DE3939811C2 - - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 49
- 238000003491 array Methods 0.000 claims description 21
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims description 11
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 9
- 238000012876 topography Methods 0.000 claims description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 6
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000001093 holography Methods 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000004918 carbon fiber reinforced polymer Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000012549 training Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
- G01B11/165—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by means of a grating deformed by the object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
- G01B11/254—Projection of a pattern, viewing through a pattern, e.g. moiré
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19893939811 DE3939811A1 (de) | 1989-12-01 | 1989-12-01 | Hochaufloesende beobachtung von moiremustern bei statischen messungen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19893939811 DE3939811A1 (de) | 1989-12-01 | 1989-12-01 | Hochaufloesende beobachtung von moiremustern bei statischen messungen |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3939811A1 DE3939811A1 (de) | 1991-06-06 |
| DE3939811C2 true DE3939811C2 (enExample) | 1992-06-04 |
Family
ID=6394625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19893939811 Granted DE3939811A1 (de) | 1989-12-01 | 1989-12-01 | Hochaufloesende beobachtung von moiremustern bei statischen messungen |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE3939811A1 (enExample) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4136428A1 (de) * | 1991-11-05 | 1993-05-06 | Henning Dr. 7440 Nuertingen De Wolf | Moire-verfahren mit elektronischem analysegitter |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4722600A (en) * | 1986-10-14 | 1988-02-02 | Chiang Fu Pen | Apparatus and method for measuring strain |
| DE3817559C1 (enExample) * | 1988-05-24 | 1989-12-07 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung Ev, 8000 Muenchen, De |
-
1989
- 1989-12-01 DE DE19893939811 patent/DE3939811A1/de active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3939811A1 (de) | 1991-06-06 |
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| 8365 | Fully valid after opposition proceedings | ||
| 8380 | Miscellaneous part iii |
Free format text: IM HEFT 30/94, SEITE 9682, SP.2: DIE VEROEFFENTLICHUNG IST ZU STREICHEN |
|
| 8365 | Fully valid after opposition proceedings | ||
| 8339 | Ceased/non-payment of the annual fee | ||
| 8370 | Indication of lapse of patent is to be deleted | ||
| 8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |