DE4123052A1 - Integriertes sensor- und stellelement fuer die brennpunktlageregelung von hochleistungslasern - Google Patents

Integriertes sensor- und stellelement fuer die brennpunktlageregelung von hochleistungslasern

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0710551A1 (de) * 1994-08-24 1996-05-08 Schablonentechnik Kufstein Aktiengesellschaft Vorrichtung zur Herstellung einer Druckschablone
NL1001752C2 (nl) * 1995-11-27 1997-05-30 Tno Deflector.
DE10029306A1 (de) * 2000-06-14 2002-01-17 Physik Instr Pi Gmbh & Co Anordnung zur temperaturkompensierten, mehrdimensionalen Mikropositionierung von zueinander lagedefinierten optischen Komponenten
WO2003091661A1 (en) * 2002-04-26 2003-11-06 Massachussetts Institute Of Technology Adjustable focusing composite for use in an optical profilometer system and method
DE102012209837A1 (de) * 2012-06-12 2013-12-12 Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh EUV-Anregungslichtquelle mit einer Laserstrahlquelle und einer Strahlführungsvorrichtung zum Manipulieren des Laserstrahls
CN111864524A (zh) * 2020-08-14 2020-10-30 江苏博创翰林光电高科技有限公司 一种激光输出稳定性的监测与反馈控制系统

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4424492C2 (de) * 1994-07-12 1996-07-11 Diehl Gmbh & Co Anordnung zur Werkstückbearbeitung mittels eines auf einen Brennfleck fokussierbaren Lasers

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4091274A (en) * 1976-12-22 1978-05-23 United Technologies Corporation Active laser mirror system
DE3133823C1 (de) * 1981-08-27 1983-03-10 Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8000 München Reflektor für einen Hochenergielaser
DE3406677A1 (de) * 1984-02-24 1985-09-05 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Einrichtung zur kompensation der auswanderung eines laserstrahls
DE3408263C1 (de) * 1984-03-07 1985-12-05 Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8012 Ottobrunn Verfahren zur Herstellung von Hochenergielaserspiegeln
DE3628339A1 (de) * 1985-08-23 1987-03-26 Itek Corp Gekuehlter verformbarer spiegel
DE3202432C2 (de) * 1982-01-26 1987-04-23 Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8000 München Hochenergielaser-Feintracker
US4734557A (en) * 1985-07-10 1988-03-29 Alfille Jean Pascal Deformable mirror
GB2213964A (en) * 1988-01-15 1989-08-23 Atomic Energy Authority Uk Beam alignment
DE4012927A1 (de) * 1990-04-24 1991-10-31 Messerschmitt Boelkow Blohm Mess-verfahren und -vorrichtung zur dreidimensionalen lageregelung des brennpunktes eines hochenergie-laserstrahls

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4091274A (en) * 1976-12-22 1978-05-23 United Technologies Corporation Active laser mirror system
DE3133823C1 (de) * 1981-08-27 1983-03-10 Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8000 München Reflektor für einen Hochenergielaser
DE3202432C2 (de) * 1982-01-26 1987-04-23 Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8000 München Hochenergielaser-Feintracker
DE3406677A1 (de) * 1984-02-24 1985-09-05 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Einrichtung zur kompensation der auswanderung eines laserstrahls
DE3408263C1 (de) * 1984-03-07 1985-12-05 Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8012 Ottobrunn Verfahren zur Herstellung von Hochenergielaserspiegeln
US4734557A (en) * 1985-07-10 1988-03-29 Alfille Jean Pascal Deformable mirror
DE3628339A1 (de) * 1985-08-23 1987-03-26 Itek Corp Gekuehlter verformbarer spiegel
GB2213964A (en) * 1988-01-15 1989-08-23 Atomic Energy Authority Uk Beam alignment
DE4012927A1 (de) * 1990-04-24 1991-10-31 Messerschmitt Boelkow Blohm Mess-verfahren und -vorrichtung zur dreidimensionalen lageregelung des brennpunktes eines hochenergie-laserstrahls

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0710551A1 (de) * 1994-08-24 1996-05-08 Schablonentechnik Kufstein Aktiengesellschaft Vorrichtung zur Herstellung einer Druckschablone
US5754219A (en) * 1994-08-24 1998-05-19 Schablonentechnik Kufstein Aktiengesellschaft Device for producing a printing stencil including controlling a shape of a mirror directing a beam onto the stencil in accordance with a distance from a sensor to the stencil
CN1053861C (zh) * 1994-08-24 2000-06-28 库夫施泰因模板技术公司 生产印刷模板的装置
NL1001752C2 (nl) * 1995-11-27 1997-05-30 Tno Deflector.
DE10029306A1 (de) * 2000-06-14 2002-01-17 Physik Instr Pi Gmbh & Co Anordnung zur temperaturkompensierten, mehrdimensionalen Mikropositionierung von zueinander lagedefinierten optischen Komponenten
DE10029306C2 (de) * 2000-06-14 2003-07-31 Physik Instr Pi Gmbh & Co Anordnung zur temperaturkompensierten, mehrdimensionalen Mikropositionierung von zueinander lagedefinierten optischen Komponenten
WO2003091661A1 (en) * 2002-04-26 2003-11-06 Massachussetts Institute Of Technology Adjustable focusing composite for use in an optical profilometer system and method
US6943968B2 (en) 2002-04-26 2005-09-13 Massachusetts Institute Of Technology Adjustable focusing composite for use in an optical profilometer system and method
DE102012209837A1 (de) * 2012-06-12 2013-12-12 Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh EUV-Anregungslichtquelle mit einer Laserstrahlquelle und einer Strahlführungsvorrichtung zum Manipulieren des Laserstrahls
US9129717B2 (en) 2012-06-12 2015-09-08 Trumpf Lasersystems For Semiconductor Manufacturing Gmbh EUV excitation light source with a laser beam source and a beam guide device for manipulating the laser beam
CN111864524A (zh) * 2020-08-14 2020-10-30 江苏博创翰林光电高科技有限公司 一种激光输出稳定性的监测与反馈控制系统
CN111864524B (zh) * 2020-08-14 2024-05-28 江苏博创翰林光电高科技有限公司 一种激光输出稳定性的监测与反馈控制系统

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