DE4110752C1 - Electrostatic tester producing test pulse for electronic components - comprises charged capacitor, discharge resistors and switching elements in matrix form releasing pulse - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine elektrostatische Prüfvorrichtung zur Erzeugung eines Prüfimpulses zur Aussteuerung von An­ schlußkontakten elektronischer Bauelemente zum Zwecke der Prüfung ihrer Spannungspuls-Empfindlichkeit mit einem La­ dekondensator, Entladungswiderständen und impulsauslösenden, ma­ trizenartig zusammengefaßten Schaltelementen.

Die Zuführung der Spannungsimpulse zur Prüfung der Spannungs­ empfindlichkeit elektronischer Bauteile an deren Anschlußkon­ takte (Pins), erfolgt über Relaismatrizen. Dabei ist die Re­ laismatrix als Parallelmatrix ausgebildet. Die parasitären Ka­ pazitäten der Relais und Leitungen verschlechtern die An­ stiegszeit und Amplitude des Impulses. Damit wird die Anzahl der ansteuerbaren Pins begrenzt.

Zur Verbesserung der Anstiegszeit kann man Beschleunigungs­ glieder zum Entladewiderstand parallel schalten. Dadurch über­ trägt aber der erzeugte Impuls eine andere zeitabhängige Lei­ stung als diejenigen, die an dem jeweiligen Testpin gefordert wird.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine elektro­ statische Prüfvorrichtung zu schaffen, durch die ohne Verfäl­ schung der zeitabhängigen Leistung des Testimpulses die An­ steuerung vieler Testpins gewährleistet ist.

Zur Lösung dieser Aufgabe wird die elektrostatische Prüfvor­ richtung derart ausgebildet, daß die Schaltelemente in Baum­ struktur angeordnet sind und sowohl die Entladewiderstände als auch das jeweils letzte impulsauslösende Schaltelement den ein­ zelnen Auswahlmatrizen zugeordnet ist.

Als Schaltelemente können dabei vorteilhafterweise Relaiskon­ takte verwendet werden.

Durch die Anordnung der Relais in einer Baumstruktur wird die Kapazität der Relaismatrix gegenüber einer herkömmlichen pa­ rallelen Matrix erheblich verringert.

Durch Verlegen des den Impuls auslösenden letzten Schaltelements in die Relaismatrix wird erreicht, daß ein Großteil der Ma­ trixkapazität parallel zum Ladekondensator wirkt und damit keinen unerwünschten Einfluß auf die Impulsform ausübt.

Eine Optimierung der Schaltung durch ein Beschleunigungsnetz­ werk ist damit nicht mehr erforderlich.

Durch die vorgenannten Maßnahmen ist bezüglich der elektri­ schen Eigenschaften eine beliebig hohe Pinzahl adressierbar.

Anhand der Fig. 3 und 4 sowie der Ausführungsbeispiele nach den Fig. 1 und 2 wird die Erfindung näher erläutert.

Es zeigen

Fig. 3 eine bisherige Anordnung mit parallelen Relaismatrizen,

Fig. 4 ein herkömmliches Beschleunigungsglied,

Fig. 1 eine Baumstrukturmatrix nach der Erfindung und

Fig. 2 ein Detailschaltbild nach Fig. 1.

In Fig. 3 ist schematisch der Aufbau einer bekannten elektro­ statischen Prüfvorrichtung dargestellt. Der Ladekondensator C_B wird über den Schalter S wechselweise mit Hilfe der Spannungs­ quelle U₀ aufgeladen und über den Entladewiderstand R_B entla­ den. Dabei wird die Entladungsspannung den einzelnen Pins des jeweiligen Bauteils über die Schalter SD zugeführt. Die Kapa­ zität C_D stellt dabei die jeweilige Pinkapazität dar, während die Kapazität C_p die parasitären Kapazitäten der Relaismatrix wiedergeben soll. Diese parasitären Kapazitäten C_p liegen pa­ rallel zur Pinkapazität C_D und verschlechtern dadurch die An­ stiegszeit und die Amplitude der den Pins zugeführten Impulse.

Zur Verbesserung der Anstiegszeit werden deshalb Beschleuni­ gungsglieder, wie in Fig. 4 dargestellt, verwendet, bei denen parallel zum Entladewiderstand R_B eine Reihenschaltung aus Ka­ pazität C_X und dem Ohm′schen Widerstand R_X liegt, wobei R_X we­ sentlich kleiner als der Entladewiderstand R_B sein muß.

Fig. 1 zeigt den Aufbau der Relaismatritzen in Baumstruktur. Am Ende dieser Struktur ist das elektronische Bauteil BT ange­ schlossen, wobei in den dargestellten Kästchen jeweils die Zu­ sammenfassung von acht Pinkontakten zum Ausdruck gebracht wer­ den. Insgesamt werden bei der dargestellten Schaltung 128 Pins angesteuert.

Ein Detailschaltbild eines solchen Kästchens mit acht Pins ist in Fig. 2 dargestellt. Die diesen Pins vorgeschaltete Relaisma­ trix RM in Baumstruktur ist zum besseren Verständnis aller­ dings nur schematisch dargestellt. Die Aufladung des Ladekon­ densators C_B soll wieder über die Spannungsquelle U₀ und den Schalter S erfolgen. Die den Impuls auslösenden letzten Schalt­ elemente SD sind innerhalb der jeweiligen Relaismatrix für den einzelnen Pin angeordnet, ebenso wie die Entladewiderstände R_B. Dadurch wird erreicht, daß der größere Teil der parasitä­ ren Kapazität der Relaiskontakte und Leitungen C_p1 nunmehr pa­ rallel zum Ladekondensator C_B liegt und damit für die Ver­ formung des Entladeimpulses unschädlich ist. Nur noch ein we­ sentlich geringerer Teil der parasitären Kapazität liegt pa­ rallel zur Kapazität C_D des jeweiligen angesteuerten Pins. Die Zahlen 1 bis 8 in diesem Schaltungsauszug sollen die Gruppe der ersten acht Pins angeben, die angesteuert werden.

Claims (2)

1. Elektrostatische Prüfvorrichtung zur Erzeugung eines Prüf­ impulses zur Aussteuerung von Anschlußkontakten elek­ tronischer Bauelemente zum Zwecke der Prüfung ihrer Spannungs­ puls-Empfindlichkeit mit einem Ladekondensator, Entladungswi­ derständen und impulsauslösenden, matrizenartig zusammengefaß­ ten Schaltelementen, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Schaltelemente (S) in Baumstruktur angeordnet sind und sowohl die Entladewiderstände als auch das jeweils letzte impulsauslösende Schaltelement (SD ) den einzel­ nen Auswahlmatrizen zugeordnet ist.

2. Elektrostatische Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, da­ durch gekennzeichnet, daß die Schaltele­ mente Relaiskontakte sind.