JPH03183935A - ポリイミド導波管および使用方法 - Google Patents
ポリイミド導波管および使用方法Info
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- JPH03183935A JPH03183935A JP2213612A JP21361290A JPH03183935A JP H03183935 A JPH03183935 A JP H03183935A JP 2213612 A JP2213612 A JP 2213612A JP 21361290 A JP21361290 A JP 21361290A JP H03183935 A JPH03183935 A JP H03183935A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は極性または非極性液体の定量測定およびＮＨＩ
、’ＮＨ４ＯＨ」、Ｎｏ、およびＮ ｚ Ｏ３の測定に
用いられる光学センサーとしてのポリイミド導波管（ｗ
ａｖｅｇｕｉｄｅ）に関する。
、’ＮＨ４ＯＨ」、Ｎｏ、およびＮ ｚ Ｏ３の測定に
用いられる光学センサーとしてのポリイミド導波管（ｗ
ａｖｅｇｕｉｄｅ）に関する。
ボリイごドが導波管の材料として用いられ、被覆として
および電気埋封材料中の充てん材として光学エレクトロ
ニクスに有用であることは公知である。ポリイミドの特
定の性質は表面近くの液体成分との相互作用による感湿
性に基づく。湿度測定は２方法に従って実施される。従
って、例えば毛髪湿度計では、特別に調製した毛髪と紡
織繊維を特に用いて、湿度に対する長さの依存性が利用
される。他の可能性はポリマーフィルムを用いた電気容
量プロセスの使用にある；この場合には、「湿度」がキ
ャパシタンスの変化によって測定される（ドリーゼン社
（Ｄｒｉｅｓｅｎ）タングステッド。
および電気埋封材料中の充てん材として光学エレクトロ
ニクスに有用であることは公知である。ポリイミドの特
定の性質は表面近くの液体成分との相互作用による感湿
性に基づく。湿度測定は２方法に従って実施される。従
って、例えば毛髪湿度計では、特別に調製した毛髪と紡
織繊維を特に用いて、湿度に対する長さの依存性が利用
される。他の可能性はポリマーフィルムを用いた電気容
量プロセスの使用にある；この場合には、「湿度」がキ
ャパシタンスの変化によって測定される（ドリーゼン社
（Ｄｒｉｅｓｅｎ）タングステッド。
ケルンからのＨＭＩ３２型、湿度／温度表示機器の製品
説明参照）。
説明参照）。
さらに、ポリイミド導波管は水分の定性検査用の未硬化
ポリイミドフィルムに基づく光学センサーとして公知で
あるが〔アブル、フィズ し・・９狸しハｕ、 Ｌｅｔ
ｔ） ５２ （１０）、 １９８８参照〕、これらは
水その他の液体の定量測定を可能にしない。
ポリイミドフィルムに基づく光学センサーとして公知で
あるが〔アブル、フィズ し・・９狸しハｕ、 Ｌｅｔ
ｔ） ５２ （１０）、 １９８８参照〕、これらは
水その他の液体の定量測定を可能にしない。
従って、「湿度」すなわち蒸気相中の水分のみでなく他
の液体の定量用の測定装置を提供するという目的が生じ
た。
の液体の定量用の測定装置を提供するという目的が生じ
た。
蒸気相中の極性液体がボリイごド表面との異方性相互作
用に関係し、この相互作用が光学的に検出されうること
を確立することが可能であると意外にも実証された。
用に関係し、この相互作用が光学的に検出されうること
を確立することが可能であると意外にも実証された。
この場合に、光学センサーは反復使用が可能である。
光学センサーとして作動し、公知の測定方法に比べて幾
つかの利点を有する導波管の測定によって、この目的を
遠戚することができた。
つかの利点を有する導波管の測定によって、この目的を
遠戚することができた。
この測定方法は、
ａ）光学的であり、
ｂ）ディジタル式に利用することができ、ｃ）２偏光（
ｐｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎ）の位相差の比較測定である
ので、絶対的数値の変動に影響されず、ｄ）このセンサ
ーは真空中においても作動し、ｅ）極性および非極性液
体に対しても作動し、ｆ）水を他の液体から分離するこ
とができる。
ｐｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎ）の位相差の比較測定である
ので、絶対的数値の変動に影響されず、ｄ）このセンサ
ーは真空中においても作動し、ｅ）極性および非極性液
体に対しても作動し、ｆ）水を他の液体から分離するこ
とができる。
本発明の対象はボリアごドーイごドまたは過フッ素化ポ
リイミドの少なくとも１層を含むポリイミド導波管であ
る。
リイミドの少なくとも１層を含むポリイミド導波管であ
る。
本発明の他の対象は蒸気相中の液体を検出するための光
学センサーとしてのボリイごド導波管の使用である。
学センサーとしてのボリイごド導波管の使用である。
本発明の他の対象はＮ Ｈ３、’ Ｎ Ｈａ ＯＨＪ
、 Ｎ Ｏ□およびＮ、Ｈ５の測定用の光学センサーと
してのポリイミド導波管の使用である。
、 Ｎ Ｏ□およびＮ、Ｈ５の測定用の光学センサーと
してのポリイミド導波管の使用である。
本発明の他の対象は蒸気相中の液体の測定用の光学セン
サーとしてのストリップ導波管、インターフェロメータ
ー（ｉ ｎ ｔｅｒ ｆ ｅｒｏｍｅ ｔｅｒ）構造ま
たは指向性カプラー構造（ｄｉｒｅｃｔｉｏｎａｌ ｃ
ｏｕｐｌｅｒ ５ｔｒｅｃｔｕｒｅ）としての請求項１
記載の構造体ポリイミド導波管の使用である。
サーとしてのストリップ導波管、インターフェロメータ
ー（ｉ ｎ ｔｅｒ ｆ ｅｒｏｍｅ ｔｅｒ）構造ま
たは指向性カプラー構造（ｄｉｒｅｃｔｉｏｎａｌ ｃ
ｏｕｐｌｅｒ ５ｔｒｅｃｔｕｒｅ）としての請求項１
記載の構造体ポリイミド導波管の使用である。
ボリイごド導波管を製造するには、ポリアミド−イミド
および過フッ素化ポリイξド、例えばＨＦＤＡ−ＯＤＡ
、ＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ−３３゜ＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ
−４４またはＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ−３３とＨＦＤＡ−
ＨＦＤＡＭ−４４の組合せが用いられる；この場合に、
用いた略語は下記の意味を有する： ＨＦＤＡ：ヘキサフルオロ−イソ−プロビリデン２．２
′−ジー無水フタル酸 ＯＤＡ ニオキシジアニリン ＨＦＤＡＭ−３３：ヘキサフルオロ−イソ−プロピリデ
ン−２，２′−ジ（３−アミノ ベンゼン）および ＨＦＤＡＭ−４４：ヘキサフルオロ−イソ−プロピリデ
ン−２３２′−ジ（４−アミノベンゼン） 上記ポリイミドは次の構造式を有する：ＨＦＤＡ−００
八 ＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ−３３ １１ＰＤ＾−ＨＦＤＡＭ−４４ 〔式中、ｎはＨＦＤＡ−ＯＤＡでは５０，０００〜１０
０．０００の整数を意味し、ＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ＝３
３では５０，０００〜８０，０００の整数を意味し、Ｈ
ＦＤＡ−ＨＦ Ｉ） Ａ Ｍ −４４では５０，０００
〜１００．０００の整数を意味する。ＨＦＤＡ−ＯＤＡ
およびＩ−Ｉ Ｆ Ｄ Ａ）（ＦＤＡＭ−３３と）ＩＦ
ＤＡ−ＨＦＤＡＭ−４４の組合せが特に好ましい。「湿
度」測定用に製造されるポリイミド導波管は次の配置の
３層または４層から戒る： カバー層／ポリアミド−イミドまたはポリイミドイミド
またはポリイミド／支持体 この配置は４層導波管に用いられ、カバー層、ガススペ
ース（測定スペース）および支持体はガラスである。
および過フッ素化ポリイξド、例えばＨＦＤＡ−ＯＤＡ
、ＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ−３３゜ＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ
−４４またはＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ−３３とＨＦＤＡ−
ＨＦＤＡＭ−４４の組合せが用いられる；この場合に、
用いた略語は下記の意味を有する： ＨＦＤＡ：ヘキサフルオロ−イソ−プロビリデン２．２
′−ジー無水フタル酸 ＯＤＡ ニオキシジアニリン ＨＦＤＡＭ−３３：ヘキサフルオロ−イソ−プロピリデ
ン−２，２′−ジ（３−アミノ ベンゼン）および ＨＦＤＡＭ−４４：ヘキサフルオロ−イソ−プロピリデ
ン−２３２′−ジ（４−アミノベンゼン） 上記ポリイミドは次の構造式を有する：ＨＦＤＡ−００
八 ＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ−３３ １１ＰＤ＾−ＨＦＤＡＭ−４４ 〔式中、ｎはＨＦＤＡ−ＯＤＡでは５０，０００〜１０
０．０００の整数を意味し、ＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ＝３
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〜１００．０００の整数を意味する。ＨＦＤＡ−ＯＤＡ
およびＩ−Ｉ Ｆ Ｄ Ａ）（ＦＤＡＭ−３３と）ＩＦ
ＤＡ−ＨＦＤＡＭ−４４の組合せが特に好ましい。「湿
度」測定用に製造されるポリイミド導波管は次の配置の
３層または４層から戒る： カバー層／ポリアミド−イミドまたはポリイミドイミド
またはポリイミド／支持体 この配置は４層導波管に用いられ、カバー層、ガススペ
ース（測定スペース）および支持体はガラスである。
３層導波管の場合には、ボリアミド−イミドまたはポリ
イミド層が削除される。４層導波管の使用が好ましい。
イミド層が削除される。４層導波管の使用が好ましい。
ＨＦ Ｄ Ａ−ＯＤ Ａ層を含む導波管を３層導波管の
製造に使用し、ＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ−３３とＨＦＤＡ
−ＨＦＤＡＭ−４４の２層を含む導波管が４層導波管の
製造に使用するのが好ましい。
製造に使用し、ＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ−３３とＨＦＤＡ
−ＨＦＤＡＭ−４４の２層を含む導波管が４層導波管の
製造に使用するのが好ましい。
ＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ−３３とＨＦ Ｄ Ａ−１−Ｉ
Ｆ ＤＡＭ−４４は、上記の他の物質とは対照的に、完
全硬化状態で良好な導波管として用いることができる。
Ｆ ＤＡＭ−４４は、上記の他の物質とは対照的に、完
全硬化状態で良好な導波管として用いることができる。
ＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ−３３とＨＦ Ｄ Ａ−ＨＦ Ｄ
ＡＭ−４４の２層を導波管どして用いることによって、
測定感度を数倍に高めることができる。
ＡＭ−４４の２層を導波管どして用いることによって、
測定感度を数倍に高めることができる。
４層導波管は次の層配置から構成される：カバー１１／
ＨＦＩ）Ａ−ＨＦＤＡＭ−３３（３３）／ＩＩＦＤＡ−
ＨＦ ＤＡＭ−４４（４４）／支持体、屈折率に関して
次のことが適用される必要がある：ｎｒｉ（３３）はｎ
ＴＥ（４４）にほぼ等しく、ｎｙ＋４（３３）はｎｔ
Ｈ（４４）より大きい、この場合にｎｙｔ（３３）＝１
．５４３． ｎｙｔ（４４）−１，５４１゜ｎｔ、４
（３３）＝１．５３８． ｎ、（４４）＝１．５１６
である、ｎＴＥはＴＥ偏光の屈折率、ｎＴＭはＴＭ偏光
の屈折率である。
ＨＦＩ）Ａ−ＨＦＤＡＭ−３３（３３）／ＩＩＦＤＡ−
ＨＦ ＤＡＭ−４４（４４）／支持体、屈折率に関して
次のことが適用される必要がある：ｎｒｉ（３３）はｎ
ＴＥ（４４）にほぼ等しく、ｎｙ＋４（３３）はｎｔ
Ｈ（４４）より大きい、この場合にｎｙｔ（３３）＝１
．５４３． ｎｙｔ（４４）−１，５４１゜ｎｔ、４
（３３）＝１．５３８． ｎ、（４４）＝１．５１６
である、ｎＴＥはＴＥ偏光の屈折率、ｎＴＭはＴＭ偏光
の屈折率である。
これらの層は、１種類の偏光、ＴＭ偏光に関して上部Ｈ
ＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ−３３層においてのみ２モートまで
透過することで区別される。この場合に、ＴＭ偏光は電
磁波のＥベクトルがフィルム面に対して垂直に振動する
偏光である。このようにして、光強度と、表面における
感度も高まる。
ＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ−３３層においてのみ２モートまで
透過することで区別される。この場合に、ＴＭ偏光は電
磁波のＥベクトルがフィルム面に対して垂直に振動する
偏光である。このようにして、光強度と、表面における
感度も高まる。
本発明による光学センサーを用いると、極性液体と非極
性液体、例えば水、Ｃ，−Ｃ，アルコール、ガソリン、
ライトヒーティング燃料油（ｌｉｇｈｔｈｅａｔｉｎｇ
ｆｕｅｌ ｏｉｌ）およびＣＩ Ｃ：＋カルボン酸
の測定が可能である。コノ他、ＮＨ３，ｒＮＨ４０ＨＪ
ＮＯ２およびＮ２０．を測定することも可能である。
性液体、例えば水、Ｃ，−Ｃ，アルコール、ガソリン、
ライトヒーティング燃料油（ｌｉｇｈｔｈｅａｔｉｎｇ
ｆｕｅｌ ｏｉｌ）およびＣＩ Ｃ：＋カルボン酸
の測定が可能である。コノ他、ＮＨ３，ｒＮＨ４０ＨＪ
ＮＯ２およびＮ２０．を測定することも可能である。
水、ＣＩ Ｃ３アルコールまたはこれらの混合物の測
定に好ましく用いられる。
定に好ましく用いられる。
ポリイミド導波管はストリップ導波管、インターフェロ
メータ構造または指向性カプラー構造のような構造体形
で液体測定用の光学センサーとして用いられる。水分を
「負荷される」センサーはボリイミＩ−表面および測定
スペースにお番ノる平衡に作用を及ばず影響、例えば圧
力変動、電場およびマイクロ波の調節または測定に用い
られる。
メータ構造または指向性カプラー構造のような構造体形
で液体測定用の光学センサーとして用いられる。水分を
「負荷される」センサーはボリイミＩ−表面および測定
スペースにお番ノる平衡に作用を及ばず影響、例えば圧
力変動、電場およびマイクロ波の調節または測定に用い
られる。
「湿度」を測定するために、第１図に示す配置が用いら
れる。Ｈｅ−Ｎｅレーザー（１）の光線はハーフウェー
ブプレート（ｈａｌｆ−ｗａｖｅ ｐｌａｔｅ） （２
）を介して結合し、ポリマーフィルム（３）で被覆した
支持体（４）から構成されるポリイミド導波管内に偏光
を回転させる。ヘビーフリントガラス製の９０゜プリズ
ムを導波管内外での結合に用いる。偏光分析計（６）の
後方の光度は検出器（７）に記録される。
れる。Ｈｅ−Ｎｅレーザー（１）の光線はハーフウェー
ブプレート（ｈａｌｆ−ｗａｖｅ ｐｌａｔｅ） （２
）を介して結合し、ポリマーフィルム（３）で被覆した
支持体（４）から構成されるポリイミド導波管内に偏光
を回転させる。ヘビーフリントガラス製の９０゜プリズ
ムを導波管内外での結合に用いる。偏光分析計（６）の
後方の光度は検出器（７）に記録される。
この配置にシリカゲル（９）を含むガラスヘル（８）を
備えることができる。この結果、製造上方の空気の湿度
を減することができる。
備えることができる。この結果、製造上方の空気の湿度
を減することができる。
第１図に示した水分センサーには特定の型の導波管が必
要である。ＴＥモード（例えばＴＥ６）とＴＭモード（
例えばＴＭ、）の２偏光を同時に処理できることが必要
である。このことは実際のパラメータ屈折率（ＴＥ）と
屈折率（ＴＭ）から算出される理論曲線（第２図に示す
）を必要とする。
要である。ＴＥモード（例えばＴＥ６）とＴＭモード（
例えばＴＭ、）の２偏光を同時に処理できることが必要
である。このことは実際のパラメータ屈折率（ＴＥ）と
屈折率（ＴＭ）から算出される理論曲線（第２図に示す
）を必要とする。
第２図では、導波管のフィルム厚さＣｔｒｒ＝〕を適当
なモードの有効屈折率Ｎｅｆｆに対してプロットする。
なモードの有効屈折率Ｎｅｆｆに対してプロットする。
２偏光ＴＥとＴＭのこれらの曲線群は平面導波管（ｐｌ
ａｎｅ ｗａｖｅｇｕｉｄｅ）の横断共鳴状態（ｔｒａ
ｎ３ｖｅｒｓｅ ｒｅｓｏｎａｎｃｅ ｃｏｎｄｉｔｉ
ｏｎｓ） （Ｔ ＲＣ）に基づく共鳴状態を表す。モ
ードの整合による好ましい性質は交点に存在する。第３
図は層厚さ６．１ｔＩｍの異方性ポリイミドフィルムの
測定モードスペクトルの抽出を示す：この場合に、結合
角度τに対して強度をプロットする。ＴＥ６モード（１
） とＴＭ。
ａｎｅ ｗａｖｅｇｕｉｄｅ）の横断共鳴状態（ｔｒａ
ｎ３ｖｅｒｓｅ ｒｅｓｏｎａｎｃｅ ｃｏｎｄｉｔｉ
ｏｎｓ） （Ｔ ＲＣ）に基づく共鳴状態を表す。モ
ードの整合による好ましい性質は交点に存在する。第３
図は層厚さ６．１ｔＩｍの異方性ポリイミドフィルムの
測定モードスペクトルの抽出を示す：この場合に、結合
角度τに対して強度をプロットする。ＴＥ６モード（１
） とＴＭ。
モード（２）を表示する。このグラフはＴＥとＴＭが同
じ角度で処理されることを示す。２モードは充分なオー
バーラツプが測定範囲内に入るような程度にオーバーラ
ツプする。
じ角度で処理されることを示す。２モードは充分なオー
バーラツプが測定範囲内に入るような程度にオーバーラ
ツプする。
第２図の交点から明らかである厚さを有する導波管を製
造することによって、実験的にモードのオーバーラッピ
ングを行わせる。この厚さはフィルムの製造のボリイご
ド溶液に用いるフォトレジスト遠心分離の特定の遠心分
離回転速度を選択することによって得られる。
造することによって、実験的にモードのオーバーラッピ
ングを行わせる。この厚さはフィルムの製造のボリイご
ド溶液に用いるフォトレジスト遠心分離の特定の遠心分
離回転速度を選択することによって得られる。
第４図には、ＨＦＤＡ−ＯＤＡ物質の複屈折変化ΔＮ、
１０−５を表す検量曲線を作製した。この場合に、Δ
Ｎ＝Ｎア）：６ ＮＴＭＳを相対湿度ＲＨ（％〕に対
してプロットした。測定は全範囲（０〜１００％）にわ
たって実施することができる。
１０−５を表す検量曲線を作製した。この場合に、Δ
Ｎ＝Ｎア）：６ ＮＴＭＳを相対湿度ＲＨ（％〕に対
してプロットした。測定は全範囲（０〜１００％）にわ
たって実施することができる。
試験容器の排気の過程で、多くの強度変化が観察された
。これらの変化を評価すると、時間（Ｓ）の関数として
適切な光学複屈折変化を表すことができた。第５図はＨ
ＦＤＡ−ＯＤＡｓ波管での水の吸収１ｓｔ期間（１）と
脱着１ｓｔ期間（２）のこの複屈折変化を示す。この場
合に、ΔＮｅｆｆは透過されたＴＥモードと７Ｍモード
の位相差から得られる屈折率差を意味する。各場合に、
反応定数にルート型曲線を関連づけることが可能であっ
た。
。これらの変化を評価すると、時間（Ｓ）の関数として
適切な光学複屈折変化を表すことができた。第５図はＨ
ＦＤＡ−ＯＤＡｓ波管での水の吸収１ｓｔ期間（１）と
脱着１ｓｔ期間（２）のこの複屈折変化を示す。この場
合に、ΔＮｅｆｆは透過されたＴＥモードと７Ｍモード
の位相差から得られる屈折率差を意味する。各場合に、
反応定数にルート型曲線を関連づけることが可能であっ
た。
槻−主
アルコール 人 の
ＨＦ ＤＡｉ（Ｆ ＤＡＭ−３３／ＨＦ ＤＡ−ＨＦ
ＤＡＭ−４４２重層から成る４層導波管の周囲雰囲気に
メタノールと水とを富化させた、この場合にセンサーは
最初に特定の速度定数で水に反応し、次にアルコールに
反応した。典型的な曲線を第６図に示す。
ＤＡＭ−４４２重層から成る４層導波管の周囲雰囲気に
メタノールと水とを富化させた、この場合にセンサーは
最初に特定の速度定数で水に反応し、次にアルコールに
反応した。典型的な曲線を第６図に示す。
第６図では、３層導波管を用いた測定で複屈折変化ΔＮ
・１０〜５をＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ−３３に関して時間
〔Ｓ〕に対してプロットした、この場合にメタノール（
２）に比べて水（１）の曲線は異なる推移を示す。
・１０〜５をＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ−３３に関して時間
〔Ｓ〕に対してプロットした、この場合にメタノール（
２）に比べて水（１）の曲線は異なる推移を示す。
このセンサーはメタノールに対して感受性であり、異な
る示差感度（ΔＮ／Ｔ）を示す。このことから、水をメ
タノールから分離することができる。
る示差感度（ΔＮ／Ｔ）を示す。このことから、水をメ
タノールから分離することができる。
揖「−（
第７図は空気相対湿度４２％（１）とＨＦＤＡＨＦＤＡ
Ｍ−３３／ＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ−４４４層導波管の排
気条件（２）における整合モード〔オーダーＴＥ （ｍ
ｔＥ）とオーダーＴＭ （ｍｙＭ） ）を意味するｍ
Ｔ Ｅ ／ ｍ Ｔ Ｈに対する複屈折変化ΔＮ・１０
−５のプロットを示す。
Ｍ−３３／ＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ−４４４層導波管の排
気条件（２）における整合モード〔オーダーＴＥ （ｍ
ｔＥ）とオーダーＴＭ （ｍｙＭ） ）を意味するｍ
Ｔ Ｅ ／ ｍ Ｔ Ｈに対する複屈折変化ΔＮ・１０
−５のプロットを示す。
従って、第７図は異なるモード整合（ｍｏｄｅｍａｔｃ
ｈｉｎｇ）を用いたセンサーの感度を示す。ＴＥモード
と７Ｍモードの３種類の整合に対して測定を実施した。
ｈｉｎｇ）を用いたセンサーの感度を示す。ＴＥモード
と７Ｍモードの３種類の整合に対して測定を実施した。
３測定のすべてにおいてプロットした
ΔＮ値は湿度４２％の空気に関するものである。モード
整合４．１１１．を用いた場合に、より高いモードの組
合せと比べて、測定感度の増加が明らかに認められる。
整合４．１１１．を用いた場合に、より高いモードの組
合せと比べて、測定感度の増加が明らかに認められる。
この整合の場合に、上部ＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ−３３層
においてのみ透過する７Ｍモードを用いた。最後に挙げ
たモードは「表面モード（ｓｕｒｆａｃｅ ｍｏｄｅ）
」と呼ぶことができる。
においてのみ透過する７Ｍモードを用いた。最後に挙げ
たモードは「表面モード（ｓｕｒｆａｃｅ ｍｏｄｅ）
」と呼ぶことができる。
「表面モード」なる表現は、表面において特に高い強度
、従って高い消散基（ｅｖａｎｅｓｃｅｎｔ ｆｉｅｌ
ｄ）を示すようなモードを意味するものとする。他方で
、「スペースモード（ｓｐａｃｅ ｍｏｄｅ） Ｊはフ
ィルムの内部において高い強度を示し、表面では弱い消
数基のみを示す。
、従って高い消散基（ｅｖａｎｅｓｃｅｎｔ ｆｉｅｌ
ｄ）を示すようなモードを意味するものとする。他方で
、「スペースモード（ｓｐａｃｅ ｍｏｄｅ） Ｊはフ
ィルムの内部において高い強度を示し、表面では弱い消
数基のみを示す。
例３による上記光学ポリイミドセンサーを含む容器を排
気し、次に石油ガソリンを含む貯蔵容器に連結して、室
温において飽和蒸気圧が遠戚されるようにした。第８図
はセンサーの石油ガソリンに対する感度が認められる測
定サイクルの一部を示す。
気し、次に石油ガソリンを含む貯蔵容器に連結して、室
温において飽和蒸気圧が遠戚されるようにした。第８図
はセンサーの石油ガソリンに対する感度が認められる測
定サイクルの一部を示す。
例−一も
エタノール蒸気の測定
上記ボリイごドセンサーを密封容器で包囲した。
封入空気量（２０°Ｃ１６５％ＲＨ）に次にエタノール
蒸気を富化させた。この場合に、３μｌ／ｍ”未満のＣ
２Ｈ、○Ｈを検出することも可能であった。
蒸気を富化させた。この場合に、３μｌ／ｍ”未満のＣ
２Ｈ、○Ｈを検出することも可能であった。
盟−１
例６に関連して述べた配置を用いて、プロパツールに対
する感度を調べた。この場合に、感度限界は］、 ｍｌ
／ ｍ３Ｃ３Ｈ７０Ｈのレベルであった。
する感度を調べた。この場合に、感度限界は］、 ｍｌ
／ ｍ３Ｃ３Ｈ７０Ｈのレベルであった。
第１図は湿度測定の配置を示す図；
第２図は有効屈折率ＮＧ、、に対する導波管のフィルム
厚さ〔ｐ〕のプロットを示す図：第３図は層厚さ６．１
４を有する異方性ボリイごドフィルムの測定モードスペ
クトルの一部を示す図； 第４図は相対湿度ＲＨ（％〕に対する複屈折差ΔＮ・１
０−’のプロットを示す図： 第５図は時間の関数として複屈折変化ΔＮ ａ ｆ ｆ
を示す図； 第６図はＨＦＤＩ−ＨＦＤＡＭ−３３に関する時間（ｓ
）に対してプロットした複屈折変化ΔＮ・１゜を示す図
； 第７図はｍＴＥ／ｍＴ、に対する複屈折変化ΔＮ・１０
−’のプロットを示す図： 第８図は強度の経時的変化を示す図である。 ｊｕｌｎ ］ ＤＷｖ７／１１”” ＩＩａＮｖ コ＋’！ Ｊ４ｅ ｖ ｉぐ 、、０１ＮＶ 酊ｌ小暫針 ・１￥ 、Ｊ））ＭＶ ９Ｙ■皐ｖ１
厚さ〔ｐ〕のプロットを示す図：第３図は層厚さ６．１
４を有する異方性ボリイごドフィルムの測定モードスペ
クトルの一部を示す図； 第４図は相対湿度ＲＨ（％〕に対する複屈折差ΔＮ・１
０−’のプロットを示す図： 第５図は時間の関数として複屈折変化ΔＮ ａ ｆ ｆ
を示す図； 第６図はＨＦＤＩ−ＨＦＤＡＭ−３３に関する時間（ｓ
）に対してプロットした複屈折変化ΔＮ・１゜を示す図
； 第７図はｍＴＥ／ｍＴ、に対する複屈折変化ΔＮ・１０
−’のプロットを示す図： 第８図は強度の経時的変化を示す図である。 ｊｕｌｎ ］ ＤＷｖ７／１１”” ＩＩａＮｖ コ＋’！ Ｊ４ｅ ｖ ｉぐ 、、０１ＮＶ 酊ｌ小暫針 ・１￥ 、Ｊ））ＭＶ ９Ｙ■皐ｖ１
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ポリアミド−イミドまたは過フッ素化ポリイミドの
少なくとも１層を含むポリイミド導波管。 ２、層の配列がカバー層／ＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ−３３
／ＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ−４４／支持体であり、ＨＦＤ
Ａ−ＨＦＤＡＭ−３３がヘキサフルオロ−イソ−プロピ
リデン−２，２′−ジ（３−アミノベンゼン）を意味し
、ＨＦＤＡ−ＨＦＤＡＭ−４４がヘキサフルオロ−イソ
−プロピリデン−２，２′−ジ（４−アミノベンゼン）
を意味し、カバー層、ガススペースおよび支持体がガラ
スを意味する請求項１記載のポリイミド導波管。 ３、蒸気相中の液体を測定するための光学センサーとし
ての請求項１記載のポリイミド導波管の使用方法。 ４、蒸気相中の水、Ｃ＿１−Ｃ＿３アルコール、ガソリ
ン、ライトヒーティング燃料油およびＣ＿１−Ｃ＿３カ
ルボン酸を測定するための請求項３記載の方法。 ５、ＮＨ＿３、“ＮＨ＿４ＯＨ”、ＮＯ＿２およびＮ＿
２Ｏ＿５を測定するための光学センサーとしての請求項
１記載のポリイミド導波管の使用方法。 ６、蒸気相中の液体を測定するための光学センサーとし
てのストリップ導波管、インターフェロメータ構造また
は指向性カプラー構造の形状である請求項１記載の構造
体ポリイミド導波管の使用方法。 ７、ポリイミド表面および測定スペースにおける平衡に
作用する、例えば圧力変化、電場およびマイクロ波のよ
うな影響の調節または測定への請求項３または５記載の
「負荷」センサーの使用方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3926604A DE3926604A1 (de) | 1989-08-11 | 1989-08-11 | Polyimidwellenleiter als optische sensoren |
| DE3926604.4 | 1989-08-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03183935A true JPH03183935A (ja) | 1991-08-09 |
Family
ID=6386968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2213612A Pending JPH03183935A (ja) | 1989-08-11 | 1990-08-10 | ポリイミド導波管および使用方法 |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5094517A (ja) |
| EP (1) | EP0486597B1 (ja) |
| JP (1) | JPH03183935A (ja) |
| KR (1) | KR920004868A (ja) |
| CN (1) | CN1049720A (ja) |
| AT (1) | ATE111600T1 (ja) |
| AU (1) | AU6280190A (ja) |
| CA (2) | CA2023072A1 (ja) |
| DE (2) | DE3926604A1 (ja) |
| WO (1) | WO1991002239A1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0875639A (ja) * | 1994-09-09 | 1996-03-22 | Agency Of Ind Science & Technol | スラブ光導波路を利用した光吸収スペクトル測定装置 |
| JP2010223817A (ja) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Soka Univ | エタノールセンサ及びこれを用いたエタノール計測システム |
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1989
- 1989-08-11 DE DE3926604A patent/DE3926604A1/de not_active Withdrawn
-
1990
- 1990-08-09 KR KR1019900012196A patent/KR920004868A/ko unknown
- 1990-08-10 US US07/565,503 patent/US5094517A/en not_active Expired - Lifetime
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