DE4102554C2 - - Google Patents
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- DE4102554C2 DE4102554C2 DE4102554A DE4102554A DE4102554C2 DE 4102554 C2 DE4102554 C2 DE 4102554C2 DE 4102554 A DE4102554 A DE 4102554A DE 4102554 A DE4102554 A DE 4102554A DE 4102554 C2 DE4102554 C2 DE 4102554C2
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/48—Generating plasma using an arc
- H05H1/481—Hollow cathodes
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4102554A DE4102554A1 (de) | 1991-01-29 | 1991-01-29 | Schaltungsanordnung zum zuenden und betreiben einer hohlkatodenbogenentladung |
| DE59201038T DE59201038D1 (de) | 1991-01-29 | 1992-01-13 | Schaltungsanordnung zum Zünden und Betreiben einer Hohlkatodenbogenentladung. |
| EP92100408A EP0497126B1 (de) | 1991-01-29 | 1992-01-13 | Schaltungsanordnung zum Zünden und Betreiben einer Hohlkatodenbogenentladung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4102554A DE4102554A1 (de) | 1991-01-29 | 1991-01-29 | Schaltungsanordnung zum zuenden und betreiben einer hohlkatodenbogenentladung |
Publications (2)
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| DE4102554A1 DE4102554A1 (de) | 1992-09-03 |
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Family
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Family Applications (2)
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| DE4102554A Granted DE4102554A1 (de) | 1991-01-29 | 1991-01-29 | Schaltungsanordnung zum zuenden und betreiben einer hohlkatodenbogenentladung |
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Family Applications After (1)
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| DE59201038T Expired - Fee Related DE59201038D1 (de) | 1991-01-29 | 1992-01-13 | Schaltungsanordnung zum Zünden und Betreiben einer Hohlkatodenbogenentladung. |
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-
1992
- 1992-01-13 DE DE59201038T patent/DE59201038D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-01-13 EP EP92100408A patent/EP0497126B1/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4409761A1 (de) * | 1994-03-22 | 1995-11-30 | Dresden Vakuumtech Gmbh | Einrichtung zur plasmagestützten Verdampfung in einem Bogenentladungsplasma |
| DE4409761B4 (de) * | 1994-03-22 | 2007-12-27 | Vtd Vakuumtechnik Dresden Gmbh | Einrichtung zur plasmagestützten Verdampfung in einem Bogenentladungsplasma |
Also Published As
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| EP0497126B1 (de) | 1994-12-28 |
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