DE3939811A1 - Hochaufloesende beobachtung von moiremustern bei statischen messungen - Google Patents

Hochaufloesende beobachtung von moiremustern bei statischen messungen

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4136428A1 (de) * 1991-11-05 1993-05-06 Henning Dr. 7440 Nuertingen De Wolf Moire-verfahren mit elektronischem analysegitter

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3734561A1 (de) * 1986-10-14 1988-04-21 Chiang Fu Pen Dehnungsmessverfahren
DE3817559C1 (enExample) * 1988-05-24 1989-12-07 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung Ev, 8000 Muenchen, De

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3734561A1 (de) * 1986-10-14 1988-04-21 Chiang Fu Pen Dehnungsmessverfahren
DE3817559C1 (enExample) * 1988-05-24 1989-12-07 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung Ev, 8000 Muenchen, De

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Optik, Bd. 37, 1973, S. 310-315 *
Optik, Jg. 72, 1986, S. 115-119 *
Techniches Messen tm, Jg. 54, 1987, S. 231-236 *
VDI-Berichte, Nr. 679, 1988, S. 71-76 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4136428A1 (de) * 1991-11-05 1993-05-06 Henning Dr. 7440 Nuertingen De Wolf Moire-verfahren mit elektronischem analysegitter

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