DE4104602C1

DE4104602C1 -

Info

Publication number: DE4104602C1
Application number: DE4104602A
Authority: DE
Inventors: Helmut Prof. Dr. 2956 Moormerland De Kellner
Original assignee: Ems Technik 2950 Leer De GmbH
Current assignee: TEMACON TECHNOLOGY MARKETING CONSULTANS GMBH, 3017
Priority date: 1991-02-12
Filing date: 1991-02-12
Publication date: 1992-06-04
Anticipated expiration: 2011-02-13
Also published as: WO1992014117A1; DE59201921D1; ATE121185T1; US5404226A; JPH06507477A; EP0571425A1; EP0571425B1

Description

Die Erfindung betrifft Verfahren zur Lagebestimmung eines Positionierkörpers relativ zu einem Bezugskörper nach den Oberbegriffen des Patentanspruchs 1 und des nebengeordneten Patentanspruchs 3 und Vorrichtungen zur Durchführung des jeweiligen Verfahrens.

Solche Verfahren dienen z. B. dazu, bei der Steuerung von Meß- und Fertigungsmaschinen Wegstrecken zwischen längsverschieblichen Gegenständen, wie Meßköpfen, Greif- oder Montagearmen zu erfassen. Dabei ist die Genauigkeit, mit der diese Wegstrecken ermittelt werden können, von ausschlaggebender Bedeutung für die Fertigungsgenauigkeit des Automaten.

Aus der DE-OS 39 09 856 ist bereits ein Verfahren bekannt, das eine hohe Meßgenauigkeit unabhängig von einer exakten Führung des Abtasters ermöglicht. Dabei werden von einem Abtaster drei Marken eines Maßstabes ausgewertet. Bei zwei Marken wäre der zwischen einem Projektionszentrum und diesen Marken gebildete Projektionswinkel noch abhängig, in welchem Abstand sich das Projektionszentrum über den Marken befindet und wie weit er seitlich versetzt ist. Bei drei Marken gelingt es, über den weiteren Projektionswinkel zwischen dem Projektionszentrum, dieser weiteren Marke und einer der anderen Marken das Projektionszentrum exakt zu bestimmen. Für eine Kombination von zwei Kombinationswinkeln existiert nämlich nur ein einziger Ort, auf dem sich das Projektionszentrum befinden kann.

Weiterhin ist aus dem Buch von G. Konecny und G. Lehmann: Photogrammetrie, 4. Auflage, de Gruyter, Berlin - New York, 1984, S. 48-55 für sich bekannt, zur Koordinatenbestimmung eine projektive Verwandschaft auszunutzen und einen Neigungswinkel zwischen einer Projektionsfläche und einer Urbildebene zu berücksichtigen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, außer Messungen der Lage eines Positionierköpers gegenüber einem Bezugskörper in Richtung einer Maßstabsachse und senkrecht dazu auch den Neigungswinkel zwischen dem Positionierkörper und dem Bezugskörper zu erfassen.

Diese Aufgabe wird bei dem im Oberbegriff des Anspruchs 1 und dem Oberbegriff des nebengeordneten Anspruchs 3 beschriebenen Verfahren durch die im Kennzeichen jeweils angegebenen Merkmale sowie durch die Vorrichtungen zur Durchführung des jeweiligen Verfahrens nach den Ansprüchen 11 und 12 gelöst.

Bei einer ersten Alternative wird zuerst die Koordinate in Längsrichtung des Maßstabes und danach die Koordinate, die den Abstand vom Maßstab angibt, bestimmt. Anschließend werden diese Größen in Verbindung mit der Kammerkonstanten, d. h. dem Abstand zwischen dem Projektionszentrum und der Projektionsfläche des Abtasters sowie dem Lotfußpunkt des Projektionszentrums auf der Projektionsfläche ausgewertet, woraus sich schließlich der Neigungswinkel ergibt.

Mit der konkret angegebenen Berechnungsformel läßt sich der Neigungswinkel in einfacher Weise berechnen, so daß man für die Bestimmung von drei Freiheitsgraden mit einem einzigen Abtaster auskommt.

Eine zweite Alternative ist im nebengeordneten Anspruch 3 angegeben. Diese Alternative beruht auf der Methode der projektiven Verwandtschaft zwischen den auf dem Maßstab angeordneten Marken und der auf der Projektionsebene des Abtasters abgebildeten Marken.

Zur Berechnung ist wie auch bei der ersten Alternative die Abbildung von wenigstens drei Marken notwendig. In diesem Fall erhält man drei lineare Gleichungen mit drei Unbekannten. Bei Erfassung von mehr als drei Marken kann die Bestimmung der Transformationskonstanten durch Ausgleichsrechnung erfolgen. Damit wird die Genauigkeit wesentlich erhöht.

Eine Weiterbildung sieht vor, daß zwei in einer Ebene angeordnete Maßstäbe vorgesehen sind und jedem dieser Maßstäbe ein Abtaster zugeordnet ist.

Zusätzlich zu einer Ausbildung mit nur einem Maßstab und einem Abtaster kann hierbei auch ein Drehwinkel senkrecht und einer parallel zur Ebene ermittelt werden, in der die Maßstäbe liegen. Diese Ermittlung geschieht jeweils durch Differenzbildung der Koordinaten in Längsrichtung des Maßstabs bzw. im Abstand des Maßstabes unter Berücksichtigung der gegenseitigen Abstände der Projektionszentren.

Bei einer anderen Ausführung ist vorgesehen, daß die Maßstäbe unter einen Winkel von vorzugsweise 90° am Positionierkörper oder Bezugskörper angeordnet sind und beiden Maßstäben ebenfalls je ein Abtaster zugeordnet ist.

Diese Ausgestaltung ermöglicht es, Koordinaten in drei Koordinatenrichtungen zu erfassen und zwei Drehwinkel anzugeben.

Schließlich sieht eine Kombination vor, daß zwei parallele Maßstäbe in einer Ebene und ein weiterer Maßstab in einem Winkel zu dieser Ebene angeordnet ist. Auch diesen drei Maßstäben sind jeweils Abtaster zugeordnet.

Bei dieser Anordnung ist es möglich, sowohl alle drei Koordinatenrichtungen als auch alle Drehwinkel um diese Koordinatenrichtungen anzugeben. Dadurch läßt sich die Raumlage eines Positionierkörpers relativ zu einem Bezugskörper in allen sechs Freiheitsgraden exakt angeben.

Hinsichtlich der Ausführung der Maßstäbe sind zwei Alternativen möglich. Bei einer ersten Alternative sind die Maßstäbe als Inkrementalmaßstäbe ausgebildet. Eine Grobbestimmung der in Maßstabsrichtung weisenden Koordinate erfolgt durch einen Markenzähler.

Eine zweite Alternative sieht vor, daß die Maßstäbe als Absolutmaßstäbe ausgebildet sind. In diesem Fall erfolgt eine Grobbestimmung der in Maßstabsrichtung weisenden Koordinate durch einen Dekoder. Der Dekoder decodiert die in den Marken verschlüsselt enthaltenen Koordinatenwerte, so daß einer Zählung der passierten Marken nicht bedarf.

Weiterbildung und vorteilhafte Ausgestaltungen von Verfahren und Vorrichtung ergeben sich aus den Ansprüchen, der weiteren Beschreibung und der Zeichnung, an Hand der die Erfindung näher beschrieben wird.

In der Zeichnung zeigt

Fig. 1 eine schematische Seitenansicht eines Abtasters über einem Maßstab,

Fig. 2 eine geometrische Darstellung der Projektionswinkel zur Erläuterung der Berechnungsformeln für die Koordinaten in Längsrichtung und im Abstand vom Maßstab,

Fig. 3 eine weitere geometrische Darstellung zur Erläuterung der Berechnungsformeln zur Bestimmung des Neigungswinkels,

Fig. 4 ein Koordinatensystem zur Definition der verwendeten Bezeichnungen und Parameter,

Fig. 5 eine schematische Seitenansicht zweier Abtaster über einem Maßstab,

Fig. 6 eine schematische Draufsicht auf zwei Abtaster über zwei Maßstäben,

Fig. 7 eine perspektivische Ansicht eines Positionierkörpers mit Maßstäben und Abtastern zur Erfassung aller räumlichen Parameter.

Fig. 1 zeigt einen Abtaster 10 in schematischer Darstellung in Seitenansicht. Dieser umfaßt einen Maßstab 12 mit Marken 14, von denen einzelne Marken hier mit A, B und C bezeichnet sind. Handelt es sich bei dem Maßstab 12 um einen Inkrementalmaßstab, so kann eine grobe Ermittlung der Koordinaten in Längsrichtung des Maßstabes durch Zählen der Marken 14 erfolgen. Bei einer anderen Alternative, bei der ein Absolutmaßstab verwendet wird, beinhalten die Marken durch Kodierung bereits die vollständige grobe Koordinateninformation in Längsrichtung des Maßstabes. Diese Kodierung kann z. B. durch unterschiedliche Strichstärke, gegebenenfalls in Verbindung mit einer binären Darstellungsweise, vorgenommen werden.

Der Abtaster 10 ist als optischer Abtaster ausgebildet und umfaßt eine Abbildungsoptik 22 mit einer Projektionsfläche 24 sowie einer Meßeinrichtung 26. Bei diesem Abtaster 10 ist ein Projektionszentrum O durch das Projektionszentrum der Abbildungsoptik 22 gebildet. Die Projektionsfläche 24 ist durch ein Diodenarray, z. B. in Gestalt einer CCD-Zeile gebildet. Die Anzahl der Pixel ist so gewählt, daß im Falle eines Absolutmaßstabs die Marken 14 in ihrer Breite aufgelöst werden können und mit Hilfe eines Rechners 18 dekodierbar sind.

Zur Berechnung der Koordinaten in Längsrichtung und im Abstand des Maßstabs 12 werden hier die Marken A, B und C ausgewertet, welche zum Projektionszentrum O die Winkel α bzw. β einnehmen. Diese Marken werden unter dem Winkel α′ und β′ auf die Punkte A′, B′ und C′ der Projektionsfläche 24 abgebildet. Ist die Projektionsfläche 24 eine CCD-Zeile, so werden an den Stellen, an denen die Marken auf dieser Zeile abgebildet werden, Ladungsänderungen bewirkt, die nach seriellem Auslesen registriert und von dem Rechner 18 in entsprechende Winkelwerte α und β umgerechnet werden können. Aus den Projektionswinkeln α und β lassen sich unter Anwendung trigonometrischer Funktionen die Koordinaten des Projektionszentrums O ermitteln.

Zur Erläuterung der Rechenschritte wird auf Fig. 2 Bezug genommen, in der sich die weitere Betrachtung auf die Marken A, B und C und das Projektionszentrum O beschränkt. In diesem Fall befindet sich das Projektionszentrum O nicht direkt über der Marke B, um hier auch zeichnerisch zu veranschaulichen, daß jede beliebige Position des Projektionszentrums O bestimmt werden kann.

Zwischen dem Projektionszentrum O und den Marken A und B ist der Projektionswinkel α und zwischen dem Projektionszentrum O und den Marken B und C ist der Projektionswinkel β eingeschlossen. Die Abstände der Marken A, B und C betragen jeweils Δ. Betrachtet man einmal die Winkel α und β für sich, so gibt es verschiedene Punkte, die den gleichen Projektionswinkel α und β einnehmen. Diese Punkte befinden sich auf einer Ortskurve, die für den Winkel α durch einen Kreis K1 und für den Winkel β durch einen Kreis K2 dargestellt sind. Kombiniert man die beiden Winkel α und β, so gibt es nur einen realen Punkt, bei dem die Bedingung erfüllt ist.

Dieser Punkt ist durch die Schnittpunkte der beiden Ortskurven, also der Kreise K1 und K2, angegeben. Die Mittelpunkte M1 und M2 der Kreise K1 und K2 lassen sich so bestimmen, daß die Mittelsenkrechten zwischen den Marken A und B einerseits und B und C andererseits bestimmt werden und hier die Schnittpunkte mit Linien erhalten werden können, welche jeweils unter dem Projektionswinkel, also α oder β, durch die Marken A und B bzw. B und C laufen.

Für die Abstände der Mittelpunkte M1 und M2 von der Maßstabsachse, also die Z-Koordinate der Mittelpunkte M1 und M2 ergeben sich:

Durch mathematische Ableitungen ergeben sich für:

und für

Diese Gleichungen führen also zu einer eindeutigen Lösung und lassen sich mit üblichen Rechnern innerhalb kürzester Zeit bestimmen. Sie gelten bei mehreren Abtastern (A1, A2, A3) für alle Abtaster. Um nachfolgend einen Bezug zu dem jeweiligen Abtaster herstellen zu können, sind die Größen in den Gleichungen zusätzlich mit Indizes versehen, die der Ordnungszahl der Abtaster entsprechen. Bei drei Abtastern werden also die Indizes 1, 2 und 3 vergeben.

An Hand der Darstellung in Fig. 3 wird nun die Berechnung des Neigungswinkels ϕ erläutert. Dort ist die Projektionsfläche 24 gegenüber der Ebene des Maßstabs 12 geneigt. Wiederum befinden sich auf dem Maßstab 12 die Marken A, B und C und die auf der Projektionsfläche 24 abgebildeten Marken tragen die Bezeichnungen A′, B′ und C′. Der Abstand zwischen dem Projektionszentrum O und der Projektionsfläche 24 ist mit c bezeichnet, wobei hier der kürzeste Abstand zum Hauptpunkt H eingezeichnet ist. Außerdem sind noch die Drehwinkel ϕ zwischen dem Lot des Projektionszentrums O auf den Maßstab 12 und dem Lot des Projektionszentrums O auf die Projektionsebene 24, ε zwischen dem Lot des Projektionszentrums O auf den Maßstab 12 und der Verbindung zwischen dem Projektionszentrum O und der Marke B sowie ϑ zwischen dem Lot des Projektionszentrums O auf die Projektionsfläche 24 und der Verbindung zwischen dem Projektionszentrum O und der projizierten Marke B′ dargestellt. Daraus ergibt sich für den Drehwinkel ε:

und für den Drehwinkel ϑ:

Außerdem ist ϕ=ϑ-ε.

Eine andere Berechnungsmethode beruht auf der projektiven Verwandtschaft zwischen Maßstabsebene und Projektionsebene, die folgende mathematische Form besitzt:

Daran bedeutet X′ die Bildkoordinaten auf der Projektionsfläche 24, verkörpert durch die Pixeladressen einer CCD-Zeile und X die Koordinaten der Maßstabsmarken M. Die Größen a₁, a₂ und a₃ bilden die Transformationskonstanten, die sich mathematisch wie folgt angeben lassen:

Um die drei Transformationskonstanten eindeutig angeben zu können, ist die Auswertung dreier Marken erforderlich. Man erhält dann ein Gleichungssystem aus drei Gleichungen mit drei Unbekannten, das nach Lösung eine eindeutige Angabe der Transformationskonstanten ermöglicht. Aus diesen Gleichungen erhält man zunächst den Drehwinkel ϕ als

die Koordinate X₀ als:

und die Koordinate Z₀ als:

Beide Verfahren zur Ermittlung der Koordinaten und des Neigungswinkels sind gleichwertig, so daß man bei vorhandenen Abtastern und Maßstäben wahlweise das eine oder andere Verfahren anwenden kann und dabei zum gleichen Ergebnis kommt.

Fig. 4 zeigt ein Koordinatensystem zur Definition der verwendeten Bezeichnungen und Paramter. Die hier definierten Parameter werden auch in den Fig. 5, 6 und 7 benutzt. Es handelt sich um ein kartesisches Koordinatensystem mit den Koordinatenachsen X, Y und Z. ϕ bezeichnet den Drehwinkel um die Y-Achse, den Drehwinkel um die Z-Achse und ω den Drehwinkel um die X-Achse.

Fig. 5 zeigt eine schematische Seitenansicht zweier Abtaster A1 und A2 über Maßstäben 30 und 32. Die Projektionszentren O₁ und O₂ haben einen gegenseitigen Abstand δ. Verläuft eine durch die Projektionszentren O₁ und O₂ führende Gerade parallel zu der Ebene, in der die Maßstäbe liegen, so sind auch die beiden Abstände der Projektionszentren gleich. Bei Abweichung kann man über die Tangens- oder Arcus-Tangens-Funktion in Verbindung mit dem Abstand δ den Drehwinkel berechnen, und zwar nach der allgemeinen Formel:

Diese Formel läßt sich sowohl für die Bestimmung des Drehwinkels als auch für die des Drehwinkels ω anwenden, wobei jedoch in einem Fall die Differenz der Koordinaten in Z-Richtung und im anderen Fall die Differenz der Koordinaten in X-Richtung eingesetzt werden muß. Letzterer Fall ist in Fig. 6 dargestellt.

Fig. 7 zeigt einen Positionierkörper 36 mit drei Maßstäben 30, 32 und 34 und drei Abtastern A1, A2 und A3 auf einen Bezugskörper 38. Ein erster 30 und zweiter Maßstab 32 befindet sich auf der Breitseite des Bezugskörpers 38. Ein dritter Maßstab 34 ist auf der Schmalseite des Bezugskörpers 38 angeordnet. Die Schmalseite und die Breitseite des Bezugskörpers 38 sind in einem Winkel von 90° ausgerichtet. Die genaue Lage des Positionierkörpers 36 gegenüber dem Bezugskörper 38 kann an Hand der von den Abtastern ermittelten Abtastwerte bestimmt werden. Zur Bestimmung der X-Richtung eignen sich im Prinzip die Daten jedes der drei Abtaster A1, A2, A3. Sie stimmen hinsichtlich der X-Richtung überein, so daß das Ergebnis eines beliebigen Abtasters verwendet werden kann. Hier wird der Abtaster A1 ausgewertet. Man erhält die X-Koordinaten nach folgender Formel:

Zur Bestimmung der Y-Richtung eignen sich die Daten des Abtasters A3. Für diese Koordinatenrichtung gilt folgende Formel:

Für die Bestimmung der Z-Richtung sind die Daten der Abtaster A1 oder A2 maßgebend.

Die Berechnungsformel für den Abtaster A1 lautet:

Während bei paralleler Ausrichtung von Positionierkörper und Bezugskörper die Abstände gleich sind, ergeben sich Unterschiede bei einem Drehwinkel ω. Der Drehwinkel ω kann somit auf der Differenz der Abstände und dem Abstand der Abtaster gemäß folgender Formel ermittelt werden:

Die Bestimmung des Drehwinkels erfolgt über die Differenz der Daten der Abtaster A1 und A2 in X-Richtung unter Berücksichtigung ihrer gegenseitigen Abstände gemäß der Formel:

Schließlich wird der Drehwinkel ϕ wie folgt berechnet:

Die in den angegebenen Formeln beschriebene Berechnungsmethode entspricht der ersten hier beschriebenen Alternative. Es ist jedoch auch möglich die zweite Alternative, also die Berechnung nach der projektiven Verwandtschaft durchzuführen.

Claims

1. Verfahren zur Lagebestimmung eines Positionierkörpers relativ zu einem Bezugskörper, wobei der Positionierkörper einen Maßstab mit Marken konstanten Abstandes trägt und der Bezugskörper einen Abtaster mit einer Projektionsfläche, auf die die Marken des Maßstabs projiziert werden, sowie eine Abbildungsoptik aufweist, bei dem die Koordinaten des Projektionszentrums der Abbildungsoptik aus den Projektionswinkeln zwischen dem Projektionszentrum und drei auf dem Maßstab angeordneter Marken sowie aus dem konstanten Abstand der Marken trigonometrisch berechnet werden, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich der Neigungswinkel des Positionierkörpers gegenüber dem Bezugskörper trigonometrisch berechnet wird über

- die ermittelten Koordinaten des Projektionszentrums,
- den Abstand des Projektionszentrums von der Projektionsfläche des Abtasters und über
- die Bildkoordinaten des Lotfußpunktes des Projektionszentrums auf die Projektionsfläche.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Berechnung nach folgenden trigonometrischen Funktionen und Gleichungen durchgeführt wird: wobei der Index i im Falle mehrerer Abtaster für die Ordnungszahl des jeweiligen Abtasters steht, wobei sind, α den Projektionswinkel zwischen dem Projektionszentrum sowie einer ersten und einer zweiten benachbarten Marke, β den Projektionswinkel zwischen dem Projektionszentrum und der ersten oder zweiten sowie einer dritten benachbarten Marke bezeichnet, Δ der Abstand zwischen zwei benachbarten Marken ist, X_0i, Z_0i die Koordinaten des Projektionszentrums des durch den Index angegebenen Abtasters zu dem Maßstab sind, ϕ den Neigungswinkel der Projektionsfläche des Abtasters i gegenüber dem Maßstab bildet, X′_H die Bildkoordinate des Lotfußpunktes des Projektionszentrums auf die Projektionsfläche darstellt, X_M die X-Koordinate einer Marke auf dem Maßstab bildet, X′_M die Bildkoordinate dieser Marke auf der Projektionsfläche darstellt und c die Kammerkonstante, nämlich der Abstand zwischen der Projektionsfläche des Abtasters und dem Projektionszentrum ist.

3. Verfahren zur Lagebestimmung eines Positionierkörpers relativ zu einem Bezugskörper, wobei der Positionierkörper einen Maßstab mit Marken konstanten Abstandes trägt und der Bezugskörper einen Abtaster mit einer Projektionsfläche, auf die die Marken des Maßstabs projiziert werden, sowie eine Abbildungsoptik aufweist, bei dem die Koordinaten des Projektionszentrums der Abbildungsoptik über eine Auswertung wenigstens dreier auf dem Maßstab angeordneter Marken berechnet werden, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich der Neigungswinkel des Positionierkörpers gegenüber dem Bezugskörper berechnet wird und die Berechnungen über die projektive Verwandtschaft zwischen der Projektionsebene des Abtasters und der Maßstabsebene erfolgen.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Berechnung nach folgenden Funktionen und Gleichungen durchgeführt wird: wobei der Index i im Falle mehrerer Abtaster für die Ordnungszahl des jeweiligen Abtasters steht, X_0i, Z_0i die Koordinaten des Projektionszentrums des durch den Index angegebenen Abtasters zu dem Maßstab sind, ϕ den Neigungswinkel der Projektionsfläche des Abtasters i gegenüber dem Maßstab bildet und a₁, a₂ und a₃ Transformationskonstanten darstellen, die aus der Abbildung wenigstens dreier Marken X_M1, X_M2 und X_M3 des Maßstabes auf einer Projektionsfläche des Abtasters in der Form X′_M1, X′_M2 und X′_M3 durch Lösung des Gleichungssystems: errechnet werden, wobei j für die Ordnungszahl der auf dem Abtaster angeordneten Marken steht, deren Koordinaten in das Gleichungssystem eingesetzt werden und c die Kammerkonstante, nämlich der Abstand zwischen der Projektionsfläche des Abtasters und dem Projektionszentrum ist.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Positionierkörper oder dem Bezugskörper zwei parallele Maßstäbe, die in einer Ebene liegen, von den Maßstäben zugeordneten Abtastern abgetastet werden.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Positionierkörper oder dem Bezugskörper zwei unter einem Winkel von vorzugsweise 90° stehende Maßstäbe von den Maßstäben zugeordneten Abtastern abgetastet werden.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Positionierkörper oder dem Bezugskörper drei Maßstäbe, von denen zwei in einer Ebene liegen und ein dritter in einem Winkel von vorzugsweise 90° zu den beiden anderen Maßstäben ausgerichtet ist, von den Maßstäben zugeordneten Abtastern abgetastet werden.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Berechnung der Koordinaten sowie der Drehwinkel des Positionierkörpers gegenüber dem Bezugskörper nach folgenden Funktionen und Gleichungen durchgeführt wird: oder wobei die Indizes 1, 2, 3 für den ersten, zweiten und dritten Abtaster stehen, wobei sind, α den Projektionswinkel zwischen dem Projektionszentrum sowie einer ersten und einer zweiten benachbarten Marke, β den Projektionswinkel zwischen dem Projektionszentrum und der ersten oder zweiten sowie einer dritten benachbarten Marke bezeichnet, Δ der Abstand zwischen zwei benachbarten Marken ist, X₀₁, X₀₂, Y₀₃, Z₀₁ und Z₀₂ die Koordinaten der Projektionszentren der durch die Indizes angegebenen Abtaster relativ zu den Maßstäben sind, ϕ den Drehwinkel um die Y-Achse, den Drehwinkel um die Z-Achse, ω den Drehwinkel um die X-Achse darstellen und δ den Abstand zwischen den Projektionszentren der durch die Indizes angegebenen Abtaster bildet.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß eine Grobbestimmung der in Maßstabsrichtung weisenden Koordinate bei einer Ausbildung als Inkrementalmaßstab durch Zählen der passierten Marken vorgenommen wird.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß eine Grobbestimmung der in Maßstabsrichtung weisenden Koordinate bei einer Ausbildung als Absolutmaßstab durch Dekodieren der in den Marken verschlüsselt enthaltenen Koordinatenwerte vorgenommen wird.

11. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Abtaster (10; A1) mit einem Rechner (18) verbunden ist, daß dem Abtaster (10; A1) eine Meßvorrichtung (26) zugeordnet ist, mittels der die Projektionswinkel (α, β) zwischen dem Projektionszentrum (O) und drei auf dem Maßstab angeordneter Marken (A, B, C) bestimmt werden und daß der Rechner (18) so gesteuert ist, daß er die Koordinaten des Projektionszentrums (O) aus den Projektionswinkeln (α, β) zwischen dem Projektionszentrum und drei auf dem Maßstab angeordneter Marken sowie aus dem konstanten Abstand der Marken und zusätzlich den Neigungswinkel ϕ des Positionierkörpers (36) gegenüber dem Bezugskörper (38) trigonometrisch berechnet über

- die ermittelten Koordinaten (X₀₁, Z₀₁) des Projektionszentrums (O),
- den Abstand c des Projektionszentrums (O) von der Projektionsfläche (24) des Abtasters (10; A1) und über
- die Bildkoordinaten (X′_H), des Lotfußpunktes (H) des Projektionszentrums (O) auf die Projektionsfläche (24).

12. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Patentanspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Abtaster (10; A1) mit einem Rechner (18) verbunden ist und der so gesteuert ist, daß zusätzlich der Neigungswinkel ϕ des Positionierkörpers (36) gegenüber dem Bezugskörper (38) berechnet wird und die Berechnungen über die projektive Verwandtschaft zwischen der Projektionsebene (24) des Abtasters (10; A1) und der Maßstabsebene erfolgen.

13. Vorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Positionierkörper (36) oder dem Bezugskörper (38) zwei parallele Maßstäbe (30, 32) angeordnet sind, die in einer Ebene liegen, und daß jedem Maßstab (30, 32) ein Abtaster (A1, A2) zugeordnet ist.

14. Vorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Positionierkörper (36) oder dem Bezugskörper (38) zwei unter einem Winkel von vorzugsweise 90° stehende Maßstäbe (30, 34) angeordnet sind und daß jedem Maßstab (30, 34) ein Abtaster (A1, A3) zugeordnet ist.

15. Vorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Positionierkörper (36) oder dem Bezugskörper (38) drei Maßstäbe (30, 32, 34) angeordnet sind, von denen zwei (30, 32) in einer Ebene liegen und ein dritter (34) in einem Winkel von vorzugsweise 90° zu den beiden anderen Maßstäben (30, 32) ausgerichtet ist und daß jedem Maßstab (30, 32, 34) ein Abtaster (A1, A2, A3) zugeordnet ist.

16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Maßstäbe (30, 32, 34) als Inkrementalmaßstäbe ausgebildet sind und eine Grobbestimmung der in Maßstabsrichtung weisenden Koordinate durch einen Markenzähler erfolgt.

17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Maßstäbe (30, 32, 34) als Absolutmaßstäbe ausgebildet sind und eine Grobbestimmung der in Maßstabsrichtung weisenden Koordinate durch einen Dekoder erfolgt, der die in den Marken verschlüsselt enthaltenen Koordinatenwerte dekodiert.