DE3887602T2

DE3887602T2 - Gerät zur Verarbeitung optischer Information.

Info

Publication number: DE3887602T2
Application number: DE3887602T
Authority: DE
Inventors: Osamu Yamamoto; Saburo Yamamoto; Toshihiko Yoshida
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1987-09-04
Filing date: 1988-09-02
Publication date: 1994-08-25
Anticipated expiration: 2008-09-03
Also published as: US4945525A; EP0306342A2; EP0306342A3; DE3887602D1; EP0306342B1; US5119355A

Description

Die Erfindung betrifft generell eine Informationsverarbeitungsvorrichtung, bei der Laserlicht auf ein Aufzeichnungsmedium ausgesandt wird, z. B. eine mit optischen Platten betriebene Vorrichtung oder dgl.
Aufgrund beträchtlicher Veränderungen in der informationsorientierten Gesellschaft sind optische Plattenvorrichtungen, die zur Aufnahme und Wiedergabe großer Mengen von Information in der Lage sind, bis zur Stufe der praktischen Anwendung entwickelt worden. Zu derartigen optischen Plattenvorrichtungen gehören Vorrichtungen für Compact-Discs, Video-Discs, optische Platten zum zusätzlichen Einschreiben, neubeschreibbare optomagnetische Platten etc. Um den wichtigsten Teil der optischen Plattenvorrichtungen, d. h. den optischen Aufnahmeteil oder optischen Kopf, zu miniaturisieren und sein Gewicht zu verringern, sind mikrooptische Techniken verwendet worden, mittels derer ein schnellerer Zugriff erreicht sowie die Stabilität verbessert werden soll. Da jedoch bei herkömmlichen optischen Köpfen sperrige optische Elemente verwendet werden (Analysiereinrichtung, Strahlteiler, Prisma, Linse oder dgl.), waren die Möglichkeiten zur Reduzierung der Abmessungen begrenzt.
Es sind vielfältige Vorschläge zur Reduzierung der Abmessungen des optischen Kopfes gemacht worden. Einer dieser Vorschläge betrifft einen optischen Kopf für eine optomagnetische Platte, bei dem eine Ditterentialdetektionseinrichtung vom Wellenleitertyp verwendet wird (offenbart z. B. in Institute of Electronics, Information and Communication Engineers (IEICE) Magazine OQE 86-177, von Sunagawa et al.).
Der oben erläuterte optische Kopf ist in Fig. 1 schematisch gezeigt.
Die in Fig. 1 gezeigte Differentialdetektionseinrichtung vom Wellenleitertyp weist auf: ein Pyrex(Warenzeichen)-Glassubstrat 57, eine durch Sputtern auf dem Substrat 57 ausgebildete planare Wellenleiterschicht 58 aus #7059-Glas, eine Auflageschicht 59 aus Siliziumnitrid, die durch einen Plasma-CVD- Prozeß gebildet ist, und trifokale Fokussierungsgitterkoppler 60, 61 und 62, die darauf durch Verwendung eines Elektronenstrahldirektziehverfahrens und nachfolgendes Ätzen einer auf der Auflageschicht 59 angeordneten Resistschicht ausgebildet sind. Der Gitterzyklus ist derart konzipiert, daß der Fokussierungsgitterkoppler 60 am Zentrum den TM (transversalen magnetischen) - Modus der Lichtausbreitung in einem Wellenlenker auslöst, während die Fokussierungsgitterkoppler 61 und 62 an der gegenüberliegenden Seite den TE (transversalen elektrischen) Modus auslösen. Von einer Halbleiterlaserquelle 51 ausgegebenes Licht wird durch eine Kollimatorlinse 52 als parallele Strahlen ausgerichtet und den Fokussierungsgitterkopplern 60, 61 und 62 zugeführt. Der gebeugte nullter Ordnung Strahl wird durch die Fokussierungsgitterkoppler 60, 61 und 62 übertragen und durch eine Kondensorlinse 53 auf der optomagnetischen Platte D gebündelt. Das reflektierte Licht wird aufgrund des Kerr-Effektes in einer Polarisierungsrichtung an der optomagnetischen Platte D einer Drehung ausgesetzt. Dann wird das Licht in umgekehrter Richtung durch die Kondensorlinse 53 geleitet und von den Fokussierungsgitterkopplern 60, 61 und 62 in die Lichtstrahlen der TM- und TE-Betriebsarten umgesetzt. Diese werden dann zu der Wellenleiterschicht 58 geleitet und auf auf dem Glassubstrat 57 angeordneten Photodetektoren 63, 64, 65, 66 und 67 gebündelt. In dieser Weise werden durch Errechnen der Unterschiede der Ausgangssignale der Photodetektoren 63, 64, 65, 66 und 67 das Fokussierfehlersignal, das Nachführfehlersignal und das Wiedergabefehlersignal errechnet. Da die Differentialdetektionseinrichtung kleinformatig und leichtgewichtig ist, wobei ihre Abmessungen etwa 5·12 mm² betragen, kann ein sehr kleiner optischer Kopf gebildet werden, der den Halbleiterlaser 51 und die Linsen 52 und 53 enthält. Somit können die Fokussier- und Nachführfehler beseitigt werden, indem auf der Basis der erwähnten jeweiligen Signale der gesamte optische Kopf mittels eines (nicht gezeigten) Stellglieds bewegt wird.
Der optische Kopf, bei dem die in Fig. 1 gezeigte Differentialdetektionseinrichtung vom Wellenleitertyp verwendet wird, benutzt zur Detektion des Nachführfehlersignals ein Push-pull- Verfahren, bei dem die Abweichung des Punktes anhand der Intensität des ± - primären Beugungslichtes detektiert wird, welches von dem Pit Dp oder der Spur Dt auf der optomagnetischen Platte D erzeugt wird.
Folglich ergibt sich das Problem, daß sich bei einer Schräglage der optomagnetischen Platte D die optische Achse des gebeugten Lichtes verlagert und eine Gleichspannungs-Verschiebung in dem Nachführfehlersignal erzeugt. Dies führt zu betriebsmäßiger Instabilität. Zudem tritt bei Verwendung des gleichen Diffraktionslichtes ein ähnliches Problem hinsichtlich des Fokussierfehlersignals auf.
Ferner ist ein integrierter optischer Kopf vorgeschlagen worden, der im folgenden beschrieben wird (offenbart z. B. in dem Vortrag Nr. 2P-L-15 der Society of Applied Physics, Herbst 1985, von Ura et al.).
Gemäß Fig. 2 weist der integrierte optische Kopf auf: ein Siliziumsubstrat 31, eine Pufferschicht 32 aus SiO&sub2;, die durch einen Oxidationsprozeß des Kopfes auf der Oberfläche des Substrats 31 ausgebildet ist, eine in Flachplattenform ausgebildete optische Wellenleiterschicht 33 aus Glas, die durch Sputtern auf der Pufferschicht 32 ausgebildet ist, eine Auflageschicht aus Siliziumnitrid, die durch einen Plasma-CVD-Prozeß (chemical vapor deposition) gebildet ist, einen Fokussierungsgitterkoppler 34 und zwei Gruppen von Fokussierungsgitter- Strahlteilern 35 und 36, die nach Aufbringen des Resists auf die Auflageschicht mittels des Elektronenstrahldirektziehverfahrens und eine Ätztechnik gebildet sind.
Das von einer Halbleiterlaserquelle 41 ausgegebene Licht wird von der Seitenfläche in die als Flachplatte ausgebildete optische Wellenleiterschicht 33 auf dem Siliziumsubstrat 31 eingeführt und erreicht, während es sich unter Ausbreitung fortbewegt, die beiden Gruppen von Fokussierungsgitter-Strahlteilern 35 und 36. Der Lichtweg des durch die Strahlteiler 35 und 36 geleiteten Lichtes wird von dem Koppler 34 nach oben hin über das Siliziumsubstrat 31 abgelenkt und auf das Pit Dp auf die optische Platte D gebündelt. Das von der optischen Platte D reflektierte Licht tritt über den Fokussierungsgitterkoppler 34 in die als Flachplatte ausgebildete optische Wellenleiterschicht 33 ein und wird von den Strahlteilern 35 und 36 abgelenkt.
Das abgelenkte Licht wird auf Photodetektoren 37, 38, 39 und 40 fokussiert, die auf dem Siliziumsubstrat 31 angeordnet sind.
Die auf der Platte D aufgezeichnete Information wird anhand des Betrages des von dem Pit Dp reflektierten Lichtes gelesen. Anders ausgedrückt, kann die Information als die Summe S der Detektions-Ausgangswerte der Photodetektoren 37, 38, 39 und 40 detektiert werden. Zur Detektion des Fokussierfehlersignals wird das sogenannte Foucaultsche Verfahren verwendet, wobei die Detektion in der folgenden Weise durchgeführt wird. Wenn die optische Platte D vor dem Fokussierungspunkt liegt, wird aufgrund der Konfiguration des optischen Systems die von den äußeren Photodetektoren 37 und 39 empfangene Lichtmenge größer als diejenige, die von den inneren Photodetektoren 38 und 40 empfangen wird. Umgekehrt wird, wenn die optische Platte D hinter dem Fokussierungspunkt liegt, die von den inneren Photodetektoren 38 und 40 empfangene Lichtmenge größer als die von den äußeren Photodetektoren 37 und 39 empfangene Lichtmenge. Basierend auf dieser Tatsache werden die Summe der Ausgangssignale der Photodetektoren 37 und 39 und die Summe der Ausgangssignale der Photodetektoren 38 und 40 errechnet, und das Fokussierungssignal FE wird aus der Differenz zwischen diesen beiden Summen der Ausgangssignale abgeleitet. Zur Detektion des Nachführfehlersignals wird die sogenannte Pushpull-Technik verwendet, und die Lichtmengen, die von den Photodetektoren 37 und 38 und von den Photodetektoren 39 und 40 empfangen werden, werden durch die Abweichung der Nachführung verändert. Basierend auf diesem Sachverhalt werden die Summe der Ausgangssignale der Photodetektoren 39 und 40 und die Summe der Ausgangssignale der Photodetektoren 37 und 38 errechnet, und aus der Differenz zwischen diesen beiden Ausgangsignal-Summen wird das Nachführfehlersignal TE abgeleitet.
Da das Siliziumsubstrat 31 kleine Abmessungen und geringes Gewicht aufweist, wobei die Abmessungen 5·12 mm² betragen, kann ein sehr kompakter optischer Kopf konstruiert werden, der die Halbleiterlaserquelle 41 enthält. Somit können die Fokussier- und Nachführfunktionen durchgeführt werden, indem der gesamte optische Kopf basierend auf dem Fokussierungsfehlersignal und dem Nachführfehlersignal durch ein (nicht gezeigtes) Stellglied bewegt wird. Ferner ist gemäß dem Stand der Technik zur Reduzierung von Faktoren wie Abweichung und dgl. ein Verfahren vorgeschlagen worden, bei dem von dem Fokussierungsgitterkoppler 34 ausgegebenes Licht in paralleles Licht umgewandelt wird, damit es durch eine Kondensorlinse auf der Platte fokussiert werden kann.
Bei dem in Fig. 2 gezeigten herkömmlichen integrierten optischen Kopf wird jedoch als Verfahren zur Detektion des Nachführfehlersignals die Push-pull-Technik verwendet, um die Abweichung des Punktes basierend auf der Stärke des von dem Pit Dp auf der optischen Platte D erzeugten ± - Primärbeugungslichtes zu detektieren. Somit wird die optische Achse des gebeugten Lichtes bei Schräglage der optischen Platte D derart verschoben, daß eine DC-Abweichung in dem Nachführfehlersignal erzeugt wird, was zu instabilem Betrieb führt. Da bei dem Fokussierfehlersignal das gleiche Beugungslicht verwendet wird, tritt auch in dieser Hinsicht das gleiche Problem auf. Zudem ist wegen der Verwendung des Endseitenkopplungsverfahrens zum Einführen des von dem Halbleiterlaser ausgegebenen Lichtes in die optische Wellenleiterschicht 33 die Kopplungseffizienz gering, und es ergibt sich der Nachteil, daß die Effizienz des Halbleiterlaserlichts verringert wird, wobei nur 10 bis 20% des ausgegebenen Laserlichtes zu Wellenleiterlicht werden und der restliche Lichtstrahl verlorengeht.
In Patent Abstracts of Japan, Unexamined Applications, P. Field, Vol. 10, Nr. 160, 7. Juni 1986, Seite 28, P 465, Kokai Nr. 61-11 947 (Canon K.K.) ist ein optischer Kopf offenbart, der einen Lichtteiler in Form eines Brechungsgitters aufweist, das in zwei Rahmengitter zweigeteilt ist, die das von einer Informationsaufzeichnungsfläche reflektierte Licht in entgegengesetzten Richtungen zu verschiedenen Photodetektoren hin beugen.
In Patent Abstracts of Japan, Unexamined Applications, P. Field, Vol. 11, Nr. 72, 5. März 1987, Seite 36, P 554, Kokai Nr. 61-233 439 (Canon Inc.) ist eine optische Aufnahmeeinrichtung offenbart, die zwei übereinandergelegte optische Teiler aufweist, deren jeweilige Beugungsstruktur einen Teil des von dem Aufzeichnungsmedium reflektierten Lichtes abtrennt, um das Licht über den jeweiligen optischen Teiler zu einem gemeinsamen Sensor zu lenken.
Somit soll die Erfindung eine verbesserte Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information schaffen, die genannten Probleme reduziert.
Gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung wird eine Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information geschaffen, die aufweist: eine Einrichtung zum Aussenden von Laserlicht auf ein Aufzeichnungsmedium, ein Substrat, eine auf dem Substrat gebildeten Wellenleitereinrichtung, eine Kopplungseinrichtung zum Einführen von von dem Aufzeichnungsmedium reflektiertem Licht in die Wellenleitereinrichtung, und mehrere Photodetektoren, die derart angeordnet sind, daß sie die Wellenleitereinrichtung durchlaufendes Licht erkennen, um Detektionssignale zur Verwendung beim Bestimmen von Fokussier- und Nachführfehlern und beim Wiedergeben von auf dem Aufzeichnungsmedium aufgezeichneter Information zu erzeugen, und die dadurch gekennzeichnet ist, daß die Wellenleitereinrichtung erste und zweite optische Wellenleiter aufweist, und dadurch, daß die Kopplungseinrichtung Einrichtungen zum Splitten von von dem Aufzeichnungsmedium reflektiertem Licht in einem TE- und einem TM-Modus zur Übertragung in den jeweiligen ersten und zweiten optischen Wellenleiter aufweist, und daß die mehreren Photodetektoren in zwei Sets angeordnet sind, und zwar einem ersten Set, der derart angeordnet ist, daß er von einem der ersten und zweiten optischen Wellenleiter übertragenes Licht empfängt, und einem zweiten Set, der derart angeordnet ist, daß er von dem anderen der ersten und zweiten optischen Wellenleiter übertragenes Licht empfängt. Gemäß diesem Aspekt wird eine Verbesserung des Signal/Rausch-Verhältnisses erzielt.
Die ersten und die zweiten Sets von Photodetektoren können jeweils eine Gruppe von drei Photodetektoren zur Detektion von Fokussierfehlern aufweisen, wobei jede Gruppe von drei Photodetektoren erste und zweite Seiten-Photodetektoren und einen mittleren Detektor aufweist und eine Einrichtung für das Verarbeiten der Detektionssignale der Gruppen von drei Photodetektoren vorgesehen ist, um Fokussierfehler zu bestimmen, wobei die Verarbeitungseinrichtung aufweist: eine Einrichtung, die für jeden der ersten und zweiten Sets von Photodetektoren ein Intensitätssignal erzeugt, das der Differenz zwischen der Summe der von den Seiten-Photodetektoren erzeugten Detektionssignale und dem von dem mittleren Photodetektor erzeugten Detektionssignal entspricht, und eine Einrichtung zum Vergleichen der so erzeugten Intensitätssignale für jeden der-ersten und zweiten Sets von Photodetektoren.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird eine Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information geschaffen, die aufweist: eine Einrichtung zum Aussenden von Laserlicht auf ein Aufzeichnungsmedium, ein Substrat, eine auf dem Substrat gebildete Wellenleitereinrichtung, eine Kopplungs- und Fokussiereinrichtung zum Einführen von von dem Aufzeichnungsmedium reflektiertem Licht in die Wellenleitereinrichtung, und mehrere Photodetektoren zum Erkennen von die Wellenleitereinrichtung durchlaufendem Licht, und eine auf die von den Photodetektoren erzeugten Signale reagierende Einrichtung zur Verwendung beim Bestimmen von Fokussier- und Nachführfehlern und beim Wiedergeben von auf dem Aufzeichnungsmedium aufgezeichneter Information, und die dadurch gekennzeichnet ist, daß die mehreren Photodetektoren einen ersten Photodetektor, der derart angeordnet ist, daß er Licht hinter dem Fokussierungspunkt der Kopplungs- und Fokussiereinrichtung empfängt, und einen zweiten Photodetektor aufweisen, der derart angeordnet ist, daß er Licht vor dem Fokussierungspunkt der Kopplungs- und Fokussiereinrichtung empfängt. In dieser Weise wird die Fokussierfehlerdetektion verbessert.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird eine Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information geschaffen, die aufweist: eine Einrichtung zum Aussenden von Laserlicht auf ein Aufzeichnungsmedium, ein Substrat, einen auf dem Substrat gebildeten optischen Wellenleiter zum Leiten von von dein Aufzeichnungsmedium reflektiertem Licht, und mehrere Photodetektoren zum Erkennen von den optischen Wellenleiter durchlaufendem Licht zur Verwendung beim Bestimmen von Fokussier- und Nachführfehlern und beim Wiedergeben von auf dem Aufzeichnungsmedium aufgezeichneter Information, und die dadurch gekennzeichnet ist, daß die Einrichtung zum Ausgeben von Laserlicht auf ein Aufzeichnungsmedium eine Einrichtung zum Aussenden mehrerer Laserlichtpunkte auf das Aufzeichnungsmedium aufweist, und daß der optische Wellenleiter das reflektierte Licht von jedem Laserpunkt zu einem jeweiligen der mehreren Photodetektoren überträgt. In dieser Weise wird die Nachführfehlerdetektion verbessert.
Im folgenden werden als Beispiel bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung im Zusammenhang mit den Zeichnungen beschrieben.
Fig. 1 und 2 zeigen schematische perspektivische Ansichten von (bereits erläuterten) Anordnungen herkömmlicher Vorrichtungen zur Verarbeitung optischer Information;
Fig. 3 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht des generellen Aufbaus einer Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 4A, 4B und 4C zeigen Schaubilder zur Erläuterung von Lichtpunkten auf einer in der Vorrichtung gemäß Fig. 3 verwendeten optomagnetischen Platte;
Fig. 5A und 5B zeigen Schaubilder des Zustandes des Auftreffens von Reflektionslichtes auf die dreigeteilten Photodetektoren in der Anordnung von Fig. 3;
Fig. 6 zeigt eine graphische Darstellung zur Erläuterung des Differentialausgangssignals der Photodetektoren in der in der Anordnung von Fig. 3;
Fig. 7A zeigt eine Fig. 3 gleichende Ansicht einer Modifikation der Anordnung von Fig. 3;
Fig. 7B zeigt eine vergrößerte Draufsicht der Anordnung der Photodetektoren auf einem Glassubstrat bei der Modifikation gemäß Fig. 7A;
Fig. 8 zeigt eine Fig. 3 gleichende Ansicht einer weiteren Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 9 zeigt ein elektrisches Blockschaltbild einer bei der Anordnung gemäß Fig. 8 verwendeten Signaldetektionsschaltung,
Fig. 10A, 10B und 10C zeigen Schaubilder zur Erläuterung der Anordnung von Lichtpunkten auf einer optischen Platte;
Fig. 11A und 11B zeigen Schaubilder des Zustandes des Auftreffens von Reflektionslichtes auf die dreigeteilten Photodetektoren in der Anordnung von Fig. 8, und
Fig. 12 zeigt eine graphische Darstellung zur Erläuterung des Differentialausgangssignals der Photodetektoren in der Anordnung von Fig. 8.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG

Vor der Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen ist an zumerken, daß in sämtlichen Figuren gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet sind.
Fig. 3 zeigt eine Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung, die aufweist: ein transparentes Substrat 101 aus-einem 1 mm dicken Glasmaterial, z. B. Pyrex (Warenzeichen), optische Wellenleiterschichten 102 und 103 aus #7059-Glas, die jeweils eine Dicke von 0,76 um aufweisen und durch einen Sputter-Vorgang auf den Ober- und Unterflächen des Glassubstrats 101 ausgebildet sind, und Siliziumnitrid-Auflageschichten 105 und 106, die jeweils 0,04 um dick sind und durch einen Plasma-CVD- Prozeß auf den optischen Wellenleiterschichten 102 und 103 ausgebildet sind. Nach der Ausbildung der Auflageschichten 105 und 106 wird auf dem Glassubstrat 101 ein Fokussierungsgitterkoppler 107 zum Aktivieren des TE-Modus gebildet, während auf der unteren Fläche des Glassubtstrats 101 ein weiterer Fokussierungsgitterkoppler 108 zum Aktivieren des TM-Modus gebildet wird. Das Positionieren der oberen und unteren Seiten des Substrats 101 kann durch Verwendung eines (nicht genauer gezeigten) Duplex-Masken-Justierers mit hoher Präzision durchgeführt werden.
Die oben erwähnten Fokussierungsgitterkoppler 107 und 108 werden mittels einer Photomaske hergestellt, bei der ein durch den Elektronenstrahldirektziehprozeß gebildetes Gittermuster übertragen wird, und sind ferner derart angeordnet, daß unter Ausnutzung der Tatsache, daß die effektiven Berechungsindizes der optischen Wellenleiter zwischen dem TE-Modus und dem TM- Modus unterschiedlich sind, die jeweiligen Modi selektiv gelenkt werden, indem die Gitterzyklen relativ zueinander geringfügig variiert werden.
Dreistrahliges Licht mit einem Punkt-Intervall von 100 um, das von einem unterhalb des Substrates 101 angeordneten Halbleiterlaser 110 ausgegeben wird, wird durch eine über dem Halbleiterlaser vorgesehene Kollimatorlinse 111 derart in paralleles Licht umgesetzt, daß es auf den Fokussierungsgitterkoppler 108 auftrifft. Das durch den Fokussierungsgitterkoppler 108 übertragene Beugungslicht nullter Ordnung gelangt daraufhin durch den Fokussierungsgitterkoppler 107 und wird anschließend durch eine Kondensorlinse 112 in dem in Fig. 4A gezeigten Zustand auf der optomagnetische Platte 114 gesammelt; in Fig. 4A bezeichnen 141 den Haupt-Punkt, 142 und 143 Unter-Punkte, und 116 eine Aufzeichnungsspur.
Das Reflektionslicht des Haupt-Punktes 141, der durch den Kerr-Effekt auf der optomagnetischen Platte 114 einer Drehung in der Polarisierungsrichtung ausgesetzt ist, durchläuft die Kondensorlinse 112 in umgekehrter Richtung, und mittels der Fokussierungsgitterkoppler 107 und 108 wird der TE-Modus das Wellenleiterlicht der Wellenleiterschicht 102, wobei der TM- Modus dasjenige der Wellenleiterschicht 103 wird. Die Lichtintensität des reflektierten Lichtes wird durch zwei Sets von dreigeteilten Photodetektoren 120 und 121 aus amorphem Silizium detektiert, die an einander gegenüberliegenden Flächen des Glassubstrats 101 ausgebildet sind. Abbildungsgemäß ist der dreigeteilte Photodetektor 120 in einer Position angeordnet, die sich hinter dem Fokussierungspunkt des Fokussierungsgitterkopplers 107 befindet, wobei der Photodetektor 121 in einer Position angeordnet ist, die sich vor dem Fokussierungspunkt des Fokussierungsgitterkopplers 108 befindet. Das reflektierte Licht trifft die dreigeteilen Photodetektoren 120 und 121 in dem in Fig. 5A bzw. 5B gezeigten Zustand auf, wobei die Linien b den Fall zeigen, in dem der Fokussierungspunkt des Lichtpunktes auf der optischen Platte 114 angeordnet ist, die Linien a den Fall zeigen, in dem der Fokussierungspunkt des Lichtpunktes vor der optischen Platte 114 angeordnet ist, und die Linien c den Fall zeigen, in dem der Fokussierungspunkt des Lichtpunktes im Inneren der optischen Platte 114 angeordnet ist. Die Differenzen zwischen den Ausgangssignalen jedes der zentralen Detektoren 127 und 132 und die jeweiligen Summen der Ausgangssignale der Detektoren 126 und 128 sowie 131 und 133 an den gegenüberliegenden Seiten der jeweiligen zentralen Detektoren der dreigeteilten Photodetektoren 120 und 121 werden gemäß Fig. 3 als x und y errechnet und bilden Kurven, die in Fig. 6 in Bezug zu dem Fokussierungspunkt des Lichtpunktes gezeigt sind. Da das Fokussierfehlersignal z, bei dem es sich um die Differentialausgangsssignale von x und y handelt, eine S-förmige Kurve ergibt, kann die Position des Fokussierungspunktes detektiert werden.
Das Reflektionslicht von den beiden Unter-Punkten 142 und 143 trifft auf die Photodetektoren 124 und 125 für den TE-Modus und ferner auf die Photodetektoren 129 und 130 für den TM- Modus auf, und zwar mittels der Fokussierungsgitterkoppler 107 bzw. 108. Die auf der optomagnetischen Platte 114 ausgebildete Aufzeichnungsspur 116 unterscheidet sich in der Dicke um 1/8 Wellenlänge von dem Substrat 115. Somit weisen in dem Fall, in dem der Haupt-Punkt 141 gemäß Fig. 4A in der Mitte der Aufzeichnungsspur 116 angeordnet ist, die reflektierten Lichtstrahlen der Unter-Punkte 142 und 143 die gleiche Intensität auf; wenn jedoch der Haupt-Punkt 141 gemäß Fig. 4B von der Mitte der Aufzeichnungsspur 116 abweicht, werden die Unter- Punkte 142 und 143 relativ zur Mitte der Aufzeichnungsspur 116 asymmetrisch gemacht, so daß eine Differenz in der Intensität des reflektierten Lichtes erzeugt wird. Somit kann das Nachführfehlersignal anhand der Differenz zwischen der Summe der Ausgangssignale der Photodetektoren 124 und 129 und der Summe der Ausgangssignale der Photodetektoren 125 und 130 detektiert werden. Die Aufzeichnungsspur 116 kann als Linie oder Pit vorliegen.
Bei dieser Ausführungsform ist vorgesehen, daß der TE-Modus und der TM-Modus des von der optomagnetischen Platte 114 reflektierten Lichtes jeweils derart von den Fokussiergitterkopplern 107 und 108 aktiviert wird, daß das Licht in die optischen Wellenleiter 102 und 103 eingeführt wird, und der TE-Modus und der TM-Modus werden jeweils von dem Set der dreigeteilten Photodetektoren 120 und der Photodetektoren 124 und 125 und dem Set der dreigeteilten Photodetektoren 121 und der Photodetektoren 129 und 130 detektiert, um auf diese Weise den Unterschied zwischen diesen zu ermitteln, wodurch jede Versetzung, die in bezug auf die Schräglage der optomagnetischen Platte 114 erzeugt wird, vermieden wird. Somit können stabile Fokussier- und Nachführfunktionen zum Beschreiben, zur Aufzeichnung und zur Wiedergabe der optischen Platte mit hoher mit hoher Präzision durchgeführt werden.
Obwohl bei dieser Ausführungsform die Fokussierungsbstände der der Fokussierungsgitterkoppler 107 und 108 einander gleich gemacht werden können und der dreidimensionale Photodetektor 120 hinter dem Fokussierungspunkt angeordnet ist, wobei der dreigeteilte Photodetektor 121 vor dem Fokussierungspunkt angeordnet ist, kann die Vorrichtung z. B. derart modifiziert werden, daß gemäß Fig. 7A, wenn die Fokussierungsabstände der Fokussierungsgitterkoppler 107 und 108 voneinander unterschiedlich gemacht werden, ein Si-Substrat 180, auf dem gemäß Fig. 7B zwei Sätze von dreigeteilten Photodetektoren 120' und 121' ,und Photodetektoren 124' und 125' sowie 129' und 130' ausgebildet sind, in der Nähe der Stirnfläche des Glassubstrats 101 angeordnet werden kann. Die dreigeteilten Photodetektoren 120' und 121' und die Photodetektoren 124', 125', 129' und 130' sind durch ein PIN-Dioden-Array gebildet, und ihr Funktionsprinzip ist das gleiche wie dasjenige bei der vorher beschriebenen Ausführungsform. Ferner kann die Vorrichtung derart modifiziert werden, daß das Si-Substrat 180 von der Stirnfläche des Glassubstrats 101 beabstandet ist und jeder von dem Glassubstrat 101 reflektierte Lichtstrahl durch eine Linseneinrichtung auf das PIN-Dioden-Array auftreffen kann.
Die bei der oben beschriebenen Ausführungsform verwendete optomagnetische Einrichtung kann durch andere Platteneinrichtungen ersetzt werden, die nicht den Kerr-Effekt benutzen, z. B. optische Platteneinrichtungen für Compact-Discs, Video- Discs oder Platten zum zusätzlichen Einschreiben etc.
Obwohl bei der obigen Ausführungsform ein Dreistrahl-Halbleiterlaser verwendet wird, kann die Vorrichtung derart modifiziert werden, daß das von einem einzigen Halbleiterlaser ausgegebene Licht in Beugungslicht nullter Ordnung und ± erster Ordnung geteilt wird, um seinen Zweck zu erfüllen.
Obwohl bei der Ausführungsform die Fokussierungsgitterkoppler 107 und 108 derart ausgebildet sind, daß sie den TE-Modus und den TM-Modus selektiv lenken, indem sie die Gitterzyklen geringfügig zueinander hin verändern, kann die Vorrichtung auch derart modifiziert werden, daß der jeweils der gleiche Gitterzyklus für den TE-Modus und den TM-Modus verwendet werden kann, indem die Schichtdicke der optischen Wellenleiterschichten 102 und 103 geringfügig verändert wird.
Der im Zusammenhang mit der Ausführungsform beschriebene Fokussierungsgitterkoppler kann durch einen Gitterkoppler und eine Wellenleiterlinseneinrichtung ersetzt werden.
Bei jeder der oben beschriebenen Ausführungsformen kann zur Vereinfachung der Konstruktion eines der Photodetektoren-Paare 124/125 oder 129/130 (Fig. 3), 124'/125' oder 129'/130' (Fig. 7) weggelassen werden.
Wie aus der vorstehenden Beschreibung ersichtlich ist, ist die Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung derart ausgebildet, daß von dem Informationseinschreibmedium reflektiertes Licht mittels der Lichteingabeeinrichtung in die auf gegenüberliegenden Seiten des transparenten Substrates angeordneten ersten und zweiten optischen Wellenleiter eingeführt wird, um dadurch das Wiedergabesignal, das Nachführfehlersignal und das Fokussierungsfehlersignal basierend auf dem in die optischen Wellenleiter eingeführten reflektierten Licht mittels Detektionseinrichtungen zu detektieren und somit eine stabile Fokussier- und Nachführfunktion auch dann durchgeführt werden kann, wenn das Informationseinschreibmedium schrägliegt, wobei der optische Kopf kompakte Abmessungen bei gleichzeitiger hoher Leistungsfähigkeit aufweisen kann.
Da die Detektionseinrichtung einen Set von dreigeteilten Photodetektoren, der vor dem Fokussierungspunkt des in den ersten optischen Wellenleiter eingeleiteten reflektierten Lichtes angeordnet ist, und einen weiteren Set von dreigeteilten Photodetektoren aufweist, der hinter dem Fokussierungspunkt des in den zweiten optischen Wellenleiter eingeleiteten reflektierten Lichtes angeordnet ist, aufweist und dadurch die Differenz der Lichtempfangs-Ausgangssignale zwischen dem zentralen Bereich und den einander gegenüberliegenden Seitenbereichen für jeden der beiden Sets von Photodetektoren errechnet werden kann, um durch Vergleich der beiden Differenzen das Fokussierfehlersignal zu erhalten, kann die Fokussierfunktion noch stabiler durchgeführt werden.
Fig. 8 zeigt eine Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung. In Fig. 8 enthält die Verarbeitungseinrichtung ein transparentes Substrat 201 aus 1 mm dickem Pyrex-Glas, eine als Planarplatte ausgebildete optische Wellenleiterschicht 202 aus #7059-Glas, die eine Dicke von 0,76 pm aufweist und durch einen Sputter-Vorgang auf dem Glassubstrat 201 ausgebildet ist, und eine Siliziumnitrid-Auflageschicht, die durch einen Plasma-CVD-Prozeß auf der optischen Wellenleiterschicht 202 ausgebildet ist. Nach Aufbringung einer Resist-Schicht auf das Substrat werden mittels eines Elektronenstrahldirektziehverfahrens und einer Ätztechnik ein Fokussiergitterkoppler 203 und ein Gitterstrahlteiler 205 ausgebildet. Ferner werden auf dem Glassubstrat 201 zwei Sets von dreigeteilten Photodetektoren 206 und 207 und Photodetektoren 208 und 209 durch Aufdampfen aufgetragen.
Dreistrahliges Licht mit einem Punkt-Intervall von 100 um, das von einem unterhalb des Substrates 201 angeordneten Halbleiterlaser 211 ausgegeben wird, wird durch eine über dem Halbleiterlaser vorgesehene Kollimatorlinse 212 derart in paralleles Licht umgesetzt, daß es auf den Fokussierungsgitterkoppler 203 auftrifft. Das durch den Fokussierungsgitterkoppler 203 übertragene Beugungslicht nullter Ordnung bildet anschließend mittels einer Kondensorlinse 213 gemäß Fig. 10A, 10B und 10C einen Haupt-Punkt 221 und Unter-Punkte 222 und 223 auf der optischen Platte 214.
Die von diesen jeweiligen Punkten reflektierten Lichtstrahlen durchlaufen die Kondensorlinse 213 in umgekehrter Richtung, so daß sie durch den Fokussiergitterkoppler 203 zu dem Leiter- Licht der optischen Wellenleiterschicht 202 werden, und gelangen als Fokussierlicht zu den Photodetektoren 208, 209 und 262. Das von dem Haupt-Punkt 221 reflektierte Licht, d. h. der zu dem Photodetektor 262 gelangende Lichtstrahl, trifft auf die dreigeteilten Photodetektoren 261, 262 und 263 auf, die vor dem Fokussierungspunkt angeordnet sind. Die Hälfte des Lichtstrahls, dessen optischer Weg durch den Gitterstrahlteiler 205 in dem Lichtweg des zu dem Photodetektor 262 gerichteten Strahls geändert wurde, trifft auf die dreigeteilten Photodetektoren 271 und 273 auf, die hinter dem Fokussierungspunkt des Lichtes angeordnet sind.
In dem Fall, in dem die optische Platte 214 an dem Fokussierungspunkt des Haupt-Punktes 221 angeordnet ist, treffen die von der optischen Platte 214 reflektierten Lichtstrahlen auf die dreigeteilten Photodetektoren 261, 262 und 263 sowie 271, 272 und 273, wie Linie b in Fig. 11A und 11B zeigt. Wenn die optische Platte 214 hinter dem Fokussierungspunkt des Haupt- Punktes 221 angeordnet ist, treffen die reflektierten Lichtstrahlen gemäß den Linien a in Fig. 11A und 11B auf, und wenn die optische Platte 214 vor dem Fokussierungspunkt des Haupt- Punktes 221 angeordnet ist, treffen die reflektierten Lichtstrahlen gemäß den Linien c in Fig. 11A und 11B auf. Somit sind die Differenz-Ausgangssignale zwischen den zentralen Bereichen 262 und 272 und den gegenüberliegenden Seitenbereichen 261, 263 und 271 und 273 der dreigeteilten Photodetektoren 206 und 207, die in dem in Fig. 9 gezeigten Blockschaltbild der Signaldetektionsschaltung durch x und y gezeigt sind, in Fig. 12 jeweils durch Kurven relativ zu der Plattenposition veranschaulicht. Das Fokussierfehlersignal FE, bei dem es sich um das Differential-Ausgangssignal von x und y handelt, ist durch die in Fig. 12 mit z bezeichnete S-förmige Kurve repräsentiert, so daß die Position des Fokussierungspunktes detektiert werden kann.
Das Nachführfehlersignal wird in der folgenden Weise detektiert.
Das auf der Platte 215 ausgebildete Pit 215 (Fig. 8) unterscheidet sich in seiner Dicke um λ/4 (wobei λ die Wellenlänge ist) von dem Substrat 216. Somit weisen in dem Fall, daß der Haupt-Punkt 221 gemäß Fig. 10A in der Mitte der Spur angeordnet ist, die von den beiden Unter-Punkten 222 und 223 reflektierten Lichtstrahlen die gleiche Intensität auf, während, wen der Haupt-Punkt 221 gemäß Fig. 10B und 10C von der Mitte der Spur abweicht, die beiden Unter-Punkte 222 und 223 in bezug zur Spurmitte bei unterschiedlicher Dichte des Reflektionslichtes asymmetrisch werden. Folglich kann anhand der Differenz zwischen den Ausgangssignalen der in Fig. 9 gezeigten Phototetektoren 208 und 209 das Nachführfehlersignal TE detektiert werden.
Gemäß Fig. 9 wird das Aufzeichnungssignal S durch Empfang des reflektierten Lichtes von dem Haupt-Punkt 221 gewählt.
Wie beschrieben, wird durch die Tatsache, daß das von dem Halbleiterlaser 211 auftreffende Licht ohne Einführung in die optische Wellenleiterschicht 202 auf die optische Platte 214 projiziert wird, die Effizienz der Verwendung des Halbleiterlaserlichtes verbessert.
Da ferner das von der optischen Platte 214 reflektierte Licht durch den Gitterkoppler 203 in die optische Wellenleiterschicht 202 eingeführt wird und die Differenz zwischen den Lichtempfangs-Ausgangssignalen, die von dem mittleren Bereich und den gegenüberliegende Seitenbereichen des in seinem Lichtweg durch den Gitterstrahlteiler im Reflektionslichtweg geänderten Lichtstrahls abgeleitet werden, sowohl für den vor dem Fokussierungspunkt des Reflektionslichtes angeordneten dreigeteilten Photodetektor 206 als auch für den hinter dem Fokussierungspunkt angeordneten dreigeteilten Photodetektor 207 berechnet wird, um dadurch den Fokussierfehler durch Vergleichen der beiden Differenzwerte zu ermitteln, besteht keine Möglichkeit, im Zusammenhang mit der Schräglage der optischen Platte 214 eine Versetzung zu verursachen, und somit kann eine stabile Fokussierfunktion erreicht werden.
Da zudem der Haupt-Punkt 221 und die Unter-Punkte 222 und 223 auf der optischen Platte 214 ausgebildet sind und die von dieser reflektierten Lichtstrahlen in die optische Wellenleiterschicht 202 eingeführt werden, um anschließend von den Photodetektoren 208 und 209 empfangen zu werden und von diesen zwecks Detektion des Nachführfehlersignals bestimmt zu werden, wird hinsichtlich der Schräglage der optischen Platte 214 keine Versetzung verursacht. Somit kann auch eine stabile Nachführfunktion durchgeführt werden.
Obwohl bei der vorstehend beschriebenen Ausführungsform ein Dreistrahl-Halbleiterlaser verwendet wird, kann dieser durch einen Einstrahl-Halbleiterlaser ersetzt werden, bei dem der ausgegebene Lichtstrahl durch ein Beugungsgitter in Beugungslicht nullter Ordnung und ± erster Ordnung geteilt wird.
Gemäß der obigen Beschreibung weist die Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information nach der zweiten Ausführungsform der Erfindung auf: einen auf dem Substrat ausgebildeten optischen Wellenleiter, eine Lichteinführungseinrichtung zum Einführen von von dem Aufzeichnungsmedium reflektiertem Licht in den optischen Wellenleiter zur Bildung zweier gebündelter Lichtstrahlen, einen Set von dreigeteilten Photodetektoren, die vor dem Fokussierungspunkt des in den optischen Wellenleiter eingeführten reflektieren Lichtes angeordnet sind, und einen weiteren Set von dreigeteilten Photodetektoren, die hinter dem Fokussierungspunkt des in den optischen Wellenleiter eingeführten reflektieren Lichtes angeordnet sind, wobei in jedem der beiden Sets von dreigeteilten Photodetektoren die Differenz zwischen dem Lichtempfangs-Ausgangssignal an seinem mittleren Bereich und der Summe der Lichtempfangs-Ausgangssignale an seinen gegenüberliegenden Seiten errechnet wird und ein Fokussierfehlersignal abgeleitet wird, indem die von den beiden Sets von dreigeteilten Photodetektoren erhaltenen Differenzwerte verglichen werden, und in dieser Weise kann eine stabile Fokussierfunktion durchgeführt werden, ohne daß ein unerwünschtes Versetzungsphänomen erzeugt wird.
Die Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information nach der Modifikation gemäß der zweiten Ausführungsform weist auf: einen auf dem Substrat ausgebildeten optischen Wellenleiter, eine Einrichtung zum Ausgeben mehrerer Laserlichtpunkte auf das Aufzeichnungsmedium, um das reflektierte Licht in den optischen Wellenleiter einzuführen, und einen Set von Photodetektoren, um das in den optischen Wellenleiter eingeführte reflektierte Licht jedes reflektierte Lichtes für jeden Punkt der mehreren Laserlichtpunkte entsprechend dessen Lichtintensität einer photoelektrischen Umsetzung zu unterziehen, wobei die Detektion des Nachführfehlersignals durch Vergleich der Lichtempfangs-Ausgangssignale der Photodetektoren durchgeführt wird und somit auch eine stabile Nachführfunktion durchgeführt werden kann, ohne daß ein Versetzungsphänomen verursacht wird.
Obwohl Beispiele der Erfindung im Zusammenhang mit den Figuren detailliert beschrieben worden sind, umfaßt die Erfindung vielfältige Änderungen und Modifikationen, wie dem Fachmann ersichtlich ist.

Claims

1. Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information, mit einer Einrichtung (110) zum Aussenden von Laserlicht auf ein Aufzeichnungsmedium, einem Substrat (101), einer auf dem Substrat gebildeten Wellenleitereinrichtung (102, 103), einer Kopplungseinrichtung (107, 108) zum Einführen von von dem Aufzeichnungsmedium reflektiertem Licht in die Wellenleitereinrichtung, und mehreren Photodetektoren (120, 124, 125, 121, 129, 130; 120', 124', 125', 121', 129', 130'), die derart angeordnet sind, daß sie die Wellenleitereinrichtung (102, 103) durchlaufendes Licht erkennen, um Detektionssignale zur Verwendung beim Bestimmen von Fokussier- und Nachführfehlern und beim Wiedergeben von auf dem Aufzeichnungsmedium aufgezeichneter Information zu erzeugen, dadurch gekennzeichnet daß die Wellenleitereinrichtung erste und zweite optische Wellenleiter (102, 103) aufweist, und dadurch, daß die Kopplungseinrichtung Einrichtungen (107, 108) zum Splitten von von dem Aufzeichnungsmedium reflektiertem Licht in einem TE- (transversen elektrischen) und einem TM- (transversen magnetischen) Modus zur Übertragung in den jeweiligen ersten und zweiten optischen Wellenleiter aufweist, und daß die mehreren Photodetektoren in zwei Sets angeordnet sind, und zwar einem ersten Set (120, 124, 125;120', 124', 125'), der derart angeordnet ist, daß er von einem (102) der ersten und zweiten optischen Wellenleiter übertragenes Licht empfängt, und einem zweiten Set (121, 129, 130;121', 129', 130'), der derart angeordnet ist, daß er von dem anderen (103) der ersten und zweiten optischen Wellenleiter übertragenes Licht empfängt.

2. Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information nach Anspruch 1, bei der die ersten und die zweiten Sets von Photodetektoren jeweils eine Gruppe von drei Photodetektoren (126, 127, 128, 131, 132, 133;126', 127', 128', 131', 132', 133') zur Detektion von Fokussierfehlern aufweisen.

3. Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information nach Anspruch 2, bei der jede Gruppe von drei Photodetektoren erste und zweite Seiten-Photodetektoren (126/128, 131/133; 126'/128', 131'/133') und einen mittleren Photodetektor (127, 132;127', 132') aufweist, und bei der eine Einrichtung für das Verarbeiten der Detektionssignale der Gruppen von drei Photodetektoren vorgesehen ist, um Fokussierfehler zu bestimmen, wobei die Verarbeitungseinrichtung aufweist: eine Einrichtung, die für jeden der ersten und zweiten Sets von Photodetektoren ein Intensitätssignal erzeugt, das der Differenz zwischen der Summe der von den Seiten- Photodetektoren erzeugten Detektionssignale und dem von dem mittleren Photodetektor erzeugten Detektionssignal entspricht, und eine Einrichtung zum Vergleichen der so erzeugten Intensitätssignale für jeden der ersten und zweiten Sets von Photodetektoren.

4. Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information, mit einer Einrichtung (110; 211) zum Aussenden von Laserlicht auf ein Aufzeichnungsmedium, einem Substrat (101; 201), einer auf dem Substrat gebildeten Wellenleitereinrichtung (102, 103; 202), einer Kopplungs- und Fokussiereinrichtung (107, 108; 203) zum Einführen von von dem Aufzeichnungsmedium reflektiertem Licht in die Wellenleitereinrichtung, und mehreren Photodetektoren (120, 124, 125, 121, 129, 130; 120', 124', 125', 121', 129', 130'; 206, 208, 209, 207) zum Erkennen von die Wellenleitereinrichtung (102, 103; 202) durchlaufendem Licht, und einer auf die von den Photodetektoren erzeugten Signale reagierenden Einrichtung zur Verwendung beim Bestimmen von Fokussier- und Nachführfehlern und beim Wiedergeben von auf dem Aufzeichnungsmedium aufgezeichneter Information, dadurch gekennzeichnet, daß die mehreren Photodetektoren einen ersten Photodetektor (120; 120'; 207), der derart angeordnet ist, daß er Licht hinter dem Fokussierpunkt der Kopplungs- und Fokussiereinrichtung empfängt, und einen zweiten Photodetektor (121; 121'; 206) aufweisen, der derart angeordnet ist, daß er Licht vor dem Fokussierpunkt der Kopplungs- und Fokussiereinrichtung empfängt.

5. Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information nach Anspruch 4, bei der jeder der ersten und zweiten Photodetektoren erste und zweite Seiten-Photodetektoren (126/ 128, 131/133; 126'/128', 131'/133'; 261/263; 271/273) und einen mittleren Photodetektor (127, 132; 127', 132'; 262, 272) aufweist, und bei der die Einrichtung zum Bestimmen von Fokussierfehlern eine Einrichtung aufweist, die für jeden der ersten und zweiten Photodetektoren ein Intensitätssignal erzeugt, das der Differenz zwischen der Summe der von den Seitendetektoren erzeugten Signale und dem von dem mittleren Photodetektor erzeugten Signal entspricht, und eine Einrichtung zum Vergleichen der so erzeugten Intensitätssignale für jeden der ersten und zweiten Photodetektoren.

6. Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information nach Anspruch 4 oder Anspruch 5, bei der die Wellenleitereinrichtung ein optischer Wellenleiter ist und bei der die Kopplungs- und Fokussiereinrichtung einen Fokussierungs- Gitterkoppler (203) und einen Gitter-Strahlteiler (205) zum Aussenden erster und zweiter Strahlen auf den jeweiligen (206, 207) der ersten und zweiten Photodetektoren aufweist.

7. Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information nach Anspruch 4, bei der die Wellenleitereinrichtung erste und zweite optische Wellenleiter (102, 103) aufweist und bei der die Kopplungs- und Fokussiereinrichtung erste und zweite Fokussierungs-Gitterkoppler (107, 108) zum Aussenden erster und zweiter Strahlen zu den jeweiligen ersten und zweiten Photodetektoren (206, 207) entlang des jeweiligen ersten und zweiten Wellenleiters aufweist.

8. Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information nach Anspruch 7, bei der die Brennweiten der ersten und zweiten Gitterkoppler (107, 108) im wesentlichen gleich sind.

9. Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information nach Anspruch 7, bei der die Brennweiten der ersten und zweiten Gitterkoppler (107, 108) unterschiedlich sind.

10. Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information, mit einer Einrichtung (110; 211) zum Aussenden von Laserlicht auf ein Aufzeichnungsmedium, einem Substrat (101; 201), einem auf dem Substrat gebildeten optischen Wellenleiter (102, 103; 202) zum Leiten von von dem Aufzeichnungsmedium reflektiertem Licht, und mehreren Photodetektoren (120, 124, 125, 121, 129, 130; 120', 124', 125', 121', 129', 130'; 206, 208, 209, 207) zum Erkennen von den optischen Wellenleiter (102, 103; 202) durchlaufendem Licht zur Verwendung beim Bestimmen von Fokussier- und Nachführfehlern und beim Wiedergeben von auf dem Aufzeichnungsmedium aufgezeichneter Information, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (110; 211) zum Ausgeben von Laserlicht auf ein Aufzeichnungsmedium eine Einrichtung (110; 211) zum Aussenden mehrerer Laserlichtpunkte auf das Aufzeichnungsmedium aufweist, und daß der optische Wellenleiter (102, 103; 202) das reflektierte Licht von jedem Laserpunkt (141, 142, 143; 221, 222, 223) zu einem jeweiligen der mehreren Photodetektoren (120, 124, 125, 121, 129, 130; 120', 124', 125', 121', 129', 130'; 206, 208, 209, 207) überträgt.

11. Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information nach Anspruch 10, bei der die Einrichtung zum Aussenden mehrerer Laserlichtpunkte auf das Aufzeichnungsmedium ein Dreistrahl-Halbleiterlaser ist.

12. Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information nach Anspruch 10, bei der die Einrichtung zum Aussenden mehrerer Laserlichtpunkte auf das Aufzeichnungsmedium einen Einstrahl-Halbleiterlaser und eine Einrichtung zum Brechen des Laserlichtes in einen Strahl nullter Ordnung und einen +/-- Strahl erster Ordnung aufweist.

13. Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information nach einem der Ansprüche 4 bis 12, bei der die Einrichtung zum Wiedergeben auf dem Aufzeichnungsmedium aufgezeichneter Signale eine Einrichtung aufweist, die auf Polarisationseffekte in dem reflektierten Licht reagiert.

14. Vorrichtung zur Verarbeitung optischer Information nach einem der Ansprüche 4 bis 12, bei der die Einrichtung zum Wiedergeben auf dem Aufzeichnungsmedium aufgezeichneter Signale eine Einrichtung aufweist, die auf die von dem Aufzeichnungsmedium reflektierte Lichtmenge reagiert.