DE4037021A1 - Siliciumerzeugnis zur verwendung zur herstellung von organosilanen und chlorsilanen und verfahren zu dessen herstellung - Google Patents

Siliciumerzeugnis zur verwendung zur herstellung von organosilanen und chlorsilanen und verfahren zu dessen herstellung

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Description

Die Erfindung betrifft ein Siliciumerzeugnis zur Verwendung bei der Herstellung von Silanen und Organosilanen, insbesondere chlorierten.
Zur Herstellung von Organosilanen setzt man pulverförmiges Silicium mit Alkyl- oder Arylchloriden in Gegenwart eines Kupferkatalysators und von Promotoren wie Zink und Zinn um, wobei man nach dem üblichsten Verfahren fein verteiltes Silicium in einem Rührbettreaktor oder in einem Flüssigbettreaktor direkt mit Methylchlorid zu Chlormethylsilanen reagieren läßt. Das wichtigste Chlormethylsilan ist Dichlormethylsilan, bei dessen Herstellung die Parameter Reaktivität, Selektivität, Produktivität und Umsetzungsgrad eine bedeutende Rolle spielen. Die Reaktivität definiert den Anteil je Zeiteinheit umgesetzten Siliciums und hat besondere Bedeutung bei der Startphase der Umsetzung. Die Selektivität bestimmt das Verhältnis der Reaktionsprodukte Dichlordimethylsilan und Chlortrimethylsilan zueinander. Produktivität und Umsetzungsgrad beschreiben den bei der Umsetzung von Methylchlorid mit Silicium erhaltenen Anteil an Dichlordimethylsilan.
Die Verwendung von homogenem Siliciumpulver setzt Schwankungen des Reaktionsverlaufs herab und hilft, die Kosten für die Herstellung von Dichlormethylsilan zu senken.
Durch eine Steigerung der Selektivität werden sowohl die Ausbeute als auch der Gewinn an dem gewünschten Hauptprodukt Dichlordimethylsilan erhöht.
Zur Herstellung von Trichlormonosilanen für die Verwendung zur Herstellung von Polysiliciumverbindungen läßt man in einem Flüssigbettreaktor fein verteiltes Silicium bei einer Temperatur zwischen etwa 280 und etwa 500°C mit HCl-Gas reagieren. Ein bei der Herstellung von Trichlormonosilan entscheidender Parameter ist der Anteil an nichtumgesetztem HCl-Gas. Da der Anteil an nicht umgesetztem HCl-Gas einen wesentlichen Einfluß auf die Wirtschaftlichkeit des Verfahrens ausübt, sollte er so gering wie möglich gehalten werden. Außerdem erhöht sich mit steigendem Anteil an nicht reaktionsbestimmt verbrauchtem HCl-Gas der Anteil an SiCl₄ als unerwünschtem Nebenprodukt im Produktgas unter Minderung der Ausbeute an dem gewünschten Trichlormonosilan.
Bei den oben angeführten Verfahren werden praktisch sämtliche Parameter vom Gehalt an Begleitelementen in dem eingesetzten Silicium beeinflußt, wobei von Hersteller zu Hersteller der oben angeführten Produkte unterschiedliche Auffassungen darüber herrschen, welcher Gehalt des Silicium an Begleitelementen mit dem Erzielen bester Reaktionsergebnisse verträglich ist, so daß im Ergebnis die unterschiedlichen Hersteller sehr differierende chemische Analysen zum Gehalt der zur Herstellung von Organosilanen und Chlorsilanen geeigneten Siliciums an Eisen, Aluminium und Calcium als den wesentlichsten störenden Begleitelementen angeben.
Es ist Aufgabe der Erfindung, die durch die Anwesenheit von Begleitelementen, insbesondere Eisen, Aluminium und Calcium, in dem für die Umsetzung zu Chlorsilanen und Organosilanen verwendeten Silicium verursachten Beeinträchtigungen der Umsetzungsreaktion auszuschalten.
Die Aufgabe wird dadurch gelöst, daß man zur chemischen Umsetzung ein Silicium einsetzt, das Eisen und Aluminium bzw. Eisen, Aluminium und Calcium in Form der intermetallischen Phasen FeAl₃Si₂ bzw. Fe₄Si₆Al₄Ca oder im Gemisch dieser intermetallischen Phasen enthält. Das für die chemische Umsetzung bestimmte Siliciumpulver kann dadurch erhalten werden, daß man ein Siliciumerzeugnis, das wenigstens eine der genannten intermetallischen Phasen in hoher Konzentration enthält, mechanisch mit metallurgischem Siliciumpulver vermischt; eine weitere Möglichkeit besteht darin, das zur chemischen Umsetzung vorgesehene Silicium unmittelbar mit intermetallischer Phase versehen darzustellen.
Demgemäß betrifft die vorliegende Erfindung insbesondere ein Siliciumerzeugnis zur Verwendung zur Herstellung von Chlorsilanen und Organosilanen, bei dem der größere Anteil an Eisen, Aluminium und wahlweise Calcium in Form der intermetallischen Phasen FeAl₃Si₂ und/oder Fe₄Si₆Al₄Ca vorliegt, welche Phasen beim Erstarren von geschmolzenem Silicium ausgefällt wurden oder die in Silicium metallurgischer Qualität eingemischt werden.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung beträgt der Gewichtsanteil an den im Silicium enthaltenen intermatallischen Phasen FeAl₃Si₂ und/oder Fe₄Si₆Al₄Ca 0,1 bis 5 Gew.-%, vorzugsweise 0,1 bis 1 Gew.-%.
Überraschenderweise hat sich für die Herstellung von Chlormethylsilanen herausgestellt, daß die Anwesenheit der ternären Phase FeAl₃Si₂ im Silicium die Reaktivität stark ansteigen läßt und daß die Anwesenheit der quaternären Phase Fe₄Si₆Al₄Ca zu einer gesteigerten Selektivität führt.
Desweiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines Siliciumerzeugnisses zur Herstellung von Chlorsilanen und Organosilanen, wobei das Verhältnis zwischen Eisen, Aluminium und wahlweise Calcium in der Siliciumschmelze so eingestellt wird, daß beim Abkühlen und Erstarren des geschmolzenen Siliciums zunächst eine intermetallische Phase entweder der Zusammensetzung FeAl₃Si₂ oder der Zusammensetzung Fe₄Si₆Al₄Ca ausfällt oder daß beide genannten intermetallischen Phasen ausfallen, wonach der verbliebene Rest der Siliciumschmelze zu elementarem Silicium erstarrt.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens gemäß der Erfindung stellt man zunächst eine Schmelze mit wenigstens 98 Gew.-% an Silicium und 0,1 bis 0,4 Gew.-% Eisen her und stellt dann den Aluminium- und den Calciumgehalt in der Schmelze so ein, daß beim Abkühlen der Schmelze die Phasen FeAl₃Si₂ und/oder Fe₄Si₆Al₄Ca ausfallen, wonach das verbliebene Silicium als elementares Silicium erstarrt.
Gemäß einer anderen Ausführungsform des Verfahrens gemäß der Erfindung stellt man eine Silicium, Eisen, Aluminium und wahlweise Calcium enthaltenden Schmelze her, bei der das Verhältnis zwischen Eisen, Aluminium und wahlweise Calcium so eingestellt ist, daß beim Abkühlen der Schmelze die intermetallischen Phasen FeAl₃Si₂ und/oder Fe₄Si₆Al₄Ca ausfallen und daß der Siliciumgehalt der Schmelze so eingestellt ist, daß das Erstarrungsprodukt wenigstens 10 Gew.-% an elementarem Silicium enthält. Das so erhaltene Produkt wird zerkleinert und mit metallurgischem Silicium in einem Verhältnis gemischt, daß die erhaltene Mischung 0,1 bis 5 Gewichtsteile an intermetallischer Phase und 95 bis 99,9 Gewichtsteilen an metallurgischem Silicium enthält.
Die erforderliche Einstellung des Verhältnisses zwischen Eisen und Aluminium und wahlweise zwischen Eisen, Aluminium und Calcium läßt sich leicht aus dem Phasendiagramm des Vierkomponentensystems Fe-Al- Si-Ca ermitteln. Bei gegebenem Eisengehalt lassen sich der entsprechend richtige Gehalt an Aluminium und Calcium durch Raffinieren der Schmelze oder durch Legieren mit Aluminium und/oder Calcium enthaltenden Verbindungen erzielen.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform wird das erzeugte Produkt mit metallurgischem Silicum in solcher Menge gemischt, so daß die erhaltene Mischung 0,1 bis 1 Gew.-% intermetallischer Phase und 99 bis 99,9 Gew.-% an metallurgischen Silicium aufweist.
Beispiel 1
Es wurde ein Siliciumerzeugnis gemäß der Erfindung mit einem Gehalt an 10 Gew.-% Silicium und etwa 90 Gew.-% an der intermetallischen Phase FeAl₃Si₂ hergestellt.
Dieses Siliciumerzeugnis wurde dann zerkleinert und auf eine Partikelgröße unter 0,2 mm gemahlen. Das so erhaltene Mahlgut wurde darauf im Gewichtsverhältnis 1 : 99 mit gemahlenem metallurgischem Silicium mechanisch vermischt. Schließlich wurde die so erhaltene Mischung in einem Versuchsreaktor bei einer Temperatur von 300°C bei Umgebungsdruck mit Methylchlorid umgesetzt. Zu Vergleichszwecken wurde die Reaktion unter denselben Reaktionsbedingungen mit Silicium ohne Zusatz an intermetallischer Verbindung wiederholt.
Die Ergebnisse sind in Tabelle 1 wiedergegeben.
Tabelle 1
Wie aus Tab. 1 zu entnehmen, steigerte der Zusatz an intermetallischer Verbindung FeAl₃Si₂ im metallurgischen Silicium die Produktivität des Verfahrens um ca. 30% unter gleichzeitiger gelinder Erhöhung der Selektivität, nämlich des Verhältnisses von erzeugtem Dichlordimethylsilan zu erzeugtem Monochlortrimethylsilan.
Beispiel 2
Es wurde ein Siliciumerzeugnis mit einem Gehalt an 10 Gew.-% Silicium und etwa 90 Gew.-% an der intermatellischen Phase Fe₄Si₆Al₄Ca hergestellt.
Dieses Siliciumerzeugnis wurde zerkleinert und auf eine Partikelgröße unter 0,2 mm gemahlen. Das so erhaltene Mahlgut wurde im Gewichtsverhältnis 1 : 99 mit sehr reinem Silicium mechanisch vermischt. Die so erhaltene Mischung ließ man unter den gleichen Bedingungen wie zu Beispiel 1 mit Methylchlorid reagieren. Die Versuchsergebnisse sind in Tabelle 2 aufgeführt und denen des Vergleichsversuchs aus Beispiel 1 gegenübergestellt.
Tabelle 2
Tabelle 2 zeigt, daß bei Verwendung der quaternären intermetallischen Verbindung Fe₄Si₆Al₄Ca die Selektivität des Verfahrens wesentlich verbessert werden konnte, wohingegen sich die Produktivität allerdings etwas reduzierte.
Bei entsprechend abgestimmtem Gehalt an einer der beiden oder an beiden der intermetallischen Phasen FeAl₃Si₂ und Fe₄Si₆Al₄Ca in dem zur Umsetzung zu Chlormethylsilanen gelangenden Silicium ist es möglich, sowohl die Produktivität als auch die Selektivität des Verfahrens begünstigend zu beeinflussen, d. h. gegenüber dem bekannten Verfahren wesentlich zu steigern.

Claims (9)

1. Siliciumerzeugnis zur Verwendung bei der Umsetzung von Fe, Al und Ca als Begleitelemente enthaltendem Silicium zu Chlorsilanen bzw. Organosilanen, dadurch gekennzeichnet, daß das Siliciumerzeugnis Eisen, Aluminium und wahlweise Calcium in Form einer intermetallischen Phase der Zusammensetzung FeAl₃Si₂ oder Fe₄Si₆Al₄Ca oder beider dieser Phasen enthält.
2. Siliciumerzeugnis nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Gehalt von 0,1 bis 5 Gew.-% an wenigstens einer der genannten intermetallischen Phasen.
3. Siliciumerzeugnis nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch einen Gehalt an intermetallischer Phase von 0,1 bis 1 Gew.-%.
4. Siliciumerzeugnis nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Siliciumgehalt von wenigstens 10 Gew.-% Silicium.
5. Verfahren zur Herstellung eines Siliciumerzeugnisses gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß man eine Siliciumschmelze auf einen Eisen-, Aluminium- und wahlweise Calciumgehalt derartig einstellt, daß beim Abkühlen der Schmelze die Elemente Fe, Al und, sofern vorgesehen, Calcium als intermetallische Phase der Zusammensetzung FeAl₃Si₂ oder Fe₄Si₆Al₄Ca oder in beiden Formen an metallischer Phase ausfallen, wonach der verbliebene Rest der Schmelze als elementares Silicium erstarrt.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß man eine Siliciumschmelze mit einem Gehalt von wenigstens 98 Gew.-% an Silicium und von 0,1 bis 0,4 Gew.-% Eisen herstellt und dann den Aluminium- und wahlweise den Calciumgehalt der Schmelze derart einstellt, daß sich eine oder beide der genannten intermetallischen Phasen abscheiden, wonach der verbleibende Rest der Schmelze erstarrt.
7. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß man den Siliciumgehalt der Schmelze derart einstellt, daß das Erstarrungsprodukt wenigstens 10 Gew.-% an elementarem Silicium enthält.
8. Verwendung eines Siliciumerzeugnisses gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7 zur Darstellung eines für die Umsetzung zu Chlorsilanen bzw. Organosilanen bestimmten Siliciumerzeugnisses, dadurch gekennzeichnet, daß man das zerkleinerte Siliciumerzeugnis mit metallurgischem Silicium in einer Menge vermischt, daß die Mischung 0,1 bis 5 Gew.-% an intermetallischer Phase und 95 bis 99,9 Gew.-% an metallurgischem Silicium enthält.
9. Verfahren nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch die Herstellung einer Mischung, die 0,1 bis 1 Gew.-% an intermetallische Phase und 99 bis 99,9 Gew.-% an metallurgischem Silicium enthält.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0610807A1 (de) * 1993-02-09 1994-08-17 Wacker-Chemie GmbH Verfahren zur Herstellung von Methylchlorsilanen
FR2716675A1 (fr) * 1994-02-25 1995-09-01 Pechiney Electrometallurgie Silicium métallurgique à microstructure contrôlée pour la préparation des halogénosilanes.
FR2746785A1 (fr) * 1996-04-02 1997-10-03 Pechiney Electrometallurgie Silicium metallurgique a structure controlee destine a la synthese des halogenosilanes
US5679823A (en) * 1995-09-01 1997-10-21 Bayer Aktiengesellschaft Method of producing alkyl halogen silanes
WO2014113124A1 (en) * 2013-01-21 2014-07-24 Dow Corning Corporation Process for selective production of halosilanes from silicon-containing ternary intermetallic compounds

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
J.Appl. Chem. USSR 49(1976), S. 2168-2174 *

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0610807A1 (de) * 1993-02-09 1994-08-17 Wacker-Chemie GmbH Verfahren zur Herstellung von Methylchlorsilanen
FR2716675A1 (fr) * 1994-02-25 1995-09-01 Pechiney Electrometallurgie Silicium métallurgique à microstructure contrôlée pour la préparation des halogénosilanes.
EP0673880A1 (de) * 1994-02-25 1995-09-27 Pechiney Electrometallurgie Metallurgisches Silizium mit einer kontrollierten Mikrostruktur für die Herstellung von Halogensilanen
US5605583A (en) * 1994-02-25 1997-02-25 Pechiney Electrormetallurgie Metallurgical silicon with controlled microstructure for the preparation of halogenosilanes
US5679823A (en) * 1995-09-01 1997-10-21 Bayer Aktiengesellschaft Method of producing alkyl halogen silanes
FR2746785A1 (fr) * 1996-04-02 1997-10-03 Pechiney Electrometallurgie Silicium metallurgique a structure controlee destine a la synthese des halogenosilanes
WO1997036821A1 (fr) * 1996-04-02 1997-10-09 Pechiney Electrometallurgie Silicium metallurgique a structure controlee destine a la synthese des halogenosilanes
WO2014113124A1 (en) * 2013-01-21 2014-07-24 Dow Corning Corporation Process for selective production of halosilanes from silicon-containing ternary intermetallic compounds

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