DE3338888A1 - Verfahren zum herstellen von pyrogenem siliziumdioxid - Google Patents

Verfahren zum herstellen von pyrogenem siliziumdioxid

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    • C01B33/181Preparation of finely divided silica neither in sol nor in gel form; After-treatment thereof by a dry process
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Description

  • Verfahren zum Herstellen von pyrogenem Siliziumdioxid
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verwenden eines Sintermetallfilters und mehr im besonderen ein Verfahren zum Herstellen von pyrogenem Siliziumdioxid, bei dem man einen Sintermetallfilter benutzt.
  • Verfahren zum Herstellen pyrogenen Siliziumdioxids sind bekannt. So werden Alkoxysilane verbrannt, um pyrogenes Siliziumdioxid herzustellen. Die gebildeten Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids und die entstandenen Verbrennungsgase werden durch einen Wärmeaustauscher geschickt. Danach läßt man die Verbrennungsgase durch einen Agglomerator strömen. Dieser Agglomerator besteht aus einer langen Reihe von Rohren mit scharfen Biegungen. Der Agglomerator dient der Vergrößerung der Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids, so daß sie durch den Filterbeutel abgetrennt werden können.
  • Danach schickt man die Verbrennungsgase und die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids durch eine Reihe von Cyclonen,um die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids abzutrennen und schließlich werden die Verbrennungsgase und die verbliebenen Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids durch einen Filterbeutel geschickt, um die verbliebenen Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids von den Verbrennungsgasen abzutrennen. Nach dem Durchgang der Verbrennungsgase durch die Filterbeutel-Baueinheit läßt man die Verbrennungsgase in die Atmosphäre entweichen.
  • Die von von den Cyclonen und den Filterbeuteln gesammelten Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids werden in einen Kalzinator überführt, wenn sie nicht ausreichend trocken sind, in dem sie auf Temperaturen oberhalb von 1000C für unterschiedliche Zeitdauer erhitzt werden, um die Feuchtigkeit daraus zu entfernen. Nach dem Verlassen des Kalzinators haben die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids vorzugsweise einen Feuchtigkeits - oder Wassergehalt von 0,01 bis 1,0 Gew.-%.
  • Zu diesem Zeitpunkt haben die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids üblicherweise eine Dichte von etwa 0,016 bis etwa 0,040 g/cm3 Es ist dann erwünscht, die Teilchen durch einen Verdichter zu führen, um ihre Dichte auf etwa 0,064 bis etwa 0,080 g/cm3 zu erhöhen. Es ist für die meisten Anwendungen des pyrogenen Siliziumdioxids als verstärkendem Füllstoff in Silikonkautschukmassen zu Herstellung von Elastomeren erwünscht, daß dieses pyrogene Siliziumdioxid eine hohe Dichte hat. Auf den Kalzinator kann daher noch ein Cyclon folgen, so daß die aus dem Kalzinator austretenden Gase in dem Cyclon behandelt werden, um so viel als möglich von dem pyrogenen Siliziumdioxid aus den Gasen zu entfernen. Das gewonnene Siliziumdioxid wird dann in den Kalzinator zurückgeführt, um eine maximale Gewinnung der Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids zu gestatten.
  • Der Beutelfilter umfaßt allgemein verschiedene Beutel, wobei jeder aus Teflonmatrix mit kleinen Öffnungen zusammengesetzt ist, durch die die Verbrennungsgase austreten können, wenn sie durch die Beutel geleitet werden, während das pyrogene Siliziumdioxid in die Teflonmatrix eingebettet wird. Nach 1, 2, 3 oder 4 Minuten, in Abhängigkeit von dem jeweiligen Herstellungsverfahren, d. h. der Menge des gebildeten pyrogenen Siliziumdioxids und der Zahl von Beutelfiltern in der Vorrichtung, wird das Hindurchführen der Verbrennungsgase durch den Beutelfilter gestoppt. Ein inertes Gas, wie Stickstoff, wird im Gegenstrom zur Strömung der Verbrennungsgase durch den Beutelfilter geführt, um die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids von der Teflonmatrix wegzublasen, so daß sie auf den Boden des Filters fallen, wo sie eingesammelt und danach in den Kalzinator überführt werden.
  • Unter Verwendung einer Reihe von Cyclonen und Beutelfiltern ist es möglich, bis zu 97 und bevorzugter 99 % des im Brennerofen gebildeten pyrogenen Siliziumdioxids zu gewinnen. Dieses Verfahren hat viele Nachteile und insbesondere hat die Verwendung der Beutelfilter viele Nachteile. Es ist darauf hinzuweisen, daß zu dem Beutelfilter vorteilhafterweise eine Reihe von Cyclonen führt, um die richtige Abtrennung der Teilchen auszuführen. Ohne die Cyclone arbeitet der Beutelfilter nicht richtig, d. h. ohne die Cyclone wird zu viel von dem pyrogenen Siliziumdioxids in einer zu kurzen Zeit gesammelt und das Inertgas muß zu häufig die Beutelfilter wieder freiblasen. Um eine möglichst vollständige Abtrennung der Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids zu erreichen, ist es erforderlich, daß die Cyclone die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids zu einem starken Maße zurückgewinnen, wobei die bevorzugte Zurückgewinnung der Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids zu 97 bis 99 % erfolgt. Ein weiteres Problem bei der Verwendung der Beutelfilter besteht darin, daß die Beutel sehr schwierig zu reinigen sind, wenn sie durch die Teilchen des pyrogenen Siliziumdioxids verstopft sind, so daß man spezielle zeitaufwendige Reinigungsverfahren benötigt. Schließlich verbraucht sich das Gewebe der Beutel nach einer gewissen Zeit und muß ersetzt werden.
  • Das Verfahren zum Herstellen von pyrogenem Siliziumdioxid, bei dem ein Beutelfilter benutzt wird, um die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids abzutrennen, ist daher nicht so wirksam, wie es erwünscht wäre. Außerdem erfordert ein solches Verfahren den Einsatz zusätzlicher Ausrüstung, um die Abtrennung zu bewirken, wie von Cyclonen und Agglomeratoren und ist hinsichtlich der periodischen Ersetzung der Beutel im Beutelfilter teuer.
  • Während das vorbeschriebene Verfahren zum Herstellen pyrogenen Siliziumdioxids auf dem Verbrennen von Alkoxysilanen beruht, besteht das üblichste Verfahren zum Herstellen von pyrogenem Siliziumdioxid doch im Verbrennen von Chlorsilanen, wie von Methyltrichlorsilan, Dimethyldichlorsilan, Trimethylchlorsilan, Siliziumtetrachlorid und anderen Chlorsilanen. Diese sind die billigsten und meist verfügbaren Ausgangsmaterialien bei der Herstellung von pyrogenem Siliziumdioxid.
  • Einige der Hauptunterschiede bei der Herstellung von pyrogenem Siliziumdioxid durch Verbrennen von Chlorsilanen bestehen jedoch darin, daß es erforderlich ist, das Chlorwasserstoffgas und das Chlor sowie andere korrosive Verunreinigungen aus den Verbrennungsgasen zu entfernen, bevor man diese in die Atmosphäre ablässt. Hierfür sind verschiedene Einrichtungen offenbart, wie Wäscher, alkalische Kolonnen usw. d.h. nachdem die Verbrennungsgase durch den Beutelfilter geleitet wurden, führt man sie durch einen Wäscher und dann eine alkalische Kolonne, um die korrosiven Verunreinigungen aus den Verbrennungsgasen zu entfernen, bevor man sie an die Atmosphäre abgibt.
  • Sintermetallfilter sind bekannt. So ist z. B. in der US-PS 4 328 353 die Verwendung von Sintermetallfiltern zum Entfernen von Katalysatorteilchen aus dem Chlorsilanstrom beschrieben, der beim Direktverfahren erhalten wird, so daß die Silizium- und die Kupferkatalysatorteilchen in den Reaktor zurückgeführt werden können. So weit bekannt sind Sintermetallfilter jedoch nie bei dem Verfahren zum Herstellen von pyrogenem Siliziumdioxid benutzt worden.
  • Der vorliegenden Erfindung lag die Aufgabe zugrunde, ein wirksames Verfahren zum Herstellen von pyrogenem Siliziumdioxid zu schaffen, und dabei insbesondere die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids von den Verbrennungsgasen abzutrennen. Insbesondere sollte die wirksame Abtrennung der Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids von den Verbrennungsgasen der Art sein, daß mehr als 99,5 % der Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids gewonnen werden und insbesondere mehr als 99,99%. Auch sollte die Abtrennung der Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids von den Verbrennungsgasen dahingehend optimiert werden, daß Cyclone und Beutelfilter nicht erforderlich sind und dies insbesondere bei einem Verfahren zum Herstellen von pyrogenem Siliziumdioxid durch Verbrennen von Chlorsilanen oder von Alkoxysilanen.
  • Die Aufgabe wird erfindungsgemäß bei einem Verfahren zum Herstellen von pyrogenem Siliziumdioxid dadurch gelöst, daß man a) Silane in einem Brennerofen verbrennt, um Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids und Verbrennungsgase zu bilden und b) man die Verbrennungsgase und die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxid durch einen Sintermetallfilter leitet, um die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids von den Verbrennungsgasen abzutrennen und man das pyrogene Siliziumdioxid sammelt.
  • Die verbrannten Silane können entweder Chlor- oder Alkoxysilane sein.
  • Die Hauptbetrachtungen bei der Benutzung des Sintermetallfilters sind daß vorzugsweise die Temperatur der Verbrennungsgase, die in den Sintermetallfilter eintreten, nicht unterhalb von 1350C und noch bevorzugter nicht unterhalb von 1500C liegen. Auch soll der Druckabfall der durch den Sintermetallfilter strömenden Verbrennungsgase nicht mehr als etwa 7030 Pa bzw. 0,07 kg/cm2 bzw. 1 US-Pfund/Zoll2 betragen. Es ist auch erforderlich, daß der Sintermetallfilter elektrisch ausreichend geerdet ist, so daß sich keine überschüssige statische Ladung auf den Filterelementen sammelt. Anderenfalls kann es außerordentlich schwierig und manchmal unmöglich sein, mit dem im Gegenstrom geführten Gas die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids von den Metallfilterkartuschen abzublasen.
  • Diese und andere Bedingungen hinsichtlich des Betriebes des Sintermetallfilters bei der Herstellung von pyrogenem Siliziumdioxid sind im folgenden detaillierter beschrieben.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein Sintermetallfilter zum Abtrennen von pyrogenem Siliziumdioxid von den Verbrennungsgasen nicht nur dann benutzt werden, wenn Chlorsilane verbrannt werden, sondern auch dann, wenn man das pyrogene Siliziumdioxid durch Verbrennen anderer Silane herstellt.
  • Der Sintermetallfilter, der bei dem erfindungsgemäßen Verfahren benutzt wird, uxttfaßt eine Behälter- oder Gehäuseeinheit aus Metall, in der sich Metallrohre befinden. Die Metallrohre haben eine Matrix kleiner Perforationen oder oeffnungen, durch die das Gas hindurchströmen kann, durch die jedoch die meisten Teilchen des pyrogenen Siliziumdioxids oder anderes festes Material nicht hindurch kann. Der Filter arbeitet, indem man das Gas, das die Festteilchen enthält, in den Metallbehälter leitet und dann das Gas durch die Perforationen in den Metallrohren oder Filterstäben dringt und dabei die Festteilchen in den Oberflächenporen eingebettet zurückläßt. Das Gas passiert die Perforationen in den Filterstäben und strömt durch den hohlen Filterkern zu der nächsten Vorrichtung während des Verfahrensganges. Die Kraft, die erforderlich ist, die Verbrennungsgase durch die Sintermetallfilter und aus ihnen herauszudrücken, wird durch einen Druckabfall vom Einlaß zum Sintermetallfilter bis zur Auslaßseite der hohlen Filterstabrohre verursacht. Dieser Druckunterschied drückt das Gas durch die hohlen Filter und den zentralen Ringkörper aus dem Filter heraus. Der Sintermmetallfilter besteht vorzugsweise aus einer Legierung, wie Inconel, das eine Legierung aus Chrom, Nickel und Eisen ist. Diese Art von Material oder Legierung weist Beständigkeit gegenüber den korrosiven Dämpfenswie wie Chlorwasserstoff oder Chlor auf, die in den Verbrennungsgasen vorhanden sein können.
  • Der Filter sollte bei den bevorzugten Betriebsbedingungen arbeiten, weil anderenfalls die Löcher in den Filterstäben durch die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids verstopft werden können, die mit dem Metall verschmelzen. Wenn dies passiert, ist es notwendig, das gesamte Verfahren abzustellen und die Filter aus dem Prozeßstrom herauszunehmen. Dann muß man die Sintermetall-Filterstäbe aus dem Filtergehäuse herausnehmen und sie reinigen, indem man sie in eine alkalische Lösung eintaucht, wie eine Lösung aus Natrium- oder Kaliumhydroxid in Wasser.
  • Denn die Teilchen aus pyrogenem Siliziumdioxid können in die Perforationen der Filterporen eingebettet werden und es erfordert ein Baden in einer solchen alkalischen Lösung, um diese Teilchen aus dem Filter zu entfernen. In jedem Falle mag es nach längerem Gebrauch erforderlich sein, die Filter auf diese Weise zu waschen oder zu behandeln, um sie bei ihrer maximalen Wirksamkeit zu erhalten.
  • Neben diesem periodischen Waschen oder möglichen Ersetzen der Filterstäbe zu unterschiedlichen Zeiten, bedarf ein solcher Sintermetallfilter wenig Wartung. Wenn während des Verfahrens der Sintermetallfilter für eine Dauer von 1 bis 3 oder 4 Minuten im Betrieb gewesen ist, muß man den Prozeßstrom von dem Sintermetallfilter abschalten und einen im Gegenstrom geführten Freiblasestrom aus einem heißen Gas, dessen Temperatur höher ist als der Taupunkt der Verbrennungsgase, durch den Filter führen. Dieser Gegenstrom bläst die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids von den Filtern ab und läßt sie sich am Boden der Filtereinheit in einem Trichter sammeln. Man kann das pyrogene Siliziumdioxid dann von dort aus zu einem Lagerbehälter oder einem Kalzinator überführen.
  • Dieses Freiblasen erfordert üblicherweise etwa 1 Minute. Dabei kann das Freiblasen entweder dadurch erfolgen, daß man den Prozeßstrom entweder völlig abstellt oder ihn von einer Einheit von Sintermetallfiltern zu einer anderen leitet, die jeweils aus einem oder mehreren parallel geschalteten Sintermetallfiltern besteht, so daß eine Einheit aus Sintermetallfiltern mit einem nicht kondensierenden oder inerten Gas freigeblasen wird, um das pyrogene Siliziumdioxid aus den Filterrohren zu entfernen, während eine andere Einheit von Sintermetallfiltern die vom Brennerofen kommenden Verbrennungsgase filtriert. Im letzteren Fall kann das Verfahren im wesentlichen kontinuierlich ausgeführt werden, wobei kein vorübergehendes Abschalten des Verfahrens während des Freiblasens der Filter vom pyrogenen Siliziumdioxid erforderlich ist.
  • Es gibt gewisse erforderliche Bedingungen, die beim Betrieb der Sintermetallfilter erwünscht sind. Die Bedingung, die beim Filterbetrieb am meisten erwünscht und am meisten erforderlich ist, ist die Minimaltemperatur, mit der die Mischung aus Verbrennungsgasen und pyrogenem Siliziumdioxid in den Filter eingeführt wird. Im allgemeinen ist es erwünscht, daß die Temperatur der in den Sintermetallfilter eingeführten Verbrennungsgase und des pyrogenen Siliziumdioxids mindestens 1350C und bevorzugter mindestens 1500 oder mehr beträgt.
  • Würde die Temperatur der Verbrennungsgase nämlich unterhalb der vorstehenden Grenzwerte und insbesondere unterhalb von 135°C liegen, dann könnte dies zur Kondensation verschiedener Dämpfe auf dem Sintermetallfilter führen und ihn durch rasche Agglomeration des pyrogenen Siliziumdioxids auf einer feuchten Oberfläche verstopfen. Auch würden die Teilchen aus pyrogenem Siliziumdioxid eine Paste auf dem Metall des Filters bilden, die die öffnungen oder Poren in dem Filter verstopfen würde.
  • Der Filter kann zwar bei Temperaturen unterhalb von 135°C betrieben werden, doch stünde dann nur eine kurze Betriebszeit zur Verfügung, bevor das Filtrieren beendet und der Filter in einer alkalischen Lösung gereinigt werden müßte. Je höher die Temperatur der Verbrennungsgase ist, um so weniger besteht die Möglichkeit, daß isolierte kalte Flecke in dem Filter eine Kondensation gestatten.
  • Eine weitere notwendige Bedingung'für den Betrieb des Sintermetallfilters ist der Druckabfall durch den Filter. Im allgemeinen sollte der Druckabfall etwa 0,17 kg/cm² bzw. 17600 Pa, bevorzugter jedoch etwa 0,07 kg/cm² oder 7030 Pa nicht übersteigen. Ist der Druckabfall zu hoch, dann neigt der Filter zum Verstopfen aufgrund des Aufprallens der Teilchen aus pyrogenem Siliziumdioxid auf die Metalloberfläche und dies macht auch das Freiblasen der Poren in den Filterrohren schwieriger.
  • Eine notwendige Bedingung beim Betrieb des Sintermetallfilters ist auch, daß er richtig geerdet ist. Ohne eine solche richtige Erdung wird sich eine zu hohe statische Ladung auf den Filter ansammeln und dies wird zum Haften der Teilchen auspyrogenem Siliziumdioxid an den Filtern führen, so daß sie während des Freiblasens nicht leicht vom Filter entfernt werden können.
  • Vorzugsweise ist der Sintermetallfilter daher so geerdet, daß die elektrische Erdung einen Widerstand von weniger als 1,0 Ohm und bevorzugter einen geerdeten Widerstand von weniger als 0,5 Ohm hat. Bei einer solchen Erdung des Filters gibt es keinen starken Aufbau statischer Elektrizität, denn die statische Elektrizität wird in gleichem Maße, wie sie erzeugt wird, abgeleitet.
  • Dies waren die drei Hauptbedingungen für den wirksamen Betrieb des Filters und innerhalb der obengenannten allgemeinen Bereiche können die Bedingungen so variiert werden, daß man eine maximale Leistungsfähigkeit des Sintermetallfilters für ein bestimmtes Verfahren erhält.
  • Sind Bereiche für die genannten Bedingungen erwünscht, dann sollte der geerdete Widerstand vorzugsweise im Bereich von 0,1 bis weniger 0,5 Ohm liegen. Die Betriebstemperatur des Filters sollte im Bereich von 150 - 3000C liegen, und der Druckabfall der den Filter passierenden Verbrennungsgase soll-2 te im Bereich von 0,007 bis 0,07 kg/cm bzw. etwa 700 bis etwa 7000 Pa liegen.
  • Es gibt noch weitere Bedingungen, die man einhalten sollte, um den Filter bei maximaler Wirksamkeit zu betreiben. Eine Bedingung davon ist die Filtrationsgeschwindigkeit. Je größer diese Filtrationsgeschwindigkeit ist, ohne daß der Filter verstopft wird, um so höher ist seine Wirksamkeit. Hinsichtlich der normalen Oberflächengeschwindigkeit des Filters ist es zum Erzielen einer maximalen Wirksamkeit bevorzugt, daß diese Oberflächengeschwindigkeit der Verbrennungsgase durch die Poren in den Filterstäben im Bereich von etwa 0,30 bis etwa 1,80 m/min liegt.
  • Um die Filtrationsgeschwindigkeit in einer anderen Weise auszudrücken, kann man sie als das Gewicht des pyrogenen Siliziumdioxids in Grains bzw. etwa 59 mg angeben, das, bezogen auf 2 eine Filterfläche von etwa 930 cm oder einem Quadratfuß in der Minute entfernt wird. Eine solche Filtergeschwindigkeit kann in Abhängigkeit von der Art und der Oberflächengröße eines speziellen Filters und der Zahl der Filter in der Filtereinheit im Bereich von 20 - 120 Grains bzw. etwa 1200 bis etwa 6000 mg pryrogenem Siliziumdioxid, bezogen auf etwa 930 cm 2 der Filter fläche pro Minute variieren.
  • Die Kapazität des Filters würde in Abhängigkeit von der Größe des Filters und einer bestimmten Filtereinheit, d. h. der Anzahl der Filter, die in dieser Einheit vorhanden sind, variieren. Bei einer typischen Filtereinheit kann man die Kapazität des Filters variieren, um von weniger als 10 Grain bzw. etwa 600 mg pyrogenem Siliziumdioxid pro etwa 28,3 1 bzw. einem Kubikfuß Gas bis zu 200 bis 300 Grain bzw. etwa 1200 bis etwa 18 000 mg pyrogenes Siliziumdioxid in etwa 28,3 1 Verbrennungsgas zu filtern.
  • Da die Bereich für die Oberflächengeschwindigkeit des Filters, die Filtrationsgeschwindigkeit, ausgedrückt in Grain pro Quadratfuß Oberflächenbereich pro Minute und Grain pro Kubikfuß Gas von der Größe des Filters und der Zahl der Filterstäbe darin sowie der Zahl der Einheiten von Sintermetallfiltern variieren kann, sind die obigen Bereiche angegeben für einen Filterstab mit einer Länge von etwa 1,5 m und einem Filterbreich von etwa 62,2 x 930 cm². Doch können diese Abmessungen und Kapazitäten von Filter zu Filter variieren, in Abhängigkeit von seiner Bauart und seinem Oberflächenbereich.
  • Die weiter oben für den optimalen Betrieb und die längste Betriebsdauer des Filters?$ bevor er gereinigt, auseinandergenommen wird mit Reinigung oder Ersatz der Filterstäbe, sind der Druckabfall durch den Filter während des Betriebes und die Einlaßtemperatur der in den Filter eintretenden Verbrennungsgase. Dazu kommt das obengenannte erforderliche Erden des Sintermetallfilters. eangegebenen Bedingungen Liegen diese drei Bedingungen bei einem Verfahren zum Herstellen von pyrogenem Siliziumdioxid innerhalb der angegebenen Bereiche, dann arbeitet der Sintermetallfilter mit guter Wirksamkeit und minimaler Abschaltzeit zum Reinigen oder Ersetzen der Filterstäbe. Dies führt nicht nur zu einer effizienteren Herstellung des pyrogenen Siliziumdioxids, sondern auch zu einer wirtschaftlicheren Instandhaltung des Filters. Während der Filter außerhalb eines oder mehrerer der obengenannten Bereiche betrieben werden kann, ist dies nur für kurze Zeiten möglich, und danach muß man den Filter aus dem Betrieb nehmen, ihn reinigen und möglicherweise ersetzen.
  • Die Abweichung von den obengenannten drei Bedingungen, d. h.
  • dem erforderlichen Erden, dem Druckabfall und der Temperatur der Einlaßgase in den Filter bestimmt, wie kurz die Betriebszeit ist und wie gründlich das Reinigen ausgeführt werden muß.
  • Innerhalb der obigen Bereiche kann man die optimalen Bedingungen für ein bestimmtes Verfahren zum Herstellen des pyrogenen Siliziumdioxids ermitteln. Unabhängig davon, ob man die optimalen Bedingungen ermittelt erhält man jedoch in einem Verfahren zum Herstellen pyrogenen Siliziumdioxids gute Betriebsbedingungen, wenn man den Sintermetallfilter innerhalb dieser Bereiche betreibt.
  • Ein bevorzugtes Verfahren zum Herstellen pyrogenen Siliziumdioxids im Rahmen der vorliegenden Erfindung, bei dem man den Sintermetallfilter benutzt, besteht darin, daß man Wasserstoff, Erdgas und Silane mit Luft in einem Brennerofen verbrennt. Obwohl die Silane Alkoxysilane oder andere Arten von Silanen sein können, sind Chlorsilane am bevorzugtesten.
  • Diese Chlorsilane können irgendwelche Chlorsilane sein, wie Monomethyltrichlorsilan, Dimethyldichlorsilan, Trimethylchlorsilan, Methylhydrogendichlorsilan, Tetrachlorsilan und andere Chlorsilane. Es ist bevorzugt, Tetrachlorsilan, Methylchlorsilan und Methylhydrogendichlorsilan zu benutzen, um das pyrogene Siliziumdioxid herzustellen, da diese Silane die billigsten und am leichtesten erhältlichen brauchbaren Chlorsilane sind. Auch andere Methylchlorsilane und Phenylchlorsilane sowie Vinylchlorsilane können zum Herstellen pyrogenen Siliziumdioxids eingesetzt werden, doch sind sie teuerer und haben auch andere Verwendungsarten, so daß sie zum Herstellen des pyrogenen Siliziumdioxids gemäß der vorliegenden Erfindung nicht bevorzugt sind. Demgegenüber werden Methylchlorsilane, vorzugsweise Methyltrichlorsilan, Methylhydrogendichlorsilan und Tetrachlorsilan zum Herstellen pyrogenen Siliziumdioxids in der vorliegenden Erfindung benutzt, da ihre anderen Verwendungsmöglichkeiten begrenzt sind und es einen wirtschaftlichen Vorteil darstellt, sie anstelle anderer Silane hierfür einzusetzen.
  • Obwohl die Verwendung von Alkoxysilanen und anderen Arten von Silanen zur Herstellung pyrogenen Siliziumdioxids Vorteile hat, ist es allgemein doch teuerer diese anderen Arten von Silanen zum Herstellen von pyrogenem Siliziumdioxid zu benutzen, da die Chlorsilane am leichtesten erhältlich sind.
  • Die Silane werden verdampft und dann mit Luft (oder einem anderen Oxidationsmittel) und Wasserstoffgas in einem Brennerofen verbrannt. Vorzugsweise werden die Chlorsilane auf eine Temperatur oberhalb von 90°C erhitzt und insbesondere auf eine Temperatur im Bereich von 90 bis 150°C, um sie zu verdampfen und sie auf die richtige Verbrennungstemperatur zu bringen. Der Brenner wird vorzugsweise bei einer Temperatur von 800 bis 2300°C und noch bevorzugter bei siner Temperatur von 1600 bis 1900°C betrieben, um Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids optimaler Konfiguration und Teilchengröße zu erhalten.
  • Am Boden des Brennerofens kann Luft eingeführt werden, um die Verbrennungsgase zu kühlen, so daß sie in dem üblichen Wärmeaustauscher behandelt werden können. Vorzugsweise werden die Verbrennungsgase auf eine Temperatur von 400 bis 6000C abgekühlt. Dann leitet man die abgekühlten Gase vorteilhafterweise durch einen Wärmeaustauscher, der dazu benutzt werden kann, irgendwelche Strömungsmittel zu erwärmen, die in einer chemischen Anlage benutzt werden, wie 2. B. um Wasser in Dampf umzuwandeln, der dann in einer üblichen Weise eingesetzt werden kann.
  • Es ist aber nicht erforderlich, daß ein Wärmeaustauscher benutzt wird. Vielmehr kann jegliche Art, die Verbrennungsgase abzukühlen, benutzt werden, so daß sie in den Sintermetallfilter eingeführt werden können, wie die Verwendung von ausreichend Luft zum Abschrecken. Auf diese Weise wird die Temperatur der Verbrennungsgase auf 3000C oder weniger vermindert.
  • Diese Temperatur ist jedoch nicht kritisch, sondern es ist einfach eine erwünschte Temperatur, auf die die Gase abgekühlt sein sollen, nachdem man sie entweder durch einen Wärmeaustauscher geschickt oder in anderer Weise gekühlt hat, so daß sie durch den Filter geschickt werden können. Außerdem ist diese Temperaturverminderung bevorzugt, um die Temperatur der Gase zu verringern, nachdem sie im unteren Teil des Verbrennungsofens bereits abgekühlt wurden.
  • Dann schickt man die Verbrennungsgase durch einen Agglomerator, um die Teilchengröße des pyrogenen Siliziumdioxids zu erhöhen.
  • Auch dieser Schritt ist nach der vorliegenden Erfindung nicht erforderlich. Der Sintermetallfilter trennt mindestens 99,5 % der Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids ab, auch wenn deren Größe nicht durch den Agglomerator erhöht worden ist. Daß ein solcher Agglomerator nicht erforderlich ist, ist ein weiterer Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens, da damit die Ausgaben für einen Agglomerator und seinen Betrieb gespart werden können.
  • Die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids und die Verbrennungsgase, die sich allgemein auf einer Temperatur im Bereich von 135 bis 300°C befinden, werden dann vorzugsweise in den Einlaß der Sintermetallfiltereinheit geleitet. Die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids,die in dem Sintermetallfilter gebildet oder gesammelt werden, können dann entweder gelagert oder in einen Kalzinator überführt werden, der bei Temperaturen oberhalb von 7000C betrieben wird und der ein Trockenofen oder eine Trockendarre ist, um am pyrogenen Siliziumdioxid vorhandene Feuchtigkeit und Säure zu entfernen.
  • Vorzugsweise hat das pyrogene Siliziumdioxid einen Feuchtigkeitsgehalt im Bereich von 0,01 bis 1 Gew.-%. Nach dem Kalzinator, und wenn es erforderlich ist, die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids weiter zu verdichten, können sie durch einen Verdichter geführt werden, der einfach aus zwei Walzen entweder auf Förderbändern oder nicht bestehen kann, durch die die Masse von Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids zusammengequetscht wird, um die Größe der Teilchen und ihre Dichte zu erhöhen. Auf diese Weise kann die Dichte des pyrogenen Siliziumdioxids auf 0,064 bis 0,080 g/cm3 erhöht werden, was eine geeignete Dichte zur Verwendung des pyrogenen Siliziumdioxids als Füllstoff in Siliconkautschukmassen zur Herstellung von Elastomeren ist.
  • Die aus dem Sintermetallfilter austretenden Verbrennungsgase, die Chlorwasserstoff enthalten, können dann durch einen Wäscher geleitet werden, um dieses HCl als Salzsäure aus den Gasen zu entfernen, die in einer chemischen Anlage eingesetzt werden kann, während die gereinigten Gase durch einen weiteren Wäscher geleitet werden können, um weitere Verunreinigungen daraus zu entfernen, wie Chlor. Die Gase haben dann eine etwa der Umgebungstemperatur entsprechende Temperatur, und sie können an die Atomosphäre abgegeben werden.
  • Mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es möglich, das pyrogene Siliziumdioxid zu mindestens 99,5 % und vorzugsweise 99,99 % aus den Verbrennungsgasen zu entfernen. Das so gewonnene pyrogene Siliziumdioxid kann für verschiedene Füllstoffzwecke eingesetzt werden.
  • Der Filter kann entweder aus einem oder einer Reihe von Filtern bestehen, die abwechselnd benutzt werden, d. h.
  • während ein Teil der Filter filtriert,werden die anderen freigeblasen, um Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids davon zu entfernen, die auf den Filterstäben festgehalten wurden, und sie sammeln sich dann am Boden des Filters. Bei Verwendung der erfindungsgemäß eingesetzten Sintermetallfilter sind Cyclone für die Erzielung der vorstehenden Prozentsätze nicht erforderlich, während zusammen mit Filtersäcken solche Cyclone benutzt werden müssen.
  • Im folgenden wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert, in deren einziger Figur ein detailliertes Diagramm eines bevorzugten schematischen Verfahrens zum Herstellen von pyrogenem Siliziumdioxid dargestellt ist, bei dem ein Sintermetallfilter benutzt wird, um die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids aus den Verbrennungsgasen abzutrennen.
  • In das Flammen- oder Düsenende eines Brennerofens 10 wird Wasserstoff durch eine Leitung 12, Erdgas durch eine Leitung 14 und Brennerluft durch eine Leitung 16 eingeführt. Wie oben erwähnt, werden die Chlorsilane vorzugsweise vorerhitzt und zwar in einem Verdampfer 22, von dem aus sie durch eine Leitung 24 in ein oberes Ende 26 des Brennerofens 10 geleitet werden.
  • Die gebildeten Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids und die Verbrennungsgase werden dann mittels Druck zum Boden 32 des Brennerofens 10 geführt. Dort wird Luft durch eine Leitung 30 eingeführt, um die Temperatur der Verbrennungsgase auf weniger als 900°C abzukühlen und sie vorzugsweise in dem Bereich von 400 bis 6000C zu bringen. Wenn es nicht erwünscht ist, Wärme in einem Wärmeaustauscher wiederzugewinnen, dann kann die Temperatur der Verbrennungsgase mit ausreichend Luft durch die Leitung 30 oder auf andere Weise auf 300°C oder weniger vermindert werden, so daß sie danach in den Sintermetallfilter eingeleitet werden können.
  • Bei Benutzung eines Wärmeaustauschers werden die vorzugsweise auf eine Temperatur im Bereich von 400 bis 6000C abgekühlten Verbrennungsgase durch den Boden 32 des Brennerofens 10 und sinne Leitung 34 in einen Wärmeaustauscher 36 überführt. Wasser wird durch eine Leitung 40 in den Wärmeaustauscher 36 geleitet und verläßt diesen als Prozeßdampf oder heißes Wasser durch eine Leitung 42. Die abgekühlten Gase mit einer Temperatur von 3000C oder weniger, aber nicht unterhalb von 135 bis 1500C, verlassen den Wärmeaustauscher 36 durch eine Leitung 50 und gelangen zu einer Sintermetallfiltereinheit 64, die entweder aus einem einzelnen Filter oder einer Reihe von Filtern bestehen kann.
  • Das gesammelte pyrogene Silizumdioxi wird dann durch eine Leitung 66 zu einem Kalzinator 67 überführt. Der Kalzinator 67 soll den Wassergehalt des Füllstoffes bis zu dem erwünschten Niveau vermindern, so daß er in Siliconkautschukmassen zum Herstellen von Elastomeren eingesetzt werden kann. Durch Leitungen 68, 69 und 70 wird reiner Stickstoff oder eine Mischung von Stickstoff und Luft zusammen mit Dampf in den Kalzinator -67 geleitet, um das Austreiben der Feuchtigkeit zu unterstützen.
  • Der Kalzinator 67 ist ein Rotationsofen, der bei einer Temperatur oberhalb von 100°C und vorzugsweise bei einer Temperatur von etwa 700°C betrieben wird, um die Feuchtigkeit aus dem Siliziumdioxid auszutreiben. Die feuchtigkeitshaltigen Gase, die einige suspendierte Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids mitreißen, werden dann durch eine Leitung 71 in ein Cyclon 72 geleitet, das den größten Teil pyrogenen Siliziumdioxids abtrennt, der durch eine Leitung 73 in den Kalzinator 67 zurückgeführt wird. Die aus dem Cyclon 72 austretenden Gase werden durch eine Leitung 74 in die Atmosphäre gelassen. Der in den Kalzinator 67 geleiteS Dampf soll das Austreiben verbliebenen Chlorwasserstoffs aus den Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids unterstützen, da dieser Chlorwasserstoff in einem Füllstoff unerwünscht ist.
  • Vom Kalzinator 67 wird das pyrogene Siliziumdioxid durch eine Leitung 75 in einen Verdichter 76 überführt. Dieser Verdichter 76 erhöht die Dichte des pyrogenen Siliziumdioxids in einen Bereich von etwa 0,064 bis etwa 0,080 g/cm3. Der Verdichter 76 kann einfach aus zwei oder einer Reihe von Rollen auf Förderbändern bestehen, die das pyrogene Siliziumdioxid durch einen kleinen Spalt zusammenquetschen und dadurch seine Dichte in an sich bekannter Weise erhöhen. Vom Verdichter 76 gelangt das pyrogene Siliziumdioxid durch eine Leitung 77 zur Lagerung.
  • Die aus dem Sintermetallfilter austretenden Verbrennungsgase, aus denen etwa das gesamte pyrogene Siliziumdioxid entfernt worden ist, leitet man durch eine Leitung 80 in eine Wäscherkolonne 82. Das zum Freiblasen intermittierend benutzte Gas gelangt durch eine Leitung 83 zum Filter 64. Die Verbrennungsgase werden mit verdünnter HCl gewaschen, die sich am Boden 84 der Kolonne 82 sammelt und durch eine Leitung 85, eine Pumpe 86 und Leitungen 88, 90, 92 und 94 zum Oberteil 100 der Kolonne 82 zurckgeführt wird. Wasser wird im erforderlichen Maße durch eine Leitung 102 in die Leitung 88 geleitet. Die wässrige HCl, die bis zu etwa 32 % HCl konzentriert worden ist, wird dann vom Boden 84 der Kolonne 82 durch eine Leitung 106, mittels der Pumpe 108 und eine weitere Leitung 110 abgezogen und dem gewünschten Einsatz zugeführt.
  • Die aus der Kolonne 82 abgezogenen Gase gelangen vom Oberteil 100 der Kolonne durch eine Leitung 120 und ein Gebläse 121 zum Boden 122 eines alkalischen Wäschers 126. Das Gebläse 121 ist erforderlich, um im System einen Druckunterschied zu erzeugen, mit dem die Verbrennungsgase durch dieses System getrieben werden. Am Oberteil 128 des alkalischen Wäschers 126 wird Alkali durch eine Leitung 120 eingeführt, die im Gegenstrom zu den Verbrennungsgasen verläuft, die durch die Leitung 120 in den Boden 122 des alkalischen Wäschers eintreten.
  • Die alkalische Lösung sammelt Verunreinigungen, wie Chlor, in Form/NaOC1 und anderen Verbindungen, die durch eine Leitung 140 entfernt und dann in geeigneter Weise verwertet oder verworfen werden. Die Verbrennungsgase treten durch das Oberteil 128 des alkalischen Wäschers 126 aus und werden durch eine Leitung 150 entfernt. Diese Gase können vor ihrem Ablassen an die Atmosphäre durch einen nicht gezeigten Filter geführt werden. An den meisten Standorten mag ein Filter nicht erforderlich sein.
  • Als Ergebnis des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es möglich, die Verbrennungsgase, aus denen der größte Teil der Verunreinigungen entfernt worden ist, an die Atmosphäre abzugeben.
  • Weiter ist es möglich, das HCl-Gas zu gewinnen und es in Form wäßriger HCl entweder zu verwenden oder zu verkaufen. Schließlich werden allgemein 99 % des pyrogenen Siliziumdioxids und vorzugsweise mindestens 99,5 % des pyrogenen Siliziumdioxids unter Einsatz des Sintermetallfilters aus den Verbrennungsgasen entfernt. Der Sintermetallfilter ist wirtschaftlicher zu betreiben, da er nicht den Einsatz von Cyclonen erforderlich macht und weniger Wartung benötigt als ein Beutelfilter.
  • In der folgenden Tabelle sind typische Betriebsbedingungen für einen Sintermetallfilter in einem Verfahren zum Herstellen pyrogenen Siliziumdioxids angegeben, bei dem eine Ausrüstung ähnlich der der Zeichnung benutzt wird. Die in der Tabelle zusammengefaßten Betriebsbedingungen sind typisch und sie veranschaulichen Betriebs temperatur und Betriebsdrucke sowie Filterkapazitäten von Sintermetallfiltern bei einem solchen Verfahren. Doch sind die angegebenen Daten der Tabelle nur beispielhaft.
    Filterkapazität
    Oberflächenge- mg mg
    Filtrationsge- schwindigkeit 2 1
    schwindigkeit am Filter cm /min
    Filter-Temp.(°C) Druckabfall # [pa](psi) kg/h [m/min] Grains/2 Grains/3
    versuch Nr. Ein Aus zu Beginn am Ende (lbs/hr) (ft/min) (Ft min) (Ft)
    1 135 120 17575 (2,5) 6,35 (14)
    2 170 130 0 (0) 4220 (0,6) 6,25 (13,8) 0,44 (1,47) 5,58 (88,7) 125,6 (60,4)
    3 195 140 705 (0,1) 5625 (0,8) 7,34 (16,2) 0,47 (1,56) 5,15 (81,9) 109,2 (52,5)
    4 175 135 5625 (0,8) 4920 (0,7) 5,71 (12,6) 0,44 (1,47) 4,63 (73,6) 104,2 (50,1)
    5 270 175 15465 (2,2) 16170 (2,3) 5,17 (11,4) 0,74 (2,46) 1,45 (23,1) 19,55 (9,4)
    6 225 155 11950 (1,7) 17575 (2,5) 5,21 (11,5) 0,72 (2,37) 1,62 (25,8) 22,7 (10,9)
    7 260 140 10545 (1,5) 10545 (1,5) 5,17 (11,4) 0,75 (2,49) 1,56 (24,9) 21,2 (10,2)
    8 370 200 7030 (1,0)
    9 145 140 2110 (0,3) 3515 - 5625 5,89 (13) 0,44 (1,47) 6,46 (102,6) 145,2 (69,8)
    (0,5 - 0,6)
    10 150 140 2810 (0,4) 3515 - 4220 6,35 (14) 0,44 (1,47) 3,84 (61,0) 86,3 (41,5)
    (0,5 - 0,6)
    11 130 125 4220 - 6325 12655 - 11250 6,35 (14) 0,45 (1,50) 4,86 (77,2) 107,1 (51,5)
    (0,6 - 0,9) (1,8 - 1,6)
    12 140 130 6325 - 10545 11250 - 16870 6,35 (14) 0,49 (1,61) 4,42 (70,2) 90,7 (43,6)
    (0,9-1,5) (1,6-2,4)
    13 140 130 14060 - 17575 19685 - 24605 6,35 (14) 0,49 (1,61) 4,64 (73,8) 95,3 (45,8)
    (2 - 2,5) (2,8 - 3,5)
    Leerseite

Claims (16)

  1. Verfahren zum Herstellen von pyrogenem Siliziumdioxid Patentansprüche erfahren zum Herstellen von pyrogenem Siliziumdioxid, bei dem mindestens 99,5 % des erzeugten pyrogenen Siliziumdioxids gewonnen werden, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß (a) man Silane in einem Brennerofen verbrennt, um Teilchen pyrogenen Siliziumdioxidsund Verbrennungsgase zu bilden, (-b) man die Verbrennungsgase und die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids durch einen Sintermetallfilter leitet, um die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids von den Verbrennungsgasen abzutrennen und (c) man die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids sammelt.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, weiter d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß man die Verbrennungsgase vom Sintermetallfilter durch einen Wasserwäscher leitet, um Chlorwasserstoff aus den Verbrennungsgasen zu entfernen und einen wässrigen Strom von Salzsäure zu bilden und aus dem Wäscher einen gereinigten zweiten Strom von Verbrennungsgasen zu entfernen.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der Strom von Verbrennungsgasen und die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids aus dem Brennerofen bei einer Temperatur zwischen 135 und 3000C gehalten werden, bevor man sie durch den Sintermetallfilter leitet.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h gekennzeichnet, daß die Verbrennungsgase und die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids, die durch den Sintermetallfilter geleitet werden, eine Temperatur im Bereich von 135 bis 300°C haben.
  5. 5. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Gase, die in den Sintermetallfilter eintreten, eine Temperatur von mindestens 135 bis 150°C haben.
  6. 6. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der Druckabfall durch den Sintermetallfilter etwa 17600 Pa.
    (entsprechend 2,5 US-Pfund/Zoll2) nicht übersteigt.
  7. 7. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der wirksame elektrisch geerdete Widerstand des gesinterten Metallfilters weniger als 1,0 Ohm beträgt.
  8. 8. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Oberflächengeschwindigkeit der Verbrennungsgase und der Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids durch den Sintermetallfilter von etwa 0,30 bis etwa 1,80 m/min variieren kann.
  9. 9. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die in dem Brennerofen verbrannten Silane Chlorsilane sind.
  10. 10. Verfahren nach Anspruch 9, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Chlorsilane ausgewählt sind aus Methyltrichlorsilan, Dimethyldichlorsilan, Methylhydrogendichlorsilanen, Tetrachlorsilanen und deren Mischungen.
  11. 11. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die in dem Brennerofen verbrannten Silane Alkoxysilane sind.
  12. 12. Verfahren zum Herstellen pyrogenen Siliziumdioxids aus Silanen, wobei mindestens 99,5 % des gebildeten pyrogenen Siliziumdioxids gewonnen werden und die Silane in einem Brennerofen verbrannt werden, um Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids und Verbrennungsgase zu bilden, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß man die Verbrennungsgase und die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids durch einen Sintermetallfilter leitet, um die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids von den Verbrennungsgasen abzutrennen und die genannten Teilchen zu sammeln.
    wobei die Verbrennungsgase und die teilchen pyrogenen Siliziumdioxids,die in den Filter eintreten, eine Temperatur von mindestens 1350C haben.
  13. 13. Verfahren nach Anspruch 1 oder 12, weiter d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t daß man die Strömung der Verbrennungsgase durch den Sintermetallfilter beendet, man ein Gas im Gegenstrom zur Strömungsrichtung der Verbrennungsgase durch den Filter bläst, um die Teilchen pyrogenen Siliziumdioxids von den Filterstäben des Filters wegzublasen und zu sammeln.
  14. 14. Verfahren nach Anspruch 12, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der Druckabfall über den Sintermetallfilter geringer ist als etwa 17600 Pa (entsprechend 2,5 US-Pfund/Zoll2).
  15. 15. Verfahren nach Anspruch 12, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der wirksame elektrisch geerdete Widerstand des Sintermetallfilters kleiner als 1,0 Ohm ist.
  16. 16. Verfahren nach Anspruch 12, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die in dem Brennerofen verbrannten Silane Alkoxysilane sind.
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