DE3925274C2 - - Google Patents
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B57/00—Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents
- B24B57/02—Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents for feeding of fluid, sprayed, pulverised, or liquefied grinding, polishing or lapping agents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Feinbearbeitungsma
schine zum Läppen, Feinschleifen und Polieren.
Es sind Feinbearbeitungsmaschinen beispielsweise nach der
DE 29 50 881 A1 und US 46 65 658 für solche Zwecke bekannt
mit zwei getrennt antreibbaren, ringförmigen, vertikal
achsigen Arbeitsscheiben, wobei im Bereich der unteren
Scheibe ein antreibbarer, innerer sowie ein insbesondere
stillstehender, äußerer Stiftkranz vorgesehen sind, zwi
schen welchen Halter zur Werkstückbearbeitung angeordnet
sind, welche zu deren planetären Bewegung um die Scheiben
achse in beide Stiftkränze mittels Zahnung eingreifen,
vorzugsweise in Ausleger- oder Portalbauweise mit horizon
tal verfahrbarer oberer Arbeitsscheibe, wobei ein Regel
kreis zur Beeinflussung der auf die obere, vertikal beweg
liche Arbeitsscheibe wirkenden Axialkraft vorgesehen ist.
Es ist bekannt, den bevorzugt pneumatisch oder hydraulisch,
bisweilen auch elektromechanisch erzeugten Belastungsdruck
bei derartigen Feinbearbeitungsmaschinen entweder direkt
innerhalb des Belastungssystems über Drucksensoren konstant
zu regeln oder derart zu messen, daß die axiale Relativbe
wegung zweier im Lagerbereich der oberen Arbeitsscheibe
befindlichen Elemente in ein Signal umgesetzt wird, wel
ches kennzeichnend ist für die Höhe der während des Ein
griffs auf die Werkstücke wirkenden Axialkräfte. Bei solchen
mit der oberen Arbeitsscheibe kommunizierenden Einrich
tungen ist es jedoch grundsätzlich so, daß
an den Lagerstellen der oberen Arbeitsscheibe bzw. inner
halb der Belastungseinrichtungen entstehende Reibungskräf
te und Stick-Slip-Effekte die gewünschte Minimierung der
Abweichung zwischen Eingriffsist- und Eingriffssolldruck
begrenzen.
Aufgabe der Feinbearbeitungsmaschine gemäß der Erfindung
ist demgegenüber die Konstantregelung des vorgewählten Ein
griffsdrucks zwischen den Wirkpartnern innerhalb extrem
enger Toleranzgrenzen während des Bearbeitens und Abrich
tens.
Zur Lösung dieser Aufgabe kennzeichnet sich die Feinbear
beitungsmaschine zum Läppen, Feinschleifen oder Polieren
nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs gemäß der Erfindung
dadurch, daß die (auf die obere Arbeitsscheibe wirkende)
Axialkraft (bei deren mittel- oder unmittelbarer Kontaktie
rung mit der unteren Arbeitsscheibe) über zwischen der La
gereinheit der unteren Arbeitsscheibe und dem Untergestell
der Maschine angeordnete Kraftaufnehmer ableitbar ist und
die über die Kraftaufnehmer am Untergestell axial abge
stützte Lagereinheit durch in einer zur Arbeitsebene paral
lelen Ebene angeordnete und zwischen dem Untergestell und
der Lagereinheit verspannte (vorzugsweise dünne) Bänder
gegen Verdrehen gesichert ist. Somit wird ein von der
axialen Istkraft abhängiges Signal mittels des vorgenann
ten, im Untergestell der Maschine befindlichen hochauflö
senden Meßsystems, z. B. auf DMS-Basis, erzeugt. Dieses
Signal wird mit einem Signal verglichen, das der axialen
Sollkraft entspricht. Das Differenzsignal ist die Regelab
weichung. Sie verändert den Druck innerhalb der Belastungs
einheit derart, daß als wesentliches Kriterium für die Erzielung reproduzierbarer Prozeßverhältnisse der Eingriffsdruck zwischen den Wirk
partnern innerhalb eng vorgegebener Toleranzgrenzen kon
stant bleibt.
Die erfindungsgemäße Möglichkeit zur exakten, feinfühligen
und weitgehend hysteresefreien Axialkrafteinstellung bie
tet insbesondere bei der Schlichtbearbeitung sowie zu Be
ginn der Bearbeitung Vorteile; dies insofern, als die Teile
in dieser Phase in aller Regel noch über eine uneinheitli
che Dicke verfügen, wodurch sich die obere Arbeitsscheibe
bevorzugt auf einigen wenigen Teilen abstützt. Ferner er
zwingt die Bearbeitung extrem dünner- bruchempfindlicher
Teile über die gesamte Bearbeitungsdauer eine bestmögliche
Feinfühligkeit der Axialkrafteinstellung.
Eine bevorzugte Ausführungsform einer Feinbearbeitungsma
schine gemäß der Erfindung ist beispielsweise in der
Zeichnung dargestellt und nachfolgend beschrieben und zwar
zeigen:
Fig. 1 die Pinolenlagerung der oberen Arbeitsscheibe
im Längsschnitt mit Hub- und Belastungseinrich
tung,
Fig. 2 die Lagerung und Höhenverstellung der unteren
Arbeitsscheibe im Längsschnitt mit Kraftauf
nehmer,
Fig. 3 den Querschnitt nach Linie A-B in Fig. 2 und
Fig. 4 das Prinzip der Konstantregelung des Eingriffs
drucks.
In Fig. 1 ist der Maschinenaufbau 1 mit einer axial beweg
lichen Pinole 2 und einer sie lagernden, zur Drehmomentüber
tragung dienenden Hohlwelle 3 zu sehen. Die Pinole 2
wird im Lagerbereich 4, der sich über Wälzlager 6 und
7 am Maschinenaufbau 1 abstützenden Hohlwelle 3 form
schlüssig aufgenommen. Die Pinole 2, an welcher über ein
Gelenklager 5 die obere Arbeitsscheibe 8 pendelnd aufge
hängt ist, wird über die Hohlwelle 3 durch einen Riementrieb
9 in Drehung versetzt. Hierbei dient eine aus zwei Hydrau
likzylindern 10 bestehende Hub- und Belastungseinrichtung
der Aufbringung des Axialdrucks über eine Quertraverse 11
mit Stützlagern 12, während die Aufnahme des aus der Lager
reibung resultierenden Drehmoments über Führungsstangen
13 erfolgt.
Beim Läppen gelangt das Läppgemisch bei Zuführung über eine
Abstreifereinrichtung 14 mit Abstreifern 15 in einen Ringka
nal 16 und über Bohrungen 17 in der oberen Arbeitsscheibe
8 in die Wirkzone.
Da günstige kinematischeVerhältnisse vielfach mit einer
sehr langsamen Drehung der oberen Arbeitsscheibe 8 einher
gehen und der Transport des Läppgemisches in die Wirkzone
eine hinreichend schnelle Relativbewegung zwischen oberer
Arbeitsscheibe 8 und Abstreifereinrichtung 14 erfordert,
wird die letztgenannte beim Unterschreiten einer vorgege
benen Drehzahlgrenze der oberen Arbeitsscheibe 8 mittels
eigenem Antrieb 18 selbsttätig in eine zur Scheibendrehung
gegensinnige Rotation versetzt. Hierbei ist der Antriebs
motor 18 der Abstreifereinrichtung 14 am Maschinenaufbau 1
so angeordnet, daß eine Drehung um die Achse der oberen
Arbeitsscheibe 8 unterdrückt, jedoch deren Pendelbewegung
mit vollzogen wird.
Im übrigen kann der Maschinenaufbau 1, wie hier nicht im
einzelnen dargestellt, in Portalbauweise, z. B. entsprechend der
DE 24 42 081 C3 ausgeführt und somit gegenüber dem Maschi
nenuntergestell 19 mit der Lagereinheit und oberen Arbeits
scheibe 8 horizontal verfahrbar sein.
Aaus Fig. 2 und 3 ist das Maschinenuntergestell 19 mit einer
Hohlwelle 20 und einem höhenverstellbaren Führungsgehäuse 21
zu ersehen. Die dem Antrieb der unteren Arbeitsscheibe 22
dienende Hohlwelle 20 wird von Wälzlagern 23 und 24
aufgenommen und das Führungsgehäuse 21 ist über mehrere
äquidistant zur Zentralachse angeordnete und synchronisier
te Schraubengewindetriebe 25 mit einer Quertraverse 26 höhenver
stellbar gelagert mit Führungsstangen 27. Die Hohlwelle 20
ist über einen Riementrieb 28 in Drehung versetzbar.
Eine Höhenverstellbarkeit der unteren Arbeitsscheibe 22
solcherart hat den Vorteil, daß eine Absenkung der Arbeits
höhe als Folge des Scheibenverschleißes kompensierbar ist.
In der Möglichkeit zur weitgehenden Konstanthaltung der
Höhenlage der Wirkfläche der unteren Arbeitsscheibe 22 ist
eine notwendige Voraussetzung für die Automatisierbarkeit
der Maschinenbeschickung zu sehen. Die Verstellbarkeit der
Höhenlage der unteren Arbeitsscheibe 22 ist ferner geeignet,
das Verschleißmessen sowie das nachfolgende Beseitigen von
Unebenheiten der Arbeitsscheiben 8, 22 welche mit einer Ver
schlechterung der erzielbaren Teileformgenauigkeit einher
gehen, unter zusätzlicher Nutzung einer radial angeordne
ten Meß- und Abdreheinrichtung in eine automatische Ab
lauffolge zu integrieren.
Die Lagereinheit 29 der unteren Arbeitsscheibe 22 ist über
Kraftaufnehmer 30 am Untergestell 19 der Maschine abge
stützt, wobei die Lagereinheit 29 in einer zur Arbeitsebe
ne parallelen Ebene durch zwischen Gestell 19 und Lager
einheit 29 verspannte, dünne Bänder 31 gegen Verdrehen ge
sichert ist. Die Kraftaufnehmer 30 am Untergestell 19 die
nen der Konstantregelung der von der Hub- und Belastungs
einrichtung 10 aufzubringenden Axialkraft.
Schließlich sind in Fig. 2 noch ein über einen Riementrieb 32 aus angetrie
bener innerer Stiftkranz 33 sowie ein hier stillstehender,
äußerer Stiftkranz 34 mit zwischenliegendem Werkstückhalter
35 für Werkstücke 36, wobei die Halter 35 in die inneren
und äußeren Stiftkränze 33, 34 eingreifen, zu sehen.
Hierbei wird bei Antrieb eines oder beider Stiftkränze
33, 34 eine planetäre Bewegung der Halter 35 mit den Werk
stücken 36 um die Zentralachse der Maschine erreicht.
In Fig. 4 ist sodann die Regelung der Axialkraft F sche
matisch dargestellt. Hier sind die obere und untere Ar
beitsscheibe 8 und 22 im Maschinenaufbau 1 und dem Maschi
nenuntergestell 19 mit zwischenliegenden Werkstücken 36 zu
sehen, wobei im Untergestell 19 die Kraftaufnehmer 30 und im
Aufbau 1 die Hub- und Belastungseinrichtung 10 als Hydrau
likzylinder dargestellt sind mit einem Signalwandler 37.
Hierbei erzeugt die Bela
stungseinheit 10 aufgrund des im Zylinder herrschenden
Differenzdrucks ΔpH eine axial wirkende Kraft. Diese als
Istkraft wirkende Kraft F beaufschlagt die obere Arbeits
scheibe 8 derart, daß sich je nach Kontaktfläche zwischen
den Wirkpartnern ein charakteristischer Eingriffsdruck Pe
ergibt. Die solcherart in das Lagersystem der unteren Ar
beitsscheibe 22 eingeleitete Istkraft wird über die bevorzugt
äquidistant zur Achse der Arbeitsscheiben 8, 22 im Untergestell
19 der Maschine angeordneten Druckkraftaufnehmer 30 abge
leitet.
Im Zuge der Belastung der Druckkraftaufnehmer 30 wird ein
summatorisches, zur Istkraft proportionales Spannungssig
nal uist erzeugt, welches mit einem der axialen Sollkraft
entsprechenden Spannungssignal usoll verglichen wird. Das
Differenzsignal Δu ist die Regelabweichung. Sie verändert
den Differenzdruck ΔpH innerhalb des Druckzylinders - Be
lastungseinheit 10 - derart, daß der Eingriffsdruck Pe in
nerhalb eng vorgebener Grenzen konstant bleibt.
Die Anordnung der Druckkraftaufnehmer 30 im Untergestell
19 der Maschine hat gegenüber bekannten Lösungen den Vor
teil, daß der durch die Wirkzone geleitete Kraftfluß un
verfälscht erfaßt wird. Das Meßergebnis wird mithin durch
Reibungsverluste und Stick-Slip-Effekte an den Lagerstel
len der oberen Arbeitsscheibe bzw. innerhalb der Bela
stungseinrichtung nicht beeinträchtigt.
Claims (1)
- Feinbearbeitungsmaschine zum Läppen, Feinschleifen oder Polieren mit zwei getrennt antreibbaren, ring förmigen, vertikalachsigen Arbeitsscheiben, wobei im Be reich der unteren Scheibe ein antreibbarer, innerer sowie ein äußerer Stiftkranz vorge sehen sind, zwischen welchen Halter zur Werkstückbearbei tung angeordnet sind, welche zu deren planetären Bewegung um die Scheibenachse in beide Stiftkränze mittels Zahnung eingreifen, vorzugsweise in Ausleger- oder Portalbauweise mit horizontal verfahrbarer oberer Arbeitsscheibe, wobei ein Regelkreis zur Beeinflußung der auf die obere, vertikal bewegliche Arbeitsscheibe wirkenden Axialkraft vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Axialkraft über zwischen der Lagereinheit (29) der unteren Arbeitsscheibe (22) und dem Untergestell (19) der Maschine angeordnete Kraftaufnehmer (30) ableitbar ist und die über die Kraftaufnehmer (30) am Untergestell (19) axial abgestützte Lagereinheit (29) durch in einer zur Arbeits ebene parallelen Ebene angeordnete und zwischen dem Unter gestell (19) und der Lagereinheit (29) verspannte Bänder (31) gegen Verdrehen gesichert ist.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19893925274 DE3925274A1 (de) | 1989-07-31 | 1989-07-31 | Feinbearbeitungsmaschine zum laeppen, feinschleifen oder polieren |
DE90113032T DE59002816D1 (de) | 1989-07-31 | 1990-07-07 | Zuführ- und Dosiereinrichtung für das Läppgemisch bei Feinbearbeitungsmaschinen zum Läppen, Feinschleifen oder Polieren. |
EP90113032A EP0411345B1 (de) | 1989-07-31 | 1990-07-07 | Zuführ- und Dosiereinrichtung für das Läppgemisch bei Feinbearbeitungsmaschinen zum Läppen, Feinschleifen oder Polieren |
EP19900113033 EP0411346A3 (en) | 1989-07-31 | 1990-07-07 | Precision grinding machine for lapping, precision grinding or polishing |
US07/554,144 US5109631A (en) | 1989-07-31 | 1990-07-16 | Finish-machining machine comprising means for feeding an abrasive slurry at a controlled rate |
US07/553,727 US5197230A (en) | 1989-07-31 | 1990-07-16 | Finish-machining machine |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
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DE3925274A1 DE3925274A1 (de) | 1991-02-07 |
DE3925274C2 true DE3925274C2 (de) | 1991-10-24 |
Family
ID=6386197
Family Applications (1)
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Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3925274A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10007390B4 (de) * | 1999-03-13 | 2008-11-13 | Peter Wolters Gmbh | Zweischeiben-Poliermaschine, insbesondere zur Bearbeitung von Halbleiterwafern |
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GB1231502A (de) * | 1968-08-28 | 1971-05-12 | ||
DE2442081C3 (de) * | 1974-09-03 | 1979-11-15 | Jmj-Werkzeugmaschinen Gmbh Fuer Feinbearbeitung, 4020 Mettmann | Läppmaschine |
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FR2564360B1 (fr) * | 1984-05-21 | 1986-10-17 | Crismatec | Machine d'usinage double face et dispositif de transmission de courant et de fluide entre une structure tournante et une structure non tournante |
JPS61103774A (ja) * | 1984-10-29 | 1986-05-22 | Kokoro:Kk | ラツピング装置 |
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1989
- 1989-07-31 DE DE19893925274 patent/DE3925274A1/de active Granted
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DE10007390B4 (de) * | 1999-03-13 | 2008-11-13 | Peter Wolters Gmbh | Zweischeiben-Poliermaschine, insbesondere zur Bearbeitung von Halbleiterwafern |
Also Published As
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