DE4022461A1

DE4022461A1 - Zerstaeubungskathode

Info

Publication number: DE4022461A1
Application number: DE19904022461
Authority: DE
Inventors: Bernhard Dr Cord; Wolfram Dr Maass
Original assignee: Leybold AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1990-07-14
Filing date: 1990-07-14
Publication date: 1992-01-23
Also published as: JPH0657421A; EP0467012A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Zerstäubungskathode nach dem Magnetron-Prinzip mit einem aus mindestens einem Teil bestehenden Target und einem hinter dem Target angeordneten Magnetsystem mit mindestens zwei ineinanderliegenden Magneteinheiten abwechselnd unter schiedlicher Polung, die mindestens einen gleichfalls in sich geschlossenen, magnetischen Tunnel aus bogenförmig gekrümmten Feldlinien bilden, wobei die dem Target abgekehrten Pole der Magneteinheiten über ein Magnetjoch miteinander verbunden sind. Die Anordnung muß nicht notwendigerweise rotationssymmetrisch sein. Beim Einsatz der Kathode befindet sich das Target im Vakuum einer Vakuumkammer, die mit einem Arbeitsgas gefüllt ist. Der Magnetron-Effekt besteht darin, daß in dem erwähnten magnetischen Tunnel unterhalb des Targets ein in sich geschlossener Plasmaring brennt. Die aus dem Plasma heraus beschleunigten Gasionen schlagen Atome aus dem Target heraus (Zerstäubungs effekt, =engl.:sputtern) und erodieren das Target ober halb des Plasmaschlauches.

Demgemäß besteht die Erfindungsaufgabe darin, daß die Tiefe der durch dieses Sputtern gebildeten Ero sionsgräben (siehe Abb.) innerhalb des Targets mittels mindestens eines Sensors erfaßt wird. Hierzu ist es vorteilhaft, daß ein oder mehrere Sensoren an der Rückseite des Targets vorgesehen sind. In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist es vorteilhaft, daß der Sensor mit einer Auswerteinheit zusammenwirkt, die die Vertiefungen im Target erfaßt und nach Erreichen einer definierbaren kritischen Tiefe ein optisches bzw. akustisches Signal auslöst oder den Arbeitsprozeß automatisch unterbricht.

Aufgrund der erfindungsgemäßen Ausgestaltung ist der Sensor als Ultraschallsensor ausgebildet und mißt kontinuierlich oder in definierbaren Zeitintervallen die Dicke des Targets an einer Position stärkster Targeterosion. Dabei ist der Ultraschallsensor über einen in den Targethaltetopf (Kathodenrumpf) in tegrierten Ultraschalleiter direkt an das Target angekoppelt. In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist es vorteilhaft, daß die Auswerteinheit über einen elektrischen Schaltkreis ansteuerbar ist, der mit mindestens einem Ultraschallsensor zusammenwirkt und so die Dicke des Targets erfaßt. Auf diese Weise kann während der einzelnen Arbeitspausen oder während eines laufenden Arbeitsprozesses die Abnutzung des Targets einwandfrei erfaßt und damit sichergestellt werden, daß eine Beschichtung eines Substrats nur so lange erfolgt, wie das Target eine ausreichende Stärke aufweist. Damit wird verhindert, daß das Sputtern über die Targetdicke hinaus fortgesetzt wird und somit Fremdmaterialien (z. B. aus der Stirnplatte der Kathode oder Lötmaterial im Falle eines gelöteten Targets) in die Substrate gelangen. Mit dieser evtl. automatischen Überwachungsmethode kann also eine einwandfreie Beschichtung bei optimaler Targetnutzung erfolgen, auch während eines laufenden Arbeitsverfahrens. Durch die optische oder akustische Warneinrichtung wird die Bedienungsperson rechtzeitig darauf hingewiesen, wenn die kritische Dicke des Targets unterschritten wird.

Weitere Merkmale der Erfindung sind in der Beschreibung der Figuren dargestellt, wobei bemerkt wird, daß alle Einzelmerkmale und alle Kombinationen von Einzelmerk malen erfindungswesentlich sind.

In den Figuren ist die Erfindung an einer Aus führungsform beispielsweise dargestellt, ohne auf diese Ausführungsform beschränkt zu sein. Es zeigt:

Fig. 1 eine Vorrichtung zur Ultraschalldicken messung mit einem Ultraschallmeßsensor, der an der Rückseite des Target haltetopfs angebracht ist,

Fig. 2 einen Ultraschallsensor zur Ermittlung der Targeterosion in Abhängigkeit der Sputterzeit.

Fig. 3 eine Ansicht von unten eines kreis förmigen Targets.

In der Zeichnung ist mit 1 eine Zerstäubungskathode bezeichnet, deren tragender Teil aus einem hohl förmigen, topfartigen Grundkörper 2 (Targethaltetopf) besteht, der wegen der thermischen Belastung aus einem gut wärmeleitenden Werkstoff, beispielsweise aus Kupfer, besteht und mittels eines umlaufenden Flanschs 3 unter Zwischenschaltung eines Isolier stoffkörpers 4 in eine Wand 5 eines in der Zeichnung nur teilweise dargestellten Gehäuses bzw. einer Vakuumkammer einsetzbar ist.

Die Zerstäubungskathode 1 steht mit einer elektrischen Stromversorgung in Verbindung. An die Vakuumkammer ist eine in der Zeichnung nicht dargestellte Vakuumpumpe angeschlossen.

Der Grundköper 2 weist eine größtenteils ebene Stirn platte 6 auf. An der Innenseite der Stirnplatte 6 sind drei konzentrisch angeordnete Kühlwasserkanäle 7, 8, 9 vorgesehen, die über einen Wasseranschlußstutzen 35 mit einer in der Zeichnung nicht dargestellten Pumpe ver bunden sind.

An der Unterseite der Stirnplatte 6 ist ein Target 11 angelötet (engl.: bonden), das auch über Schrauben bolzen mit der Stirnplatte 6 verbunden sein kann.

Oberhalb der Kühlwasserkanäle 7, 8, 9 des Grundkörpers 2 befinden sich Magneteinheiten 14, 15, die mit Bezug auf die Mittelachse A konzentrisch angeordnet sind. Die Magneteinheiten 14, 15 bestehen aus einem permanent magnetischen Material und sind in axialer Richtung magnetisiert. Die mittlere Magneteinheit 14 ist als zylinderförmige Scheibe ausgebildet. Die äußeren, eben falls konzentrisch zur Mittelachse angeordneten Magnet einheiten 15 sind in vorteilhafter Weise aus zahl reichen plattenförmigen Permanentmagneten zusammenge setzt.

Die dem Target 11 abgewandten Pole der Magneteinheiten 14, 15, sind über ein Magnetjoch 17 aus weichmagne tischem Material (Fig. 1) verbunden.

Die Magneteinheiten 14, 15 sind dabei abwechselnd gepolt, und zwar bilden die dem Target 11 zugekehrten Polflächen bei der Magneteinheit 14 einen Nordpol und bei der Magneteinheit 15 einen Südpol. Dies führt zur Ausbildung eines magnetischen Tunnels, der auf der Targetseite um die Achse A-A umlaufend geschlossen ist.

Oberhalb des Targets 11 ist ein Ultraschallsensor 28 so im Targethaltetopf angebracht, daß der ausgesendete und dann an der Targetoberfläche reflektierte Ultraschall über einen Ultraschalleiter 29 ohne innere Grenzflächen gut geleitet werden kann. Es ist natürlich auch moglich, diesen Sensor 28 oder mehrere Sensoren an unterschiedlichen Positionen zu plazieren. Dabei kann es notwendig sein, den Ultraschallsensor elektrisch isoliert gegen den Grundkörper 2 und gegen die Jochplatte aufzubauen.

Gegenüber dem Target 11 befindet sich ein in der Zeichnung nicht dargestellter Substrathalter mit einem zu beschichtenden Substrat. Wird nach Einlaß eines Gases, beispielsweise Argon, in die Vakuumkammer eine Spannung an die Kathode 1 angelegt, so ionisieren die in der Vakuumkammer vorhandenen Elektronen das Argon, und unter geeigneten Druckbedingungen bildet sich eine sog. selbständige Gasentladung in Form eines Plasmas. Durch den bereits erwähnten magnetischen Tunnel hat dieses Plasma die Form eines ringförmigen Plasmaschlauches und ist in Fig. 1 mit 30 gekennzeichnet. Die Argonionen im Plasma werden durch das elektrische Feld zwischen Plasma und Target geradlinig in Richtung auf das Target 11 beschleunigt und schlagen aufgrund ihrer hohen Energie Atome oder Atomcluster aus dem Targetmaterial heraus, die sich dann auf dem Substrat niederschlagen. Auf diese Weise wird nach einer bestimmten Zeit die gewünschte Schicht gebildet und das Target abgetragen. Es bilden sich also an der Stelle, auf der die meisten Ionen auftreffen, ringförmige Vertiefungen 18.

Der in Fig. 3 angegebene Ring 18 deutet diese Vertiefungen an, der in etwa den gleichen Durchmesser wie der unterhalb des Targets 11 gebildete Ring des Plasmas 30 hat. Daraus ergibt sich, daß das Target 11 an dieser Stelle immer dünner wird.

Bei kontinuierlich arbeitenden Anlagen ohne Kontrolle der Targetdicke besteht das Problem, daß bei durcherodiertem Target die Lötschicht und der Targethaltetopf selbst abgetragen und das entsprechende Material zusätzlich zum Targetmaterial auf den Substraten abgeschieden wird. Dadurch geht i. A. die Qualität der erzeugten Schichten verloren, und die Substrate sind nicht mehr zu verwenden.

Da die Targets mitunter sehr teuer sind, möchte man einerseits diese so weit wie möglich nutzen, anderer seits aber den oben beschriebenen Effekt des Durcherodierens verhindern. Der für die vorliegende Erfindung wesentliche Ultraschallsensor 28 mißt fortlaufend bzw. in ganz bestimmten Zeitintervallen die Dicke des Targets 11 im Bereich dieses Ero sionsgrabens 18. Aus den einzelnen Meßdaten lassen sich auf einfache Weise genaue Aussagen über den Grad der Targeterosion machen, und somit kann eine optimale Nutzung des Targets erzielt werden.

Mit Hilfe der oben beschriebenen Sensorik in Verbindung mit einer elektronischen Auswerteeinheit 27 läßt sich die kritische Targetstärke während des Sputterprozesses oder zwischen Einzelbeschichtungen auf etwa 0.1 mm genau messen. Damit ist eine optimale End punktbestimmung im oben genannten Sinne möglich.

Es ist ferner vorteilhaft, wenn die gemessene Tar getdicke von der Auswertungseinheit dem Bedie nungspersonal kontinuierlich oder in gewissen Zeit abständen, z. B. über ein Display, übermittelt wird, wobei bei Erreichen einer kritischen Dicke ein op tisches oder akustisches Signal übermittelt oder der Prozeß automatisch beendet wird.

Bezugszeichenliste

1 Zerstäubungskathode = Kathode
2 Grundkörper (Targethaltetopf)
3 Flansch
4 Isolierstoffkörper
5 Wand der Vakuumkammer
6 Stirnplatte
7 Kühlwasserkanal
8 Kühlwasserkanal
9 Kühlwasserkanal
11 Target
14 Magneteinheit
15 Magneteinheit
17 Magnetjoch
18 ringförmige Vertiefung
27 elektronische Auswerteeinheit
28 Sensor = Ultraschallsensor
29 Ultraschalleiter
30 Plasma
35 Wasseranschlußstutzen

Claims

1. Zerstäubungskathode nach dem Magnetron-Prinzip mit einem aus mindestens einem Teil bestehenden Target (11) und einem hinter dem Target (11) angeordneten Magnetsystem, mit mehreren, inein anderliegenden Magneteinheiten (14, 15) abwech selnd unterschiedlicher Polung, die mindestens einen gleichfalls in sich geschlossenen, magnetischen Tunnel aus bogenförmig gekrümmten Feldlinien bilden, wobei die dem Target (11) abgekehrten Pole der Magneteinheiten (14, 15) über ein Magnetjoch (17) miteinander verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, daß die durch Sputtern gebildete Vertiefung (18) innerhalb des Targets (11) mittels eines Sensors (28) vermessen wird.

2. Zerstäubungskathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein oder mehrere Sensoren (28) an der Rückseite des Targets (11) vorgesehen sind.

3. Zerstäubungskathode nach Anspruch 1 oder 2, da durch gekennzeichnet, daß der Sensor (28) mit einer Auswerteeinheit 27 zusammenwirkt, die den Grad der Vertiefung (18) im Target (11) erfaßt und nach Erreichen einer definierbaren, kritischen Tiefe ein optisches bzw. akustisches Signal auslöst oder den Arbeitsprozeß automatisch unterbricht.

4. Zerstäubungskathode nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeich net, daß der Sensor (28) als Ultraschallsensor ausgebildet ist, der kontinuierlich oder in defi nierbaren Zeitintervallen die Dicke des Targets mißt.

5. Zerstäubungskathode nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn zeichnet, daß die Auswerteeinheit mit mindestens einem Ultraschallsensor (28) zusammenwirkt, der etwa im Bereich stärkster Targeterosion auf der Rückseite des Targets (11) angeordnet ist und dort die Dicke des Targets erfaßt.