DE3926604A1 - Polyimidwellenleiter als optische sensoren - Google Patents

Polyimidwellenleiter als optische sensoren

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Description

Die Erfindung betrifft einen Polyimidwellenleiter als optischen Sensor, der zur quantitativen Bestimmung von polaren und unpolaren Flüssigkeiten und zur Bestimmung von NH3, "NH4OH", NO2 und N2O5 verwendet wird.
Es ist bekannt, daß Polyimide als Material für Wellenleiter dienen und in der Opto-Elektronik als Beschichtungs- und Füllmaterial in elektronischem Einbettmaterial Verwendung finden. Die besonderen Eigenschaften der Polyimide ergeben sich aus der Empfindlichkeit gegenüber "Feuchtigkeit" durch Wechselwirkungen mit Flüssigkeitsanteilen in Oberflächennähe. Feuchtigkeitsmessungen werden im wesentlichen nach zwei Methoden durchgeführt. So wird beispielsweise im Haarhygrometer die Feuchtigkeitsabhängigkeit der Länge mittels besonders präparierter Haare, Textilfasern u.a. ausgenutzt. Eine andere Möglichkeit besteht in der Verwendung eines kapazitiven Verfahrens unter Benutzung eines Polymerfilms, wobei die "Feuchtigkeit" durch eine veränderte Kapazität gemessen wird (vgl. Produktbeschreibung eines Anzeigegeräts für Feuchte und Temperatur, Typ HMI 32 der Fa. Driesen + Kern, Tangstedt).
Bekannt sind ferner Polyimidwellenleiter als optische Sensoren auf der Basis nicht ausgehärteter Polyimidfilme zur qualitativen Bestimmung von Wasser (vgl. Appl. Phys. Lett. 52 (10), 1988), die aber keine quantitative Bestimmung von Wasser und anderer Flüssigkeiten zulassen.
Es bestand daher die Aufgabe, eine Meßanordnung zur quantitativen Bestimmung von "Feuchtigkeit", d.h. neben Wasser auch andere Flüssigkeitsanteile in der Dampfphase, zu finden.
Überraschenderweise konnte festgestellt werden, daß polare Flüssigkeiten in der Dampfphase anisotrope Wechselwirkungen mit Polyimidoberflächen eingehen und die Wechselwirkungen optisch detektiert werden können.
Die optischen Sensoren können dabei wiederholt eingesetzt werden.
Die Aufgabe konnte durch die Herstellung eines Polyimidwellenleiters gelöst werden, der als optischer Sensor fungiert und mehrere Vorteile gegenüber den bekannten Meßmethoden hat.
Das Meßverfahren ist:
  • a) optisch und kann
  • b) digital ausgewertet werden;
  • c) das Verfahren ist eine Vergleichsmessung der Phasendifferenz zweier Polarisationen und daher unabhängig von Schwankungen des Absolutwertes;
  • d) der Sensor arbeitet auch im Vakuum,
  • e) funktioniert für polare und unpolare Flüssigkeiten und kann
  • f) Wasser von anderen Flüssigkeiten trennen.
Die Erfindung betrifft einen Polyimidwellenleiter, der dadurch gekennzeichnet ist, daß der Polyimidwellenleiter mindestens eine Schicht eines Polyamid-Imids oder perfluorierten Polyimids enthält.
Die Erfindung betrifft weiterhin die Verwendung eines Polyimidwellenleiters als optischen Sensor zur Bestimmung von Flüssigkeiten in der Dampfphase.
Die Erfindung betrifft außerdem die Verwendung eines Polyimidwellenleiters als optischen Sensor zur Bestimmung von NH3, "NH4OH", NO2 und N2O5.
Die Erfindung betrifft ebenso die Verwendung strukturierter Polyimidwellenleiter nach Anspruch 1 in Form von Streifenwellenleitern, Interferometerstrukturen oder Richtkopplerstrukturen als optische Sensoren für die Bestimmung von Flüssigkeiten in der Dampfphase.
Zur Herstellung von Polyimidwellenleitern werden Polyamid-Imide und perfluorierte Polyimide, beispielsweise HFDA-ODA, HFDA-HFDAM-33, HFDA-HFDAM-44 oder Kombinationen von HFDA-HFDAM-33 und HFDA-HFDAM-44 verwendet, wobei die verwendeten Abkürzungen
HFDA: Hexafluoro-iso-propyliden-2,2′-di-(phthalsäure­ anhydrid)
ODA: Oxydianilin
HFDAM-33: Hexafluoro-iso-propyliden-2,2′-di(3-aminobenzol) und
HFDAM-44: Hexafluoro-iso-propyliden-2,2′-di(4-aminobenzol) bedeuten.
Die obengenannten Polyimide haben die Strukturformel:
worin n für HFDA-ODA eine ganze Zahl von 50 000 bis 100 000, für HFDA-HFDAM-33 eine ganze von Zahl von 50 000 bis 80 000 und für HFDA-HFDAM-44 eine ganze Zahl von 50 000 bis 100 000 bedeutet.
Besonders bevorzugt ist HFDA-ODA und eine Kombination aus HFDA-HFDAM-33 und HFDA-HFDAM-44.
Der zur Messung von "Feuchtigkeit" hergestellte Polyimidwellenleiter besteht aus 3 oder 4 Schichten der folgenden Anordnung:
Deckschicht/Polyamid-Imid oder Polyimid/Polyamid-Imid oder Polyimid/Substrat,
wobei diese Anordnung für einen Vierschichtwellenleiter verwendet wird und die Deckschicht der Gasraum (Meßraum) und das Substrat Glas sind.
Bei einem Dreischichtwellenleiter entfällt eine Polyamid- Imid oder Polyimid-Schicht.
Bevorzugt wird ein Vierschichtwellenleiter verwendet.
Vorzugsweise kommen Wellenleiter mit einer Schicht aus HFDA-ODA zur Herstellung eines Dreischichtwellenleiters und mit zwei Schichten aus HFDA-HFDAM-33 und HFDA-HFDAM-44 zur Herstellung eines Vierschichtwellenleiters zur Verwendung.
HFDA-HFDAM-33 und HFDA-HFDAM-44 können auch, im Gegensatz zu den genannten anderen Materialien, im vollständig gehärteten Zustand noch als gute Wellenleiter verwendet werden.
Durch Verwendung von HFDA-HFDAM-33 und HFDA-HFDAM-44- Doppelschichten als Wellenleiter ist die Meßempfindlichkeit auf ein Mehrfaches zu steigern.
Der Vierschichtwellenleiter besteht aus der folgenden Anordnung der Schichten:
Deckschicht/HFDA-HFDAM-33 (33)/HFDA-HFDAM-44 (44)/ Substrat, wobei für die Brechungindizes gelten muß:
nTE(33)  ungefähr gleich nTE(44)
nTM(33)  größer als nTM(44)
mit nTE(33) = 1,543, nTE(44) = 1,541
und nTM(33) = 1,538, nTM(44) = 1,516,
wobei nTE der Brechungsindex für die TE-Polarisation und nTM derjenige für die TM-Polarisation ist.
Diese Schichten zeichnen sich dadurch aus, daß sie bezüglich einer Polarisation, der TM-Polarisation, bis zu 2 Moden nur in der oberen HFDA-HFDAM-33-Schicht leiten. TM-Polarisation ist dabei die Polarisation, bei der der E-Vektor der elektromagnetischen Welle senkrecht zur Filmoberfläche schwingt. Damit erhöht man die Lichtintensität und auch die Sensitivität an der Oberfläche.
Mit dem erfindungsgemäßen optischen Sensor können polare und unpolare Flüssigkeiten bestimmt werden, beispielsweise Wasser, C1-C3-Alkohole, Benzin, leichtes Heizöl und C1-C3- Carbonsäuren. Außerdem können NH3, "NH4OH", NO2 und N2O5 bestimmt werden. Vorzugsweise werden Wasser und C1-C3- Alkohole oder Gemische davon bestimmt.
Polyimidwellenleiter können auch strukturiert als optische Sensoren zur Bestimmung von Flüssigkeiten als Streifenwellenleiter, Interferometerstrukturen oder Richtkopplerstrukturen verwendet werden. Ein mit Feuchtigkeit "beladener" Sensor findet in der Modulation oder Messung von Einflüssen Verwendung, die sich auf das Gleichgewicht an der Polyimidoberfläche und dem Meßraum auswirken, wie Druckschwankungen, elektrische Felder und Mikrowellen.
Zur Bestimmung von "Feuchtigkeit" wird eine in Fig. 1 dargestellte Anordnung verwendet. Das Licht eines He-Ne-Lasers (1) wird über eine Halbwellenplatte (2) zur Drehung der Polarisation in einen Polyimidwellenleiter eingekoppelt, der aus einem mit einem Polymer-Film (3) beschichteten Substrat (4) besteht. Zur Ein- und Auskopplung aus dem Wellenleiter werden 90°-Prismen (5) aus Schwerflintglas verwendet. Nach der Auskopplung wird die Lichtintensität hinter einem Polarisator und Analysator (6) am Detektor (7) registriert.
Die Anordnung kann mit einer Glasglocke (8) versehen werden, die Silicagel (9) enthält. Dadurch kann die Luftfeuchtigkeit über der Anordnung herabgesetzt werden.
Für den in Fig. 1 dargestellten Feuchtesensor ist ein Wellenleiter von besonderem Typ notwendig. Man muß 2 Polarisationen gleichzeitig führen können, eine TE-Mode (z. B. TE6) und eine TM-Mode (z. B. TM5). Dazu benötigt man die aus den Materialparametern Brechungsindex (TE) und Brechungsindex (TM) berechneten theoretischen Kurven, die in Fig. 2 dargestellt sind. In Fig. 2 ist die Filmdicke des Wellenleiters (µm) gegen den effektiven Brechungsindex Neff der entsprechenden Moden aufgetragen. Diese Kurvenscharen für die beiden Polarisationen TE und TM stellen die Resonanzbedingungen dar, die sich aus der transversalen Resonanzbedingung (TRB) für planare Wellenleiter ergeben. An einem Schnittpunkt besteht die gewünschte Eigenschaft der Modenanpassung. In Fig. 3 ist ein Ausschnitt des gemessenen Modenspektrums eines anisotropen Polyimid-Films mit einer Schichtdicke von 6,1 µm dargestellt, wobei die Intensität gegen den Einkoppelwinkel τ aufgetragen ist. Die Darstellung zeigt den TE6-Modus (10) und den TM5-Modus (11). Die Darstellung zeigt, daß TE und TM bei gleichem Winkel geführt werden können. Die beiden Moden überlappen sich so weit, daß innerhalb der Messung genügend Überlappung verbleibt.
Die Überlappung der Moden wird experimentell durch die Präparation eines Wellenleiters mit der Dicke durchgeführt, die sich aus dem Schnittpunkt in Fig. 2 ergibt. Diese Dicke erreicht man durch die Wahl einer bestimmten Schleuderdrehzahl der verwendeten Fotolackschleuder für eine Polyimidlösung bei der Herstellung eines Films.
Beispiele Beispiel 2 Erstellung einer Eichkurve für das Material HFDA-ODA
In Fig. 4 ist eine Eichkurve erstellt worden, die die Doppelbrechungsänderung ΔN×10-5 des Materials HFDA-ODA darstellt, wobei ΔN=NTE₆-NTM₅ bedeutet und gegen die relative Feuchtigkeit rF (%) aufgetragen wurde. Die Messung war über den gesamten Bereich möglich (0 bis 100%) .
Beispiel 2 Evakuieren und Belüften eines Rezipienten mit feuchter Luft
Eine Vielzahl von Intensitätsfluktuationen wurde beim Evakuieren eines Probegefäßes beobachtet. Wertete man diese Fluktuationen aus, dann konnte die zugehörige optische Doppelbrechungsänderung ΔNeff als Funktion der Zeit (s) dargestellt werden. Die Fig. 5 zeigt dies für die Absorption, 1. Periode (12) und die Desorption, 1. Periode (13) von Wasser auf einem HFDA-ODA-Wellenleiter. ΔNeff bedeutet dabei die Indexdifferenz, die sich aus der Phasendifferenz der geleiteten TE- und TM-Moden ergab. Dem wurzelförmigen Verlauf konnte jeweils eine Reaktionskonstante zugeordnet werden.
Beispiel 3 Empfindlichkeitsmessung eines Alkohol/Wasser-Gemisches
Die umgebende Atmosphäre eines Vierschichtwellenleiters aus einer HFDA-HFDAM-33/HFDA-HFDAM-44-Doppelschicht wurde mit einem Gemisch aus Methanol und Wasser angereichert, worauf der Sensor zunächst auf Wasser mit einer bestimmten Geschwindigkeitskonstanten und dann auf den Alkohol reagierte. Eine typische Kurve ist in Fig. 6 gezeigt.
In Fig. 6 wurde die Doppelbrechungsänderung ΔN×10-5 gegen die Zeit (s) für HFDA-HFDAM-33 bei der Messung mit einem Dreischichtwellenleiter aufgetragen, bei der die Kurve für Wasser (14) einen anderen Verlauf nimmt als für Methanol (15).
Der Sensor ist für Methanol mit einer anderen differentiellen Empfindlichkeit (ΔN/t) empfindlich. Daraus folgt, daß man Wasser von Methanol trennen kann.
Beispiel 4
Die Fig. 7 zeigt eine Auftragung der Doppelbrechungsänderung ΔN×10-5 gegen mTE/mTM, was angepaßte Moden (Ordnung TE (mTE) mit Ordnung TM (mTM) bedeutet, bei einer relativen Luftfeuchtigkeit von 42% (16) und im evakuierten Zustand (17) für einen HFDA-HFDAM-33/HFDA-HFDAM-44-Vierschichtwellenleiter.
Fig. 7 zeigt damit die Empfindlichkeit des Sensors bei Verwendung verschiedener Modenanpassungen. Gemessen wurde für 3 verschiedene Anpassungen von TE- und TM-Moden. Die aufgetragenen ΔN-Werte beziehen sich auf feuchte Luft von 42% in allen drei Fällen. Deutlich erkennbar ist die Steigerung der Meßempfindlichkeit bei Verwendung der Modenanpassung 4.//1. gegenüber den Kombinationen für höhere Moden. Bei dieser Anpassung wurde eine TM-Mode benutzt, die lediglich in der oberen HFDA-HFDAM-33-Schicht geleitet wird. Letztere kann man als "Oberflächenmode" bezeichnen.
Mit "Oberflächenmoden" sind solche Moden gemeint, die an der Oberfläche eine besonders hohe Intensität und damit ein hohes evanescentes Feld aufweisen. "Volumenmoden" dagegen zeigen eine hohe Intensität im Innern des Filmes und nur ein schwaches evanescentes Feld an der Oberfläche.
Beispiel 5 Empfindlichkeitsmessung für Petroleumbenzin
Der Rezipient mit dem beschriebenen optischen Polyimidsensor gemäß Beispiel 3 wurde evakuiert und anschließend mit einem Vorratsgefäß mit Petroleumbenzin verbunden, so daß sich der Sättigungsdampfdruck bei Raumtemperatur einstellen konnte. In Fig. 8 ist ein Ausschnitt der gemessenen Zyklen dargestellt, woraus die Empfindlichkeit des Sensors gegenüber Petroleumbenzin ersichtlich ist.

Claims (7)

1. Polyimidwellenleiter, dadurch gekennzeichnet, daß der Polyimidwellenleiter mindestens eine Schicht eines Polyamid-Imids oder perfluorierten Polyimids enthält.
2. Polyimidwellenleiter gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichtenabfolge Deckschicht/HFDA-HFDAM-33/HFDA-HFDAM-44/Substrat, worin HFDA-HFDAM-33 Hexafluoro-iso-propyliden-2,2′-di­ (3-aminobenzol) und HFDA-HFDAM-44 Hexafluoro-iso­ propyliden-2,2′-di(4-aminobenzol), die Deckschicht der Gasraum und das Substrat Glas bedeuten, ist.
3. Verwendung eines Polyimidwellenleiters nach Anspruch 1 als optischen Sensor zur Bestimmung von Flüssigkeiten in der Dampfphase.
4. Verwendung nach Anspruch 3 zur Bestimmung von Wasser, C1-C3-Alkoholen, Benzin, leichtem Heizöl und C1-C3- Carbonsäuren in der Dampfphase.
5. Verwendung eines Polyimidwellenleiters nach Anspruch 1 als optischer Sensor zur Bestimmung von NH3, "NH4OH", NO2 und N2O5.
6. Verwendung strukturierter Polyimidwellenleiter nach Anspruch 1 in Form von Streifenwellenleitern, Interferometerstrukturen oder Richtkopplerstrukturen als optische Sensoren für die Bestimmung von Flüssigkeiten in der Dampfphase.
7. Verwendung eines "beladenen" Sensors nach den Ansprüchen 3 und 5 für die Modulation oder Messung von Einflüssen, die sich auf das Gleichgewicht an der Polyimidoberfläche und dem Meßraum auswirken, wie Druckschwankungen, elektrische Felder, Mikrowellen.
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KR1019900012196A KR920004868A (ko) 1989-08-11 1990-08-09 광학검출기용 폴리이미드 도파관
US07/565,503 US5094517A (en) 1989-08-11 1990-08-10 Polyimide waveguides as optical sensors
CN90106947A CN1049720A (zh) 1989-08-11 1990-08-10 作为光学传感器聚酰亚胺波导管
JP2213612A JPH03183935A (ja) 1989-08-11 1990-08-10 ポリイミド導波管および使用方法
CA002023072A CA2023072A1 (en) 1989-08-11 1990-08-10 Polyimide waveguides as optical sensors
CA002064831A CA2064831A1 (en) 1989-08-11 1990-08-11 Polyimide waveguides as optical sensors
DE69012573T DE69012573T2 (de) 1989-08-11 1990-08-11 Polyimidwellenleiter als optische sensoren.
EP90912918A EP0486597B1 (de) 1989-08-11 1990-08-11 Polyimidwellenleiter als optische sensoren
AU62801/90A AU6280190A (en) 1989-08-11 1990-08-11 Polyimide waveguides as optical sensors
PCT/EP1990/001327 WO1991002239A1 (en) 1989-08-11 1990-08-11 Polyimide waveguides as optical sensors
AT90912918T ATE111600T1 (de) 1989-08-11 1990-08-11 Polyimidwellenleiter als optische sensoren.

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19716252A1 (de) * 1997-04-18 1998-10-22 Conducta Endress & Hauser Optischer Sensor

Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5168542A (en) * 1991-10-09 1992-12-01 The Boeing Company Low loss channel waveguide and method for making the same
US5315673A (en) * 1992-03-09 1994-05-24 Transducer Research, Inc. Optical waveguide vapor sensor
US5483346A (en) * 1994-04-11 1996-01-09 Butzer; Dane C. Polarization based optical sensor utilizing total internal reflection
JP2807777B2 (ja) * 1994-09-09 1998-10-08 工業技術院長 スラブ光導波路を利用した光吸収スペクトル測定装置
US5577137A (en) * 1995-02-22 1996-11-19 American Research Corporation Of Virginia Optical chemical sensor and method using same employing a multiplicity of fluorophores contained in the free volume of a polymeric optical waveguide or in pores of a ceramic waveguide
US5745231A (en) * 1995-06-12 1998-04-28 American Research Corporation Of Virginia Method of fluorescence analysis comprising evanescent wave excitation and out-of-plane photodetection
JP3738469B2 (ja) * 1995-07-27 2006-01-25 日立化成工業株式会社 ポリイミド及びこれを用いた光部品
US7187795B2 (en) * 2001-09-27 2007-03-06 Cummins-Allison Corp. Document processing system using full image scanning
US6149591A (en) * 1997-02-21 2000-11-21 Duke University Refractometric devices especially adapted for the in vivo detection of refractive indices of cervical mucus
EP0988517A4 (de) * 1997-06-10 2003-03-19 Calspan Corp Nachweis chemisch aktiver materialien mit hilfe eines saugfähigen polymers und eines fluoreszenznachweismittels
US6850315B1 (en) 1998-08-26 2005-02-01 The Board Of Governors For Higher Education State Of Rhode Island And Providence Plantations Intensity-based optical waveguide sensor
US6300638B1 (en) 1998-11-12 2001-10-09 Calspan Srl Corporation Modular probe for total internal reflection fluorescence spectroscopy
US6438279B1 (en) * 1999-01-07 2002-08-20 Cornell Research Foundation, Inc. Unitary microcapiliary and waveguide structure and method of fabrication
WO2001031369A1 (fr) * 1999-10-28 2001-05-03 Sharp Kabushiki Kaisha Composant optique et procede de fabrication de film polyimide epais
GB9927248D0 (en) 1999-11-18 2000-01-12 Farfield Sensors Ltd Sensor device
KR20010087502A (ko) 2000-03-07 2001-09-21 윤종용 광학용 폴리이미드 단량체, 폴리이미드 화합물 및 그 제조방법
EP1221581A1 (de) * 2001-01-04 2002-07-10 Universität Stuttgart Interferometer
KR20020082514A (ko) * 2001-04-24 2002-10-31 주식회사 씨앤케이 광 상관기
US6917749B2 (en) 2001-11-07 2005-07-12 Photon-X, Llc Polymer optical waveguides on polymer substrates
US6603917B2 (en) 2001-11-07 2003-08-05 Photon-X, Inc Planar optical waveguide with core barrier
US6903815B2 (en) * 2001-11-22 2005-06-07 Kabushiki Kaisha Toshiba Optical waveguide sensor, device, system and method for glucose measurement
US20050018944A1 (en) * 2003-07-25 2005-01-27 Mozdy Eric J. Polarization modulation interrogation of grating-coupled waveguide sensors
DE102005055288A1 (de) * 2005-10-17 2007-04-19 Universität Duisburg-Essen Sensor und Verfahren zur optischen Detektion eines chemischen Stoffs
US8207509B2 (en) 2006-09-01 2012-06-26 Pacific Biosciences Of California, Inc. Substrates, systems and methods for analyzing materials
AU2007289057C1 (en) 2006-09-01 2014-01-16 Pacific Biosciences Of California, Inc. Substrates, systems and methods for analyzing materials
AU2009292629B2 (en) 2008-09-16 2014-03-20 Pacific Biosciences Of California, Inc. Substrates and optical systems and methods of use thereof
JP2010223817A (ja) * 2009-03-24 2010-10-07 Soka Univ エタノールセンサ及びこれを用いたエタノール計測システム
EP4378584A2 (de) 2010-02-19 2024-06-05 Pacific Biosciences Of California, Inc. Integriertes analytisches system und verfahren zur fluoreszenzmessung
US8994946B2 (en) 2010-02-19 2015-03-31 Pacific Biosciences Of California, Inc. Integrated analytical system and method
US9372308B1 (en) 2012-06-17 2016-06-21 Pacific Biosciences Of California, Inc. Arrays of integrated analytical devices and methods for production
EP2936222B1 (de) 2012-12-18 2019-07-03 Pacific Biosciences Of California, Inc. Eine optische analysevorrichtung
US9624540B2 (en) 2013-02-22 2017-04-18 Pacific Biosciences Of California, Inc. Integrated illumination of optical analytical devices
CN107003241B (zh) 2014-08-27 2022-01-11 加利福尼亚太平洋生物科学股份有限公司 集成分析器件阵列
WO2016149397A1 (en) 2015-03-16 2016-09-22 Pacific Biosciences Of California, Inc. Integrated devices and systems for free-space optical coupling
EP3292220B1 (de) 2015-05-07 2022-07-13 Pacific Biosciences of California, Inc. Multiprozessor-pipeline-architektur
EP3308204A4 (de) 2015-06-12 2019-03-13 Pacific Biosciences of California, Inc. Wellenleitervorrichtungen mit integriertem ziel und systeme zur optischen kopplung
US10407296B2 (en) 2016-10-12 2019-09-10 Knappco Corporation Optical fluid sensors for cross contamination control systems

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5595902A (en) * 1978-11-30 1980-07-21 Daicel Chem Ind Ltd Optical fiber for transmission
EP0403468A1 (de) * 1988-02-14 1990-12-27 LUKOSZ, Walter Integriert-optisches interferenzverfahren

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19716252A1 (de) * 1997-04-18 1998-10-22 Conducta Endress & Hauser Optischer Sensor

Also Published As

Publication number Publication date
US5094517A (en) 1992-03-10
KR920004868A (ko) 1992-03-28
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EP0486597B1 (de) 1994-09-14
DE69012573T2 (de) 1995-02-23
CA2064831A1 (en) 1991-02-12
CN1049720A (zh) 1991-03-06
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AU6280190A (en) 1991-03-11

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