DE4023447A1 - Tastkopf fuer koordinatenmesseinrichtungen - Google Patents
Tastkopf fuer koordinatenmesseinrichtungenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Tastkopf für Koordinatenmeßein
richtungen des messenden Systems nach dem Oberbegriff von
Patentanspruch 1.
Solche Tastsysteme geben einen Bezug zwischen dem Antastpunkt
am Meßobjekt und dem Koordinatensystem der Meßeinrichtung
oder der Meßmaschine. Sie sollen reproduzierbare, gleichblei
bende und definierte Bedingungen bei jedem Antastpunkt sicher
stellen.
Bei dem hier interessierenden messenden Tastsystem wird in
einer Meßposition die Taststiftauslenkung durch kleine Weg
meßsysteme erfaßt. Dabei kann die Meßwerterfassung statisch
oder dynamisch erfolgen. In der Grundbauform des messenden
Tastsystems wird in einer Meßposition die Taststiftauslenkung
durch kleine Wegmeßsysteme erfaßt. Die Grundbauform des mes
senden Tastsystems kann ein messendes 2- oder 3-dimensionales
Tastsystem sein, bei dem die Taststiftauslenkung translatorisch
und definiert erfolgt. Der Referenzpunkt ist der Nullpunkt des
Wegmeßsystems im Tastkopf.
Die vorgenannte statische Meßwerterfassung bedeutet das An
fahren an bzw. das Einfahren in ein Meßobjekt mit dem Tast
stift, das daraufhin erfolgende Stehenbleiben der Fahrbewegung
und schließlich der Meßvorgang. Außerdem wird unter der sta
tischen Meßwerterfassung auch das Einfahren mit dem Taststift
in bzw. an ein Meßobjekt, das Zurückfahren in die Koordinaten
null-Lage und das abschließende Messen verstanden. Demgegen
über bedeutet das dynamische Erfassen eines Meßwertes die Be
rührung des Meßobjektes mit einem Taststift und das durch die
Berührung ausgelöste Schalten mit Wirkung auf die Fahrbewegung.
Aus der DE-AS 22 42 355 ist ein messendes elektromechanisch
wirkendes Tastsystem bekannt, das aus einer torsionssteifen
Aneinanderreihung von drei spielfreien Federparallelogramm-
Führungssystemen besteht. Die Geradführungen sind in den drei
Achsen X, Y und Z gleichzeitig frei bewegbar, wobei für jede
Bewegungsrichtung ein richtungsempfindlicher, lageempfindli
cher, eindimensionaler Längenaufnehmer im Tastkopf eingebaut
ist. Bei Antastung an einen Meßgegenstand wird das Parallelo
gramm entgegen der Antastrichtung ausgelenkt. Der Wegaufneh
mer der dabei entklemmten Geradführung erfaßt die Richtung
und die Größe der Auslenkung und regelt über die Steuerungs
einheit der Meßeinrichtung so lange nach, bis das Tastsystem
seinen Nullpunkt erreicht hat. Das Meßergebnis ist also von
der Reproduzierbarkeit des Nullpunktes abhängig. Das Signal
zur Meßwertübernahme wird bei Erreichen einer vorgegebenen
Auslenkung des Taststiftes erzeugt. Bei dem messenden Tast
system wird also in der Meßposition die Taststiftauslenkung
durch kleine Wegmeßsysteme erfaßt, wie dies oben in allgemei
ner Form ausgesagt wurde.
Die DE 32 34 471 C1 offenbart einen Mehrkoordinaten-Tastkopf
mit einem in mehrere Koordinatenrichtungen auslenkbaren Tast
stift, dessen Auslenkrichtung durch elektrische Signalgeber
erfaßt wird. Diese elektischen Signalgeber sind digitale Län
genmeßeinrichtungen mit flächigen Gittern, die mit photoelek
trischen Sensoren abgetastet werden.
Bei dem Taskopf einer Meßmaschine nach der DE 34 17 991 A1
ist zwischen zwei Basisteilen eine Geradführungseinrichtung
vorgesehen. Um eine spielfreie, stabile und reproduzierbare
Ruhestellung zu erreichen, ist ein Anschlagkörper in der po
sitiven und negativen Richtung einer Koordinate gegen die
Wirkung einer Feder eines Federparallelogramms verschiebbar.
Dazu weist der Anschlagkörper eine Ausnehmung auf, in welche
das Basisteil eingesetzt ist und jeweils bis gegen Anschlag
flächen innerhalb der Ausnehmung des Anschlagkörpers in Gerad
führung bewegbar ist.
Ausgehend von dem vorgenannten Stand der Technik ist es Auf
gabe der Erfindung, einen messenden Tastkopf der eingangs ge
nannten Art zu schaffen, bei dem der Tastkopf bei einfachem
Aufbau präzise parallel zu den Koordinatenrichtungen in ent
sprechenden Freiheitsgraden bewegbar ist und Signale in allen
Raumrichtungen liefert, die proportional zur Auslenkung des
Taststiftes sind.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die Merkmale des
Kennzeichenteiles von Patentanspruch 1 gelöst.
Weiterbildungen und erfinderische Ausbildungen dieses mes
senden Tastkopfes sind den Unteransprüchen 2 bis 12 zu ent
nehmen.
Während der Mehrkoordinatentaster nach der genannten deutschen
Auslegeschrift 22 42 355 wegen der dort gewählten Parallelo
grammanordnung sehr hoch baut, erlaubt der erfindungsgemäße
Einsatz der Schiebeelemente bzw. der Schiebetische in Form von
Scheiben oder Platten eine sehr kleine Bauhöhe, ohne dabei an
Präzision einzubüßen. Die in rechteckförmigen Ausnehmungen be
grenzt bewegbaren rechteckförmigen Schiebetische gewährleisten
eine exakte Bewegung des Taststiftes und somit auch der Tast
stiftaufnahme in die definierten Koordinatenrichtungen X und Y.
Die hochgenauen Wegaufnehmer, welche als Auflichtmeßsysteme
ausgebildet sind, werden entsprechend den erfindungsgemäßen
Merkmalen kompakt oberhalb der Taststiftaufnahme montiert. Die
besonderen Vorteile dieses messenden Tastkopfes liegen also da
rin, daß der Taststift parallel zu den drei Koordinatenrichtun
gen in sechs Freiheitsgraden bewegt werden kann und in allen
Raumrichtungen Signale liefert und schalten kann. Die Signale
sind jeweils proportional zur Auslenkung des Taststiftes. Da
bei sorgen die kleinen Schiebeelemente bzw. die Schiebetische
für ein nur geringes Bauvolumen und damit auch für ein relativ
geringes Gewicht des Tastkopfes. Über die mechanischen oder
pneumatischen Lageranordnungen sind die axial übereinander an
geordneten Scheiben in jeweils definierten Richtungen zueinan
der bewegbar. Die Koordinaten-Nullage des Taststiftes wird
durch ein System aus Schiebern und Zug- oder Druckelementen
gewährleistet, die in Form von Federn oder einem Magnetsystem
ausgebildet sein können. Ein weiterer Vorteil dieses Tastkop
fes ist die Schaltmöglichkeit bei Antastung an ein Meßobjekt.
In der Zeichnung ist ein Beispiel der Erfindung dargestellt.
Es zeigen:
Fig. 1 einen Tastkopf der erfindungsgemäßen Bauart
mit Auslenkmechanik und Wegaufnehmern im
Schnitt,
Fig. 2 eine Ansicht auf ein erstes Schiebeelement
gemäß der Linie II-II in Fig. 1,
Fig. 3 eine Ansicht auf das zweite Schiebeelement
gemäß der Linie III-III in Fig. 1,
Fig. 4 eine Draufsicht auf die Maßstäbe von Wegauf
nehmern gemäß der Linie IV-IV in Fig. 5,
Fig. 5 den Tastkopf gemäß Fig. 1 um 90° gedreht im
Schnitt, mit einer Auslenkmechanik und dem
Einbau der Wegaufnehmer,
Fig. 6 eine Schnittdarstellung eines Wegaufnehmers
gemäß der Linie VI-VI in Fig. 5,
Fig. 7 eine Schnittdarstellung auf die Leseköpfe der
Wegaufnehmer in den Koordinatenrichtungen X
und Y gemäß der Linie VII-VII in Fig. 5,
Fig. 8 Lageranordnungen für die definiert zueinander
bewegbaren Scheiben in Fig. 1 im Schnitt.
In Fig. 1 ist ein Tastkopf 1 im Schnitt dargestellt. Diese
Schnittdarstellung zeigt die erfindungswesentlichen Merkmale
des Tastkopfes 1 in vereinfachter Darstellung, um so das We
sentliche dieses neuartigen Tastkopfes 1 deutlich herauszu
stellen.
In dem Gehäuse 2 des messenden Tastkopfes 1 befindet sich im
unteren Teil eine Kombination von Schiebeelementen oder Schie
betischen, die entsprechend der Taststiftauslenkung in den Ko
ordinaten X und Y zueinander bewegbar sind. Das in Z-Richtung
obere Schiebeelement ist als Scheibe 3 ausgebildet und dient
gleichzeitig als Aufnahme für die Auslenkmechanik der Tast
stiftaufnahme 18 in Z-Richtung.
Im axialen Abstand unterhalb der Scheibe 3 ist das Schiebeele
ment eingebaut, welches aus einer Scheibe 4 mit einer zentral
im Koordinatenachsenkreuz X, Y eingebrachten rechteckförmigen
Ausnehmung 10 gebildet ist. In dieser rechteckförmigen Ausneh
mung 10 ist das eigentliche Schiebeelement oder der Schiebe
tisch 11 eingesetzt, der eine rechteckförmige Flächenausdeh
nung hat. Dabei ist die Längenausdehnung des Schiebetisches 11
in der X-Richtung geringer als die Längenausdehnung der Ausneh
mung 10 in der gleichen X-Koordinate. In der Y-Koordinate liegt
der Schiebetisch 11 mit seinen Außenflächen gleitend an den Be
grenzungsflächen der Ausnehmung 10 an. Durch diese Bauweise
kann der Schiebetisch in der X-Koordinate innerhalb der Ausneh
mung 10 begrenzt hin- und herbewegt werden, wobei die Bewegung
in einer Führung verläuft.
Der Schiebetisch 11 besitzt nun seinerseits ebenfalls eine
rechteckförmige Ausnehmung 12, deren Längenausdehnung in der
X-Koordinate wiederum größer ist als die Ausdehnung in der
Y-Koordinate.
Im axialen Abstand unterhalb der Scheibe 4 befindet sich das
untere Schiebeelement, welches wiederum aus einer Scheibe 5
mit einer zentral im Koordinatenachsenkreuz X, Y eingebrach
ten rechteckförmigen Ausnehmung 13 besteht. In dieser Scheibe
5 ist die größere Längenausdehnung der Ausnehmung jedoch in
der Y-Koordinate vorgesehen. In die Ausnehmung 13 ist das ei
gentliche Schiebeelement oder der Schiebetisch 14 eingesetzt,
der ebenfalls eine rechteckförmige Flächenausdehnung hat. Da
bei ist die Längenausdehnung des Schiebetisches 14 in der Y-
Koordinate kürzer als die Längenausdehnung der Ausnehmung in
der Y-Koordinate. In X-Richtung liegt der Schiebetisch 14 mit
seinen Außenflächen in den Begrenzungsflächen der Ausnehmung
13 gleitend an. Dieser Schiebetisch 14 kann somit eine begrenz
te und linear geführte Bewegung in der Y-Koordinate durchfüh
ren.
Der Schiebetisch 14 besitzt seinerseits eine rechteckförmige
Ausnehmung 15, deren Längenausdehnung in der Y-Richtung grö
ßer ist als die Ausdehnung in der X-Richtung.
Zwischen der oberen Scheibe 3 und der mittleren Scheibe 4 so
wie zwischen der mittleren Scheibe 4 und der unteren Endschei
be 5 sind entsprechend der Darstellungen in den Fig. 1 und
9 Lageranordnungen vorgesehen. Um eine definierte Bewegungs
richtung zu erlauben sind auf den Scheiben 4 und 5 jeweils drei
Kugeln 16 so angeordnet, daß immer zwei von ihnen je Scheibe
auf einer gemeinsamen Achse liegen. Diese Achse ist im Falle
der Scheibe 4 parallel zur X-Koordinate und im Falle der
Scheibe 5 parallel zur Y-Koordinate eingezeichnet. Die Kugeln
16 greifen in Längsnuten oder Längsrillen 17 der Scheiben 4
und 5 ein. Die Längsrillen 17 verlaufen einmal in der Unter
seite der Scheibe 3 in der X-Koordinatenrichtung und zum ande
ren in der Unterseite der Scheibe 4 in der Y-Koordinatenrich
tung.
Statt solcher Kugelführungen für eine exakte Bewegung der
Schiebeelemente in X- und Y-Richtung können auch Wälzführungen
oder Luftlager vorgesehen werden.
In der Ruhelage des Tastkopfes 1 befindet sich auf der durch
den Koordinatennullpunkt gehenden Z-Koordinate die Taststift
aufnahme 18, die aus einem oberen Block 19 und dem Unterteil
20 besteht. Den oberen Block 19 und das Unterteil 20 verbindet
ein Hohlzylinder 21, der zentral durch die Scheiben 3, 4 und 5
geführt ist. Im Bereich der Scheiben 4 und 5 besitzt der Hohl
zylinder 21 Führungsplatten 6 und 7, die in die Ausnehmungen
12 und 15 eingreifen und in der Scheibe 4 in X-Richtung und in
der Scheibe 5 in Y-Richtung begrenzt bewegbar sind. Eine Tast
stiftauslenkung in X- oder Y-Richtung ist somit immer exakt in
den Koordinatenrichtungen für eine begrenzte Weglänge möglich.
In oder an das Unterteil 20 der Taststiftaufnahme 18, welches
aus der Bodengruppe 8 des Gehäuses 2 nach unten austritt, ist
der Taststift 9 auswechselbar eingesetzt. Statt eines einzelnen
Taststiftes 9 kann auch eine Taststiftkombination mit mehreren
in verschiedenen Koordinatenrichtungen weisenden Armen oder
auch ein Taststiftwechselsystem vorgesehen sein.
Zwischen den Scheiben 4, 5 und den Schiebetischen 11, 14 sowie
zwischen den Schiebetischen 11, 14 und den Führungsplatten 6, 7
der Taststiftaufnahme 18 sind Druckfedern 22, 23 eingesetzt,
die den Taststift 9 in den Koordinaten-Nullpunkt zurückdrängen
und die Antastkraft für den Taststift 9 darstellen.
Weitere Federn 24 sind in Z-Richtung zwischen den Scheiben 3,
4 und 5 vorgesehen, um zwischen diesen Scheiben eine spielfreie
Lagerung zu erhalten. Dabei sind die Federn 24 in der oberen
und unteren Scheibe 3 und 5 befestigt, um die gewünschte Feder
wirkung zuzulassen.
Die obere Scheibe 3 der Schiebeelemente ist gleichzeitig auch
Aufnahme für die Auslenkmechanik des Taststiftes in Z-Richtung.
Die Auslenkmechanik befindet sich in einem Gehäuse 25, das fest
mit der Scheibe 3 verbunden und oberhalb der Scheibe 3 in Z-
Richtung ausgedehnt ist. Die Auslenkmechanik besteht aus der
dreifachen Kugelführung 26 und 27 der Taststiftaufnahme sowohl
zentral um den Hohlzylinder 21 als auch um zwei zueinander be
abstandete Führungsstäbe 28, die mit der oberen Scheibe 3 be
festigt sind und eine Adapterplatte 29 tragen, auf welcher die
Glasmaßstäbe 30, 31 der Wegaufnehmer für die X- und Y-Richtung
aufgebracht sind. Die Kugelführungen 26, 27 sind als vorge
spannte Kugelführungen ausgeführt.
Über den Glasmaßstäben 30, 31 ist auf einem Gehäuseabsatz 32
eine Platte 33 fest eingebaut, welche die Leseköpfe 34, 35 für
die Glasmaßstäbe 30, 31 trägt und ortsfest in Position hält.
Der Wegaufnehmer für die Z-Koordinate ist aus den Fig. 5
und 6 erkenntlich. An dem oberen Block 19 der Taststiftaufnah
me 18 ist der in Z-Richtung ausgedehnte Glasmaßstab 36 vorge
sehen. In ortsfester Position ist dem Glasmaßstab 36 gegenüber
liegend im Gehäuse 25 für die Auslenkmechanik der Lesekopf 37
eingebaut. Bei einer Bewegung des Taststiftes 9 in Z-Richtung
erfolgt eine gleichsinnige Bewegung der Taststiftaufnahme mit
dem Glasmaßstab 36. Diese Z-Achsen-Bewegung wird durch den Le
sekopf erfaßt und an die Maschinensteuerung weitergeleitet. Die
gleiche Funktion erfolgt bei Bewegungen des Taststiftes 9 in
die X- oder Y-Richtungen. Die Bewegungsrichtungen des Taststif
tes 9 zusammen mit der Taststiftaufnahme und die Größe dieser
Bewegungen wird also aufgenommen und ausgewertet. Bei der Aus
lenkung des Taststiftes 9 bei Antastung an ein Werkstück in den
X- und Y-Richtungen findet jeweils eine geradlinige Bewegung
der Führungsplatten 7 und 6 sowie eine ebenfalls begrenzte ge
radlinige Bewegung gegen die Kraft von Federn durch die Schie
betische 11 und 14 statt.
Aus Fig. 5 ist weiterhin erkenntlich, daß auch der Block 19
der Taststiftaufnahme 18 unter der Wirkung von Federn 38, bei
spielsweise Druckfedern, steht. Diese Druckfedern 38 sorgen für
einen gewissen Gewichtsausgleich und halten die Taststiftauf
nahme in Z-Richtung in vorbestimmter Position.
Aus dem oberen Block 19 der Taststiftaufnahme 18 ragt ferner
eine Feder 39 hervor, die über eine Mutter 40 und eine Spindel
41 in Zusammenwirken mit einem Motor 42 fur einen automati
schen Gewichtsausgleich sorgt.
Anstelle der jeweils genannten Federn für die Beschaffung von
Rückstellkräften können auch magnetische Rückstellkräfte ein
gesetzt sein.
Claims (12)
1. Tastkopf für Koordinatenmeßeinrichtungen mit einem in den
Koordinatenrichtungen in Geradführungen gleichzeitig frei
bewegbaren, auswechselbaren Taststift, der mit Wegaufneh
mern zur Erfassung der Richtung und der Größe der Auslen
kung bei Antastung an ein Meßobjekt in Verbindung steht
und durch Rückstellkräfte für die Einnahme der Koordinaten
nullage beaufschlagt ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Geradführungen in die X- und Y-Koordinate durch
Schiebeelemente (3, 4, 5, 11, 14) gebildet sind, die in
entsprechenden Ausnehmungen (10, 13) in Scheiben, Platten
oder dergleichen (4, 5) um 90° zueinander bewegbar angeord
net sind, die in der Z-Koordinate übereinander liegen, wo
bei die Schiebeelemente (3, 4, 5, 11, 14) mit der Tast
stiftaufnahme (18) in Wirkverbindung stehen, und ferner
eine Auslenkmechanik für die Z-Koordinate vorgesehen ist.
2. Tastkopf nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß in der ersten Scheibe oder Platte (4) eine rechteck förmige Ausnehmung (10) in der X-Koordinate und in der zweiten Scheibe oder Platte (5) eine rechteckförmige Aus nehmung (13) in der Y-Koordinate vorgesehen ist,
daß die Schiebeelemente (11, 14) einen im wesentlichen rechteck förmigen Ringquerschnitt aufweisen, dessen Längenausdeh nung in der X- bzw. der Y-Koordinate kürzer als die ent sprechende Ausnehmung (10, 13) in der entsprechenden Scheibe oder Platte (4, 5) ist, und
daß die innere Längenausdehnung des freien Querschnitts der Schiebeelemente (11, 14) in der X- bzw. der Y-Koordi nate größer ist als die alle Schiebeelemente (11, 14) in der Z-Koordinate durchdringende Taststiftaufnahme (18, 21).
daß in der ersten Scheibe oder Platte (4) eine rechteck förmige Ausnehmung (10) in der X-Koordinate und in der zweiten Scheibe oder Platte (5) eine rechteckförmige Aus nehmung (13) in der Y-Koordinate vorgesehen ist,
daß die Schiebeelemente (11, 14) einen im wesentlichen rechteck förmigen Ringquerschnitt aufweisen, dessen Längenausdeh nung in der X- bzw. der Y-Koordinate kürzer als die ent sprechende Ausnehmung (10, 13) in der entsprechenden Scheibe oder Platte (4, 5) ist, und
daß die innere Längenausdehnung des freien Querschnitts der Schiebeelemente (11, 14) in der X- bzw. der Y-Koordi nate größer ist als die alle Schiebeelemente (11, 14) in der Z-Koordinate durchdringende Taststiftaufnahme (18, 21).
3. Taststift nach den Ansprüchen 1 und 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Taststiftaufnahme (18) aus einer Endscheibe gebil
det ist, an die in Z-Richtung zentral ein Stab zur Aufnah
me des Taststiftes (9) vorgesehen ist und die Taststiftauf
nahme (18) unter der Wirkung einer in Z-Richtung wirkenden
Rückstellkraft steht.
4. Taststift nach den Ansprüchen 1 und 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Taststiftaufnahme (18) einen oberen Block, Scheibe
oder dergleichen (19) aufweist, der über einen zentralen
Hohlzylinder (21) mit der unteren Taststiftaufnahme (20)
verbunden ist und in Z-Richtung durch Kugelführungen beweg
bar ist.
5. Tastkopf nach den Ansprüchen 1 und 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die obere Scheibe (3) der Schiebeelemente die Auslenk
mechanik (26, 28, 27) innerhalb eines Gehäuses (25) trägt,
welches kopfseitig die Glasmaßstäbe (30, 31) für die Weg
aufnehmer in X- und Y-Richtung aufnimmt.
6. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß zwischen der Endscheibe (3) der Taststiftaufnahme und
der axial darunter angeordneten mittleren Scheibe oder
Platte (4) sowie zwischen der mittleren und der unteren
Scheibe oder Platte (4, 5) jeweils Lageranordnungen für
eine definierte Bewegung in die X- bzw. Y-Koordinate vor
gesehen sind.
7. Tastkopf nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Lageranordnungen aus in Nuten oder Rillen (17)
der Endscheibe (3) und den mittleren und unteren Schei
ben (4, 5) eingesetzte mechanische Elemente (16) gebildet
sind.
8. Tastkopf nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Lageranordnungen wahlweise als Wälzlagerungen
oder als Luftlager ausgebildet sind.
9. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Endscheibe (3) die Auslenkmechanik für die Bewe
gung des Taststiftes (9) in die Z-Koordinate trägt.
10. Tastkopf nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Wegaufnehmer Auflichtmeßsysteme sind, welche aus
Maßstäben (30, 31, 36) in den Koordinatenrichtungen gebil
det sind, die mit Leseköpfen (34, 35, 37) in Wirkverbin
dung stehen.
11. Tastkopf nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Maßstäbe (30, 31, 36) für die Bewegung des Tast
stiftes in die X-, Y- und Z-Koordinaten mit der Taststift
aufnahme (18) verbunden sind, während die jeweils zugeord
neten Leseköpfe (34, 35, 37) fest im Gehäuse (2) des Tast
kopfes (1) eingesetzt sind.
12. Tastkopf nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß im Gehäuse (2) des Tastkopfes (1) ein motorisch ge
steuerter Gewichtsausgleich für den Einsatz von verschiede
nen Taststiften bzw. Taststift-Kombinationen vorgesehen ist.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19904023447 DE4023447A1 (de) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | Tastkopf fuer koordinatenmesseinrichtungen |
DE19914114254 DE4114254A1 (de) | 1990-07-24 | 1991-05-02 | Tastkopf fuer koordinatenmesseinrichtungen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19904023447 DE4023447A1 (de) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | Tastkopf fuer koordinatenmesseinrichtungen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4023447A1 true DE4023447A1 (de) | 1992-01-30 |
Family
ID=6410886
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19904023447 Withdrawn DE4023447A1 (de) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | Tastkopf fuer koordinatenmesseinrichtungen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4023447A1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4447901B4 (de) * | 1993-02-23 | 2005-12-01 | Faro Technologies, Inc., Lake Mary | Transportable Koordinatenmessmaschine zum Messen von dreidimensionalen Koordinaten |
US9454145B2 (en) | 2011-01-19 | 2016-09-27 | Renishaw Plc | Analogue measurement probe for a machine tool apparatus and method of operation |
-
1990
- 1990-07-24 DE DE19904023447 patent/DE4023447A1/de not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4447901B4 (de) * | 1993-02-23 | 2005-12-01 | Faro Technologies, Inc., Lake Mary | Transportable Koordinatenmessmaschine zum Messen von dreidimensionalen Koordinaten |
US9454145B2 (en) | 2011-01-19 | 2016-09-27 | Renishaw Plc | Analogue measurement probe for a machine tool apparatus and method of operation |
US9471054B2 (en) | 2011-01-19 | 2016-10-18 | Renishaw Plc | Analogue measurement probe for a machine tool apparatus |
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