich Katalysatoren vom Typ
der Rhodiumphosphin-Komplexe erwiesen. Bevorzugt sind
Katalysatoren vom Typ RhCl3 (triphos). Besonders bevorzugt
wird der Katalysator RhCl3(CH3C(CH2PPh2)3) eingesetzt.
Die erforderliche Menge des Katalysators liegt im all
gemeinen zwischen 0,1 mg und 10 mg pro 1 mmol Aldehyd,
bevorzugt bei 0,5 bis 1 mg Katalysator pro 1 mmol Alde
hyd. Diese Katalysatoren sind von J. Ott et al. in J.
Organomet. Chem., 291, 89 (1985) und Tetrahedr. Lett.,
30, 6151 (1989)) beschrieben worden.
Die Acetalisierung bzw. Ketalisierung erfolgt zweckmäßig
bei Temperaturen zwischen 0°C und 100°C. Bevorzugt werden
Temperaturen zwischen 10°C und 50°C, insbesondere Raum
temperatur. Die Reaktionszeit liegt zwischen 20 Minuten
und 48 Stunden, insbesondere zwischen 4 und 16 Stunden.
Die Umwandlung kann in Gegenwart eines unter den Reak
tionsbedingungen inerten Lösemittels durchgeführt wer
den. Geeignet sind besonders aromatische Kohlenwasser
stoffe, wie Toluol und Xylol. Das Lösemittel wird in
einem 0,5 bis 50fachen Überschuß zugesetzt.
Um das entstehende Reaktionswasser irreversibel zu ent
fernen, wird dem Reaktionsgemisch der dem Alkohol ent
sprechende Orthoameisentrialkylester, bevorzugt Ortho
ameisensäuretrimethyl- oder -triethylester, zugesetzt.
Das Gemisch wird nach bekannten Methoden aufgearbeitet.
Es werden Ausbeuten von mehr als 90% erhalten.
Die Acetalisierung bzw. Ketalisierung der Verbindungen
der allgemeinen Formel II kann auch in Gegenwart von an
deren neutralen oder sehr schwach sauren Katalysatoren,
wie sauren Austauscherharzen oder organischen Säuren,
durchgeführt werden. Diese Katalysatoren führen jedoch zu
einer unvollständigen Umsetzung oder zur Umesterung und
damit zu Schwierigkeiten in der Aufarbeitung sowie zur
Verminderung der Produktausbeute und -reinheit.
Mit den oben genannten Rhodium-Katalysatoren können die
Aldehyde bzw. Ketone der allgemeinen Formel II auch
direkt mit den höhersiedenden Alkoholen R2-OH und/oder
R3-OH umgesetzt werden. Es ergeben sich jedoch Probleme
bei der Aufarbeitung, die bei dem oben geschilderten
zweistufigen Verfahren nicht auftreten.
Die erfindungsgemäßen Verbindungen der allgemeinen Formel
1 werden dann aus den Verbindungen der Formel III in
einer zweiten Stufe durch Umsetzung mit einer stöchiome
trischen Menge an hochsiedenden Alkoholen R2-OH und/oder
R3-OH in einem inerten Lösemittel, wie Toluol und Xylol,
in Gegenwart eines sauren Katalysators gewonnen. Um auch
hier eine Zersetzung der tert.-Butoxycarbonyloxygruppe zu
vermeiden, werden nur schwach saure, im Reaktionsgemisch
unlösliche Katalysatoren verwendet. Bevorzugt wird als
Katalysator Kaliumhydrogensulfat oder ein saures Ionen
austauscherharz verwendet.
Pro 1 mmol eingesetzten Acetals oder Ketals werden 1 bis
100 mg Katalysator verwendet. Bevorzugt ist ein Mengen
verhältnis von 5 bis 10 mg Katalysator/mmol Carbonyl
derivat. Zur Erhöhung der Reaktionsgeschwindigkeit wird
die Umsetzung bei Temperaturen von mehr als 75°C durchge
führt, bevorzugt sind Temperaturen zwischen 100 und
150°C.
Die Verbindungen der allgemeinen Formel I werden aus den
Verbindungen der allgemeinen Formel III in einer Ausbeute
von 75 bis 98% der theoretisch möglichen erhalten.
Die erfindungsgemäßen Verbindungen der allgemeinen Formel
I eignen sich in hervorragender Weise zur Herstellung von
positiv arbeitenden strahlungsempfindlichen Gemischen,
die in strahlungsempfindlichen Schichten für Photoresists
oder Druckplatten eingesetzt werden können.
Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist weiterhin ein
positiv arbeitendes strahlungsempfindliches Gemisch mit
- a) einer Verbindung, die unter der Einwirkung von akti nischer Strahlung starke Säure bildet,
- b) eine Verbindung mit mindestens eine C-O-C-Bindung, die durch die von der Verbindung a) gebildete Säure gespalten werden kann, und
- c) ein in Wasser unlösliches, in wäßrig-alkalischer Lö sung dagegen lösliches oder zumindest quellbares Bindemittel, das dadurch gekennzeichnet ist, daß die Verbindung b) eine Verbindung der allgemeinen Formel I ist.
Das erfindungsgemäße strahlungsempfindliche Gemisch
zeichnet sich durch eine hohe Empfindlichkeit über einen
weiten Spektralbereich aus. Es zeigt eine hohe thermische
Stabilität und schafft die Möglichkeit, auch feinste
Strukturen einer Vorlage detailgenau wiederzugeben.
Der Gehalt an säurespaltbarem Material b) in dem erfin
dungsgemäßen strahlungsempfindlichen Gemisch sollte bei 1
bis 60 Gew.-%, vorzugsweise bei 5 bis 50 Gew.-%, jeweils
bezogen auf das Gesamtgewicht der festen Anteile des
Gemisches, liegen.
Die erfindungsgemäßen Gemische können gegebenenfalls noch
andere säurespaltbare Verbindungen enthalten. Dabei haben
sich vor allem folgende Verbindungsklassen bewährt:
- 1. solche mit mindestens einer Orthocarbonsäureester- und bzw. oder -carbonsäureamidacetalgruppierung, wo bei die Verbindungen auch polymeren Charakter haben und die genannten Gruppierungen als verknüpfende Elemente in der Hauptkette oder als seitenständige Substituenten auftreten können (DE-A 26 10 842 und 29 28 636),
- 2. Oligomer- oder Polymerverbindungen mit wieder kehrenden Acetal- und/oder Ketalgruppierungen in der Hauptkette (DE-C 23 06 248 und 27 18 254),
- 3. Verbindungen mit mindestens einer Enolether- oder N-Acyliminocarbonatgruppierung (EP-A 00 06 626 und 00 06 627),
- 4. cyclische Acetale oder Ketale von β-Ketoestern oder -amiden (EP-A 02 02 196),
- 5. Verbindungen mit Silylethergruppierungen (DE-A 35 44 165 und 36 01 264),
- 6. Verbindungen mit Silyl-enolethergruppierungen (DE-A 37 30 785 und 37 30 783),
- 7. Monoacetale bzw. Monoketale, deren Aldehyd- bzw. Ketonkomponente eine Löslichkeit im Entwickler zwi schen 0,1 und 100 g/l aufweisen (DE-A 37 30 787),
- 8. Ether auf der Basis tertiärer Alkohole (US-A 46 03 101) und
- 9. Carbonsäureester und Carbonate tertiärer, ally lischer oder benzylischer Alkohole (US-A 44 91 628 sowie von J. M. Frechet et al., J. Imaging Sci. 30, 59-64 (1986)).
Diese Materialien können auch als Mischungen enthalten
sein. Als zusätzliche säurespaltbare Komponente sind
Materialien bevorzugt, die nur einem der obengenannten
Typen entsprechen, darunter besonders bevorzugt solche
mit mindestens einer durch Säure spaltbaren C-O-C-Bin
dung, d. h. diejenigen, die den Typen (1), (2), (7) und
(9) angehören. Unter Typ (2) sind die polymeren Acetale
hervorzuheben; von den säurespaltbaren Materialien des
Typs (7) besonders diejenigen, die sich von Aldehyden
bzw. Ketonen mit einem Siedepunkt über 150°C, vor
zugsweise über 200°C, ableiten.
Den im erfindungsgemäßen strahlungsempfindlichen Gemisch
enthaltenen säurespaltbaren Verbindungen b) werden photo
lytische Säurebildner a) zugesetzt, wozu sich nur einge
schränkt Onium-Salze, wie Diazonium-, Phosphonium-, Sul
fonium- und Jodonium-Salze von nicht nucleophilen Säuren,
z. B. von HSbF6, HAsF6, oder HPF6 (J.V. Crivello, Polym.
Eng. Sci., 23, 953 (1983)) eignen, da stark korrodierend
wirkenden Säuren gebildet werden können. Bevorzugt sind
photolytischen Säurebildner, die bei der Belichtung Sul
fonsäuren bilden. Als Beispiele für solche Verbindungen
seien 1,2-Disulfone, Bis-sulfonyl-diazomethan (DE-A
39 30 086) und Sulfonyl-carbonyl-diazomethan (DE-A
39 30 087) Nitrobenzylsulfonate (F.M. Houlihan et al., J.
Photopolym. Sci. Techn., 3, 259, 1990; T. Yamaoka et al.,
J. Photopolym. Sci. Techn., 3, 275, 1990), Pyrogallolsul
fonate (L. Schlegel et al., J. Photopolym. Sci. Techn.,
3, 281, 1990) oder Iminosulfonate (M. Shirai et al., J.
Photopolym. Sci. Techn., 3, 301, 1990) erwähnt. Besonders
bevorzugt sind Onium-Salze, die Perfluorsulfonsäuren bil
den, sowie die in der nicht vorveröffentlichten deutschen
Patentanmeldung P 41 12 967.9 genannten 1-Sulfonyloxy-2-pyridone.
Die photolytischen Säurebildner werden dem Gemisch im
allgemeinen mit einem Anteil von 0,2 bis 25 Gew.-% zuge
setzt. Bevorzugt sind Anteile von 0,5 bis 15 Gew.-%,
besonders bevorzugt 1 bis 10 Gew.-%, bezogen auf das
Gesamtgewicht der festen Anteile des Gemisches, wobei die
Art der Komponenten a) bis c) das Verhältnis der verwen
deten Verbindungen untereinander bestimmt.
Die photolytischen Säurebildner haben Absorptionsmaxima
im Bereich zwischen 200 und 500 nm. Durch sie wird die
spektrale Empfindlichkeit der erfindungsgemäßen Gemische
festgelegt. Sie können so ausgewählt werden, daß man
praxisgerechte Empfindlichkeiten im Bereich der technisch
wichtigen Strahlungsquellen, z. B. g-line (436 nm),
i-line (365 nm) oder UV2 (248 nm), erzielen kann. Die er
findungsgemäß verwendbaren säurespaltbaren Verbindungen
(b) können dabei so ausgewählt werden, daß sie in diesen
Bereichen praktisch keine Eigenabsorption aufweisen.
Durch spektrale Sensibilisierung läßt sich der Empfind
lichkeitsbereich der säurebildenden Verbindungen (a) so
weit vergrößern, daß man auch Strahlungsquellen des
sichtbaren oder kurzwelligen Bereichs der Röntgenstrah
lung verwenden kann. Schließlich lassen sich auch andere
Strahlungsquellen, wie Elektronen- oder Ionenstrahlen zur
bildmäßigen Differenzierung des erfindungsgemäßen Gemi
sches einsetzen, insbesondere dann, wenn man hochaktive
Säurebildner (EP-A 03 18 649) einsetzt.
Das erfindungsgemäße strahlungsempfindliche Gemisch ent
hält ferner mindestens ein polymeres, in Wasser unlösli
ches, in wäßrigen alkalischen Lösungen aber lösliches,
zumindest aber quellbares Bindemittel c). Die Wahl des
geeigneten Bindemittels richtet sich weitgehend nach der
Verwendungsart. Das Bindemittel zeichnet sich im besonde
ren dadurch aus, daß es die Bestandteile des erfindungs
gemäßen strahlungsempfindlichen Gemisches gut löst, eine
wäßrig-alkalische Entwickelbarkeit erlaubt und insbe
sondere im Wellenlängenbereich der Einstrahlung von 190
bis 550 nm eine möglichst geringe Eigenabsorption, d. h.
eine hohe Transparenz, aufweist.
Für die klassischen Anwendungen, d. h. mit Lichtquellen
im nahen UV-Bereich, sind dazu insbesondere Bindemittel
auf der Basis von Novolak-Kondensationsharzen, die in der
Regel in Kombination mit Naphthochinondiaziden als
photoaktive Komponenten eingesetzt worden sind, geeignet.
Solche Phenol-Formaldehyd-Kondensate sind mehrfach be
schrieben worden und können als phenolische Komponente
Phenol, die drei stellungsisomeren Kresole oder andere
Alkylphenole, z. B. Xylenole, als Komponenten enthalten.
Neben Formaldehyd können auch andere Aldehyde zur Her
stellung des Polymeren herangezogen werden. Ebenso gut
lassen sich die nachstehend beschriebenen, Hydroxyl
gruppen enthaltenden Polymeren für Bestrahlungen mit
nahem UV-Licht verwenden.
Für Anwendungen im UV2-Bereich sind jedoch andere poly
mere Materialien erforderlich. Novolake, die in der Regel
in Kombination mit Naphthochinondiaziden als photoaktive
Komponenten eingesetzt werden, sind dafür ungeeignet. Sie
können aber in Mischung mit anderen, als Bindemittel ge
eigneten Harzen mit höherer Transparenz eingesetzt wer
den. Die Mischungsverhältnisse richten sich dabei vorwie
gend nach der Art des mit dem Novolakharz zu mischenden
Bindemittels. Insbesondere spielen dessen Grad an Eigen
absorption im genannten Wellenlängenbereich, aber auch
die Mischbarkeit mit den anderen Bestandteilen des
strahlungsempfindlichen Gemisches eine entscheidende
Rolle. Im allgemeinen kann aber das Bindemittel des
erfindungsgemäßen strahlungsempfindlichen Gemisches bis
zu 50 Gew.-%, insbesondere bis zu 20 Gew.-%, eines Novo
lak-Kondensationsharzes enthalten.
Als Bindemittel geeignet sind Homo- oder Copolymere des
p-Hydroxystyrols sowie seiner Alkylderivate, z. B. des 3-
Methyl-4-hydroxystyrols, des 3,5-Dimethyl-4-hydroxystyrols
oder des 2,3-Dimethyl-4-hydroxystyrols sowie Homo-
oder Copolymere anderer Polyvinylphenole, z. B. des 3-
Hydroxystyrols, oder des 4-Methyl-3-hydroxystyrols oder
die Ester der (Meth)acrylsäure mit Phenolen, z. B. Brenzkatechin,
Resorcin, Hydrochinon, Pyrogallol oder Aminophenole,
sowie die entsprechenden Amide mit aromatischen
Aminen. Als Comonomere können polymerisierbare Verbindungen
wie Styrol, Methylmethacrylat, Methylacrylat
oder ähnliche eingesetzt werden.
Gemische mit erhöhter Plasmabeständigkeit werden dann er
halten, wenn zur Herstellung von Copolymeren des obigen
Typs Silicium enthaltende Vinylmonomere, z. B. Vinyl- oder
Allyl-trimethylsilan, verwendet werden. Die Transpa
renz dieser Bindemittel ist im interessierenden Bereich
im allgemeinen höher, so daß eine verbesserte Strukturie
rung möglich ist.
Mit gleichem Erfolg lassen sich auch Homo- oder Copo
lymere des Maleinimids verwenden. Auch diese Bindemittel
zeigen hohe Transparenz im beschriebenen Wel
lenlängenbereich. Als Comonomere werden auch hier be
vorzugt Styrol, substituierte Styrole, Vinylphenole,
Vinylether, Vinylester, Vinylsilylverbindungen oder
(Meth)acrylsäureester eingesetzt.
Schließlich sind darüber hinaus auch Copolymere des Sty
rols mit Comonomeren verwendbar, die in wäßrig al
kalischen Lösungen eine Löslichkeitserhöhung bewirken.
Hierunter zählen beispielsweise Maleinsäureanhydrid und
Maleinsäurehalbester.
Die genannten Bindemittel können dann untereinander ge
mischt werden, wenn sich dadurch die optische Qualität
des strahlungsempfindlichen Gemisches nicht verschlech
tert. Bindemittelgemische sind jedoch nicht bevorzugt.
Die Menge des Bindemittels beträgt im allgemeinen 30 bis
95 Gew.-%, insbesondere 40 bis 90 Gew.-%, vorzugsweise 50
bis 85 Gew.-%, bezogen auf das Gesamtgewicht der festen
Anteile der strahlungsempfindlichen Mischung.
Die Extinktion des Bindemittels bzw. der Kombination von
Bindemitteln für Strahlung der Wellenlänge von etwa 220
bis 500 nm sollte weniger als 0,5, bevorzugt weniger als
0,3 µm-1, betragen.
Ferner können den erfindungsgemäßen strahlungsempfind
lichen Gemischen gegebenenfalls Farbstoffe, Pigmente,
Weichmacher, Netzmittel und Verlaufmittel, aber auch
Polyglykole, Celluloseether, z. B. Ethylcellulose, zur
Erfüllung spezieller Erfordernisse, wie Flexibilität,
Haftung und Glanz, zugesetzt werden.
Soll ein Substrat beschichtet werden, so wird das er
findungsgemäße strahlungsempfindliche Gemisch zweckmäßig
in einem Lösemittel oder in einer Kombination von Löse
mitteln gelöst. Hierfür besonders geeignet sind
Ethylenglykol und Propylenglykol sowie die davon abgelei
teten Mono- und Dialkylether, besonders die Mono- und
Dimethylether sowie die Mono- und Diethylether, Ester ab
geleitet aus aliphatischen (C₁-C₆)Carbonsäuren und entweder
(C₁-C₈)Alkanolen oder (C₁-C₈)Alkandiolen oder (C₁-
C₆)Alkoxy-(C₁-C₈)alkanolen, beispielsweise Ethylacetat,
Hydroxyethylacetat, Alkoxyethylacetat, n-Butylacetat,
Propylenglykolmonoalkyletheracetat, insbesondere Propylenglykolmethyletheracetat
und Amylacetat, Ether, wie
Tetrahydrofuran und Dioxan, Ketone, wie Methylethylketon,
Methylisobutylketon, Cyclopentanon und Cyclohexanon, N,N-
Dialkyl-carbonsäureamide, wie N,N-Dimethylformamid und
N,N-Dimethylacetamid, aber auch Hexamethylphosphorsäuretriamid,
1-Methyl-pyrrolidin-2-on und Butyrolacton,
sowie beliebige Mischungen davon. Besonders bevorzugt
von diesen sind die Glykolether, aliphatischen Ester
und Ketone.
Letztendlich hängt die Wahl des Lösemittels bzw. Lösemit
telgemisches ab von dem angewandten Beschichtungsver
fahren, der gewünschten Schichtstärke und den Trocknungs
bedingungen. Ebenso müssen die Lösemittel chemisch neu
tral sein, d. h. sie dürfen nicht mit den übrigen
Schichtkomponenten irreversibel reagieren.
Die mit den genannten Lösemitteln hergestellte Lösung hat
in der Regel einen Feststoffgehalt von 5 bis 60 Gew.-%
vorzugsweise bis 50 Gew.-%.
Gegenstand der Erfindung ist schließlich auch ein
strahlungsempfindliches Aufzeichnungsmaterial, das im we
sentlichen aus einem Substrat und einer darauf be
findlichen strahlungsempfindlichen Schicht aus dem erfin
dungsgemäßen strahlungsempfindlichen Gemisch besteht.
Als Substrate kommen alle Materialien in Frage, aus denen
Kondensatoren, Halbleiter, mehrlagige gedruckte Schaltun
gen oder integrierte Schaltkreise bestehen bzw. herge
stellt werden können. Speziell sind Siliciumsubstrate zu
nennen, die auch thermisch oxidiert und/oder mit Alumi
nium beschichtet, aber auch dotiert sein können. Daneben
sind alle anderen in der Halbleitertechnologie üblichen
Substrate möglich, wie Siliciumnitrid, Galliumarsenid und
Indiumphosphid. Weiterhin kommen die aus der
Flüssigkristalldisplay-Herstellung bekannten Substrate in
Frage, wie Glas oder Indium-Zinnoxid, ferner Metallplat
ten und -folien - beispielsweise aus Aluminium, Kupfer,
Zink-, Bimetall- und Trimetallfolien, aber auch elek
trisch nichtleitende Folien, die mit Metallen bedampft
sind, und Papier. Diese Substrate können thermisch vor
behandelt, oberflächlich aufgerauht, angeätzt oder zur
Verbesserung erwünschter Eigenschaften, z. B. zur Erhö
hung der Hydrophilie, mit Chemikalien vorbehandelt sein.
Um der strahlungsempfindlichen Schicht einen besseren Zu
sammenhalt und/oder eine bessere Haftung auf der
Substratoberfläche zu verleihen, kann in ihr ein Haftver
mittler enthalten sein. Der gleiche Effekt läßt sich mit
einer haftvermittelnden Zwischenschicht erreichen. Bei
Silicium- bzw. Siliciumdioxid-Substraten kommen hierfür
Haftvermittler vom Aminosilan-Typ, wie z. B. 3-Aminopro
pyltriethoxysilan oder Hexamethyldisilazan, in Frage.
Geeignete Träger für die Herstellung von photomecha
nischen Aufzeichnungsschichten, wie Druckformen für den
Hochdruck, Flachdruck, Siebdruck und Flexodruck sind be
sonders Aluminiumplatten, die gegebenenfalls vorher
anodisch oxidiert, gekörnt und/oder silikatisiert werden,
daneben Zink- und Stahlplatten, die gegebenenfalls ver
chromt werden, sowie Kunststoffolien und Papier.
Das erfindungsgemäße Aufzeichnungsmaterial wird mit akti
nischer Strahlung bildmäßig belichtet. Als Strah
lungsquellen eignen sich besonders Metallhalogenidlampen,
Kohlebogenlampen, Xenonlampen und Quecksilberdampflampen.
Ebenso kann eine Belichtung mit energiereicher Strahlung
wie Laser-, Elektronen- oder Röntgenstrahlung erfolgen.
Besonders bevorzugt sind jedoch Lampen, die Licht einer
Wellenlänge von 190 bis 260 nm ausstrahlen können, d. h.
insbesondere Xenon- und Quecksilberdampflampen. Darüber
hinaus lassen sich auch Laserlichtquellen verwenden,
z. B. Excimerlaser, insbesondere KrF- oder ArF-Laser, die
bei 248 bzw. 193 nm emittieren. Die Strahlungsquellen
müssen in den genannten Wellenlängenbereichen eine
ausreichende Emission aufweisen.
Als aktinische Strahlung soll im Rahmen dieser Beschrei
bung jede Strahlung verstanden werden, deren Energie min
destens der des kurzwelligen sichtbaren Lichts ent
spricht. Geeignet ist daher insbesondere langwellige und
kürzerwellige UV-Strahlung, wie sie beispielsweise von
Excimer-Lasern ausgesandt wird.
Die Stärke der lichtempfindlichen Schicht hängt vom Ver
wendungszweck ab. Sie beträgt im allgemeinen zwischen 0,1
und 100 µm, bevorzugt zwischen 1 und 10 µm.
Gegenstand der Erfindung ist ferner ein Verfahren zur
Herstellung eines strahlungsempfindlichen Aufzeichnungs
materials. Das Auftragen des strahlungsempfindlichen Ge
misches auf das Substrat kann durch Aufsprühen,
Fließbeschichten, Walzen, Schleuder- und Tauchbeschichten
erfolgen. Danach wird das Lösemittel durch Verdampfen
entfernt, so daß auf der Oberfläche des Substrats die
strahlungsempfindliche Schicht zurückbleibt. Die Entfer
nung des Lösemittels kann durch Erhitzen der Schicht auf
Temperaturen bis zu 150°C gefördert werden. Das Gemisch
kann aber auch zunächst auf obengenannte Weise auf einen
Zwischenträger aufgetragen werden, von dem aus es unter
Druck und erhöhter Temperatur auf das endgültige Träger
material übertragen wird. Als Zwischenträger können
grundsätzlich alle auch als Trägermaterialien geeigneten
Materialien Anwendung finden. Anschließend wird die
Schicht bildmäßig bestrahlt. Danach behandelt man die
Schicht mit einer Entwicklerlösung, die die bestrahlten
Bereiche der Schicht löst und entfernt, so daß ein Abbild
der bei der bildmäßigen Bestrahlung verwendeten Vorlage
auf der Substratoberfläche verbleibt.
Als Entwickler eignen sich besonders wäßrige Lösungen,
die Silikate, Metasilikate, Hydroxide, Hydrogen- und
Dihydrogenphosphate, Carbonate oder Hydrogencarbonate von
Alkalimetall-, Erdalkalimetall- und/oder Ammoniumionen
enthalten, aber auch Ammoniak und dergleichen. Metall
ionenfreie Entwickler werden in der US-A 47 29 941, der
EP-A 00 62 733, der US-A 46 28 023, der US-A 41 41 733,
der EP-A 00 97 282 und der EP-A 00 23 758 beschrieben.
Der Gehalt dieser Substanzen in der Entwicklerlösung be
trägt im allgemeinen 0,1 bis 15 Gew.-%, vorzugsweise 0,5
bis 5 Gew.-%, bezogen auf das Gewicht der Entwicklerlö
sung. Metallionenfreie Entwickler werden bevorzugt ver
wendet. Den Entwicklern können geringe Mengen eines Netz
mittels zugesetzt sein, um die Ablösung der löslichen
Bereiche der Schicht zu erleichtern.
Die entwickelten Schichtstrukturen können nachgehärtet
werden. Dies geschieht im allgemeinen durch Erhitzen auf
einer hot plate bis zu einer Temperatur unterhalb der
Fließtemperatur und anschließendes ganzflächiges Belich
ten mit dem UV-Licht einer Xenon-Quecksilber-Dampflampe
(Bereich von 200 bis 250 nm). Durch die Nachhärtung wer
den die Bildstrukturen vernetzt, so daß sie im allgemei
nen eine Fließbeständigkeit bis zu Temperaturen von über
200°C aufweisen. Die Nachhärtung kann auch ohne Tempe
raturerhöhung allein durch Bestrahlen mit energiereichem
UV-Licht in hoher Dosis erfolgen.
Verwendung findet das erfindungsgemäße strahlungs
empfindliche Gemisch bei der Herstellung von integrierten
Schaltungen oder von einzelnen elektrischen Bausteinen
mit lithographischen Prozessen, da sie eine hohe
Lichtempfindlichkeit aufweisen, besonders bei Bestrahlung
mit Licht einer Wellenlänge zwischen 190 bis 300 nm. Da
die Gemische bei Belichtung sehr gut ausbleichen, lassen
sich feinere Strukturen erzielen als dies mit den bekann
ten Gemischen möglich ist. Die entwickelte Resistschicht
dient dabei als Maske für die folgenden Prozeßschritte.
Solche Schritte sind z. B. das Ätzen des Schichtträgers,
das Implantieren von Ionen in den Schichtträger oder das
Abscheiden von Metallen oder anderen Materialien auf dem
Schichtträger.
Die nachstehend beschriebenen Beispiele illustrieren die
Erfindung, sollen aber keine Einschränkung bewirken. Pro
zentangaben sind immer Gewichtsprozente, Schmelzpunkte
sind, sofern nicht anders angegeben, unkorrigiert. Gt
steht im Folgenden für Gewichtsteile.
1. Stufe: Herstellung von 4-tert.-Butoxycarbonyloxy-benz
aldehyd-dimethylacetal:
2 g (9 mmol) 4-(tert.-Butoxycarbonyloxy)-benzaldehyd wur den bei Raumtemperatur in 10 ml Methanol und 1,2 ml Orthoameisensäuretrimethylester gelöst. Um eine vollstän dige Lösung zu erhalten, wurden 1,5 ml Toluol zugefügt. Dann erfolgte die Zugabe von 3,75 mg RhCl3(CH3C(CH2PPh2)3) als Katalysator. Anschließend wurde die Mischung über Nacht bei Raumtemperatur gerührt. Die Lösemittel wurden durch Wasserdampfdestillation abge trennt und der ölige Rückstand in wenig Toluol aufge nommen. Der Rhodiumkatalysator wurde über eine G-4-Fritte abfiltriert. Nach dem Abziehen des Toluols unter vermin dertem Druck wurde das Produkt im Ölpumpenvakuum getrock net.
2 g (9 mmol) 4-(tert.-Butoxycarbonyloxy)-benzaldehyd wur den bei Raumtemperatur in 10 ml Methanol und 1,2 ml Orthoameisensäuretrimethylester gelöst. Um eine vollstän dige Lösung zu erhalten, wurden 1,5 ml Toluol zugefügt. Dann erfolgte die Zugabe von 3,75 mg RhCl3(CH3C(CH2PPh2)3) als Katalysator. Anschließend wurde die Mischung über Nacht bei Raumtemperatur gerührt. Die Lösemittel wurden durch Wasserdampfdestillation abge trennt und der ölige Rückstand in wenig Toluol aufge nommen. Der Rhodiumkatalysator wurde über eine G-4-Fritte abfiltriert. Nach dem Abziehen des Toluols unter vermin dertem Druck wurde das Produkt im Ölpumpenvakuum getrock net.
Ausbeute 2,3 g (95% d.Th.), schwach gelbes Öl, H-NMR
(CDCl3): Acetalsignal bei 5,38 ppm, BOC-Signal bei 1,56
ppm, im IR-Spektrum CO-Signal bei 1760 cm-1 (Verbindung
1).
2. Stufe: Herstellung von 4-tert.-Butoxycarbonyloxy-benz
aldehyd-bis-(2-phenoxyethyl)-acetal:
Eine Mischung aus 2 g (7,45 mmol) 4-(tert.-Butoxycarbo
nyloxy)-benzaldehyd-dimethylacetal, 2,06 g (14,9 mmol)
2-Phenoxyethanol und 40 mg Kaliumhydrogensulfat wurde in
30 ml getrocknetem Toluol am Rückflußkühler zum Sieden
erhitzt. Nach 1 Stunde Erhitzen wurde das entstandende
Methanol langsam abdestilliert, während erneut Toluol zur
Mischung gegeben wurde. Nach vollständiger Entfernung des
Methanols wurde die Mischung abgekühlt, der Kaliumhydro
gensulfat-Katalysator abfiltriert und das Toluol abgezo
gen. Der ölige Rückstand wurde in Dichlormethan gelöst
und mit Wasser gewaschen. Die organische Phase wurde über
Magnesiumsulfat getrocknet. Nach dem Abziehen des Löse
mittels unter vermindertem Druck wurde das Produkt im Öl
pumpenvakuum getrocknet.
Ausbeute 3,26 g (91% d.Th.), schwach gelbes Öl, das nach
2 Tagen auskristallisiert ist (Smp. 39 bis 40°C). H-NMR
(CDCl3): Acetalsignal bei 5,77 ppm, BOC-Signal bei 1,57
ppm, im IR-Spektrum CO-Signal bei 1760 cm-1. Das Massen
spektrum zeigt die Molmasse M = 480 (Verbindung 2).
1. Stufe: Herstellung von 3-tert.-Butoxycarbonyloxy-benz
aldehyd-dimethylacetal:
2 g (9 mmol) 3-tert.-Butoxycarbonyloxy-benzaldehyd wurden
bei Raumtemperatur in 10 ml Methanol und 1,2 ml
Orthoameisensäuretrimethylester gelöst. Um vollständige
Lösung zu erreichen, wurden 1,5 ml Toluol zugefügt. Dann
erfolgte die Zugabe von 3,75 mg RhCl3(CH3C(CH2PPh2)3) als
Katalysator. Anschließend wurde die Mischung über Nacht
bei Raumtemperatur gerührt. Die Lösemittel wurden durch
Wasserdampfdestillation abgetrennt und der ölige Rück
stand in wenig Toluol aufgenommen. Der Rhodiumkatalysator
wurde über eine G-4-Fritte abfiltriert. Nach dem Abziehen
des Toluols unter vermindertem Druck wurde das Produkt im
Ölpumpenvakuum getrocknet.
Ausbeute 2,1 g (85% d.Th.), schwach gelbes Öl, H-NMR
(CDCl3): Acetalsignal bei 5,35 ppm, BOC-Signal bei 1,55
ppm, im IR-Spektrum CO-Signal bei 1760 cm-1 (Verbindung
3).
2. Stufe: Herstellung von 3-tert.-Butoxycarbonyloxy-benz
aldehyd-bis-(2-phenylethyl)-acetal:
1 g (3,73 mmol) 3-tert.-Butoxycarbonyloxy-benzaldehyd-di
methylacetal wurden in 40 ml getrocknetem Toluol gelöst.
Nach Zugabe von 0,91 g (7,46 mmol) 2-Phenylethanol und
18 mg Kaliumhydrogensulfat wurde die resultierende
Mischung 2 h unter Rückfluß gerührt. Anschließend wurde
das entstandende Methanol langsam abdestilliert, während
erneut Toluol zur Mischung gegeben wurde. Nach vollstän
diger Entfernung des Methanols wurde die Mischung abge
kühlt und das Kaliumhydrogensulfat abfiltriert. Das Fil
trat wurde am Rotationsverdampfer eingeengt. Dabei wurde
ein gelbliches, viskoses Öl erhalten, das im Ölpumpen
vakuum getrocknet wurde.
Ausbeute 1,59 g (95% d.Th.). H-NMR (CDCl3): Acetalsignal
bei 5,50 ppm, BOC-Signal bei 1,57 ppm, im IR-Spektrum
CO-Signal bei 1760 cm-1 (Verbindung 4).
1. Stufe: Herstellung von 3-Methoxy-4-tert.-butoxycarbo
nyloxy-benzaldehyd-diethylacetal:
1,52 g (6 mmol) 3-Methoxy-4-tert.-butoxycarbonyloxy-benz
aldehyd wurden in 18 ml Ethanol und 2 ml Orthoamei
sensäuretriethlester gelöst. Zur vollständigen Lösung des
3-Methoxy-4-tert.-butoxycarbonyloxy-benzaldehyds wurden
weitere 2 ml Toluol zugefügt. Dann erfolgte die Zugabe
von 4,2 mg RhCl3(CH3C(CH2PPh2)3) als Katalysator. An
schließend wurde die Reaktionslösung so lange bei Raum
temperatur gerührt bis im Dünnschichtchromatogramm kein
Ausgangsmaterial mehr feststellbar war. Nach dem Abziehen
der Lösemittel wurde der ölige Rückstand in wenig Toluol
gelöst und über eine G-4-Fritte filtriert. Die erhaltene
Lösung wurde am Rotationsverdampfer eingeengt und im
Ölpumpenvakuum getrocknet.
Ausbeute 1,72 g (88% d.Th.), schwach gelbes Öl, H-NMR
(CDCl3): Acetalsignal bei 5,44 ppm, BOC-Signal bei 1,55
ppm, CH3O-Signal bei 3,73 ppm, im IR-Spektrum CO-Signal
bei 1760 cm-1 (Verbindung 5).
2. Stufe: Herstellung von 3-Methoxy-4-tert.-butoxycarbo
nyloxy-benzaldehyd-di(phenylethyl)acetal:
1,1 g (3,36 mmol) 3-Methoxy-4-tert.-butoxycarbonyloxy
benzaldehyd-di(ethyl)acetal wurden in 40 ml getrocknetem
Toluol gelöst. Nach Zugabe von 0,82 g (6,71 mmol) Phe
nylethanol und 16 mg Kaliumhydrogensulfat wurde die re
sultierende Mischung 2 h unter Rückfluß gerührt. An
schließend wurde das entstandene Ethanol langsam abde
stilliert, während erneut Toluol zur Mischung gegeben
wurde. Nach vollständiger Entfernung des Ethanols wurde
die Mischung abgekühlt und das Kaliumhydrogensulfat ab
filtriert. Das Filtrat wurde am Rotationsverdampfer ein
geengt. Dabei wurde ein gelbliches, viskoses Öl erhalten,
das an der Ölpumpe getrocknet wurde.
Ausbeute 1,56 g (97% d.Th.), H-NMR (CDCl3): Acetalsignal
bei 5,45 ppm, BOC-Signal bei 1,55 ppm, im IR-Spektrum
CO-Signal bei 1760 cm-1 (Verbindung 6).
1. Stufe: Herstellung von 4-tert.-Butoxycarbonyloxy-ben
zylalkohol:
10 g (137,5 mmol) K2CO3 wurden in 150 ml CH2Cl2 suspen
diert und 6,2 g (50 mmol) 4-Hydroxybenzylalkohol zugege
geben. Der Alkohol löste sich nicht vollständig. Das
Reaktionsgemisch wurde auf 0°C abgekühlt. Bei dieser
Temperatur wurden 660 mg (2,5 mmol) 18-Krone-6-ether in
10,7 ml = 10,9 g (50 mmol) Di-tert.-butyldicarbonat zuge
tropft. Es wurde einige Zeit bei 0°C und über Nacht bei
Raumtemperatur gerührt. Danach war kein Ausgansmaterial
mehr feststellbar, wie ein Dünnschichtchromatogramm
(SiO2, Petrolether:Essigester 1:1) zeigte. Anschließend
wurde das Kaliumcarbonat abfiltriert. Das Reaktionsge
misch wurde mit Methylenchlorid verdünnt, dreimal mit ge
sättigter Natriumchloridlösung gewaschen und dann über
Magnesiumsulfat getrocknet. Das Magnesiumsulfat wurde ab
filtriert, das Filtrat eingeengt und anschließend über
eine SiO2-Säule mit Petrolether:Essigester (1:1) chroma
tographiert. Man erhielt als Produkt 8 g (71% d.Th.) eines
farblosen Öls.
2. Stufe: Herstellung von 4-tert.-Butoxycarbonyloxy-benz
aldehyd-bis(4-tert.-butoxycarbonyloxybenzyl)-acetal:
Eine Mischung von 1 g (3,73 mmol) 4-tert.-Butoxycarbonyl
oxy-benzaldehyd-dimethylacetal, hergestellt entsprechend
Stufe 1 des Beispiels 1, 1,67 g (7,46 mmol) 4-tert.-But
oxycarbonyloxy-benzylalkohol und 18 mg Kalium
hydrogensulfat wurde in 40 ml getrocknetem Toluol 1 h
unter Rückfluß erhitzt. Danach wurde das entstandene
Methanol unter Zugabe von Toluol langsam abdestilliert.
Nach vollständiger Entfernung des Methanols wurde die
Mischung abgekühlt, der Katalysator abfiltriert und das
Toluol abgezogen. Der ölige Rückstand wurde im Ölpumpen
vakuum getrocknet.
Ausbeute 2,33 g (96% d.Th.), schwach gelbes Wachs, H-NMR
(CDCl3): Acetalsignal bei 5,71 ppm, BOC-Signal bei 1,55
ppm, CH2O-Signal bei 4,54 ppm, im IR-Spektrum CO-Signal
bei 1760 cm-1 (Verbindung 7).
1. Stufe: Herstellung von 2,3-Bis-tert.-butoxycarbonyl
oxy-benzaldehyd-dimethylacetal:
3 g (9 mmol) 2,3-Bis-tert.-butoxycarbonyloxybenzaldehyd
wurden bei Raumtemperatur in 10 ml Methanol und 1,2 ml
Orthoameisensäuretrimethylester gelöst. Um das Benzalde
hydderivat vollständig zu lösen, wurden 1,5 ml Toluol zu
gegeben. Dann erfolgte die Zugabe von 3,75 mg
RhCl3(CH3C(CH2PPh2)3) als Katalysator. Anschließend wurde
die Mischung über Nacht bei Raumtemperatur gerührt. Die
Lösemittel wurden durch Wasserdampfdestillation abge
trennt und der ölige Rückstand in wenig Toluol aufgenom
men. Der ungelöste Rhodiumkatalysator wurde über eine
G-4-Fritte abfiltriert. Nach dem Abziehen des Toluols unter
vermindertem Druck wurde das Produkt im Ölpumpenvakuum
getrocknet.
Ausbeute 2,9 g (75% d.Th.), schwach gelbes Öl, H-NMR
(CDCl3): Acetalsignal bei 5,30 ppm, BOC-Signal bei 1,55
ppm, im IR-Spektrum CO-Signal bei 1760 cm-1 (Verbindung
8).
2. Stufe: Herstellung von 2,3-Bis-tert.-butoxycarbonyl
oxy-benzaldehyd-bis-(2-phenylethyl)-acetal:
1,43 g (3,73 mmol) 2,3-Bis-tert.-butoxycarbonyloxy-benz
aldehyd-dimethylacetal wurden in 40 ml getrocknetem To
luol gelöst. Nach Zugabe von 0,91 g (7,46 mmol) 2-Phe
nylethanol und 18 mg Kaliumhydrogensulfat wurde die re
sultierende Mischung 1 h unter Rückfluß gerührt. An
schließend wurde das entstandende Methanol langsam abde
stilliert, während erneut Toluol zur Mischung gegeben
wurde. Nach vollständiger Entfernung des Methanols wurde
die Mischung abgekühlt und das Kaliumhydrogensulfat ab
filtriert. Das Filtrat wurde am Rotationsverdampfer ein
geengt. Dabei wurde ein gelbliches, viskoses Öl erhalten,
das im Ölpumpenvakuum getrocknet wurde.
Ausbeute 1,66 g (79% d.Th.), H-NMR (CDCl3): Acetalsignal
bei 5,48 ppm, BOC-Signal bei 1,54 ppm, im IR-Spektrum
CO-Signal bei 1760 cm-1 (Verbindung 9).
Die Strukturformeln der Verbindungen 1 bis 9 sind nach
stehend wiedergegeben.
Die nachstehend beschriebenen Verbindungsbeispiele wurden
analog der in Beispiel 1 und/oder Beispiel 2 angegebenen
Vorschrift hergestellt, wobei im Einzelfall lediglich ge
ringfügige Änderungen der Reaktionsdauer und der Aufar
beitung durchgeführt wurden. Alle Verbindungen konnten
eindeutig durch Elementaranalyse, H-NMR und IR-Spektrum
identifiziert werden.
Es wurde eine Beschichtungslösung hergestellt aus
7,5 Gt eines Kresol-Formaldehyd-Novolaks mit einem Erweichungsbereich
von 105 bis 120°C,
2,0 Gt 4-tert.-Butoxycarbonyloxy-benzaldehyd-bis-(2- phenoxyethyl)-acetal,
0,4 Gt 6(4-Chlorstyryl)-4-methyl-1-trifluormethansulfonyloxy- 2-pyridon und
42 Gt Propylenglykol-monomethylether-acetat.
2,0 Gt 4-tert.-Butoxycarbonyloxy-benzaldehyd-bis-(2- phenoxyethyl)-acetal,
0,4 Gt 6(4-Chlorstyryl)-4-methyl-1-trifluormethansulfonyloxy- 2-pyridon und
42 Gt Propylenglykol-monomethylether-acetat.
Die Lösung wurde durch ein Filter mit einem Poren
durchmesser von 0,2 µm filtriert und auf einen mit einem
Haftvermittler (Hexamethyldisilazan) behandelten Wafer
bei 3200 Umdrehungen je Minute aufgeschleudert. Nach 1
min Trocknen bei 100°C auf der hot plate wurde eine
Schichtdicke von 1,1 µm erhalten.
Das Aufzeichnungsmaterial wurde bildmäßig unter einer
Vorlage mit der Strahlung einer Xenon-Quecksilber
dampflampe bei 365 nm einer Energie von 55 mJ/cm2 be
lichtet. Um die Spaltung des Lösungsinhibitors zu ver
vollständigen, wurde das Material 1 min auf 100°C er
wärmt.
Entwickelt wurde das Aufzeichnungsmaterial mit einem rein
wäßrigen Entwickler, der 2,38 Gew.-% Tetramethyl
ammoniumhydroxid enthielt.
Nach einer Entwicklungsdauer von 120 s erhielt man ein
fehlerfreies Abbild der Maske mit steilen Resistflanken,
wobei auch Strukturen < 0,55 µm detailgetreu aufgelöst
waren. Eine Untersuchung der Flanken der Resistprofile
mit Rasterelektronenmikroskopie belegte, daß diese prak
tisch senkrecht zur Substratoberfläche ausgerichtet wa
ren. Der Kontrast betrug 4,6.
Der Kontrast eines Positivresists, cp, ist definiert als
cp = 1/(log Dp - log Dp o) = [log(Dp/Dp o)⁻¹
wobei Dp o die Einstrahlungsdosis ist, bei welcher der
Entwickler beginnt, den belichteten Film anzugreifen, und
Dp den Resistaufpunkt (= Resistempfindlichkeit) dar
stellt. Eine genaue Beschreibung dieser Größe enthält der
Aufsatz von L.F. Thompson und M.J. Bowden "Resist Proces
sing" (Introduction to Microlithography, Theory, Mate
rials and Processing, Herausgeber C.G. Willson, L.F.
Thompson, und M.J. Bowden, ACS Symp. Ser., 219, 164 ff
(1983), American Chemical Society, Washington).
Es wurde eine Beschichtungslösung hergestellt aus
7,5 Gt eines Copolymeren aus 3,5-Dimethyl-4-hydroxystyrol/
4-Hydroxystyrol (Molverhältnis 30 : 70)
mit einem mittleren Molekulargewicht von
25 000,
2,0 Gt der Verbindung 9 und
0,4 Gt Triphenylsulfonium-trifluormethansulfonat in
42 Gt Propylenglykol-monomethylether-acetat.
2,0 Gt der Verbindung 9 und
0,4 Gt Triphenylsulfonium-trifluormethansulfonat in
42 Gt Propylenglykol-monomethylether-acetat.
Die Lösung wurde durch ein Filter mit einem Poren
durchmesser von 0,2 µm filtriert und auf einen mit einem
Haftvermittler (Hexamethyldisilazan) behandelten Wafer
bei 3300 Umdrehungen aufgeschleudert. Nach 1 min Trock
nen bei 100°C wurde eine Schichtdicke von 1,08 µm erhal
ten.
Das Aufzeichnungsmaterial wurde bildmäßig unter einer
Vorlage mit der Strahlung einer Xenon-Quecksilber
dampflampe bei 240 bis 260 nm mit einer Energie von
35 mJ/cm2 belichtet, 75 s auf 100°C erwärmt und anschließend
mit dem in Beispiel 1 beschriebenen Entwickler verarbei
tet.
Nach einer Entwicklungsdauer von 60 s erhielt man ein
fehlerfreies Abbild der Maske mit hoher Flanken
stabilität, wobei auch hier Strukturen < 0,4 µm detail
getreu aufgelöst waren.
Es wurde eine Beschichtungslösung hergestellt aus
7,5 Gt eines Copolymeren aus Styrol und Maleimid
(Molverhältnis 1 : 1) mit einem Erweichungsbereich
von 165 bis 180°C,
2,0 Gt der Verbindung 4 und
0,3 Gt Triphenylsulfonium-trifluormethansulfonat in
42 Gt Cyclohexan.
2,0 Gt der Verbindung 4 und
0,3 Gt Triphenylsulfonium-trifluormethansulfonat in
42 Gt Cyclohexan.
Die Lösung wurde durch ein Filter mit einem Poren
durchmesser von 0,2 µm filtriert und auf einen mit einem
Haftvermittler (Hexamethyldisilazan) behandelten Wafer
bei 3400 Umdrehungen aufgeschleudert. Nach 1 min Trock
nen bei 100°C wurde eine Schichtdicke von 0,98 µm erhal
ten.
Das Aufzeichnungsmaterial wurde bildmäßig unter einer
Vorlage mit der Strahlung einer Xenon-Quecksilber
dampflampe bei 240 bis 260 nm mit einer Energie von
49 mJ/cm2 belichtet.
Entwickelt wurde das Aufzeichnungsmaterial mit einer
0,02 n wäßrigen Tetramethylammoniumhydroxid-Lösung, wobei
die belichteten Bereiche innerhalb von 60 s rückstands
frei abgelöst wurden.
Man erhielt wiederum ein fehlerfreies Abbild der Maske
mit steilen Resistflanken. Der Dunkelabtrag war < 20 nm;
auch Strukturen < 0,4 µm waren detailgetreu aufgelöst.
Es wurde eine Beschichtungslösung hergestellt aus
7,5 Gt eines Homopolymeren aus 3-Methyl-4-hydroxystyrol
mit einem mittleren Molekulargewicht von
25 000,
2,0 Gt der Verbindung 6 und
0,4 Gt 4-Methyl-6-phenyl-1-trifluormethansulfonyloxy- 2-pyridon in
42 Gt Propylenglykol-monomethylether-acetat.
2,0 Gt der Verbindung 6 und
0,4 Gt 4-Methyl-6-phenyl-1-trifluormethansulfonyloxy- 2-pyridon in
42 Gt Propylenglykol-monomethylether-acetat.
Die Lösung wurde durch ein Filter mit einem Poren
durchmesser von 0,2 µm filtriert und in zwei gleiche
Teile getrennt. Ein Teil wurde auf einen mit einem Haft
vermittler (Hexamethyldisilazan) behandelten Wafer bei
3300 Umdrehungen aufgeschleudert. Nach 1 min Trocknen
bei 100°C wurde eine Schichtdicke von 1,04 µm erhalten.
Das Aufzeichnungsmaterial wurde bildmäßig unter einer
Vorlage mit der Strahlung einer Xenon-Quecksilber
dampflampe bei 240 bis 260 nm mit einer Energie von
62 mJ/cm2 belichtet, 75 s auf 100°C erwärmt und anschließend
mit dem in Beispiel 1 beschriebenen Entwickler verarbei
tet.
Nach einer Entwicklungsdauer von 60 s erhielt man ein
fehlerfreies Abbild der Maske mit hoher Flanken
stabilität, wobei auch hier Strukturen < 0,4 µm detail
getreu aufgelöst waren.
Der zweite Teil wurde nach 20 Wochen Lagerung im Kühl
schrank der gleichen Prozedur unterzogen. Es wurden iden
tische Ergebnisse erhalten. Daraus geht hervor, daß das
Gemisch in Lösung außerordentlich gute Stabilität auf
weist.
Das in Anwendungsbeispiel 1 beschriebene Material wurde
bildmäßig mit Strahlung einer Wellenlänge von 436 nm be
lichtet. Nach der in Beispiel 1 beschriebenen Verarbei
tung wurde eine eine korrekte Vorlagenwiedergabe bis
herab zu 0,55 µm beobachtet.
Claims (17)
1. Verbindungen mit der allgemeinen Formel I
worinX ein Phenyl-, [1]Naphthyl- oder [2]Naphthylrest
ist, der jeweils mit mindestens einer tert.-
Butoxycarbonyloxygruppe substituiert ist und
gegebenenfalls einen oder mehr als einen zusätzlichen
Substituenten aufweist,
R¹ für ein Wasserstoffatom, einen (C₁-C₆)Alkyl-, einen (C₆-C₁₀)Arylrest oder einen der Reste X steht und
R² und R³ gleich oder verschieden sind und einen (C₁-C₁₂)Alkylrest, in dem gegebenenfalls bis zu drei Methylengruppen durch Brückenglieder, die mindestens ein Heteroatom aufweisen, wie -O-, -S-, -NR⁴-, -CO-, -CO-O-, -CO-NH-, -O-CO-NH-, -NH-CO-NH-, -CO-NH-CO-, -SO₂-, -SO₂-O-, oder -SO₂-NH-, ersetzt sind, einen (C₃-C₁₂)Alkenyl-, (C₃-C₁₂)Alkinyl, (C₄-C₁₂)Cycloalkyl-, (C₄-C₁₂) Cycloalkenyl- oder (C₈-C₁₆)Aralkylrest, in dem gegebenenfalls bis zu drei Methylengruppen des aliphatischen Teils durch Brückenglieder der oben genannten Art ersetzt sind und der im aromatischen Teil durch Fluor-, Chlor- oder Bromatome, durch (C₁-C₄)Alkyl-, (C₁-C₄)Alkoxy-, Nitro-, Cyano- oder tert.-Butoxycarbonyloxygruppen substituiert sein kann, bedeuten, wobei
R⁴ für einen Acyl-, insbesondere einen (C₁-C₆) Alkanoylrest, steht.
R¹ für ein Wasserstoffatom, einen (C₁-C₆)Alkyl-, einen (C₆-C₁₀)Arylrest oder einen der Reste X steht und
R² und R³ gleich oder verschieden sind und einen (C₁-C₁₂)Alkylrest, in dem gegebenenfalls bis zu drei Methylengruppen durch Brückenglieder, die mindestens ein Heteroatom aufweisen, wie -O-, -S-, -NR⁴-, -CO-, -CO-O-, -CO-NH-, -O-CO-NH-, -NH-CO-NH-, -CO-NH-CO-, -SO₂-, -SO₂-O-, oder -SO₂-NH-, ersetzt sind, einen (C₃-C₁₂)Alkenyl-, (C₃-C₁₂)Alkinyl, (C₄-C₁₂)Cycloalkyl-, (C₄-C₁₂) Cycloalkenyl- oder (C₈-C₁₆)Aralkylrest, in dem gegebenenfalls bis zu drei Methylengruppen des aliphatischen Teils durch Brückenglieder der oben genannten Art ersetzt sind und der im aromatischen Teil durch Fluor-, Chlor- oder Bromatome, durch (C₁-C₄)Alkyl-, (C₁-C₄)Alkoxy-, Nitro-, Cyano- oder tert.-Butoxycarbonyloxygruppen substituiert sein kann, bedeuten, wobei
R⁴ für einen Acyl-, insbesondere einen (C₁-C₆) Alkanoylrest, steht.
2. Verbindungen gemäß Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß die gegebenenfalls zusätzlich in den
Resten X vorkommenden Substituenten Fluor-, Chlor-,
Brom- oder Jodatome, Nitro-, Cyano- oder Carboxy
gruppen, (C1-C9)-, besonders bevorzugt
(C1-C6)Alkylreste, in denen gegebenenfalls bis zu
drei, besonders bevorzugt bis zu zwei, Methy
lengruppen durch Brückenglieder der im Anspruch 1
genannten Art ersetzt sind, Phenylreste, die wie
derum substituiert sein können, insbesondere mit
tert.-Butoxycarbonylgruppen, (C1-C4)Alkylresten,
(C1-C4)Alkoxyresten und/oder Halogen-atomen, sowie
(C8-C12)-, besonders bevorzugt (C8-C10)Aralkylreste,
in denen gegebenenfalls bis zu zwei Methylengruppen
durch Brückenglieder der oben genannten Art ersetzt
sind, (C6-C10)Aryloxyreste oder (C7-C10)Aralk
oxyreste sind.
3. Verbindungen gemäß Anspruch 1 oder 2, dadurch ge
kennzeichnet, daß R1 für ein Wasserstoffatom steht.
4. Verfahren zur Herstellung der Verbindungen gemäß
einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß in einer ersten Stufe ein Alde
hyd bzw. Keton der allgemeinen Formel II
X-CO-R¹ (II)mit einem niedrigsiedenden Alkohol in Gegenwart
eines Katalysators und eines wasserentziehenden Mit
tels in ein Acetal bzw. Ketal der allgemeinen Formel
III
überführt und dieses dann in einer zweiten Stufe
durch Umsetzung mit einem hochsiedenden Alkohol
R2-OH und/oder R3-OH in Gegenwart eines Katalysators zu
den Verbindungen der allgemeinen Formel I umgewan
delt wird.
5. Verfahren gemäß Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß der niedrigsiedende Alkohol Methanol oder Etha
nol ist.
6. Verfahren gemäß Anspruch 4 oder 5, dadurch ge
kennzeichnet, daß der in der ersten Stufe verwendete
Katalysator RhCl3(triphos) ist.
7. Verfahren gemäß einem oder mehreren der Ansprüche 4
bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der in der ersten
Stufe verwendete Katalysator RhCl3(CH3C(CH2PPh2)3)
ist.
8. Verfahren gemäß einem oder mehreren der Ansprüche 4
bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das wasser
entziehende Mittel ein dem verwendeten niedrig
siedenden Alkohol entsprechender Orthoameisensäure
trialkylester ist.
9. Verfahren gemäß einem oder mehreren der Ansprüche 4
bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der in der zwei
ten Stufe verwendete Katalysator Kalium
hydrogensulfat ist.
10. Verfahren gemäß einem oder mehreren der Ansprüche 4
bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der in der zwei
ten Stufe verwendete Katalysator ein saures Ionen
austauscherharz ist.
11. Positiv arbeitendes strahlungsempfindliches Gemisch
mit
- a) einer Verbindung, die unter der Einwirkung von aktinischer Strahlung starke Säure bildet,
- b) eine Verbindung mit mindestens eine C-O-C-Bin dung, die durch die von der Verbindung a) ge bildete Säure gespalten werden kann, und
- c) ein in Wasser unlösliches, in wäßrig-alkali scher Lösung dagegen lösliches oder zumindest quellbares Bindemittel,
dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindung b) eine
Verbindung gemäß einem oder mehreren der Ansprüche 1
bis 3 ist.
12. Positiv arbeitendes strahlungsempfindliches Gemisch
gemäß Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die
Verbindung a) unter der Einwirkung von aktinischer
Strahlung Sulfonsäure bildet.
13. Positiv arbeitendes strahlungsempfindliches Gemisch
gemäß Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet,
daß die Verbindung a) einen Anteil von 0,25 bis
25 Gew.-%, bevorzugt 0,5 bis 15 Gew.-%, besonders
bevorzugt 1,0 bis 10 Gew.-%, an dem Gesamtgewicht
der festen Anteile des Gemisches hat.
14. Positiv arbeitendes strahlungsempfindliches Gemisch
gemäß einem oder mehreren der Ansprüche 11 bis 13,
dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindung b) einen
Anteil von 1 bis 60, bevorzugt 5 bis 50 Gew.-%, an
dem Gesamtgewicht der festen Anteile des Gemisches
hat.
15. Positiv arbeitendes strahlungsempfindliches Gemisch
gemäß einem oder mehreren der Ansprüche 11 bis 14,
dadurch gekennzeichnet, daß das Bindemittel c) einen
Anteil von 30 bis 95 Gew.-%, bevorzugt 40 bis
90 Gew.-%, besonders bevorzugt 50 bis 85%, an dem
Gesamtgewicht der festen Anteile des Gemisches hat.
16. Strahlungsempfindliches Aufzeichnungsmaterial aus
einem Substrat und einer darauf befindlichen
Schicht, dadurch gekennzeichnet, daß die strahlungs
empfindliche Schicht aus einem Gemisch gemäß einem
oder mehreren der Ansprüche 11 bis 15 besteht.
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