DE4123482C2 - Sensor für thermische Massenstrommesser - Google Patents
Sensor für thermische MassenstrommesserInfo
- Publication number
- DE4123482C2 DE4123482C2 DE4123482A DE4123482A DE4123482C2 DE 4123482 C2 DE4123482 C2 DE 4123482C2 DE 4123482 A DE4123482 A DE 4123482A DE 4123482 A DE4123482 A DE 4123482A DE 4123482 C2 DE4123482 C2 DE 4123482C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- rod
- film resistor
- tube
- thin film
- shaped holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C1/00—Details
- H01C1/01—Mounting; Supporting
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P5/00—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft
- G01P5/10—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring thermal variables
- G01P5/12—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring thermal variables using variation of resistance of a heated conductor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen Sensor für thermische
Massenstrommesser, bestehend aus einem plattenförmigen
Dünnfilmwiderstand und einer stabförmigen Halterung
aus einem elektrisch isolierenden
Material.
In der Verfahrenstechnik werden vielfach thermische
Massenstrommesser verwendet, die nach dem Prinzip des
Hitzdraht- oder Heißfilmanemometers arbeiten. Ein solcher
Massenstrommesser ist in der
DE 35 42 788 A1 beschrieben.
Der dabei verwendete Dünnfilmwiderstand ist als
Halterung mit einer stabförmigen
Mehrfachkapillaren versehen, die auch die Anschlußdrähte des
Widerstandes aufnimmt. Der Dünnfilmwiderstand,
besteht aus einem keramischen Träger und einer
dünnen Metallschicht sowie gegebenenfalls einer
keramischen Abdeckplatte. Er wird nach der DE 35 42 788 A1
in einen Schlitz der Mehrfachkapillaren eingeführt und
mit einem Glaslot oder einer Glasfritte befestigt.
Die Ausbildung der Einstecköffnung als Sackloch bereitet herstellungsmäßig
große Schwierigkeiten. Auf die rundum erfolgende Fixierung und
Berührung mit dem Verbindungsmittel soll jedoch nicht verzichtet werden.
Deshalb lag der Erfindung die Aufgabe zugrunde, die Herstellung des
Sackloches, in das der Dünnfilmwiderstand eingesetzt wird, zu vereinfachen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Sensor
mit den Merkmalen nach dem Patentanspruch 1 gelöst.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist es vorge
sehen, die Mehrfachkapillare innerhalb des sie um
hüllenden Rohres nicht als durchgehenden Zylinder zu
gestalten, sondern sie mit einer Verjüngung oder
Unterbrechung zu versehen, wobei dann zumindest über
die Länge der Unterbrechung oder Verjüngung kein
Kontakt mit dem Mantelrohr vorliegt. Der Vorteil
dieser Variante liegt in einer kleineren wirksamen
Wärmekapazität und einer verringerten parasitären
Wärmeabfuhr in die Halterung. Ein Großteil der
verbleibenden parasitären Wärmeströme wird auf kurzem
Weg in wandnahe Bereiche, die vom Medium umströmt
werden, umgeleitet. Dadurch kann eine besonders
schnelle Ansprechzeit des Sensors gegenüber Änderungen
der Mediums- und/oder der Heizertemperatur gewährleistet
werden, denn die Neueinstellung der Temperaturvertei
lung geschieht über die kurzen Wege zur Wärmequelle
oder -senke und die kleinen beteiligten Wärmekapazi
täten entsprechend schnell. Die Ausführung einer solchen
Verjüngung kann beispielsweise in Form einer dünnen
Säule oder eines Quaders erfolgen, wobei dabei die
Funktion der elektrischen Isolation der Zuleitungs
drähte bestehen bleibt. Es kann jedoch auch sinnvoll
sein, die elektrische Isolation anderweitig zu gewähr
leisten und die Mehrfachkapillare vollständig zu
unterbrechen, sie also aus zwei getrennten Teilen
bestehen zu lassen, die jeweils für sich über eine
Haftmasse mit dem Mantelrohr verbunden werden.
Eine besonders einfache Ausführungsform der
Halterung erhält man, wenn die Länge
der Mehrfachkapillaren kürzer ist als das
umschließende Rohr.
Die stabförmige Halterung besteht aus einem elektrisch
isolierenden Material. Vorzugsweise wird hierfür
Keramik oder Glas eingesetzt. Als Haftmasse kann eine
Glasfritte oder ein Glaslot verwendet werden.
Für das umschließende
Rohr verwendet man vorzugsweise ein
dünnwandiges Rohr aus Keramik mit dem gleichen
thermischen Ausdehnungskoeffizient wie die Mehrfach
kapillare.
Normalerweise ist die stabförmige Halterung noch von einem
Schutzrohr umgeben, wobei zwischen Halterung und
Schutzrohr ein Spalt verbleibt. Das hat den Nachteil,
daß sich dieser Spalt mit Schmutz vollsetzen kann, der
in dem zu messenden Medium mitgeführt wird und der zu
einer Veränderung der Kennlinie des Sensors durch
erhöhte Wärmeabfuhr führen kann. Es ist daher
vorteilhaft, die Halterung mit einem enganliegenden
Schutzrohr aus einem korrosionsfesten Material zu
versehen, das mit radialen und tangentialen Schlitzen
für eine leichtere Montage und zur Aufnahme von
mechanischen Spannungen ausgestattet ist.
Die Fig. 1 bis 4 zeigen schematisch
Ausführungsformen stabförmiger Halterungen mit
plattenförmigen Dünnfilmwiderständen (Fig. 1 bis 3) und Schutzrohre
dazu (Fig. 4). In Fig. 1 besitzt die zylindrische stabförmige
Halterung 1′ auf einer Stirnfläche ein Sackloch 3,
in das der Dünnfilmwiderstand 2 mit seinen
Zuleitungsdrähten 4 passend eingesteckt wird.
Der dann noch verbleibende enge Spalt zwischen
Dünnfilmwiderstand 2 und der Innenseite des
Sacklochs 3 wird mit einer Glasfritte oder einem
Glaslot ausgefüllt.
Fig. 2 zeigt als Ausführungsbeispiel der Erfindung
eine Mehrfachkapillare 1, die auf
der einen Stirnfläche mit einem Schlitz 5 versehen
ist. In diesem Schlitz 5 wird der Dünnfilmwiderstand
2 befestigt. Über die Mehrfachkapillare 1 wird
dann das dünnwandige Keramikrohr 6 gestülpt, so daß
sich aus dem Schlitz 5 ein Sackloch bildet.
Fig. 3 zeigt eine Ausführungsform der stabförmigen
Halterung nach Anspruch 2. Die Mehrfach
kapillare 1 besitzt hier eine Verjüngung 11, die
die Wärmekapazität der Halterung herabsetzt und
parasitäre Wärmeströme zwingt, über die dünne Säule
12 und den Querschnitt des Mantelrohres zu fließen.
Die Wärmeleitung über Säule und Mantelrohr ist wegen
der geringen Querschnitte kleiner als bei einer
massiven Ausführung der Mehrfachkapillaren. Als Folge davon
wird eine drastische Verbesserung der Ansprechzeit bei
schwankenden Mediumstemperaturen beobachtet. Die Säule
12 übernimmt weiterhin die elektrische Isolation
zwischen den Zuleitungen 4 des Dünnfilmwider
standes 2.
Fig. 4a zeigt ein dünnwandiges, metallenes
Schutzrohr 7, das radiale Schlitze 8 und
tangentiale Schlitze 9 besitzt. Anstelle der
tangentialen Schlitze 9 kann auch ein Federbalg
10, Fig. 4b, vorhanden sein. Dieses Schutzrohr
7 umgibt die stabförmige Halterung 1, 6.
Claims (5)
1. Sensor für thermische Massenstrommesser, bestehend aus einem
plattenförmigen Dünnfilmwiderstand (2) und einer stabförmigen Halterung
aus einer zylindrischen Mehrfachkapillaren (1),
die die Zuleitungen aufnimmt, und einem die Mehrfachkapillare (1) eng umschließenden Rohr
(6),
wobei die stabförmige Halterung aus einem elektrisch isolierenden Material besteht,
die eine Stirnfläche der stabförmigen Halterung mit
einem dem Querschnitt des Dünnfilmwiderstands (2) angepaßten
Sackloch (3) versehen ist, das durch einen in diese
Stirnfläche der Mehrfachkapillaren eingebrachten Schlitz (5)
und dem umschließenden Rohr (6) gebildet wird,
der Dünnfilmwiderstand (2) mit einer
seiner Schmalseiten zu 10 bis 60% seiner Länge in dieses
Sackloch (3) passend eingesteckt und der enge Spalt zwischen
Sackloch (3) und Dünnfilmwiderstand (2) mit einer Haftmasse
ausgefüllt ist.
2. Sensor nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Mehrfachkapillare (1) mindestens eine Verjüngung (11)
oder Unterbrechung aufweist, wobei mindestens über die Länge
der Verjüngung oder Unterbrechung kein Kontakt der Mehrfachkapillaren
(1) zum umschließenden Rohr (6) vorliegt.
3. Sensor nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Länge der Mehrfachkapillaren (1) kürzer ist als die des
umschließenden Rohrs (6).
4. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß das elektrisch isolierende Material der Halterung aus
Keramik oder Glas und die Haftmasse aus einer Glasfritte oder
einem Glaslot besteht.
5. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß die stabförmige Halterung mit einem metallischen, eng anliegenden
Schutzrohr (7) umgeben ist, das mit radialen (8) und
tangentialen Schlitzen (9) oder einem Federbalg (10) versehen
ist.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4123482A DE4123482C2 (de) | 1990-08-17 | 1991-07-16 | Sensor für thermische Massenstrommesser |
DE59108198T DE59108198D1 (de) | 1990-08-17 | 1991-08-10 | Sensor für thermische Massenstrommesser |
EP91113442A EP0471316B1 (de) | 1990-08-17 | 1991-08-10 | Sensor für thermische Massenstrommesser |
JP3205028A JP2944796B2 (ja) | 1990-08-17 | 1991-08-15 | 熱質量流量計用センサ |
US07/746,666 US5207765A (en) | 1990-08-17 | 1991-08-16 | Sensor for thermal mass flowmeters |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE9011927U DE9011927U1 (de) | 1990-08-17 | 1990-08-17 | Sensor für thermische Massenstrommesser |
DE4123482A DE4123482C2 (de) | 1990-08-17 | 1991-07-16 | Sensor für thermische Massenstrommesser |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4123482A1 DE4123482A1 (de) | 1992-02-20 |
DE4123482C2 true DE4123482C2 (de) | 1994-06-30 |
Family
ID=6856608
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE9011927U Expired - Lifetime DE9011927U1 (de) | 1990-08-17 | 1990-08-17 | Sensor für thermische Massenstrommesser |
DE4123482A Expired - Fee Related DE4123482C2 (de) | 1990-08-17 | 1991-07-16 | Sensor für thermische Massenstrommesser |
DE59108198T Expired - Fee Related DE59108198D1 (de) | 1990-08-17 | 1991-08-10 | Sensor für thermische Massenstrommesser |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE9011927U Expired - Lifetime DE9011927U1 (de) | 1990-08-17 | 1990-08-17 | Sensor für thermische Massenstrommesser |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE59108198T Expired - Fee Related DE59108198D1 (de) | 1990-08-17 | 1991-08-10 | Sensor für thermische Massenstrommesser |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (3) | DE9011927U1 (de) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4125623A1 (de) * | 1991-08-02 | 1993-02-04 | Schako Metallwarenfabrik | Einrichtung zum regeln eines volumenstromes |
EP0775316B1 (de) * | 1994-02-28 | 1999-10-13 | Heraeus Electro-Nite International N.V. | Verfahren zur befestigung einer sensoranordnung für heissfilmanemometer |
DE102009028850A1 (de) | 2009-08-24 | 2011-03-03 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Herstellungsverfahren eines Sensors eines thermischen Durchflussmessgeräts |
DE102009028848A1 (de) * | 2009-08-24 | 2011-03-03 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Aufbau und Herstellungsverfahrens eines Sensors eines thermischen Durchflussmessgeräts |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54145166A (en) * | 1978-04-10 | 1979-11-13 | Hitachi Ltd | Measuring apparatus of suction air flow rates |
DE3542788A1 (de) * | 1985-12-04 | 1987-06-19 | Degussa | Vorrichtung zur thermischen massenstrommessung von gasen und fluessigkeiten |
JPH0244211A (ja) * | 1988-08-04 | 1990-02-14 | Sharp Corp | フローセンサ |
-
1990
- 1990-08-17 DE DE9011927U patent/DE9011927U1/de not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-07-16 DE DE4123482A patent/DE4123482C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-08-10 DE DE59108198T patent/DE59108198D1/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE9011927U1 (de) | 1990-11-08 |
DE4123482A1 (de) | 1992-02-20 |
DE59108198D1 (de) | 1996-10-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0471316B1 (de) | Sensor für thermische Massenstrommesser | |
EP0224741B1 (de) | Vorrichtung zur thermischen Massenstrommessung von Gasen und Flüssigkeiten | |
DE3883613T2 (de) | Widerstandstemperaturfühler. | |
EP2282179A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Temperatursensors für ein thermisches Durchflussmessgerät | |
EP2875324A1 (de) | Temperaturfühler für schnelle temperaturwechsel | |
DE68903678T2 (de) | Einrichtung zur messung des durchflusses von fluessigkeiten. | |
DE4123482C2 (de) | Sensor für thermische Massenstrommesser | |
DE102007023824B4 (de) | Thermischer Massendurchflussmesser | |
DE3841448C1 (de) | ||
EP0137888B1 (de) | Spritzgiessvorrichtung | |
EP2591318B1 (de) | Messaufnehmer eines thermischen durchflussmessgeräts zur ermittlung des durchflusses eines mediums durch ein messrohr und verfahren zu dessen herstellung | |
EP0149416A2 (de) | Temperaturfühler zur Messung der Temperatur in konvektionsarmen Medien | |
DE3716145C2 (de) | ||
EP3535549B1 (de) | Verfahren zur herstellung eines fühlers für ein thermisches durchflussmessgerät, fühler und durchflussmessgerät | |
DE19610885A1 (de) | Wärmeübergangsmeßgerät | |
DE4418472C2 (de) | Sonde zur Temperaturmessung von Gasen oder Flüssigkeiten | |
DE4424630C1 (de) | Temperaturfühler mit einer Hülse und einem Meßwiderstand | |
DE2013483C3 (de) | Vorrichtung zum Messen und/oder Überwachen von Temperaturen, Niveauhöhen und/oder Strömungszuständen flüssiger oder gasförmiger Medien | |
DE3210123C2 (de) | Wärmefühler | |
DE3011045A1 (de) | Elektrode | |
CH666355A5 (de) | Thermoelement. | |
DE2210900C3 (de) | Hochtemperaturdruckmeßsonde | |
EP0321689B1 (de) | Vorrichtung als Temperaturmesser oder Spüllanze für Metallschmelzen od. dgl., insbesondere Aluminiumschmelzen | |
DE29716885U1 (de) | Temperaturfühler zur Messung von Oberflächentemperaturen | |
DE19537431A1 (de) | Widerstandsthermometer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8181 | Inventor (new situation) |
Free format text: EIERMANN, KURT, DR., 6102 PFUNGSTADT, DE LINK, DIETER, 6450 HANAU, DE HOHENSTATT, MARTIN, DR., 6451 HAMMERSBACH, DE GOEBEL, REINER, 6450 HANAU, DE SCHRODE, JUERGEN, 6451 HAMMERSBACH, DE GABEL, ANDREAS, 6095 GINSHEIM, DE HOEHLER, ANDREAS, DR., 6450 HANAU, DE |
|
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: SENSYCON GESELLSCHAFT FUER INDUSTRIELLE SENSORSYST |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: MANNESMANN AG, 40213 DUESSELDORF, DE Owner name: ABB PATENT GMBH, 68526 LADENBURG, DE |
|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: ABB AG, 68309 MANNHEIM, DE |
|
8320 | Willingness to grant licences declared (paragraph 23) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
Effective date: 20110201 |