DE3942049A1 - Verfahren und vorrichtung zum erzeugen von einspeisungsmaterialstroemen mittels transversallaserstrahlduesen - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zum erzeugen von einspeisungsmaterialstroemen mittels transversallaserstrahlduesenInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft die Verdampfung
und Spritzung bzw. Versprühung von Materialien und insbesondere
solche Spritz- oder Sprühvorgänge, die durch
Lasererwärmung induziert werden.
In zahlreichen modernen Materialsystemen ist es
notwendig, auf ein vorhandenes Substrat Materialschichten
aufzubringen. In einigen Fällen wird eine Beschichtung
eines harten verschleißfesten Materials auf ein festes,
haltbares duktiles Material aufgebracht. Der resultierende
Schichtstoff liefert eine Bauteilkomponente, die
gute mechanische Eigenschaften wie Festigkeit, Duktilität
und Bruchfestigkeit aufweist und darüber hinaus
eine Oberfläche besitzt, die in Umgebungen, die erosiv
und/oder korrosiv sind, nicht schnell erodiert oder
korrodiert bzw. verschleißt. Bei anderen Anwendungen
kann ein Teil repariert werden, indem auf das Substrat
neues Material derselben (oder verschiedenen) Zusammensetzung
wie die des Substrats gegeben wird, indem graduierlich
die Dicke des hinzugefügten Materials aufgebaut
wird, um die Schichtdicke zu ersetzen, die im Gebrauch
verlorengegangen war. Zahlreiche andere Beispiele von
Beschichtungen finden weit verbreitet infolge der Vielseitigkeit,
die durch kundenspezifische Materialsysteme
gefordert wird, Anwendung.
Die Materialschichten können auf verschiedenste
Arten abhängig vom Substrat, dem hinzugefügten Material
und den erforderlichen Eigenschaften der Beschichtung
auf das Substrat aufgetragen werden. Das hinzugefügte
Material kann in massiver Form vorgesehen werden und auf
dem Substrat laminiert, bondiert, geklebt oder anders
befestigt werden. Alternativ hierzu kann das Material
auch in einer von seiner endgültigen Konfiguration
verschiedenen Form vorgesehen und in Form von Atomen,
häufig in geschmolzenem und/oder verdampftem Zustand,
auf das Substrat gegeben werden. Bei zahlreichen Anwendungen
ist die letztgenannte Lösung vorzuziehen,
um eine exzellente Haftung oder Bondierung des hinzugefügten
Materials am Substrat zu erzielen und ein
bezüglich seiner Eigenschaften hochgradig kontrollierbares
und steuerbares Endprodukt herzustellen.
In einer in der Praxis weitverbreiteten Lösung
wird ein Plasma in einem Entladungsbogen ausgebildet.
Metallpulver in einem Gasstrom wird durch das Plasma
gerichtet, wodurch das Metall zum Schmelzen gebracht
wird und Metalltropfen gebildet werden. Das geschmolzene
Material wird dann gegen ein Substrat gespritzt
oder gesprüht, um als Beschichtung, sogenanntes "Coating",
oder als Oberflächenfilm zu erstarren. Die Plasmaspritzung
und andere vergleichbare Techniken sind für
einige Metalle, wie beispielsweise Titanverbindungen,
die in einer atmosphärischen Umgebung gespritzt werden,
nicht operabel und betriebsfähig. Zusätzlich ist
die Geometrie der Plasmaspritzvorrichtungen nicht geeignet,
das gespritzte Material auf bestimmte Substratformen,
wie beispielsweise das Innere von Bohrungen
oder anderen Hohlraumflächen zu spritzen.
Infolgedessen besteht Bedarf an einer neuen Lösung
zum Aufbringen von Materialschichten auf Substraten,
die die Abscheidung oder Ablagerung der Materialien
in eingegrenzte oder irgendwie eingeschnürte oder unzugängliche
Stellen gestattet. Die vorliegende Erfindung
löste die Aufgabe, diesen Bedarf zu decken, und bietet
darüber hinaus weitere Vorteile.
Die vorliegende Erfindung ist in einer Vorrichtung
zur Materialspritzung inkorporiert und verwirklicht und
erhält die Vorteile früherer Spritztechniken, gestattet
jedoch eine große Vielseitigkeit bei der Auswahl der
Vorrichtungsgeometrie zur Aufbringung von Materialschichten
auf bislang unzugängliche Stellen eines Substrats.
Das Substrat wird nicht unmittelbar durch den
Laser erwärmt, wodurch es relativ kalt bleiben kann.
Entsprechend der Erfindung umfaßt die Vorrichtung
zum Erzeugen einer Strömung eines geschmolzenen eingespeisten
oder zugeführten Materials eine Laserwärmequelle
mit einem Strahl, der in ein Wechselwirkungsvolumen
gerichtet wird. Der Laserstrahl weist innerhalb
des Wechselwirkungsvolumens eine ausreichende Energie
auf, um das eingespeiste Material oder Einspeisungsmaterial,
wenn dieses in das Wechselwirkungsvolumen
eingeleitet ist, zu schmelzen. Ferner sind Einrichtungen
zum Einleiten des Einspeisungsmaterials in das Wechselwirkungsvolumen
vorgesehen sowie Einrichtungen, die das
geschmolzene Einspeisungsmaterial innerhalb des Wechselwirkungsvolumens
teilweise eingrenzen und einschließen
und das geschmolzene Einspeisungsmaterial aus dem Wechselwirkungsvolumen
in eine Richtung ausstoßen oder austreiben,
die eine Komponente transversal zum Laserstrahl
aufweist.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel umfaßt eine
Vorrichtung zum Erzeugen eines Flusses oder einer Strömung
geschmolzenen Einspeisungsmaterials eine Einschlußbehältniseinrichtung
zum Eingrenzen und Eindämmen eines
Plasmas innerhalb eines Wechselwirkungsvolumens. Ferner
ist ein Laser vorgesehen, der einen Strahl aufweist, der
in das Wechselwirkungsvolumen entlang der Laserstrahlrichtung
gerichtet wird. Der Laser weist eine Strahlenergiedichte
auf, die ausreicht, ein Plasma innerhalb des
Wechselwirkungsvolumens zu erzeugen und das Einspeisungsmaterial
beim Einleiten in das Wechselwirkungsvolumen
zu schmelzen. Ferner sind Einrichtungen zum Einleiten
des Einspeisungsmaterials in das Wechselwirkungsvolumen
vorgesehen sowie Einrichtungen zum Austreiben oder Ausstoßen
geschmolzenen Einspeisungsmaterials aus dem
Wechselwirkungsvolumen heraus in einer Richtung, die
von der Laserstrahlrichtung verschieden ist.
In einer bevorzugten Lösung wird der Laserstrahl
im Wechselwirkungsvolumen durch einen Spiegel oder eine
Linse mit ausreichender Intensität zur Ausbildung eines
Plasmas fokussiert. Eine gasfluidisierte (fließbettartige)
Strömung des Einspeisungsmaterials wird in das
Plasma von der Seite eingeführt, so daß die Einspeisungsvorrichtung
nicht dem Laserstrahl ausgesetzt ist.
Das Plasma und das darin geschmolzene Einspeisungsmaterial
werden mit einem ausgeglichenen Gasdruck oder
Gasausgleichsdruck auf ein begrenztes Wechselwirkungsvolumen
eingegrenzt und beschränkt, wobei der ausgeglichene
Gasdruck verhindert, daß das Plasma und geschmolzene
Einspeisungsmaterial sich längs der Achse
des Laserstrahls ausdehnen. Eine Öffnung in der Seite
des Behältnisses, die der Öffnung, durch die der Einspeisungsstrom
eingeleitet wird, gegenüberliegt, gestattet,
daß das geschmolzene Einspeisungsmaterial in
eine Richtung senkrecht zur Achse des Laserstrahls
austritt. Infolgedessen wird das Substrat nicht direkt
dem Laserstrahl ausgesetzt, und die Strömung bzw. Fließmengen
des Einspeisungsmaterials werden senkrecht zur
Laserstrahlachse aufgetragen bzw. abgeschieden. Diese
Konfiguration gestattet die Konstruktion einer langen,
sonden- oder fühlerartigen Schichtaufbringungsvorrichtung,
die dazu verwendet werden kann, Materialien innerhalb
von Bohrungen oder anderen relativ unzugänglichen
Stellen abzuscheiden. Da das Substrat nicht unmittelbar
durch den Laserstrahl erwärmt wird, wird seine Struktur
normalerweise während des Beschichtungsprozesses nicht
signifikant verändert.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Erzeugen eines
geschmolzenen Einspeisungsmaterials umfaßt im einzelnen
ein Behältnis mit einer Seitenwandung und eine Laserenergieabsorptions-
oder Aufnahmeeinrichtung am anderen
Ende des Behältnisses. Ferner ist ein Laser vorgesehen,
dessen Strahl längs einer Strahlachse in Richtung auf
die Laserstrahlenergieaufnahmeeinrichtung in das Behältnis
eingeleitet wird. Eine Pulvereinleitungsöffnung ist
in der Seitenwandung des Behältnisses ausgebildet, wobei
ein Pulver des eingespeisten Materials in das Innere
des Behältnisses bei einem Wechselwirkungsvolumen eingeleitet
werden kann, das längs der Laserstrahlachse,
d. h. auf dieser Achse liegt. Eine Gasquelle mit einem
eingrenzenden Gas, das das geschmolzene Material an
Ausbreitung in Laserstrahlachsenrichtung hindert, erzeugt
innerhalb des Behältnisses an Stellen, die längs
der Laserstrahlachse vom Wechselwirkungsvolumen gleich
beabstandet verschoben sind und sich gegenüberliegen, im
wesentlichen gleiche Gasdrücke. Ferner ist eine Metallspritzöffnung
oder Metallaustreibungsöffnung in der
Seitenwandung des Behältnisses angrenzend an das Wechselwirkungsvolumen
vorgesehen.
Die vorliegende Erfindung umfaßt auch ein Verfahren
zum Spritzen von Metall unter Verwendung von Lasererwärmung.
Im erfindungsgemäßen Verfahren zum Ausbilden oder Formen
einer Strömung von geschmolzenem Einspeisungsmaterial
sind folgende Verfahrensschritte umfaßt. Ein Laserstrahl
wird so in ein Wechselwirkungsvolumen gerichtet, daß der
Laserstrahl innerhalb des Wechselwirkungsvolumens eine
Energiedichte aufweist, die ausreicht, im Wechselwirkungsvolumen
enthaltenes Einspeisungsmaterial zu schmelzen.
Ferner wird das Einspeisungsmaterial in das Wechselwirkungsvolumen
eingeleitet, und es wird eine Strömung oder
ein Fluß geschmolzenen Einspeisungsmaterials aus dem
Wechselwirkungsvolumen in eine Richtung ausgetrieben
und entfernt, die von der Richtung des Laserstrahls
verschieden ist.
Vorzugsweise wird das Einspeisungsmaterial in
Form eines feinzerteilten Pulvers durch einen Gasstrom
fluidisiert senkrecht zur Achse der Laserstrahlrichtung
in das Wechselwirkungsvolumen eingespeist. Die Einschränkung
und Begrenzung des geschmolzenen Einspeisungsmaterials
wird vorzugsweise erzielt, indem ein ausgeglichener
Druck auf beiden Seiten des Wechselwirkungsvolumens
erzeugt wird, der verhindert, daß das Material in
Richtung parallel zum Laserstrahl strömt. Ferner wird
vorzugsweise die Laserstrahlung so fokussiert, daß
sich im Wechselwirkungsvolumen aus dem Gas und verdampften
Einspeisungsmaterialatomen ein Plasma bildet,
in das das Einspeisungsmaterial eingeleitet wird.
Das erfindungsgemäße Verfahren sowie die Vorrichtung
liefern einen wichtigen Fortschritt in der Technik
der Spritzbeschichtung von Einspeisungsmaterialien. Die
Laserenergie wird dazu verwendet, ein eingespeistes
Material in einer sehr wirkungsvollen, steuerbaren Art
und Weise zu schmelzen. Die Achse der Schichtabscheidung
ist von der Achse der Laserstrahlung verschieden, wodurch
eine unnötige Erwärmung des Substrats vermieden
wird und ermöglicht wird, daß der Aufbau der Beschichtungsvorrichtung
zur Anwendung auf eingegrenzte oder
irgendwie unzugängliche Räume ausgelegt wird.
Im folgenden wird die Erfindung an Hand der Zeichnungen
und einiger bevorzugter Ausführungsbeispiele
näher erläutert. Die Erfindung ist jedoch nicht auf
diese Ausführungsbeispiele beschränkt, die lediglich
dazu dienen, ihre Prinzipien zu erläutern. Es zeigt
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer
erfindungsgemäßen Vorrichtung und
Fig. 2 eine Schnittansicht einer transversalen
Laserdüse aus Fig. 1.
Die vorliegende Erfindung ist vorzugsweise in
einer Laserspritzvorrichtung 10 mit transversaler Strömung
inkorporiert, wie sie in einer Übersichtsdarstellung
in Fig. 1 gezeigt ist. Die Vorrichtung 10 umfaßt
einen Laser 12, dessen Strahl durch einen optischen
Abschnitt 14 geleitet wird, der den Strahl in einem
Wechselwirkungsvolumen 16 innerhalb einer Transversalströmungsdüse
18 fokussiert. Vorzugsweise ist die Energie
des Laserstrahls im Wechselwirkungsvolumen ausreichend
groß, um ein Plasma zu erzeugen. Eine Strömung
von gasfluidisierten (wirbelbettartig transportierten)
pulverisierten Einspeisungs- oder Zusatzmaterials
wird über eine Pulvereinführungsöffnung 20 in die
zylindrische Wandung der Düse 18 eingebracht. Im
Wechselwirkungsvolumen 16 wird das Einspeisungsmaterial
durch den Laserstrahl sehr schnell erhitzt und geschmolzen.
Das geschmolzene Material wird teilweise innerhalb
des Wechselwirkungsvolumens 16 eingegrenzt und eingedämmt.
Das heißt, daß nicht zugelassen wird, daß das geschmolzene
Material entlang der Achse des Laserstrahls
strömt, daß jedoch zugelassen wird, daß das geschmolzene
Material aus einer Metallspritzöffnung oder Austreibungsöffnung
22 ausströmt, die in der Düsenwandung
gegenüberliegend der Pulvereinführungsöffnung 20 ausgebildet
ist, wobei diese Strömung durch Beschleunigung
und Kraft zustandekommt, die durch die Gasströmung auferlegt
werden, in der das pulverisierte Einspeisungsmaterial
fluidisiert worden ist. Diese teilweise Eingrenzung
wird durch einen ausgeglichenen Gasdruck, d. h.
Gasgleichdruck entlang der Achse des Laserstrahls
erzielt, wobei das Gleichdruckgas über ein Eingrenzungsgassystem
24 eingeführt wird. Jedwede Überschußenergie
des Laserstrahls, die nicht vom Einspeisungsmaterial
bei dessen Erwärmung und vom Plasma, sofern vorhanden,
absorbiert wird, stößt auf eine Laserstrahlaufnahme-
oder -ablaßeinrichtung 26, die durch Wasser gekühlt
wird, das durch Kühlleitungen 28 strömt.
Die Strömung des geschmolzenen Einspeisungsmaterials
bewegt sich transversal zur Achse des Laserstrahls
aus der Düse 18 in Form eines Sprays oder Spritzstrahls
30. Der Spritzstrahl 30 kann dann je nach Erfordernis
in typischer Weise dazu benutzt werden, eine Schichtablagerung
32 auf einem Substrat 34 auszubilden.
Die Transversalströmungsdüse 18 ist in Fig. 2
detaillierter dargestellt. Die Düse 18 umfaßt ein zylindrisches
Einschluß- oder Aufnahmebehältnis 36. Ein erstes
Ende 38 dieses Behältnisses 36 ist offen und so am
optischen Abschnitt 14 befestigt, daß ein konvergierender
Laserstrahl 40 entlang der Behältniszylinderachse 42 in
das Behältnis 36 eingeleitet werden kann. Am gegenüberliegenden
anderen oder zweiten Ende 44 des Behältnisses
ist ein wassergekühlter Aluminiumblock vorgesehen, der
als Laserstrahlenergieaufnahmeeinrichtung 26 wirkt. Die
Strahlenergieaufnahmeeinrichtung 26 absorbiert und
verbraucht den Teil der Energie des Laserstrahls 40,
der durch das Wechselwirkungsvolumen 16 hindurchtritt.
Die Pulvereinführungsöffnung 20 ist in der zylindrischen
Seitenwandung 64 des Behältnisses 36 vorgesehen.
Die Öffnung 20 umfaßt ein Verbindungsstück 46, das sich
durch die Seitenwandung 44 erstreckt und dort befestigt
ist. Das Verbindungsstück 46 nimmt an seinem bezüglich
des Behältnisses externen Ende ein Zuführrohr 48 für
fluidisiertes Pulver auf, wobei durch dieses Rohr Pulver
des Einspeisungsmaterials in das Innere des Behältnisses
36 eingeführt wird. Der fluidisierte Strom wird ausgebildet,
indem ein Pulverstrom aus einer Pulverröhre 50
in einen Strom fluidisierenden Gases in eine Röhre 52
für fluidisierendes Gas eingebracht wird.
Der Strom fluidisierten Pulvers aus dem Zufuhrrohr
48 strömt in das Innere des Behältnisses 36 und in den
Laserstrahlpfad 40 zum oder nahe dessen Brennpunkt 54.
Das Gas und Pulver werden durch die Absorption von
Energie aus dem Laserstrahl 40 sehr schnell erhitzt. Es
wird angenommen, jedoch soll diese Erklärung nicht
bindend verstanden werden, daß Pulvermoleküle aus der
Oberfläche der Pulverteilchen verdampfen. Die Gaserwärmung
und die der verdampften Atome des Einspeisungsmaterials
streift bei ausreichend hoher Temperatur Elektronen von
den Molekülen ab und bildet ein Plasma. Das Plasma strahlt
Wärme ab, wodurch die Pulverteilchen des Einspeisungsmaterials
geschmolzen werden. Selbst wenn sich kein Plasma
ausbildet, schmelzen die Pulverteilchen. Die Ausbildung
des Plasmas ist jedoch vorzuziehen, da die Erwärmung der
Teilchen mit höherem Wirkungsgrad und gleichmäßiger erfolgt.
Das unabhängig und selbständig strahlende Plasma
vergrößert auch das Volumen des Wechselwirkungsvolumens
und beschleunigt das abzulagernde Material auf das Substrat
hin.
Das geschmolzene Einspeisungsmaterial im Wechselwirkungsvolumen
16 wird teilweise bezüglich seiner Fähigkeit,
sich auszudehnen, eingeschränkt. Diese teilweise
Hinderung der Ausdehnung bedeutet, daß das geschmolzene
Einspeisungsmaterial daran gehindert wird, sich längs der
Zylinderachse 42 zu expandieren oder zu bewegen. Um diese
teilweise Eingrenzung des geschmolzenen Materials zu erzielen,
wird ein Gasgleichdruck im Innern des Behältnisses
36 auf beiden Seiten der axialen Position oder Lage
des Wechselwirkungsvolumens 16 erzeugt. Der beaufschlagte
Gasdruck und die zugeführte Gasströmung zum Wechselwirkungsvolumen
verhindern, daß sich das Material innerhalb
des Volumens aus dem Wechselwirkungsvolumen in Richtung
parallel zur Zylinderachse 42 wegbewegt.
Um dieses teilweise eingeschränkte und eingeschlossene
System auszubilden, sind zwei konische Containment-
oder Einschlußdüsen 56 im Innern der Seitenwandung
fixiert, wobei ihre Konusachsen mit der Zylinderachse 42
zusammenfallen. Die Scheitelpunktöffnungen 58 der konischen
Düsen 56 grenzen an das Wechselwirkungsvolumen 16
an und zeigen darauf hin. Ein Gasdruck wird im Innern
jeder Düse 56 derart erzeugt, daß eine Gasströmung auf
das Wechselwirkungsvolumen 16 hin entlang der Achse 42
vorliegt. Der Laserstrahl tritt durch die Scheitelpunktsöffnung
58 jeder Düse 56 ungehindert hindurch und in
das Wechselwirkungsvolumen 16 hinein. Jedoch kann sich
das geschmolzene Material nicht leicht entlang der Achse
42 nach außen und weg vom Wechselwirkungsvolumen 16
gegen die Gasströmung ausbreiten.
Der Gasdruck innerhalb des Behältnisses 36 oberhalb
und unterhalb der beiden Düsen 56 wird durch die Einleitung
von Gasströmen durch Eingrenzungsgasleitungen 60
begründet, die Teil des Eingrenzungsgassystems 24 bilden.
Es ist wichtig, daß die Gasströme durch die Scheitelpunktöffnungen
58 der beiden Einschlußdüsen 56 und die Gasdrücke
darin einander angenähert gleich sind, um eine
Destabilisierung des geschmolzenen Einspeisungsmaterials
und, sofern vorhanden, des Plasmas zu verhindern. Ein
ausreichend hohes Gasströmungs- und Druckdifferential
zwischen den beiden Düsen 56 kann verursachen, daß das
geschmolzene Metall und Plasma aus dem Wechselwirkungsvolumen
16 herausgetrieben werden. In diesem Fall wird
der Wirkungsgrad des Schmelzens stark herabgesetzt, und
die Vorrichtung kann beschädigt oder zerstört werden.
Das geschmolzene Einspeisungsmaterial und das Plasma
können sich infolge des Gaseinschlußbehältnisses oder
Gascontainment nicht enlang der Zylinderachse 42 ausbreiten
und können sich infolge der Trägergasströmung
nicht zurück in die Pulvereinführungsöffnung 20 ausbreiten.
Infolgedessen dehnen sich das geschmolzene
Einspeisungsmaterial und Plasma von der Öffnung 20 weg aus
und strömen von dieser weg aus der Metallspritzöffnung
22 entlang einer Achse 62, die nicht mit der Zylinderachse
42 und dem Laserstrahl 40 zusammenfällt. Die Öffnung
22 ist normalerweise ausreichend weit vom Substrat
34 entfernt, um zu verhindern, daß das Plasma das Substrat
überhitzt. Das geschmolzene Einspeisungsmaterial
erreicht das Substrat 34 zur Ausbildung der Ablagerungsschicht
32.
In einem Betriebsbeispiel der Erfindung ist das
Behältnis 36 ein hohler Messingzylinder mit einer Länge
von etwa 165,1 mm (6 1/2 inches) und einem Durchmesser
von ungefär 35,56 mm (1,4 inches). Die Scheitelpunktöffnung
weist einen Durchmesser von ungefähr 1,78 mm
(0,07 inches) auf. Die Gasströmungsrate in jeder der
Leitungen 60 beträgt ungefähr 0,1416 m³/h (5 ft³/h),
wobei das Gas Argon ist. Andere akzeptable Gase umfassen
Stickstoff, Helium, Wasserstoff, Sauerstoff,
Kohlendioxid und Mischungen hiervon. Der bevorzugte
Laser ist ein Kohlendioxidlaser mit einer Leistung
größer als 3 kW, der in einem Multi-Mode-Betrieben wird.
Unter diesen Bedingungen wurde im Wechselwirkungsvolumen
ein Plasma ausgebildet, welches dann ebenfalls ein
Plasmabildungsvolumen ist.
Die Nickellegierung Inconel 718 wurde unter Verwendung
der bevorzugten Vorrichtung 10 transversal gespritzt,
indem Legierungsteilchen einer Größe von
-0,074 mm Siebaperturwert (-200 mesh) plasmagespritzt
wurden. Bei Verwendung der eben beschriebenen Vorrichtung
wurde eine Strömungsrate von 10 g/min Legierungspulver,
das in Argongas mit 0,8496 m³/h (30 ft³/h) fluidisiert
wurde, duch die Pulvereinführungsöffnung 20 eingebracht.
Das Pulver wurde im Plasma geschmolzen und
auf dem Substrat durch die Metallspritzöffnung abgelagert.
Die Abscheidung oder Ablagerung des aufgespritzten
Metalls wurde metallurgisch analysiert, und es stellte
sich heraus, daß eine gute Bondierung oder Haftung
auf dem Substrat vorlag. Andere Materialbeispiele, die
ebenfalls auf diese Weise gespritzt bzw. abgeschieden
werden können, umfassen Titaniumlegierungen, Kobaltlegierungen,
Eisenlegierungen und nichtmetallische Materialien
wie Oxide von Aluminium, Zirkonium und Chrom.
Die erfindungsgemäße Lösung gestattet die Spritzbeschichtung
von Substraten mit einer Vielzahl verschiedener
Materialien. Laserenergie wird zum Schmelzen
des Einspeisungsmaterials vorzugsweise unter Erzeugung
eines Plasmas, in dem die Schmelzung stattfindet, verwendet.
In signifikanter Weise findet die Spritzung
oder Sprayung des geschmolzenen Metalls in einer Richtung
statt, die von der des Laserstrahls verschieden
ist. Infolgedessen trifft oder prallt der Laserstrahl
nicht auf das Substrat, woraus eine geringere Erwärmung
des Substrats resultiert, die andernfalls vorläge.
Die Erfindung wurde an Hand spezifischer Beispiele
und Ausführungsvorrichtungen näher erläutert, es sind
jedoch zahlreiche Abwandlungen und Änderungen denkbar,
ohne den Schutzumfang der Erfindung zu verlassen oder
von der Erfindungsidee abzuweichen.
Claims (18)
1. Vorrichtung zum Erzeugen einer Strömung eines geschmolzenen
Einspeisungsmaterials,
gekennzeichnet durch
eine Lasererwärmungsquelle mit einem Strahl (40), der in ein Wechselwirkungsvolumen (16) gerichtet wird, wobei der Strahl eine Intensität innerhalb des Wechselwirkungsvolumens hat, die ausreicht, das in das Wechselwirkungsvolumen eingebrachte Einspeisungsmaterial zu schmelzen;
Einrichtungen (20, 46, 48, 50, 52) zum Einleiten des Einspeisungsmaterials in das Wechselwirkungsvolumen; und
Einrichtungen (24, 56, 66), die das geschmolzene Einspeisungsmaterial innerhalb des Wechselwirkungsvolumens teilweise eingrenzen und das geschmolzene Einspeisungsmaterial aus dem Wechselwirkungsvolumen in eine Richtung austreiben, die eine Komponente transversal zum Laserstrahl aufweist.
eine Lasererwärmungsquelle mit einem Strahl (40), der in ein Wechselwirkungsvolumen (16) gerichtet wird, wobei der Strahl eine Intensität innerhalb des Wechselwirkungsvolumens hat, die ausreicht, das in das Wechselwirkungsvolumen eingebrachte Einspeisungsmaterial zu schmelzen;
Einrichtungen (20, 46, 48, 50, 52) zum Einleiten des Einspeisungsmaterials in das Wechselwirkungsvolumen; und
Einrichtungen (24, 56, 66), die das geschmolzene Einspeisungsmaterial innerhalb des Wechselwirkungsvolumens teilweise eingrenzen und das geschmolzene Einspeisungsmaterial aus dem Wechselwirkungsvolumen in eine Richtung austreiben, die eine Komponente transversal zum Laserstrahl aufweist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß ein Plasma innerhalb des Wechselwirkungsvolumens
(16) ausgebildet wird.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Einrichtungen zum Einleiten eine Pulverzufuhreinrichtung
(48, 50, 52) aufweisen, in der Pulver des
Einspeisungsmaterials mit einer Gasströmung gemischt
wird, und in das Wechselwirkungsvolumen (16) eingeleitet
wird.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Gas, das mit dem Einspeisungsmaterial gemischt
wird, aus einer Gruppe ausgewählt wird, die Argon,
Stickstoff, Helium, Wasserstoff, Sauerstoff, Kohlendioxid
und Mischungen hiervon umfaßt.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Einrichtungen zum teilweisen Eingrenzen eine
Quelle (24) eines axialen Eingrenzungsgases umfassen,
das auf beiden Seiten des Wechselwirkungsvolumens (16)
entlang der Richtung des Laserstrahls (40) einen ausgeglichenen
Gasdruck erzeugt, so daß das geschmolzene
Einspeisungsmaterial nicht parallel zur Richtung des
Laserstrahls strömen kann.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß das eingrenzende Gas aus einer Gruppe ausgewählt
ist, die Argon, Stickstoff, Helium, Wasserstoff, Sauerstoff,
Kohlendioxid und Mischungen hiervon umfaßt.
7. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß das geschmolzene Einspeisungsmaterial das Wechselwirkungsvolumen
(16) in einer Richtung senkrecht zum
Laserstrahl (40) verläßt.
8. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Einspeisungsmaterial aus einer Gruppe ausgewählt
ist, die Titanlegierungen, Nickellegierungen,
Kobaltlegierungen, Eisenlegierungen und nichtmetallische
Materialien umfaßt.
9. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Einspeisungsmaterial aus einer Gruppe ausgewählt
ist, die Aluminiumoxid, Zirkoniumoxid und Chromoxid
umfaßt.
10. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß ferner eine Einrichtung (14) vorgesehen ist, die
den Laserstrahl (40) in das Wechselwirkungsvolumen (16)
hinein fokussiert.
11. Vorrichtung zum Erzeugen einer Strömung eines geschmolzenen
Einspeisungsmaterials,
gekennzeichnet durch
eine Einschlußeinrichtung (56), die ein Plasma innerhalb eines Wechselwirkungsvolumens (16) eingrenzt;
einen Laser (12) mit einem Strahl (40), der entlang einer Laserstrahlrichtung in das Wechselwirkungsvolumen (16) gerichtet wird, wobei der Laser eine Strahlenergiedichte aufweist, die ausreicht, ein Plasma innerhalb des Wechselwirkungsvolumens auszubilden und das Einspeisungsmaterial beim Einbringen in das Wechselwirkungsvolumen zu schmelzen;
Einrichtungen (20, 46, 48, 50, 52) zum Einleiten des Einspeisungsmaterials in das Wechselwirkungsvolumen; und
Einrichtungen (22, 24, 52, 56, 60) zum Austreiben des geschmolzenen Einspeisungsmaterials aus dem Wechselwirkungsvolumen in eine Richtung, die von der Laserstrahlrichtung verschieden ist.
eine Einschlußeinrichtung (56), die ein Plasma innerhalb eines Wechselwirkungsvolumens (16) eingrenzt;
einen Laser (12) mit einem Strahl (40), der entlang einer Laserstrahlrichtung in das Wechselwirkungsvolumen (16) gerichtet wird, wobei der Laser eine Strahlenergiedichte aufweist, die ausreicht, ein Plasma innerhalb des Wechselwirkungsvolumens auszubilden und das Einspeisungsmaterial beim Einbringen in das Wechselwirkungsvolumen zu schmelzen;
Einrichtungen (20, 46, 48, 50, 52) zum Einleiten des Einspeisungsmaterials in das Wechselwirkungsvolumen; und
Einrichtungen (22, 24, 52, 56, 60) zum Austreiben des geschmolzenen Einspeisungsmaterials aus dem Wechselwirkungsvolumen in eine Richtung, die von der Laserstrahlrichtung verschieden ist.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet,
daß das geschmolzene Einspeisungsmaterial das Wechselwirkungsvolumen
(16) in einer Richtung senkrecht zum
Laserstrahl (40) verläßt.
13. Vorrichtung nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Einrichtungen zum Austreiben eine Einrichtung
(24, 56, 60) umfassen, die verhindert, daß das
geschmolzene Einspeisungsmaterial längs der Laserstrahlrichtung
strömt.
14. Vorrichtung nach Anspruch 13,
dadurch gekennzeichnet,
daß diese verhindernde Einrichtung eine Vorrichtung (24,
60) umfaßt, die das Wechselwirkungsvolumen mit einem
ausgeglichenen Gasdruck beaufschlagt, wobei der Gasdruck
auf beiden Seiten des Wechselwirkungsvolumens in der
Richtung parallel zum Laserstrahl im wesentlichen gleich
ist.
15. Vorrichtung zum Erzeugen eines geschmolzenen Einspeisungsmaterials,
gekennzeichnet durch
ein Behältnis (36) mit einer Seitenwandung und einer Laserstrahlenergieaufnahmeeinrichtung (26) an einem Ende des Behältnisses;
einen Laser (12), dessen Strahl (40) entlang einer Strahlachse in Richtung auf die Laserstrahlenergieaufnahmeeinrichtung in das Behältnis eingeleitet wird;
eine Pulvereinführungsöffnung (20) in der Seitenwandung des Behältnisses, durch die ein Pulver des Einspeisungsmaterials in das Innere des Behältnisses am Wechselwirkungsvolumen (16) eingeleitet werden kann, das auf der Strahlachse liegt;
eine Eingrenzungsgasquelle (24), die innerhalb des Behältnisses an Stellen, die entlang der Laserstrahlachse vom Wechselwirkungsvolumen (16) gleich und sich gegenüberliegend verschoben sind, im wesentlichen gleiche Gasdrücke erzeugt; und
eine Metallspritzöffnung (22) in der Seitenwandung des Behältnisses angrenzend an das Wechselwirkungsvolumen (16).
ein Behältnis (36) mit einer Seitenwandung und einer Laserstrahlenergieaufnahmeeinrichtung (26) an einem Ende des Behältnisses;
einen Laser (12), dessen Strahl (40) entlang einer Strahlachse in Richtung auf die Laserstrahlenergieaufnahmeeinrichtung in das Behältnis eingeleitet wird;
eine Pulvereinführungsöffnung (20) in der Seitenwandung des Behältnisses, durch die ein Pulver des Einspeisungsmaterials in das Innere des Behältnisses am Wechselwirkungsvolumen (16) eingeleitet werden kann, das auf der Strahlachse liegt;
eine Eingrenzungsgasquelle (24), die innerhalb des Behältnisses an Stellen, die entlang der Laserstrahlachse vom Wechselwirkungsvolumen (16) gleich und sich gegenüberliegend verschoben sind, im wesentlichen gleiche Gasdrücke erzeugt; und
eine Metallspritzöffnung (22) in der Seitenwandung des Behältnisses angrenzend an das Wechselwirkungsvolumen (16).
16. Vorrichtung nach Anspruch 15,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Behältnis (36) zylindrisch ist.
17. Verfahren zur Formung einer Strömung geschmolzenen
Einspeisungsmaterials,
gekennzeichnet durch
die Schritte des:
Richtens eines Laserstrahls in ein Wechselwirkungsvolumen, so daß der Laserstrahl innerhalb des Wechselwirkungsvolumens eine Energiedichte aufweist, die ausreicht, ein im Wechselwirkungsvolumen enthaltenes Einspeisungsmaterial zu schmelzen;
Einleitens des Einspeisungsmaterials in das Wechselwirkungsvolumen; und
Entfernens eines Stroms geschmolzenen Einspeisungsmaterials aus dem Wechselwirkungsvolumen in eine Richtung, die von der Richtung des Laserstrahls verschieden ist.
Richtens eines Laserstrahls in ein Wechselwirkungsvolumen, so daß der Laserstrahl innerhalb des Wechselwirkungsvolumens eine Energiedichte aufweist, die ausreicht, ein im Wechselwirkungsvolumen enthaltenes Einspeisungsmaterial zu schmelzen;
Einleitens des Einspeisungsmaterials in das Wechselwirkungsvolumen; und
Entfernens eines Stroms geschmolzenen Einspeisungsmaterials aus dem Wechselwirkungsvolumen in eine Richtung, die von der Richtung des Laserstrahls verschieden ist.
18. Verfahren nach Anspruch 17,
dadurch gekennzeichnet,
daß das geschmolzene Einspeisungsmaterial veranlaßt wird,
das Wechselwirkungsvolumen in einer Richtung senkrecht zum
Laserstrahl zu verlassen.
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