DE3860648D1 - Verfahren zur behandlung von gasen, die bei der fabrikation von elektronik-bauteilen freikommen, und verbrennungsvorrichtung fuer die durchfuehrung des verfahrens. - Google Patents

Verfahren zur behandlung von gasen, die bei der fabrikation von elektronik-bauteilen freikommen, und verbrennungsvorrichtung fuer die durchfuehrung des verfahrens.

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DE3860648D1 DE8888401499T DE3860648T DE3860648D1 DE 3860648 D1 DE3860648 D1 DE 3860648D1 DE 8888401499 T DE8888401499 T DE 8888401499T DE 3860648 T DE3860648 T DE 3860648T DE 3860648 D1 DE3860648 D1 DE 3860648D1
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Ikuo Hirase
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Air Liquide SA
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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