DE4000573C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE4000573C2 DE4000573C2 DE4000573A DE4000573A DE4000573C2 DE 4000573 C2 DE4000573 C2 DE 4000573C2 DE 4000573 A DE4000573 A DE 4000573A DE 4000573 A DE4000573 A DE 4000573A DE 4000573 C2 DE4000573 C2 DE 4000573C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- cathode
- generator according
- emission
- carrier body
- generator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/305—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching
- H01J37/3053—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching for evaporating or etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/067—Replacing parts of guns; Mutual adjustment of electrodes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Solid Thermionic Cathode (AREA)
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Elektronen
strahlerzeuger mit den
im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Merkmalen.
Ein Elektronenstrahlerzeuger, wie eingesetzt in Vaku
um-Bedampfungsanlagen, zur Erzeugung eines Elektronen
strahls, der, nach Erzeugung, mittels elektronen-op
tischer Maßnahmen auf einen Tiegel umgelenkt wird,
um dort Material zu verdampfen, umfaßt üblicherweise
eine Elektronen-Emissionskathode, die entweder direkt
durch joulsche Wärme beheizt wird oder indirekt, z. B.
indem sie im unmittelbaren Bereich eines Heizorgans
montiert ist. In beiden Fällen liegt üblicherweise
die Elektronen-Emissionskathode im Betrieb auf nega
tivem Hochspannungspotential, während eine unmittel
bar über der genannten Kathode angeordnete Anode,
z. B. auf Massepotential gelegt wird. Desgleichen sind
üblicherweise Anlageteile, woran ein solcher Erzeuger
montiert ist, auf Massepotential gelegt. Damit liegen
über einem solchen Elektronenstrahlerzeuger üblicher
weise Hochspannungen, so daß zwischen Kathoden-Mon
tageteilen und Montageteilen für den Erzeuger an ei
nem Anlageteil entsprechende Isolationen vorgesehen
werden müssen.
Ein zweites Erfordernis, das bei solchen Erzeugern
eingehalten werden muß, ist, daß die Elektronen-
Emissionskathode in der Anlage sehr genau positioniert sein
muß, damit die von der Kathode emittierten Elektronen nach
Passieren der Anode reproduzierbar genau in die
nachgeschalteten elektronenoptischen Einheiten eintreten,
und zwar auch unter Berücksichtigung der großen, am Erzeu
ger entstehenden Temperaturgradienten.
Aus DE-AS 23 02 938 ist ein Elektronenstrahlerzeuger von
der im Oberbegriff des Anspruchs 1 angegebenen Art bekannt.
Der Trägerkörper ist hierbei als hohlkegelstumpfförmiger
Körper ausgebildet, der in eine Öffnung in der Wandung
einer Vakuumkammer befestigt ist, und an dessen freiem Ende
mittels Bajonettverschluß eine die Emissionskathode enthal
tende Einheit befestigt ist. Am Außenumfang des Trägerkör
pers sind in Abständen Kontaktringe zur Anlage an in der
Vakuumkammer angeordnete Abschirmelektroden vorgesehen.
Diese vorbekannte Konstruktion ist im Aufbau relativ kom
pliziert, und unterschiedliche Wärmedehungen der beteilig
ten Materialien können sich nachteilig auf die Präzision
der Reproduzierbarkeit der Positionierung auswirken.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Elektronen
strahlerzeuger der angegebenen Art so auszubilden, daß er
in seinem Aufbau besonders einfach und robust ist und bei
dem die reproduzierbar exakte Montage der Kathode und der
übrigen elektronenoptisch relevanten Teile auch im Hinblick
auf die Wärmeleitungsverhältnisse einfach und zuverlässig
gewährleistet ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnen
den Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
Dadurch wird einerseits ein Kathodenwechsel und anderer
seits die Montage und Demontage des ganzen Erzeugers, wie
zu Reinigungszwecken, einfach und reproduzierbar genau, und
es werden klar definierte reproduzierbare Wärmeleitungsver
hältnisse geschaffen. Die Verwendung des Trägerkörpers als
mechanische Referenz ermöglicht unterschiedliche Tempera
turausdehnungen von Isolator und Metallteilen, ohne Einfluß
auf die elektronenoptischen Verhältnisse, während durch den
Kontaktkörper eine definierte, reproduzierbare Wärmeleitung
auch zwischen kathodenseitiger Trägerkörperpartie und me
tallischen Teilen der Anlage, woran der Erzeuger montiert
wird, sichergestellt ist.
Im weiteren ist es, wie erwähnt, oft höchst vorteil
haft, an einer gesamten Verdampfungseinrichtung, bei
spielsweise mit Elektronenstrahlerzeuger, Elektronen
optiken und Tiegel, den Elektronenstrahlerzeuger auf
einfachste Art demontieren bzw. montieren zu können,
um, beispielsweise bei Verbrauch der Elektronen-Emis
sionskathode, einen Bedampfungsprozeß nur kürzeste
Zeit unterbrechen zu müssen oder um einen zu warten
den Erzeuger durch einen überholten zu ersetzen. Zu
diesem Zweck wird vorgeschlagen, gemäß Wortlaut von
Anspruch 2, auf der einen Seite des Kontaktkörpers min
destens ein Schnellverschlußorgan zur Schnellmonta
ge des Erzeugers
an einem Anlagenteil der Elektronenstrahlanlage vorzusehen.
In einer bevorzugten einfachen Ausführungsvariante
gemäß Wortlaut von Anspruch 3 umfaßt ein solches
Schnellverschlußorgan mindestens einen vorragenden
Bolzen mit radialer Konusbohrung.
Erfindungsgemäß wird dann ein solcher Schnellver
schluß anlageseitig gemäß Wortlaut von Anspruch 4
ausgebildet.
Durch diese Ausbildung wird auf höchst einfache Art
und Weise erreicht, daß der Erzeuger über den
Schnellverschluß am Anlageteil, an welchem er zu
montieren ist, festgespannt wird, womit ermöglicht
wird, einerseits den Erzeuger in eindeutig definierte
Lage zu montieren und andererseits, durch das Festspan
nen, auch zwischen dem Erzeuger und den erwähnten An
lageteilen einen definierten Wärmeübergang reprodu
zierbar zu gewährleisten.
In einer einfachen und bevorzugten Ausführungsvarian
te sind gemäß Wortlaut von Anspruch 5 am
Trägerkörper auf der anderen Seite - bezüglich derje
nigen, die zur Montage in der Anlage ausgebildet ist
- zwei metallische Kathodenanschluß-Halteblöcke vor
gesehen, die die Kathode auch unter hoher thermischer
Wechselbelastung präzise am Trägerkörper fixieren.
Gemäß Wortlaut von Anspruch 6 wird im weiteren die
Kathode bezüglich einer Emissionsfläche genähert
"punktuell" montiert, damit sie sich thermisch ver
zugslos, d. h. frei ausdehnen kann.
Dabei werden zwei im wesent
lichen parallele Halteanschlüsse, vorzugsweise auch
für den Heizstrom vorgesehen, welche bezüglich der
Kathoden-Emissionsfläche in gleicher Richtung vorragen, wobei
die Kathode an diesen Halteanschlüssen mechanisch
gehaltert ist, damit sie sich im obengenannten Sinne
thermisch frei ausdehnen kann und vorzugsweise auch
stromgespeist wird.
Die am Trägerkörper vorgesehenen Kathoden-Halte
blöcke werden dabei bevorzugterweise nach dem Wort
laut von Anspruch 7 ausgebildet, indem sie nämlich
je eine Fixiereinrichtung für einen der Kathodenan
schlüsse umfassen.
Um nun an einem solchen Erzeuger die Kathoden gesi
chert fehlerfrei ersetzen zu können, die in vielen
Fällen nur in einer vorgegebenen, bestimmten Lage
montiert werden dürfen, wird gemäß Wortlaut von An
spruch 8 vorgeschlagen, einerseits kathodenseitig
die Kathodenanschlüsse unterschiedlich auszubilden
und ebenso, erzeugerseitig, die Fixiereinrichtungen,
derart, daß jeweils einer der Kathodenanschlüsse le
diglich in eine der Fixiereinrichtungen einbringbar
ist, womit ein fehlersicheres Einbringen einer Katho
de sichergestellt wird: Die Kathode kann dann nur in
einer vorgegebenen Lage montiert werden; es ist aus
geschlossen, die falsche Kathodenseite in Emissions
richtung zu montieren.
Gemäß Wortlaut von Anspruch 9 wird weiter, um nicht
nur die Kathode im genannten Sinne flächenrichtig zu
montieren, sondern auch in exakt vorgegebene Posi
tion, vorgeschlagen, daß an mindestens einer der Fi
xiereinrichtungen eine Anschlageinrichtung vorgesehen
ist, womit die Emissionskathode lediglich in An
schlagposition gebracht werden muß, dort fixiert
werden muß, um dann mit Sicherheit in richtiger Po
sition zu liegen.
Wie eingangs erwähnt wurde, liegen üblicherweise an
derartigen Elektronenstrahlerzeugern, zwischen Katho
de und Anlageteilen, an welchen der Erzeuger montiert
ist, hohe Spannungswerte. Damit ist es von großer
Wichtigkeit, daß Isolationsvorkehrungen zwischen Ka
thode und den erwähnten Anlageteilen bleibend hohe
Oberflächenwiderstände aufweisen. Dies ist bei vielen
Einsatzvarianten derartiger Erzeuger nicht selbstver
ständlich, wenn man beispielsweise bei Vakuumbedamp
fungsanlagen bedenkt, daß oft leitendes Material vom
Tiegel verdampft wird, welches sich sehr wohl auch
auf den Isolationsteilen des Strahlerzeugers nieder
setzen kann. Auch die Kathode wird während ihres Be
triebes verdampft, indem sie einem Ionenbeschuß aus
gesetzt ist, so daß eine zweite Quelle der Isola
tionsbeeinträchtigung von der Kathode am Erzeuger
herrührt. Gemeinsam an beiden, den erwähnten, die
Isolation beeinträchtigenden Faktoren ist, daß ver
dampftes, leitendes Material in weit überwiegendem
Maße, bezüglich des Erzeugers, von derjenigen Seite
her stammt, in die die Emissionsfläche der Kathode
gerichtet ist bzw. von der Seite, nach der der Elek
tronenstrahl erzeugt wird.
Ausgehend von dieser Erkenntnis wird nun am erfin
dungsgemäßen Erzeuger die Oberflächenisolation da
durch vor Beeinträchtigung durch verdampftes Katho
denmaterial und Prozeßdampf geschützt, daß der
Trägerkörper gegen die andere Seite hin, d. h. gegen
die Elektronen-Emissionsseite hin, überkragend abge
deckt ist, gemäß Anspruch 10. Bei Vorsehen von Ka
thoden-Halteblöcken oben genannter Art, die zur Heiz
strombeaufschlagung der Kathoden voneinander getrennt
sein müssen, d. h., es muß ein Spalt zwischen ihnen
vorgesehen sein, wird nun die genannte Beeinträchti
gung der Oberflächenisolation des
eingesetzten Trägerkörpers dadurch verhindert, daß
gemäß Wortlaut von Anspruch 11 die Kathodenhalte
blöcke den Trägerkörper überkragen und, ohne sich zu
kontaktieren, so formkomplementär einander übergrei
fen, daß aus Richtung der anderen Trägerkörperseite,
d. h. von der Seite her, in die der Strahl erzeugt
wird, der Trägerkörper durch die Kathoden-Halteblöcke
vollständig abgedeckt ist. Dadurch wird sicherge
stellt, daß lediglich diese Kathoden-Halteblöcke
durch Kathoden- oder Prozeßdampf beaufschlagt wer
den, was, solange ihre elektrische Trennung gewähr
leistet ist, ohne Einfluß auf die Funktion des Er
zeugers ist.
Bei direkt oder indirekt, als Baueinheit, beheizten
Elektronen-Emissionskathoden muß ein hoher Heiz
strom, der mehrere Ampere betragen kann, durch die
Kathoden bzw. Heizeinrichtung fließen. Ein solcher
Strom erzeugt ein namhaftes Magnetfeld, welches die
Emissions-Charakteristik der Kathode sowie die Elek
tronenausbreitung stark beeinflussen kann. Berück
sichtigt man weiter, daß gerade ein Vorteil direkt
beheizter Elektronen-Emissionskathoden und auch als
in sich geschlossene Bauteile bereitgestellter, indi
rekt beheizter Kathoden darin liegt, daß die Emis
sionsleistung höchst einfach durch Änderungen des
Heizstromes geändert werden kann, so ist ersichtlich,
daß dieses Magnetfeld bei den hohen Strömen mit
nicht vernachlässigbarem Rippel oder, bei einer AC-
Stromspeisung oder auch nur das bei Änderungen eines
DC-Heizstromes, einen AC-Magnetfeld-Anteil aufweist,
der, zusätzlich zum ebenfalls störenden DC-Anteil,
außerordentlich störend sein kann, bezüglich der ge
wollten Emissions- und Ausbreitungscharakteristik des
Erzeugers. Um dem entgegenzuwirken, wird nun vorge
schlagen, den Erzeuger gemäß Wortlaut von Anspruch 12
aufzubauen, d. h. Stromzuleitungen zur beheizten
Emissionskathode so zu führen, daß, wenn man die
Emissionsfläche der Kathode betrachtet, diese Strom
zuleitungen erst in größtmöglichem Abstand von der
genannten Emissionsfläche durch eine durch diese Flä
che definierte Ebene durchtreten. Solange diese
Stromzuführungen unterhalb der durch die Emissions
fläche definierten Ebene liegen, können die durch
Ströme in diesen Stromzuleitungen erzeugten Magnet
felder weitgehendst durch metallische Schirm- oder
Steuerelektroden über der Kathode geshuntet werden.
Wird der Erzeuger gemäß Wortlaut von Anspruch 13 mit
einem im wesentlichen quaderförmigen Trägerkörper
aufgebaut, wobei die Emissionsfläche der Kathoden im
wesentlichen in der einen Ecke einer der Quaderflä
chen liegt, so werden entsprechend oben Gesagtem die
Stromzuführungen für die Kathode an einer diese Ecke
nicht bildenden Seitenfläche des Quaders angeordnet,
d. h. über der Diagonalen dieses Quaders in weitest
möglichem Abstand von der genannten Emissionsfläche.
Im weiteren wird bevorzugterweise am erfindungsgemä
ßen Erzeuger, gemäß Anspruch 14, eine Steuer-Elek
trode über der Emissionskathode vorgesehen, welche
bevorzugterweise mit Schrauben befestigt ist, derart,
daß dieser dem Ionenbeschuß vermehrt ausgesetzte
Teil sehr einfach und ohne jegliche Demontage weite
rer Teile am Erzeuger ausgewechselt werden kann.
Die genannte Steuerelektrode wird dabei auf erwünsch
tes Potential gelegt und zu weiteren Zwecken einge
setzt, nämlich einerseits, um Magnetfelder über der
Emissionsfläche der Kathode zu shunten und ander
seits, um eine möglichst gute Wärmeableitung zu ge
währleisten.
Zu diesem Zwecke ist die Steuerelektrode gemäß Wort
laut von Anspruch 15 in Sandwichbauweise aufgebaut,
mit einer der Kathode zugewandten ersten Schicht und
einer magnetisch gut leitenden, von der Kathodenflä
che abgekehrten, zweiten Schicht. Sie wirkt somit in
zweierlei Hinsicht als Hitzeschild bzw. als Ionenbe
schuß-Schild und als magnetische Abschirmung, abge
sehen von ihrer allfälligen Steuerfunktion. Zur Erhö
hung der Hitzeschildwirkung ist sie vorzugsweise mit
einem Zwischenraum zwischen den Schichten aufgebaut.
Im weiteren wird in einem bevorzugten Aufbau des er
findungsgemäßen Erzeugers gemäß Wortlaut von An
spruch 16 die emissionsseitig der Kathode vorzusehen
de Anode nicht am Trägerkörper montiert, sondern über
einen metallischen Verbinder am Kontaktkörper, wel
cher an der der Kathode
abgewandten Trägerkörperseite vorgesehen ist. Damit
ist sichergestellt, daß von der Anode ein optimaler,
direkter metallischer Wärmeleitpfad über den erwähn
ten Kontaktkörper zum Anlageteil, an welchem der Er
zeuger montiert wird, gewährleistet ist. Zudem kann
die Anode wiederum demontiert werden, ohne an der Ka
thodenmontage am Trägerkörper irgend etwas ändern zu
müssen.
Um im weiteren die Beeinflussung der Kathoden-Emis
sions-Charakteristik durch Heizstrommagnetfelder wei
ter zu reduzieren wird vorgeschlagen, nach dem Wort
laut von Anspruch 17 eine Abschirmung zwischen Berei
chen, in welchen die Heizstromleiter durchlaufen und
dem Emissionsflächenbereich der Kathode vorzusehen.
Dem der Erfindung zugrundeliegenden Prinzip der Ein
fachheit und Bedienungsfreundlichkeit folgend wird
weiter gemäß Wortlaut von Anspruch 18 vorgeschlagen,
daß alle wesentlichen Teile am Erzeuger mit mög
lichst wenig Schrauben befestigt sind, und daß sie
gegenseitig so ausgebildet sind, daß sie formschlüs
sig auf Anschlag nur in vorgegebenen Positionen rela
tiv zueinander montierbar sind. So sind am Trägerkör
per die Kathoden-Halteblöcke nur in vorgegebener Po
sition durch Schrauben montierbar, an den genannten
Kathoden-Halteblöcken, die Emissionskathode durch ge
schraubte Klemmorgane nur in einer vorgegebenen Posi
tion, bezüglich der Kathoden-Emissionsfläche die
Steuerelektrode ebenfalls mittels Schrauben und nur
in einer Position, ebenso die Anode mit Lochblende
für das Durchtreten des Elektronenstrahls. Die Ver
schraubung erfolgt
gemäß Wortlaut von Anspruch 19
ohne Gewindeeingriff im Trägerkör
per, die Teile werden über letzteren verschraubt, ge
genseitig verspannt.
Weitere Ausbildungen des erfindungsgemäßen Elektronenstrahl
erzeugers sind in den Ansprüchen 20 bis 24 gekennzeichnet.
Eine Elektronenstrahl-Verdampfungseinrichtung
mit dem erfindungsgemäßen Strahlerzeuger
ist bezüglich der elektronen-optischen Strahlerzeu
gungsorgane außerordentlich einfach wartbar und es
bedarf zu ihrer Wartung nur geringstmöglicher Be
triebsunterbrüche, dank der Tatsache, daß bei zu
wartendem Strahlerzeuger letzterer nicht an der Anla
ge gewartet zu werden braucht, sondern durch einen
überholten ersetzt werden kann. Damit wird aber nicht
nur die Verdampfungseinrichtung mit einem solchen Er
zeuger mit wesentlich geringeren Betriebsunterbruchs
zeiten einsetzbar, sondern die ganze Vakuum-Behand
lungsanlage, wenn man bedenkt, daß der Elektronen
strahlerzeuger im Grunde genommen das "Herz" einer
solchen Anlage ist und mit seinem längeren Ausfall
auch die Anlage ausfällt, es sei denn, es seien, wie
beim erfindungsgemäßen Erzeuger, Vorkehrungen ge
troffen, solche Ausfallzeiten auf ein Minimum zu ver
kürzen, nämlich durch die erfindungsgemäße höchst
einfache Ersetzbarkeit einem Verschleiß meistausge
setzter Teile, wie von Anode und Steuerelektrode bzw.
Kathode oder gar des ganzen Erzeugers, wie für dessen
Überholung.
Die Erfindung wird nun anschließend beispielsweise
anhand von Figuren erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 eine Seitenansicht eines
Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemä
ßen Erzeugers an einem schematisch darge
stellten Anlageteil montiert und eine
Teilschnittdarstellung eines daran vorge
sehenen Schnellverschlusses,
Fig. 2 eine Aufsicht auf den
Erzeuger gemäß Fig. 1, mit teilweise
weggeschnittener Anodenplatte,
Fig. 3 eine Querschnittsdarstellung gemäß Linie
III-III durch den Er
zeuger gemäß Fig. 2,
Fig. 4 und 5 je eine an einem Er
zeuger bevorzugterweise eingesetzte, di
rekt beheizte Elektronen-Emissionskatho
de,
Fig. 6 eine Querschnittsdarstellung gemäß Linie
VI-VI durch eine Kathode gemäß Fig. 5
in ebener und bombierter Ausbildung,
Fig. 7 eine Querschnittsdarstellung einer
am Strahlerzeuger eingesetzte,
indirekt beheizte Emissions-Kathodenan
ordnung.
Der Strahlerzeuger
nach dem Ausführungsbeispiel der Erfindung ist um einen
isolierenden, im wesentlichen quaderförmigen Träger-
bzw. Grundkörper 1, beispielsweise aus Aluminium
oxid, aufgebaut. An der einen planen Seite 3 des
Grundkörpers 1 ist z. B. mittels vier Halterschrauben
5 ein metallischer Kontaktkörper 7, nachfolgend auch
als Schnittstellenblock bezeichnet,
festgespannt, wobei die plane Seite 3 des
Grundkörpers 1 auf einer ebenso planen Fläche des
Blockes 7 aufgespannt ist. Das Gewinde für die
Schrauben 5 ist nicht im Grundkörper 1, sondern z. B.
im Schnittstellenblock 7 vorgesehen. Damit ist ein
definierter, reproduzierbarer Wärmeübergang zwischen
Grundkörper 1 und Schnittstellenblock 7 gewährlei
stet. Auf der dem Grundkörper 1 abgewandten Seite
des Schnittstellenblockes 7 ragt ein Schnellver
schluß-Spannbolzen 9 vor.
In den Schnittstellenblock 7 ist eine Anschlagstufe
11 eingearbeitet. Mit dieser Anschlagstufe 11 wird
der Schnittstellenblock 7 an einen entsprechenden
Anschlag an einem schematisch bei 13 dargestellten
Anlageteil montiert, wie beispielsweise an einer
Elektronenstrahl-Steuereinheit zur Steuerung des
Strahlpfades und/oder der Strahl-Fokussierung.
Der Schnellverschluß-Spannbolzen 9 wird in eine
entsprechende (nicht dargestellte) Zylinderbohrung
am Anlageteil 13 eingeführt. Am Schnellverschluß-
Spannbolzen 9 ist radial eine vorteilhafterweise
durchgehende, sich konisch verengende Spannbohrung
15 vorgesehen. Am Anlageteil 13 seinerseits ist, wie
in Fig. 1b schematisch dargestellt, eine Spann
schraube 14 vorgesehen, die in die Spannbohrung 15
radial einragt. Dabei ist die Achse A14 dieser
Schraube 14 bezüglich der Achse A15 der Spannbohrung
15 um wenig in Einführrichtung des Schnellver
schluß-Spannbolzens 9 versetzt, derart, daß durch
Einschrauben P der konisch verlaufenden Schrauben
spitze in die Spannbohrung 15 aufgrund der Keilungs
kräfte, der Block 7 gegen die planbearbeitete Kon
taktfläche des Anlageteils 13 gespannt - F - wird.
Mittels Kathodenhalterschrauben 17, wovon in Fig. 1
lediglich eine dargestellt ist, sind, an der dem
Schnittstellenblock 7 entgegengesetzten Seite des
Grundkörpers 1, zwei Kathodenanschlußhalter 19a und
19b mit Gewinde für die Schrauben 17 festgeschraubt.
Wie insbesondere aus Fig. 2 ersichtlich, ist in je
dem der Kathodenanschlußhalter 19a bzw. 19b eine
Aufnahmenut 20a bzw. 20b eingearbeitet, wobei die
eine der beiden Nuten, wie dargestellt, die Nut 20b,
breiter ausgebildet ist als die andere, die Nut 20a,
und beide zueinander parallel verlaufen. In die Nut
20b ragt, wie aus Fig. 2 ersichtlich, ein Anschlag
bolzen 22 ein. Die beiden Kathodenanschlußhalter
19a und 19b sind, wie insbesondere aus Fig. 1 er
sichtlich, so ausgebildet, daß sie allseits die im
wesentlichen plane, dem Schnittstellenblock 7 abge
wandte Seite des Grundkörpers 1 mit einem Rand 18
überkragen, wobei sich die beiden Kathodenanschluß
halter 19a und 19b weiter so hintergreifen, wie in
Fig. 1 ersichtlich, daß sie durch einen labyrinth
ähnlichen Spalt 24 getrennt sind. Damit ergibt sich,
betrachtet von der mit den Nuten 20 versehenen Sei
te, worin, wie nachfolgend beschrieben werden wird,
eine Emissionskathode montiert wird, keinerlei
Sichtverbindung mit dem isolierenden Grundkörper 1.
Damit wird erreicht, daß sich im wesentlichen kein
Verdampfungsmaterial, wie verdampftes Kathodenmate
rial oder Verdampfungsmaterial, das durch den Elek
tronenstrahl für den Prozeß verdampft wird, auf dem
Isolationsgrundkörper 1 niedersetzen kann, womit
dessen hohe Oberflächenisolations-Standzeit wesent
lich verlängert wird. Um den Grundkörper 1 erstreckt
sich eine Nut 21, durch die der Kriechstromweg ent
lang des Grundkörpers 1 verlängert wird.
Wie insbesondere aus Fig. 2 ersichtlich, im Zusam
menhang mit Fig. 3, wird in die beiden Kathodenan
schlußnuten 20a und 20b je ein Anschluß einer
Elektronen-Emissionskathode 26 eingeführt, wobei der
eine Anschluß der Kathode 26 breiter ist als der
andere und mithin die Kathode nur in einer definier
ten Lage in die Nuten eingeführt werden kann, zudem
exakt in die erwünschte Position aufgrund des An
schlages 22. Nach Einführen der beiden Kathodenan
schlüsse wird die Kathode 26 mittels Klemmschuhen
28a und 28b über Schrauben 30a und 30b an den ent
sprechenden Anschlußhaltern 19a bzw. 19b festge
klemmt. Wie aus Fig. 3 ersichtlich, bildet der
Grundkörper 1 bereits für die Teile 7, 19, mit An
schlagsflächen, eine exakte Positionsreferenz.
Wie aus den Fig. 2 und 3 weiter ersichtlich, ist die
Emissionskathode 26 ausschließlich an ihren An
schlüssen montiert, und die Elektrodenemissionsflä
che 34 liegt ansonsten frei. Dies ermöglicht, daß
sich die Elektronen-Emissionskathode 26 thermisch in
allen Richtungen ausdehnen kann, ohne daß daran me
chanische Spannungen und ein entsprechender Verzug
entstünden.
Es werden bevorzugterweise Elektronen-Emissionska
thoden, wie in den Fig. 4, 5 und 6 oder 7 darge
stellt, eingesetzt.
Gemäß Fig. 4 umfaßt eine bevorzugterweise einge
setzte, direkt beheizte Elektronen-Emissionskathode
26 einen Emissionskörper 41, der flächig ausgebildet
ist und die im wesentlichen kreisförmige Emissions
fläche 34 festlegt. Eine Schlitzanordnung im Körper
1 umfaßt einen ersten, vom Kathodenanschluß 32a
sich spiralförmig gegen das Zentrum Z erstreckenden
Schlitz 44a, neben welchem ein zweiter, ebenso spi
ralförmig gegen das Zentrum Z zulaufender Schlitz
44b vorgesehen ist. Im Zentrum Z ist die Integrität
des Emissionskörpers 41 mittels einer verbleibenden
Brückenpartie 46 gewährleistet, so daß durch die
beiden spiralförmigen Schlitze 44a und 44b eine bi
filare Stromleiteranordnung I realisiert ist, durch
welche, wie mit den Pfeilen angedeutet, ein Heiz
strom getrieben wird. Die Breite der Schlitze 44a
bzw. 44b ist geringer als die Breite D des Stromlei
ters I, und es kann die lokale Wärmeentwicklung und
damit die Elektronen-Emissionsverteilung entlang der
Emissionsfläche, definiert durch den Emissionskörper
41, durch lokale, stetige oder diskontinuierliche
Veränderung des Stromleiterquerschnittes beeinflußt
werden. Dabei ist bevorzugterweise die Breite D des
Stromleiters größer als die Dicke des platinenför
migen Körpers 41.
In Fig. 5 ist eine weitere bevorzugte Ausführungsva
riante der am Elektronenstrahlerzeuger 1 eingesetz
ten, direkt beheizten Elektronen-Emissionskathode 26
dargestellt. Sie ist grundsätzlich gleich aufgebaut
wie die in Fig. 4 dargestellte, weist aber im Zen
trum Z eine bevorzugterweise kreisförmige Durch
trittsöffnung 48 auf, zur Verhinderung von Ionenbe
schußerosion.
In Fig. 6 ist einerseits eine Querschnittsdarstel
lung gemäß Linie VI-VI von Fig. 5 durch eine be
vorzugterweise eingesetzte Elektronen-Emissionska
thode 26 dargestellt und darunter die analoge Quer
schnittsdarstellung einer nicht planen, sondern zu
einer Raumfläche gebildeten, wie gepreßten Emis
sionskathode, wie sie durch einen Preßvorgang aus
einer, im wesentlichen planen, weitergebildet werden
kann.
In Fig. 7 ist eine bevorzugte Ausführung
einer am Strahlerzeuger eingesetzten indirekt beheiz
ten Elektronen-Emissionskathode dargestellt. Es han
delt sich dabei um eine Kathodenanordnung mit inte
grierter Heizung, welche bevorzugterweise und je
nach Einsatzzweck gut in miniaturisierter Ausführung
hergestellt werden kann.
Sie umfaßt einen Topf 70, welcher einseitig durch
einen, gegebenenfalls entfernbaren, als Elektronen-
Emissionsfläche wirkender Deckelteil 72 verschlossen
ist. Der als Emissionsfläche wirkende Deckelteil 72
ist aus dem erwünschten Kathodenmaterial herge
stellt, gegebenenfalls abweichend von den übrigen
Teilen des Topfes 70. Im Topf 70, unmittelbar dem
als Emissionsfläche wirkenden Deckelteil benachbart,
ist eine Heizspirale 74 angeordnet, mit Stromzulei
tungen 76 und 78. Die Stromzuleitung 76 ist galva
nisch mit dem Deckelteil 72 verbunden, um die Emis
sionsfläche auf kathodisches Potential zu legen. Die
zweite Stromzuführung 78 ist isoliert, wie mittels
einer keramischen Durchführung 80 aus dem Topf 70
herausgeführt. Um insbesondere beim Einsatz in Vaku
umanlagen eine gute Wärmeleitung zwischen Heizspira
le 74 und Emissionsfläche 72 sicherzustellen, wird
gegebenenfalls der Topf 70 hermetisch dicht ausge
bildet und darin ein Wärmeleitungsgas gekapselt. Die
in Fig. 7 schematisch dargestellte indirekt beheizte
Elektrode wird in den beschriebenen Strahler
zeuger montiert, genau gleich, wie die vorgängig be
schriebene, direkt beheizte Kathode.
Zur Zuführung des Heizstromes I sind an den Katho
denanschlußhaltern 19a und 19b je Stromzuführungs
schienen 51a bzw. 51b festgeschraubt, und zwar be
züglich der Kathodenanschlußhalter 19a bzw. 19b
rechtwinklig zu den Nuten 20a bzw. 20b und auf der
von der Emissionsfläche 34 der Kathode 26 entfernten
Seite des Erzeugers. Abschnitte der Stromzuführungs
schienen 51, welche über die Ebene E der Emissions
fläche 34 - Fig. 1 - der Emissionskathode 26 vorra
gen, sind möglichst weit von genannter Fläche 34
entfernt. Die Raumbereiche mit den Zuführschienen 51
einerseits und der Emissionskathode 26 andererseits
sind mittels eines Schirmbleches 53 voneinander ge
trennt. Ein solches Schirmblech 53, wie strichpunk
tiert in den Fig. 1 und 2 eingetragen, wird bei
spielsweise mittels einer Klemmschraube auf Anoden
potential montiert.
Wie weiter insbesondere in Fig. 2 ersichtlich, ist
normalerweise mit dem einen der beiden Kathodenan
schlußhalter 19a oder 19b elektrisch verbunden, wie
dargestellt mit dem Halter 19b, ein Steuerelektro
den-(Wehnelt)-Halteblech 55 montiert, das z. B. auf
dem gleichen Potential betrieben wird wie die Elek
tronen-Emissionskathode. Dabei ist sichergestellt,
daß das Halteblech 55 nur einen der beiden Katho
denanschlußhalter 19a bzw. 19b kontaktiert, um den
Heizstrom durch die Kathode 26 nicht kurzzuschlie
ßen. Im Halteblech 55 ist eine Einnehmung 57 einge
arbeitet, in welche ein mittels der Schrauben 59
leicht ersetzbarer Lochblendeneinsatz 61 formschlüs
sig fixiert ist und damit galvanisch verbunden ist,
der die Steuerelektrode bildet. Dabei ist es ohne
weiteres möglich, die Steuerelektrode, sei dies
durch entsprechende Montage des Halteblechs 55 oder
des Einsatzes 61, isoliert vom Potential der Elek
tronen-Emissionskathode 26 zu montieren und auf er
wünschtes Potential zu legen.
Wie weiter aus Fig. 2 ersichtlich, in Zusammensicht
mit Fig. 1, ist ein Distanzhalterblock 63 mit dem
Schnittstellenblock 7 verschraubt und trägt, eben
falls damit verschraubt, eine Anodenplatte 65 mit
einer Lochblendenöffnung 64, zentriert auf die Ka
thoden-Emissionsfläche.
Alle beschriebenen Teile des beschriebenen
Strahlerzeugers sind am Trägerkörper 1 in definierten
Positionen formschlüssig montierbar und durch Lösen
von Schraubverbindungen leicht ersetzbar. Der Steu
erelektrodeneinsatz 61 ist, wie erwähnt, leicht ent
fernbar und als Verschleißteil ausgebildet. Insbe
sondere der Lochblendeneinsatz 61 wirkt als magneti
sche Abschirmung der Elektronen-Emissionskathode 26
und als Hitzeschild.
Der Lochblendeneinsatz 61 ist dazu in Sandwichbau
weise ausgeführt, z. B. aus Mo und FeCo. Während die
Mo-Schicht als Strahlungsschutzschild bzw. Hitze
schild wirkt, ergibt die FeCo-Schicht einen magneti
schen "Shunt" über der Elektronen-Emissionskathode
26, um eine magnetische Streufeldbeeinflussung der
Strahlbildung zu unterbinden. Zwischen den beiden
Schichten ist bevorzugterweise ein die Wirkung als
Hitzeschild verbessernder Zwischenraum 27 vorgese
hen, wie aus Fig. 3 ersichtlich.
Der Distanzhalter 63 sorgt für eine gute Wärmeablei
tung von der Anode 65 direkt zum Schnittstellenblock
7. Die Wärmeabfuhr zwischen dem beschriebenen
Strahlerzeuger und dem Anlageteil 13 erfolgt über
die Auflagefläche, welche mit dem Schnellverschluß-
Spannbolzen 9 vorgespannt wird.
Der beschriebene Elektronenstrahl
erzeuger ist klein und kompakt aufgebaut und eignet
sich mit dem dargestellten Schnellverschluß oder
einer anderen leicht lösbaren Montagemöglichkeit
ausgezeichnet, um z. B. für Revisionsarbeiten rasch
ersetzt zu werden, ohne die Fertigungsanlage lange
stillsetzen zu müssen.
Claims (24)
1. Elektronenstrahlerzeuger mit einer beheizten Elek
tronen-Emissionskathode und einem elektrisch isolierenden
Trägerkörper (1), der auf seiner Seite zur Montage
des Erzeugers in einer Elektronenstrahlanlage ausgebildet ist und auf sei
ner anderen Seite zur Aufnahme der Elektronen-Emissions
kathode (26) und als mechanische Positions
referenz, mit Anschlagflächen für mindestens die Emissions
kathode und weitere elektronenoptisch relevante Teile des
Erzeugers ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Trägerkör
per (1) auf seiner einen Seite an einem metallischen Kon
taktkörper (7) großflächig festgespannt ist, der zur lösba
ren Montage an der Elektronenstrahlanlage in einer durch
zusammenwirkende Anschläge (11) definierten Position ausge
bildet ist.
2. Erzeuger nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß auf der einen Seite des Kontakt
körpers (7) mindestens ein Schnellverschlußorgan (9) zur
Schnellmontage des Erzeugers an einem Anlageteil
(13) der Elektronenstrahlanlage vorgesehen ist.
3. Erzeuger nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß das Schnellverschlußorgan (9) mindestens einen vor
ragenden Bolzen mit radialer Konusbohrung (15) umfaßt.
4. Erzeuger nach Anspruch 3, dadurch ge
kennzeichnet, daß am Anlageteil (13) eine Aufnahmebohrung
für den Bolzen (9) vorgesehen ist, mit einer radialen
Spannschraube mit konischer, in die Konusbohrung (15) treibba
rer Spitze, wobei die Achse der Schraube (A14) bezüg
lich der Achse der Konusbohrung (15)
versetzt ist, um durch Eintreiben der Schraube
(14) in die Konusbohrung (15) am Bolzen (9)
den Kontaktkörper (7) am Anlageteil (13) festzuspannen.
5. Erzeuger nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß am Trägerkörper auf der anderen
Seite zwei metallische Kathoden-Anschluß-Halteblöcke
(19) vorgesehen sind.
6. Erzeuger nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß die Kathode (26) bezüglich einer
Emissionsfläche in einem beschränkten Peripheriebe
reich montierbar ist und zwei im we
sentlichen parallele Halteanschlüsse (32a, 32b) umfaßt, welche
bezüglich der Kathoden-Emissionsfläche in gleicher Richtung
vorragen, und daß die Kathode an diesen beiden Haltean
schlüssen (32a, 32b) mechanisch derart gehaltert ist, daß sie sich
thermisch frei ausdehnen kann.
7. Erzeuger nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch
die Kathoden-Halteblöcke (19a, 19b), die je eine Fixiereinrich
tung (20a, 20b, 28a, 28b) für einen der Kathodenanschlüsse (32a, 32b)
umfassen.
8. Erzeuger nach Anspruch 7, dadurch gekennzeich
net, daß die Kathodenanschlüsse (32, 32b) unterschiedlich aus
gebildet sind, ebenso die Fixiereinrichtung (20a, 20b), derart,
daß jeweils ein Kathodenanschluß lediglich in eine
der Fixiereinrichtungen einbringbar ist, um ein feh
lersicheres Einbringen einer Kathode sicherzustellen.
9. Erzeuger nach Anspruch 8, dadurch gekennzeich
net, daß an mindestens einer der Fixiereinrichtungen
eine Anschlageinrichtung (22) vorgesehen ist, um die
Emissionskathode (26) in vorgegebene Position zu positio
nieren.
10. Erzeuger nach einem der Ansprüche 1 bis 9, da
durch gekennzeichnet, daß der Trägerkörper auf seiner
anderen Seite überkragend (18) abgedeckt ist, und
eine die Kriechstromstrecke zwischen den
beiden Seiten verlängernde, vorzugsweise umlaufende
Einformung (21) aufweist.
11. Erzeuger nach Anspruch 7 und 10, da
durch gekennzeichnet, daß die Kathoden-Halteblöcke (19a, 19b)
den Trägerkörper (1) überkragen und, ohne sich zu
kontaktieren, formkomplementär so einander übergrei
fend ausgebildet sind, daß, aus Richtung der anderen
Trägerkörperseite betrachtet, der Trägerkörper (1)
durch die Kathoden-Halteblöcke (19a, 19b) vollständig abge
deckt ist.
12. Erzeuger nach einem der Ansprüche 1 bis 11, da
durch gekennzeichnet, daß Stromzuleitungen (51)
für einen Kathoden-Heizstrom
am Erzeuger derart angeordnet sind, daß eine
durch die Emissionsfläche (34) der Kathode (26)
definierte Raumfläche, vorzugsweise eine
Ebene (E), in größtmöglichem Abstand (A) von dieser
Emissionsfläche (34) schneiden.
13. Erzeuger nach einem der Ansprüche 1 bis 12, da
durch gekennzeichnet, daß der Trägerkörper (1) im
wesentlichen quaderförmig ist und
daß eine Emissionsfläche (34) der Kathode (26) im
wesentlichen in der einen Ecke einer der Quaderhauptflä
chen liegt, und daß Heizstromzuführungen (51) für
die Kathode (26) an einer diese Ecke nicht bildenden
Seitenfläche des Quaders angeordnet sind.
14. Erzeuger nach einem der Ansprüche 1 bis 13, da
durch gekennzeichnet, daß über der Emissionskathode (26)
mindestens eine elektronen-optische Steuerelektrode
(61) vorgesehen ist, welche vorzugsweise verschraubt
ist.
15. Erzeuger nach Anspruch 14, dadurch gekennzeich
net, daß die Steuerelektrode (61) in Sandwichbauweise
ausgebildet ist, mit mindestens einer der Kathode zu
gewandten ersten Schicht und einer magnetisch gut
leitenden, von der Kathodenfläche abgekehrten zweiten
Schicht, die vorzugsweise von der ersten mindestens ab
schnittsweise beabstandet ist.
16. Erzeuger nach einem der Ansprüche 1 bis 15, da
durch gekennzeichnet, daß eine am Kontaktkörper (7)
über einen metallischen Verbinder (63) montierte Ano
de (65) über der Kathoden-Emissionsfläche (34) vorge
sehen ist.
17. Erzeuger nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch
gekennzeichnet, daß ein Bereich mit einer Kathoden-
Emissionsfläche (34) von Bereichen mit Heizstromzuführun
gen (51) für die Kathode durch eine Abschirmung (53) ge
trennt ist.
18. Erzeuger nach einem der Ansprüche 1 bis 17, da
durch gekennzeichnet, daß Trägerkörper (1) mit dem Kon
taktkörper (7) und/oder der Trägerkörper (1) mit den
Kathoden-Halteblöcken (19) und/oder der Trägerkörper
(1) oder einer der Kathoden-Halteblöcke (19) mit der
Steuerelektrode (61) und/oder die Kathoden-Halteblöc
ke (19) mit der Elektronen-Emissionskathode (26)
formschlüssig in vorgegebenen Positionen
durch Schraubverbindungen montier
bar sind.
19. Erzeuger nach einem der Ansprüche 1 bis 18, da
durch gekennzeichnet, daß Teile am Trägerkörper (1)
mittels Schraubverbindungen, vorzugsweise aus
schließlich über Schraubverbindungen, befestigt
sind, deren Gewinde nicht im Trägerkörper
vorgesehen sind.
20. Elektronenstrahlerzeuger nach einem der Ansprüche 1
bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß die be
heizte Elektronen-Emissionskathode eine Emissionsfläche
(72) und einen Heizstromleiter (74) zu deren indirekten Be
heizung aufweist und daß die Emissionsfläche mit dem Heiz
stromleiter eine Baueinheit bildet, die als Ganzes an der
anderen Seite des Trägerkörpers (1) in einer durch An
schläge (20a, 20b, 22) definierten Position montierbar bzw.
demontierbar ist (Fig. 7).
21. Erzeuger nach Anspruch 20, dadurch gekennzeich
net, daß die Emissionsfläche (72) die Stirnwand eines Top
fes (76) ist, in dem der Heizstromleiter (74) angeordnet ist.
22. Erzeuger nach Anspruch 21, dadurch gekennzeich
net, daß die Stirnwand ersetzbar, insbesondere mit der
Topfwand verschraubt ist.
23. Erzeuger nach einem der Ansprüche 20 bis 22, da
durch gekennzeichnet, daß ein Anschluß (76) des Heiz
stromleiters (74) galvanisch mit der Emissionsfläche (72) ver
bunden ist.
24. Erzeuger nach einem der Ansprüche 20 bis 23, da
durch gekennzeichnet, daß zwischen Heizstromleiter (74)
und Emissionsfläche (72) ein gekapseltes Gas als Wärme
leitmedium vorgesehen ist.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4000573A DE4000573A1 (de) | 1990-01-10 | 1990-01-10 | Elektronenstrahlerzeuger und emissionskathode |
US07/635,682 US5159234A (en) | 1990-01-10 | 1990-12-27 | Electron beam generator and emission cathode |
JP107491A JPH0745226A (ja) | 1990-01-10 | 1991-01-09 | 電子ビーム発生器及び放出陰極 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4000573A DE4000573A1 (de) | 1990-01-10 | 1990-01-10 | Elektronenstrahlerzeuger und emissionskathode |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4000573A1 DE4000573A1 (de) | 1991-07-11 |
DE4000573C2 true DE4000573C2 (de) | 1992-12-17 |
Family
ID=6397851
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4000573A Granted DE4000573A1 (de) | 1990-01-10 | 1990-01-10 | Elektronenstrahlerzeuger und emissionskathode |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5159234A (de) |
JP (1) | JPH0745226A (de) |
DE (1) | DE4000573A1 (de) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4050709B2 (ja) | 2003-04-01 | 2008-02-20 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及びこの電気光学装置を備えた電子機器 |
US9208988B2 (en) | 2005-10-25 | 2015-12-08 | Rapiscan Systems, Inc. | Graphite backscattered electron shield for use in an X-ray tube |
GB0525593D0 (en) | 2005-12-16 | 2006-01-25 | Cxr Ltd | X-ray tomography inspection systems |
US8243876B2 (en) | 2003-04-25 | 2012-08-14 | Rapiscan Systems, Inc. | X-ray scanners |
US8094784B2 (en) | 2003-04-25 | 2012-01-10 | Rapiscan Systems, Inc. | X-ray sources |
US10483077B2 (en) | 2003-04-25 | 2019-11-19 | Rapiscan Systems, Inc. | X-ray sources having reduced electron scattering |
GB0812864D0 (en) | 2008-07-15 | 2008-08-20 | Cxr Ltd | Coolign anode |
US9046465B2 (en) | 2011-02-24 | 2015-06-02 | Rapiscan Systems, Inc. | Optimization of the source firing pattern for X-ray scanning systems |
GB0816823D0 (en) | 2008-09-13 | 2008-10-22 | Cxr Ltd | X-ray tubes |
GB0901338D0 (en) * | 2009-01-28 | 2009-03-11 | Cxr Ltd | X-Ray tube electron sources |
CN106061515B (zh) * | 2014-03-21 | 2019-11-19 | 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司 | 电子束发生器和电子束灭菌装置 |
US10585206B2 (en) | 2017-09-06 | 2020-03-10 | Rapiscan Systems, Inc. | Method and system for a multi-view scanner |
US11212902B2 (en) | 2020-02-25 | 2021-12-28 | Rapiscan Systems, Inc. | Multiplexed drive systems and methods for a multi-emitter X-ray source |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1145953A (en) * | 1966-03-15 | 1969-03-19 | Gen Electric | Improvements in or relating to an electron gun assembly |
DE2302938C3 (de) * | 1973-01-22 | 1979-07-12 | Polymer-Physik Gmbh & Co Kg, 2844 Lemfoerde | Mehrstufiger Beschleuniger für geladene Teilchen mit Hochvakuumisolation |
GB1454196A (en) * | 1974-07-04 | 1976-10-27 | Sokolov B G | Electron beam apparatus |
JPS57147860A (en) * | 1981-03-06 | 1982-09-11 | Hamamatsu Tv Kk | Cathode for gas discharge tube |
-
1990
- 1990-01-10 DE DE4000573A patent/DE4000573A1/de active Granted
- 1990-12-27 US US07/635,682 patent/US5159234A/en not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-01-09 JP JP107491A patent/JPH0745226A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5159234A (en) | 1992-10-27 |
DE4000573A1 (de) | 1991-07-11 |
JPH0745226A (ja) | 1995-02-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2824289C2 (de) | Target für Sprüh-Beschichtungsgeräte | |
DE4000573C2 (de) | ||
DE19853943B4 (de) | Katode zur Zerstäubung oder Bogenaufdampfung sowie Vorrichtung zur Beschichtung oder Ionenimplantation mit einer solchen Katode | |
DE69723952T2 (de) | Endkappe für eine indirekt geheizte Kathode einer Ionenquelle | |
DE60108504T2 (de) | Kathodenanordnung für eine indirekt geheizte kathode einer ionenquelle | |
DE3615361C2 (de) | Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung von Werkstücken | |
EP0558797B1 (de) | Vorrichtung zur Kathodenzerstäubung | |
DE4026494C2 (de) | ||
DE102004029466A1 (de) | Medieninjektor | |
DE2610165A1 (de) | Quelle zur erzeugung einfach und/oder mehrfach geladener ionen | |
DE2325993B2 (de) | Elektronenkanone | |
DE4444763C2 (de) | Elektrode zur Materialverdampfung für die Beschichtung von Substraten | |
DE3014151C2 (de) | Generator für gepulste Elektronenstrahlen | |
DE2942056C2 (de) | In-line-Elektronenstrahlerzeugungssystem | |
DE3411536A1 (de) | Magnetronkatode fuer katodenzerstaeubungsanlagen | |
EP0277341A2 (de) | Anordnung zur Anwendung eines Lichtbogens | |
DE19928053C2 (de) | Anordnung zur Erzeugung eines Niedertemperaturplasmas durch eine magnetfeldgestützte Kathodenentladung | |
EP1396870B1 (de) | Sputterionenquelle | |
DE3345493C2 (de) | Vorrichtung zum Stabilisieren eines Verdampfungslichtbogens | |
DE3628847C2 (de) | Heißkathoden-Ionisationsmanometer | |
DE102007019981B4 (de) | Anode für die Bildung eines Plasmas durch Ausbildung elektrischer Bogenentladungen | |
DE10010706C2 (de) | Hohlkathoden-Sputter-Ionenquelle zur Erzeugung von Ionenstrahlen hoher Intensität | |
EP0791226B1 (de) | Vorrichtung zum beschichten von substraten mit einem materialdampf im unterdruck oder vakuum | |
DE19627004C2 (de) | Strahlungsquelle sowie Glühkathode für den Einsatz in einer Strahlungsquelle | |
DE4409761B4 (de) | Einrichtung zur plasmagestützten Verdampfung in einem Bogenentladungsplasma |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8363 | Opposition against the patent | ||
8365 | Fully valid after opposition proceedings | ||
8380 | Miscellaneous part iii |
Free format text: SPALTE 9, ZEILE 41 NACH "SEINER" EINFUEGEN "EINEN" |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |