DE10027148A1 - Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstückes mittels eines fokussierbaren Lasers - Google Patents

Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstückes mittels eines fokussierbaren Lasers

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstückes mittels eines fokussierbaren Lasers, mit einer Laserquelle und wenigstens einem im Strahlweg des Lasers angeordneten Spiegel. DOLLAR A Es ist vorgesehen, dass im Strahlweg ein beweglich verstellbarer Scannerspiegel (10) angeordnet ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstückes mittels eines fokussierbaren Lasers mit den im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Merkmalen.
Es ist bekannt, dass zur Bearbeitung eines Werkstückes mittels eines fokussierbaren Lasers im Strahlenweg eines Laserstrahls einem schwenkbar angeordneten Scannerspiegel ein durch piezoelektrische Stellelemente deformierbarer Spiegel vorzuschalten ist. Derartige Anordnungen werden dort eingesetzt, wo der Brennfleck des Lasers mit hoher Geschwindigkeit über das zu bearbeitende Werkstück geführt werden soll. Da bei derartig hohen Geschwindigkeiten auch hohe Beschleunigungen auftreten, lassen sich solche Systeme nicht mit einem bewegten Werkstück realisieren, da sonst geringe Bearbeitungsgeschwindigkeiten, Abweichungen der Bearbeitungsgeschwindigkeit und Ungenauigkeiten in der Relativbewegung auftreten würden.
Dementsprechend erfolgt bei derartigen, scannenden Systemen die Brennfleckpositionierung durch Kippbewegung eines Spiegels. Durch zwei Kippachsen des Spiegels ist eine zweidimensionale Bewegung des Brennflecks möglich. Dieses führt dazu, dass sich der Brennfleck nicht exakt in einer Ebene, sondern auf der Oberfläche eines Toroids bewegt, was bei einem ebenen Werkstück zu Abweichungen der Lage des Brennflecks von der optimalen Bearbeitungsposition führt.
Aus der DE-A 44 24 492 ist eine Anordnung zur Werkstückbearbeitung mittels eines fokussierbaren Lasers bekannt, bei dem die Einstellung des Brennflecks des Lasers in Abhängigkeit von der Geometrie der Werkstückoberfläche erfolgt. Dabei ist der Fokussierlinse ein über eine elektronische Regeleinrichtung ansteuerbarer, deformierbarer Spiegel vorgeordnet, dessen Krümmung in Abhängigkeit von dem Abstand zwischen der wenigstens einen Schwenkachse des Scannerspiegels und der jeweiligen Position des Brennflecks auf der Oberfläche des zu bearbeitenden Werkstücks veränderbar ist.
Aus der DE-A 42 17 705 ist bekannt, die deformierbaren Spiegel durch piezoelektrische Stellelemente zu verstellen.
Der Nachteil des Standes der Technik besteht darin, dass die schwenkbaren Scannerspiegel in Verbindung mit den entsprechenden Fokussierlinsen eine aufwendige Konstruktion hinsichtlich ihrer Lagerung und ihrer Verstellbarkeit benötigen. Deswegen sind diese Vorrichtungen aufgrund ihrer großen Baugröße nicht für den Einsatz von robotergeführten Remotelaserschweißköpfen geeignet. Ein weiterer Nachteil besteht darin, dass diese Vorrichtungen nicht die Vorgaben an die heutig zu erwartenden Laserschweißgeschwindigkeiten und -genauigkeiten in allen Punkten erfüllen. Außerdem ist es schwierig, mit diesen Anlagen ein Schweißen von spaltbehafteten Fügestellen durchzuführen.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstückes mittels eines fokussierbaren Lasers zu entwickeln, die den Einsatz in robotergeführten Remotelaserschweißköpfen durch Reduzierung des Bauraumes und des Gewichtes bei gleichzeitiger Erhöhung der Schweißgenauigkeit und der Schweißgeschwindigkeit ermöglicht, mit der eine Verbesserung des Schweißens von spaltbehafteten Fügestellen erfolgen kann und dessen Laserstrahl dreidimensional verstellbar ist.
Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstückes mittels eines fokussierbaren Lasers mit den in dem Anspruch 1 genannten Merkmalen gelöst. Dadurch, dass ein beweglich aufgehängter, verstellbarer Scannerspiegel vorgesehen ist, dem vorzugsweise ein verstellbarer, adaptiver Fokussierspiegel, ein Umlenkspiegel, ein verstellbarer Spiegel und eine Lasererzeugungsquelle vorgeschaltet sind, wird einerseits erreicht, dass durch die bewegliche Aufhängung des Scannerspiegels die zu bewegende Masse verringert wird, und andererseits wird durch den Scannerspiegel eine zweidimensionale Verstellung des Laserstrahles ermöglicht. Durch die Verringerung der zu bewegenden Masse des Scannerspiegels erfolgt eine verbesserte Einstellbarkeit des Laserstrahles am Werkstück, wodurch die Schweißgenauigkeit und die Schweißgeschwindigkeit gesteigert werden kann. Die Verringerung der Masse und der benötigten Baugröße, die auch auf die Anordnung des verstellbaren Spiegels und des verstellbaren, adaptiven Fokussierspiegels zurückzuführen sind, ermöglicht den Einsatz der erfindungsgemäßen Vorrichtung in robotergeführten Remotelaserschweißköpfen. Durch Anordnung eines verstellbaren, adaptiven Fokussierspiegels erfolgt in Verbindung mit dem beweglich aufgehängten, verstellbaren Scannerspiegel eine dreidimensionale Verstellung des Laserstrahles auf dem Werkstück.
In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist dem Spiegel zur Verstellung ein piezoelektrisches Steuerelement zugeordnet. Das hat zur Folge, dass der zweidimensionalen Verstellung des Scannerspiegels eine zusätzliche hochfrequente Bewegung überlagert werden kann. Damit wird eine zusätzliche Bewegung des Laserstrahles auf dem Werkstück erreicht. Diese zusätzliche Bewegung wird insbesondere zum besseren Schweißen von spaltbehafteten Fügestellen angewendet.
Weitere bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den übrigen, in den Unteransprüchen genannten Merkmalen.
Die Erfindung wird nachfolgend in einem Ausführungsbeispiel anhand der zugehörigen Zeichnung, die die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstückes mittels eines fokussierbaren Lasers zeigt, näher erläutert.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstückes mittels eines fokussierbaren Lasers besteht aus einem beweglich verstellbaren Scannerspiegel 10, dem ein verstellbarer, adaptiver Fokussierspiegel 12, ein Umlenkspiegel 16, ein verstellbarer Spiegel 18 und eine Lasererzeugungsquelle 22 vorgeschaltet sind. Der Spiegel 18, der als ebener Spiegel ausgebildet ist, wird durch ein unmittelbar an den Spiegel 18 angeordnetes, piezoelektrisches Steuerelement 20 verstellt. Dabei erfolgt die Verstellung des Spiegels 18 durch Kippen des Spiegels 18 um die x-Achse und/oder um die y-Achse. Die Einstellung des Spiegels 18, durch entsprechende Winkelveränderung beim Kippen des Spiegels 18, wird durch mehrere einzelne Piezoelemente erreicht, die durch eine hochfrequente Spannung angesteuert werden und dadurch eine entsprechende Verstellung des Spiegels 18 bewirken. Durch die Anordnung von mehreren Piezoelementen und deren separate Ansteuerung lässt sich der Spiegel 18 entsprechend den Erfordernissen verstellen. Durch die hochfrequente Spannung wird dem Laserstrahl eine hochfrequente Zusatzbewegung in x-Richtung und in y-Richtung überlagert. Die Zusatzbewegung wird durch die entsprechenden Spiegel auf das Werkstück übertragen und bewirkt auf dem Werkstück ein besseres Schweißen von spaltbehafteten Fügestellen. Diese Zusatzbewegung des Laserstrahles besitzt aber nur eine geringfügige Größe.
Der durch den Spiegel 18 mit einer hochfrequenten Zusatzbewegung überlagerte Laserstrahl wird über einen Umlenkspiegel 16 auf einen adaptiven Fokussierspiegel 12 geleitet. Der adaptiven Fokussierspiegel 12 ist als eine flexible Membran ausgebildet, dessen Krümmungsradius durch ein piezoelektrisches Steuerelement 14 verstellt wird. Das Piezoelement wirkt direkt auf die flexible Membran und bewirkt durch eine entsprechende Steuerspannung eine Änderung des Krümmungsradius des adaptiven Fokussierspiegels 12. Die Änderung des Krümmungsradius des adaptiven Fokussierspiegels 12 hat eine Verstellung des Fokussierpunktes des Laserstrahles in z-Richtung (Höhenverstellung) auf dem Werkstück zur Folge. Damit lassen sich sowohl unterschiedliche Werkstückdicken bearbeiten als auch die Abweichungen der Lage des Brennfleckes des Laserstrahles von der exakten Ebene, die beim Kippen des Scannerspiegels 10 zwangsläufig entstehen, ausgleichen. Somit erfolgt die Verstellung des adaptiven Fokussierspiegels 12 in Abhängigkeit von der Werkstückoberfläche und der Verstellung des Scannerspiegels 10 beim Schweißvorgang. Die flexible Membran des adaptiven Fokussierspiegels 12 ist ein für die Laserwellenlänge hochreflektierender Spiegel.
Der durch den adaptiven Fokussierspiegel 12 in seinem Fokussierpunkt veränderte Laserstrahl trifft auf den als ebenen Umlenkspiegel ausgebildeten Scannerspiegel 10. Der Scannerspiegel 10 ist beweglich, beispielsweise kardanisch, aufgehängt und zusätzlich zweidimensional in x-Richtung und in y-Richtung verstellbar. Durch die Verstellung des Scannerspiegels in x-Richtung und in y-Richtung lässt sich der Fokussierpunkt des Laserstrahles auf der Werkstückoberfläche exakt einstellen. Die Kippbewegung des Scannerspiegels ermöglicht, eine hohe Schweißgeschwindigkeit auf der Werkstückoberfläche. Durch die Überlagerung der Verstellung des Spiegels 18 mit der Verstellung des adaptiven Spiegels 12 und der Verstellung des Scannerspiegels 10 wird beim Schweißen immer ein optimaler Brennpunkt auf der Werkstückoberfläche entsprechend den eingestellten Bedingungen erzeugt. Durch die Anordnung der piezoelektrischen Steuerelemente 14 und 20 an dem adaptiven Fokussierspiegel 12 und an dem Spiegel 18 können Änderungen des Fokussierpunktes des Laserstrahles auf dem zu bearbeitenden Werkstück sehr schnell in drei Dimensionen (in x-Richtung, in y-Richtung und z-Richtung) durchgeführt werden.
Durch den Einsatz des beweglich verstellbaren Scannerspiegels 10 in Verbindung mit dem piezoelektrisch verstellbaren, adaptiven Fokussierspiegel und dem piezoelektrisch verstellbaren Spiegel 18 sowie mit dem Umlenkspiegel 16 wird die Masse und der Bauraum der Vorrichtung gegenüber dem bekannten Stand der Technik erheblich verringert, so dass die erfindungsgemäße Vorrichtung in einem robotergeführten Remotelaserschweißkopf eingesetzt werden kann. Dadurch wird der Anwendungsbereich der erfindungsgemäßen Vorrichtung wesentlich erweitert. Gleichzeitig wird durch die Verringerung der zu bewegenden Masse die Schweißgenauigkeit verbessert und die Schweißgeschwindigkeit erhöht.
Als Laser für die durchzuführenden Schweißarbeiten wird ein CO2- oder ein Nd:YAG-Laser verwendet.
BEZUGSZEICHENLISTE
10
Scannerspiegel
12
adaptiver Fokussierspiegel
14
piezoelektrisches Steuerelement
16
Umlenkspiegel
18
Spiegel
20
piezoelektrisches Steuerelement
22
Lasererzeugungsquelle

Claims (17)

1. Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstückes mittels eines fokussierbaren Lasers, mit einer Laserquelle und wenigstens einem im Strahlweg des Lasers angeordneten Spiegel, dadurch gekennzeichnet, dass im Strahlweg ein beweglich verstellbarer Scannerspiegel (10) angeordnet ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass dem beweglich verstellbaren Scannerspiegel (10) im Strahlweg des Lasers ein verstellbarer, adaptiver Fokussierspiegel (12), ein Umlenkspiegel (16) und ein verstellbarer Spiegel (18) vorgeschaltet sind.
3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der beweglich verstellbare Scannerspiegel (10), der verstellbare, adaptive Fokussierspiegel (12), der Umlenkspiegel (16), der verstellbare Spiegel (18) und die Lasererzeugungsquelle (22) in einem robotergeführten Remotelaserschweißkopf angeordnet sind.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass dem Spiegel (18) zur Verstellung ein piezoelektrisches Steuerelement (20) zugeordnet ist.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das piezoelektrische Steuerelement (20) aus mehreren einzelnen Piezoelementen besteht.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das piezoelektrische Steuerelement (20) des Spiegels (18) durch hochfrequente Spannung verstellt wird.
7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel (18) ein ebener Spiegel ist.
8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel (18) um die x-Achse und um die y-Achse verstellbar angeordnet ist.
9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass dem adaptiven Fokussierspiegel (12) zur Verstellung ein piezoelektrisches Steuerelement (14) zugeordnet ist.
10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der adaptive Fokussierspiegel (12) eine flexible Membran ist.
11. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der adaptive Fokussierspiegel (12) ein für Laser hochreflektierender Spiegel ist.
12. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Verstellung des adaptiven Fokussierspiegels (12) in Abhängigkeit von der Werkstückoberfläche und der Verstellung des Scannerspiegels (10) erfolgt.
13. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der beweglich verstellbare Scannerspiegel (10) zusätzlich zweidimensional verstellbar angeordnet ist.
14. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Verstellung des Spiegels (18) mit der Verstellung des adaptiven Fokussierspiegels (12) und des Scannerspiegels (10) überlagert wird.
15. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der beweglich verstellbare Scannerspiegel (10) ein ebener Umlenkspiegel ist.
16. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Laser ein CO2-Laser ist.
17. Vorrichtung nach Ansprüchen 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Laser ein Nd:YAG-Laser ist.
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Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10349677A1 (de) * 2003-02-28 2004-09-30 Daimlerchrysler Ag Verfahren zum Laserstrahlschweißen mit reduzierter Bildung von Endkratern
DE10351779B3 (de) * 2003-09-19 2005-02-10 Daimlerchrysler Ag Verfahren zum Laserstrahlschweissen mittels vorherigem Heften
FR2859934A1 (fr) * 2003-09-19 2005-03-25 Daimler Chrysler Ag Procede pour le soudage par faisceau laser avec pointage prealable
WO2005109064A1 (de) * 2004-05-03 2005-11-17 Linos Photonics Gmbh & Co. Kg Spiegelgelenkarm
EP1695786A1 (de) * 2005-02-25 2006-08-30 Trumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG Anordnung zur Laserbearbeitung, insbesondere zum Laserschweissen von 3D-Bauteilen, mit einem ersten optischen Element zur Aufteilung eines Laserstrahles und einem zweiten optischen Element zur Fokusierung der Teilstrahlen
DE102005023985A1 (de) * 2005-05-20 2006-11-23 Keysystech Gmbh Laserschweißvorrichtung
WO2007079760A1 (de) * 2005-12-23 2007-07-19 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Scannerkopf und bearbeitungsmaschine damit
WO2007082568A1 (de) * 2006-01-18 2007-07-26 Tutech Innovation Gmbh Optikeinheit und verfahren zum laser-remoteschweissen
EP1839799A1 (de) * 2006-03-27 2007-10-03 SEI S.p.A. Laservorrichtung zum Produktbehandeln mit einem in zwei senkrechten Richtungen drehbaren Skannspiegel
DE102010011988A1 (de) * 2010-03-18 2011-09-22 Jenoptik Automatisierungstechnik Gmbh Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstückes mittels ablenkbarem Laserstrahl
DE102010026571A1 (de) * 2010-07-07 2012-01-12 Carl Zeiss Microlmaging Gmbh Optische Scan-Einrichtung
DE102011006152A1 (de) * 2011-03-25 2012-09-27 BLZ Bayerisches Laserzentrum Gemeinnützige Forschungsgesellschaft mbH Trepanieroptik zur Einstellung und Variation eines Propagationswinkels und einer lateralen Versetzung elektromagnetischer Strahlung
DE102012012780A1 (de) 2012-06-26 2014-01-02 Tutech Innovation Gmbh Parellelkinematisches Spiegel-Ablenksystem mit doppelkardanischer Aufhängung
CN105033453A (zh) * 2015-07-21 2015-11-11 中国科学院福建物质结构研究所 一种旋转式振镜扫描装置及其应用方法
CN105215546A (zh) * 2015-10-28 2016-01-06 武汉铱科赛科技有限公司 一种激光扫描填充系统及其扫描填充方法
CN106735886A (zh) * 2017-02-16 2017-05-31 上海嘉强自动化技术有限公司 一种基于单振镜与自适应镜3d扫描光学系统
DE102014106595B4 (de) 2013-05-10 2022-05-12 Liop-Tec Gmbh Spiegelhalter für Laserstrahloptiken und Laserstrahloptik
DE102021105559A1 (de) 2021-03-08 2022-09-08 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein Spiegelvorrichtung für ein Fertigungssystem zur laserstrahlbasierten Fertigung, Fertigungssystem und Verfahren
WO2024056615A2 (de) 2022-09-16 2024-03-21 TRUMPF Werkzeugmaschinen SE + Co. KG Laserbearbeitung mit scanneroptik

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3916264A1 (de) * 1989-05-18 1990-11-22 Diehl Gmbh & Co Einrichtung zur strahlfuehrung bei der laser-werkstueckbearbeitung
DE4424492A1 (de) * 1994-07-12 1996-01-25 Diehl Gmbh & Co Anordnung zur Werkstückbearbeitung mittels eines auf einen Brennfleck fokussierbaren Lasers
DE19519150A1 (de) * 1995-05-30 1996-12-12 Fraunhofer Ges Forschung Laserstrahlgerät und Verfahren zur Bearbeitung von Werkstücken
DE19706038A1 (de) * 1997-02-06 1998-08-20 Chromatron Laser Sys Gmbh Vorrichtung zum Beschriften von Materialien mit einem Laser

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3916264A1 (de) * 1989-05-18 1990-11-22 Diehl Gmbh & Co Einrichtung zur strahlfuehrung bei der laser-werkstueckbearbeitung
DE4424492A1 (de) * 1994-07-12 1996-01-25 Diehl Gmbh & Co Anordnung zur Werkstückbearbeitung mittels eines auf einen Brennfleck fokussierbaren Lasers
DE19519150A1 (de) * 1995-05-30 1996-12-12 Fraunhofer Ges Forschung Laserstrahlgerät und Verfahren zur Bearbeitung von Werkstücken
DE19706038A1 (de) * 1997-02-06 1998-08-20 Chromatron Laser Sys Gmbh Vorrichtung zum Beschriften von Materialien mit einem Laser

Cited By (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10349677B4 (de) * 2003-02-28 2009-05-14 Daimler Ag Verfahren zum Laserstrahlschweißen mit reduzierter Bildung von Endkratern
US7091444B2 (en) 2003-02-28 2006-08-15 Daimlerchrysler Ag Process for laser beam welding with reduced formation of end craters
DE10349677A1 (de) * 2003-02-28 2004-09-30 Daimlerchrysler Ag Verfahren zum Laserstrahlschweißen mit reduzierter Bildung von Endkratern
DE10351779B3 (de) * 2003-09-19 2005-02-10 Daimlerchrysler Ag Verfahren zum Laserstrahlschweissen mittels vorherigem Heften
FR2859934A1 (fr) * 2003-09-19 2005-03-25 Daimler Chrysler Ag Procede pour le soudage par faisceau laser avec pointage prealable
WO2005109064A1 (de) * 2004-05-03 2005-11-17 Linos Photonics Gmbh & Co. Kg Spiegelgelenkarm
US7909818B2 (en) 2004-05-03 2011-03-22 Linos Photonics Gmbh & Co. Kg Jointed mirror arm
EP1695786A1 (de) * 2005-02-25 2006-08-30 Trumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG Anordnung zur Laserbearbeitung, insbesondere zum Laserschweissen von 3D-Bauteilen, mit einem ersten optischen Element zur Aufteilung eines Laserstrahles und einem zweiten optischen Element zur Fokusierung der Teilstrahlen
DE102005023985A1 (de) * 2005-05-20 2006-11-23 Keysystech Gmbh Laserschweißvorrichtung
CN101346208B (zh) * 2005-12-23 2011-03-30 通快机床两合公司 扫描头和具有这种扫描头的加工机
US7525708B2 (en) 2005-12-23 2009-04-28 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Scanner head for a laser machining device
JP2009520995A (ja) * 2005-12-23 2009-05-28 トルンプフ ヴェルクツォイクマシーネン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト スキャナヘッド及び当該スキャナヘッドを用いた加工機器
WO2007079760A1 (de) * 2005-12-23 2007-07-19 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Scannerkopf und bearbeitungsmaschine damit
JP4691166B2 (ja) * 2005-12-23 2011-06-01 トルンプフ ヴェルクツォイクマシーネン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト スキャナヘッド及び当該スキャナヘッドを用いた加工機器
WO2007082568A1 (de) * 2006-01-18 2007-07-26 Tutech Innovation Gmbh Optikeinheit und verfahren zum laser-remoteschweissen
EP1839799A1 (de) * 2006-03-27 2007-10-03 SEI S.p.A. Laservorrichtung zum Produktbehandeln mit einem in zwei senkrechten Richtungen drehbaren Skannspiegel
DE102010011988A1 (de) * 2010-03-18 2011-09-22 Jenoptik Automatisierungstechnik Gmbh Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstückes mittels ablenkbarem Laserstrahl
DE102010026571B4 (de) 2010-07-07 2022-05-12 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Optische Scan-Einrichtung
DE102010026571A1 (de) * 2010-07-07 2012-01-12 Carl Zeiss Microlmaging Gmbh Optische Scan-Einrichtung
DE102011006152A1 (de) * 2011-03-25 2012-09-27 BLZ Bayerisches Laserzentrum Gemeinnützige Forschungsgesellschaft mbH Trepanieroptik zur Einstellung und Variation eines Propagationswinkels und einer lateralen Versetzung elektromagnetischer Strahlung
DE102012012780A1 (de) 2012-06-26 2014-01-02 Tutech Innovation Gmbh Parellelkinematisches Spiegel-Ablenksystem mit doppelkardanischer Aufhängung
WO2014000883A1 (de) 2012-06-26 2014-01-03 Technische Universität Hamburg-Harburg Parallelkinematisches spiegel-ablenksystem mit doppelkardanischer aufhängung
DE102014106595B4 (de) 2013-05-10 2022-05-12 Liop-Tec Gmbh Spiegelhalter für Laserstrahloptiken und Laserstrahloptik
CN105033453A (zh) * 2015-07-21 2015-11-11 中国科学院福建物质结构研究所 一种旋转式振镜扫描装置及其应用方法
CN105215546A (zh) * 2015-10-28 2016-01-06 武汉铱科赛科技有限公司 一种激光扫描填充系统及其扫描填充方法
CN105215546B (zh) * 2015-10-28 2017-05-24 武汉铱科赛科技有限公司 一种激光扫描填充系统及其扫描填充方法
CN106735886A (zh) * 2017-02-16 2017-05-31 上海嘉强自动化技术有限公司 一种基于单振镜与自适应镜3d扫描光学系统
DE102021105559A1 (de) 2021-03-08 2022-09-08 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein Spiegelvorrichtung für ein Fertigungssystem zur laserstrahlbasierten Fertigung, Fertigungssystem und Verfahren
WO2022188922A1 (de) * 2021-03-08 2022-09-15 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. Spiegelvorrichtung für ein fertigungssystem zur laserstrahlbasierten fertigung, fertigungssystem und verfahren
WO2024056615A2 (de) 2022-09-16 2024-03-21 TRUMPF Werkzeugmaschinen SE + Co. KG Laserbearbeitung mit scanneroptik
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