DE3837950A1 - Schaltungsanordnung und verfahren zur herstellung einer derartigen schaltungsanordnung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Schaltungsanordnung mit einer auf einem elektrisch isolierenden Trägerkörper fest haftend angeordneten Schaltungsstruktur, an der gegebenenfalls diskrete elektrische Bauelemente elektrisch leitend befestigt sind, sowie ein Verfahren zur Herstellung einer derartigen Schaltungsanordnung.

Es sind Schaltungsanordnungen bekannt, bei denen die auf dem elektrisch isolierenden Trägerkörper festhaftend angeordnete Schaltungsstruktur in Dünnschichttechnik realisiert ist. Derartige Schaltungsstrukturen weisen eine Schichtdicke in der Größenordnung um 1 µm oder kleiner auf. Sie werden bspw. durch Kathodenzerstäuben, in einem Aufdampfverfahren, durch stromlosen oder durch galvanischen Niederschlag hergestellt und bspw. mittels eines an sich bekannten Fotoresistverfahrens in bekannter Weise strukturiert. Desgleichen sind Schaltungsanordnungen bekannt, bei denen die Schaltungsstruktur in an sich bekannter Dickschichttechnologie auf dem elektrisch isolierenden Trägerkörper festhaftend angeordnet ist. Zur Herstellung von Schaltungsstrukturen in Dickschichttechnik kommt bspw. ein Siebdruckverfahren oder ein Maskenspritzverfahren zur Anwendung. Schaltungsanordnungen mit einer Schaltungsstruktur, die in Dünnschichttechnik realisiert ist, sind mit Stromstärken von größenordnungsmäßig 1 A und kleiner belastbar. Schaltungsanordnungen, bei denen die Schaltungsstruktur in einer Dickschichttechnik ausgebildet sind, können demgegenüber mit Stromstärken von größenordnungsmäßig maximal 10 A betrieben werden, weil bei derartigen Schaltungsstrukturen in Dickschichttechnik die Schichtdicke der Schaltungsstruktur in der Größenordnung zwischen 10 µm und 50 µm betragen kann. Schaltungsanordnungen mit Schaltungsstrukturen in Dünnschichttechnik kommen deshalb bei leistungsschwachen Schaltkreisen, wie Hochfrequenz- Eingangsschaltkreisen zur Anwendung, während Schaltungsanordnungen in Dickschichttechnik bei mittleren Leistungen, wie sie bspw. in Eingangskreisen nachgeschalteten Zwischenstufen gegeben sind, zur Anwendung kommen.

Außer Schaltungsanordnungen in Dünnschichttechnologie bzw. Schaltungsanordnungen in Dickschichttechnologie sind auch Schaltungsanordnungen bekannt, bei denen auf einem elektrisch isolierenden Trägerkörper festhaftend eine Schaltungsstruktur angeordnet ist, die aus einem Metallfolienmaterial bzw. aus einem Metallblech strukturiert ist. Die DE 36 33 907 A1 beschreibt bspw. ein Verfahren zum haftfesten Verbinden eines Kupferkörpers mit einem elektrisch isolierenden Trägerkörper, wobei es sich bei diesem Kupferkörper vorzugsweise um einen folien- oder blechförmigen Kupferkörper handelt. In Abhängigkeit von der Wanddicke der Folie bzw. des Bleches, aus dem die Schaltungsstruktur einer zuletzt genannten Schaltungsanordnung strukturiert ist, sind solche Schaltungsanordnungen mit Stromstärken in der Größenordnung bis 250 A dauerbelastbar. Die Wanddicke derartiger Folien kann 100 µm bis 1 mm oder darunter bzw. darüber liegen. Schaltungsanordnungen der zuletzt genannten Art sind hoch belastbar, so daß sich solche Schaltungsanordnungen mit Folienschaltungsstruktur für Leistungsbauelemente bzw. Leistungsschaltungen eignen.

Bislang werden Schaltungsanordnungen kleiner Leistung, d.h. Schaltungsanordnungen mit einer Schaltungsstruktur in Dünnschichttechnik und/oder Schaltungsanordnungen für mittlere Leistungen, d.h. Schaltungsanordnungen mit einer Schaltungsstruktur in Dünnschichttechnologie und Schaltungsstrukturen in Dickschichttechnologie jeweils auf voneinander getrennten elektrisch isolierenden Trägerkörpern festhaftend angeordnet und diese voneinander räumlich getrennten Schaltungsanordnungen im Bedarfsfall mit einer Schaltungsanordnung zusammengeschaltet, bei welcher die Schaltungsstruktur als Folienschaltungsstruktur auf einem eigenen elektrisch isolierenden Trägerkörper festhaftend realisiert ist. Die Zusammenschaltung der jeweiligen, auf eigenen elektrisch isolierenden Trägerkörpern vorgesehenen Schaltungsstrukturen der unterschiedlichen Technologien (Dünnschicht-, Dickschicht-, bzw. Folienschaltungstechnologie) erfolgt bislang durch Anschlußelemente, bei denen es sich um Anschlußdrähte, Anschlußfahnen o.dgl. handelt, und die mit den einzelnen Schaltungsstrukturen unterschiedlicher Herstellungstechnologie kontaktiert werden. Diese Kontaktierung erfolgt bspw. durch eine Lötverbindung oder eine Schweißverbindung. Das bedingt jedoch nicht nur die Manipulation verschiedener mit den entsprechenden Schaltungsstrukturen versehener elektrisch isolierender Trägerkörper, sondern es können Kontaktierungsprobleme zwischen den verschiedenen Schaltungsanordnungen nicht sicher vermieden werden, wie sie insbes. bei Vibrationsbeanspruchungen bzw. bei starken Beschleunigungen oder Verzögerungen derartiger Schaltungsanordnungen auftreten können.

Deshalb liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Schaltungsanordnung der eingangs genannten Art sowie ein Verfahren zur Herstellung einer derartigen Schaltungsanordnung zu schaffen, wobei unterschiedliche elektrische Leistungen verarbeitet werden können, und Kontaktierungsprobleme zwischen den Schaltungsstrukturen unterschiedlicher Herstellungstechnologie erheblich reduziert sind.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Schaltungsstruktur eine Metallfolienschaltungsstruktur aus einer strukturierten Metallfolie und eine Dickschicht- und/oder Dünnschichtschaltungsstruktur aufweist, wobei die Folienschaltungsstruktur mindestens teilweise mit einer eine Oxidation verhindernden Passivierungsschicht bedeckt ist und die Dickschichtschaltungsstruktur und/oder die Dünnschichtschaltungsstruktur auf dem Trägerkörper von der Folienschaltungsstruktur beabstandet und/oder auf der Passivierungsschicht festhaftend vorgesehen ist. Dadurch, daß auf einem einzigen elektrisch isolierenden Trägerkörper nebeneinander eine Folienschaltungsstruktur und eine Dickschichtschaltungsstruktur und/oder eine Dünnschichtschaltungsstruktur vorgesehen sind, ist der Manipulationsaufwand zur Herstellung der Schaltungsanordnung vergleichsweise gering. Ein weiterer erheblicher Vorteil besteht darin, daß die Kontaktierung zwischen den Schaltungsstrukturen unterschiedlicher Herstellungstechnologien wesentlich vereinfacht und damit verbessert ist, so daß Vibrationsbeanspruchungen bzw. starke Beschleunigungen oder Verzögerungen der Schaltungsanordnung zu keinen Kontaktierungsproblemen bzw. Kontaktausfällen führen. Außerdem ergibt sich mit einer solchen Schaltungsanordnung der Vorteil eines vergleichsweise kleinen Raumbedarfs, weil die unterschiedlichen Schaltungsstrukturen auf einem einzigen elektrisch isolierenden Trägerkörper vorgesehen sind, so daß Verbindungsbrücken, die einen bestimmten Platzbedarf haben, entfallen.

Die Dickschichtschaltungsstruktur und/oder die Dünnschichtschaltungsstruktur können auf der gleichen Hauptfläche des Trägerkörpers festhaftend vorgesehen sein, wie die Folienschaltungsstruktur. Es ist jedoch auch möglich, daß die Dickschichtschaltungsstruktur und/oder die Dünnschichtschaltungsstruktur auf der einen Hauptfläche des Trägerkörpers und die Folienschaltungsstruktur auf der gegenüberliegenden Hauptfläche festhaftend vorgesehen sind. Bei der zuletzt genannten Ausbildung der Schaltungsanordnung kann der Platzbedarf im Vergleich zur zuerst genannten Ausbildung weiter in vorteilhafter Weise reduziert sein, weil die Dick- und/oder Dünnschichtschaltungsstruktur bzw. die Folienschaltungsstruktur keinen eigenen Platzbedarf, sondern den durch die jeweils auf der anderen Hauptfläche des elektrisch isolierenden Trägerkörpers gegebenen Platzbedarf beansprucht. Dadurch ist eine Reduktion der Abmessungen des elektrisch isolierenden Trägerkörpers in der Größenordnung um 50% möglich.

Die Folienschaltungsstruktur ist vorzugsweise mit Anschlußelementen versehen, die mit Kontaktflächen der Dünnschichtschaltungsstruktur bzw. der Dickschichtschaltungsstruktur verbindbar bzw. verbunden sind. Bei diesen Anschlußelementen kann es sich um Anschlußdrähte oder um Anschlußfahnen handeln, die mit der Folienschaltungsstruktur einstückig ausgebildet sein können. Dadurch wird ein entsprechender Löt- bzw. Schweißvorgang eingespart und gleichzeitig der erhebliche Vorteil einer verbesserten Kontaktsicherheit erzielt.

Demselben Zweck dient es, wenn die Dickschichtschaltungsstruktur mit der Dünnschichtschaltungsstruktur mittels Leitungsbahnen elektrisch leitend verbunden ist. Diese Leitungsbahnen können entweder in Dickschichttechnik oder in Dünnschichttechnik auf der entsprechenden Hauptfläche des elektrisch isolierenden Trägerkörpers realisiert sein. Durch diese unmittelbare Verbindung zwischen der Dickschichtschaltungsstruktur und der Dünnschichtschaltungsstruktur der Schaltungsanordnung mittels solcher festhaftender Leitungsbahnen kann in vorteilhafter Weise eine externe Kontaktierung bspw. mittels Verbindungsdrähten vermieden werden, was eine Vereinfachung der Herstellung der Schaltungsanordnung und gleichzeitig eine Verbesserung der Kontaktsicherheit zwischen den zuletzt genannten Schaltungsstrukturen ergibt.

Die Folienschaltungsstruktur und/oder die Dickschichtschaltungsstruktur und/oder die Dünnschichtschaltungsstruktur können mit diskreten elektrischen Bauelementen kontaktiert sein. Entsprechend den Leistungen, mit welchen derartige Dünnschichtschaltungsstrukturen bzw. Dickschichtschaltungsstrukturen betrieben werden können, handelt es sich auch bei den diskreten elektrischen Bauelementen, die mit der entsprechenden Dickschichtschaltungsstruktur bzw. die mit der entsprechenden Dünnschichtschaltungsstruktur elektrisch leitend kontaktiert sind, um elektrische Bauelemente vergleichsweise kleiner Nennleistung. Anders verhält es sich bei den diskreten elektrischen Bauelementen, die mit der entsprechenden Folienschaltungsstruktur der Schaltungsanordnung kontaktiert sind. Bei diesen zuletzt genannten Bauelementen kann es sich um sog. Leistungsbauelemente wie Leistungsthyristoren, Leistungstransistoren oder beliebige andere Leistungsbauelemente handeln.

Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung einer Schaltungsanordnung, bei dem auf einem elektrisch isolierenden Trägerkörper eine Schaltungsstruktur festhaftend angeordnet wird, wobei an der Schaltungsstruktur gegebenenfalls diskrete elektrische Bauelemente elektrisch leitend befestigt werden, ist dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Trägerkörper zuerst eine Metallfolie festhaftend angeordnet wird, die strukturiert wird, daß die Folienschaltungsstruktur anschließend mindestens teilweise mit einer temperaturbeständigen, eine Oxidation verhindernden Passivierungsschicht bedeckt wird, und daß danach auf dem Trägerkörper von der Folienschaltung beabstandet und/oder auf der Passivierungsschicht eine Dickschichtschaltungsstruktur und/oder eine Dünnschichtschaltungsstruktur festhaftend angebracht werden/wird. Die Metallfolie wird dabei insbes. nach dem in der DE 36 33 907 A1 beschriebenen Verfahren auf dem elektrisch isolierenden Trägerkörper festhaftend angebracht. Bei der Metallfolie kann es sich um eine flächige Metallfolie handeln, die nach der haftfesten Anordnung auf dem elektrisch isolierenden Trägerkörper strukturiert wird, es ist jedoch auch möglich, auf dem elektrisch isolierenden Trägerkörper eine vorherstrukturierte Metallfolie festhaftend anzubringen. Die Passivierungsschicht dient insbes. dazu, die Folienschaltungsstruktur gegen eine Oxidation zu schützen, die sich bei einer nachfolgenden Behandlung der Schaltungsanordnung ergeben würde. Die Passivierungsschicht bedeckt die Folienschaltungsstruktur bis auf gegebenenfalls auf der Folienschaltungsstruktur vorgesehene bzw. anzubringende diskrete elektrische Bauelemente. Nach der Ausbildung der Passivierungsschicht und der gegebenenfalls erforderlichen Aushärtung derselben wird auf den Trägerkörper und/oder auf der Passivierungsschicht eine Dickschichtschaltungsstruktur und/oder eine Dünnschichtschaltungsstruktur festhaftend angebracht. Dabei werden an sich bekannte Dickschicht- bzw. Dünnschichttechnologien angewandt, so daß es sich erübrigt, diese detailliert zu beschreiben. Da bei der Durchführung dieser Dickschicht- bzw. Dünnschichttechnologien Temperaturen in der Größenordnung um 100°C auftreten, ist die die volle Schaltungsstruktur mindestens teilweise bedeckende Passivierungsschicht zum Schutz der Folienschaltungsstruktur während der Durchführung der Dickschicht- bzw. Dünnschichttechnologie vorgesehen. Bei der Passivierungsschicht kann es sich um eine Glas- oder um eine Kunststoffschicht handeln.

Wenn die Schaltungsanordnung sowohl eine Dünnschichtschaltungsstruktur als auch eine Dickschichtschaltungsstruktur aufweist, was nicht unbedingt der Fall sein muß, wird die Dünnschichtschaltungsstruktur vorzugsweise nach der Dickschichtschaltungsstruktur hergestellt. In jedem Fall wird das Verfahren zur Herstellung der Schaltungsanordnung derart ausgeführt, daß zuerst die Verfahrensschritte durchgeführt werden, die eine relativ hohe Temperatur erfordern, und daß nacheinander Verfahrensschritte bzw. Schichtschaltungsstrukturen ausgebildet werden, die nacheinander jeweils kleinere bzw. kleiner werdende Temperaturen erfordern.

An der Folienschaltungsstruktur können Anschlußelemente ausgebildet werden, die nach der Herstellung der mit Kontaktflächen ausgebildeten Dickschichtschaltungsstruktur und/oder Dünnschichtschaltungsstruktur mit den zugehörigen Kontaktflächen der zuletzt genannten Schaltungsstrukturen elektrisch leitend verbunden werden. Die Anschlußelemente der Folienschaltungsstruktur können mit der Folienschaltungsstruktur einstückig hergestellt werden. Selbstverständlich ist es auch möglich, die Anschlußelemente von der Folienschaltungsstruktur getrennt auszubilden und an der Folienschaltungsstruktur elektrisch leitend und mechanisch fest zu kontaktieren.

An der Folienschaltungsstruktur und/oder an der Dickschichtschaltungsstruktur und/oder an der Dünnschichtschaltungsstruktur können diskrete elektrische Bauelemente elektrisch leitend kontaktiert werden. Bei Durchführung dieses Verfahrens werden an der Dickschichtschaltungsstruktur Bauelemente der entsprechenden Leistungsaufnahme elektrisch leitend kontaktiert. Entsprechendes gilt für die elektrischen Bauelemente, die an der Dünnschichtschaltungsstruktur bzw. die an der Folienschaltungsstruktur elektrisch leitend kontaktiert werden.

Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von in der Zeichnung schematisch in einem vergrößerten Maßstab dargestellten Ausführungsbeispielen der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung. Es zeigt

Fig. 1 einen Längsschnitt durch eine erste Ausbildung der Schaltungsanordnung,

Fig. 2 einen Längsschnitt durch eine zweite Ausführungsform der Schaltungsanordnung, und

Fig. 3 einen Längsschnitt durch eine dritte Ausführungsform der Schaltungsanordnung.

Fig. 1 zeigt eine Schaltungsanordnung 10 mit einem elektrisch isolierenden Trägerkörper 12, der bspw. aus einer Aluminiumoxidkeramik, aus einem Siliziumnitrid, oder aus einem anderen geeigneten Material besteht. Der Trägerkörper 12 ist als ebene Platte ausgebildet. Auf der einen Hauptfläche 14 des Trägerkörpers 12 wird in einem ersten Arbeitsschritt eine Metallfolie 16 festhaftend angebracht, wobei bspw. nach dem in der DE 36 33 907 A1 beschriebenen Verfahren vorgegangen wird. Die Metallfolie 16 kann bereits vor der haftfesten Verbindung mit dem Trägerkörper 12 strukturiert worden sein, oder es ist auch möglich, die Metallfolie 16 nach der haftfesten Verbindung mit dem elektrisch isolierenden Trägerkörper 12 zu strukturieren. Dazu wird bspw. ein Maskier- und Ätzverfahren angewandt. Auf der durch die geschwungene Klammer 18 angedeuteten Folienschaltungsstruktur können diskrete elektrische Bauelemente 20 elektrisch leitend kontaktiert sein, von denen in dieser Figur nur ein Bauelement dargestellt ist, und bei denen es sich insbes. um Leistungsbauelemente handeln kann. Die Folienschaltungsstruktur 18 ist einstückig mit Anschlußelementen 22 ausgebildet, welche äußere Anschlüsse bilden. Die Folienschaltungsstruktur 18 weist außerdem Anschlußelemente 24 auf, die ebenfalls einteilig mit der Folienschaltungsstruktur 18 ausgebildet sein können, oder die mit der Folienschaltungsstruktur 18 mittels einer Löt- oder Schweißverbindung elektrisch leitend kontaktiert sind. Eine Passivierungsschicht 26 bedeckt die Folienschaltungsstruktur 18, so daß die Folienschaltungsstruktur 18 gegen äußere Einflüsse bzw. gegen Oxidation geschützt ist.

Auf der Hauptfläche 14 des Trägerkörpers 12 ist seitlich neben der Folienschaltungsstruktur 18 in einem Abstand von derselben eine Dickschichtschaltungsstruktur festhaftend vorgesehen, die in dieser Figur durch die geschwungene Klammer 28 angedeutet ist. Die Dickschichtschaltungsstruktur 28 kann mit diskreten Bauelementen 30 kontaktiert sein, die eine geringere Leistungsaufnahme besitzen als die Bauelemente 20 auf der Folienschaltungsstruktur 18. Die Dickschichtschaltungsstruktur 28 wird bspw. in einem Maskenspritzverfahren oder vorzugsweise in einem Siebdruckverfahren auf der Hauptfläche 14 des Trägerkörpers 12 ausgebildet.

In einem Abstand von der Folienschaltungsstruktur 18 bzw. der Dickschichtschaltungsstruktur 28 ist auf der Hauptfläche 14 des Trägerkörpers 12 eine Dünnschichtschaltungsstruktur festhaftend vorgesehen, die durch die geschwungene Klammer 32 angedeutet ist. Die Dünnschichtschaltungsstruktur 32 ist ebenfalls mit diskreten elektrischen Bauelementen 34 elektrisch leitend kontaktiert. Die Verbindung zwischen der Dickschichtschaltungsstruktur 28 und der in einem an sich bekannten Verfahren hergestellten Dünnschichtschaltungsstruktur 32 erfolgt in dem in dieser Figur dargestellten Ausführungsbeispiel mittels Verbindungsdrähten 36, die an dafür vorgesehenen Kontaktflächen der Schaltungstrukturen 28 bzw. 32 festgebondet sein können. Die gesamte Schaltungsanordnung 10 kann mit einer (nicht dargestellten) elektrisch isolierenden Umhüllung bedeckt sein.

Die Schaltungsanordnung gemäß Fig. 2 unterscheidet sich von der in Fig. 1 dargestellten Schaltungsanordnung 10 dadurch, daß bei der in Fig. 2 gezeichneten Schaltungsanordnung 10 die Folienschaltungsstruktur 18 auf der einen Hauptfläche 14 des elektrisch isolierenden Trägerkörpers 12 festhaftend vorgesehen ist, während die Dickschichtschaltungsstruktur 28 und die Dünnschichtschaltungsstruktur 32 auf der gegenüberliegenden zweiten Hauptfläche 38 des elektrisch isolierenden Trägerkörpers 12 haftfest vorgesehen ist. Auf der Folienschaltungsstruktur 18 sind diskrete Bauelemente 20 elektrisch leitend kontaktiert, während die Dünnschichtschaltungsstruktur 32 bzw. die Dickschichtschaltungsstruktur 28 ohne diskrete Bauelemente ausgebildet sind. Die elektrisch leitende Verbindung zwischen der Dickschichtschaltungsstruktur 28 und der Dünnschichtschaltungsstruktur 32 ist auch bei dieser Schaltungsanordnung 10 mittels Verbindungsdrähten 36 bewerkstelligt. Die Folienschaltungsstruktur 18 ist einstückig mit Anschlußelementen 22 ausgebildet, von denen in dieser Figur wie in Fig. 1 nur ein Anschlußelement sichtbar ist, und die über den elektrisch isolierenden Trägerkörper 12 überstehen. Eine Passivierungsschicht 26 bedeckt die Folienschaltungsstruktur 18, so daß diese gegen äußere Einflüsse und gegen Wärmeeinwirkungen, wie sie bei der Herstellung der Dickschichtschaltungsstruktur 28 bzw. der Dünnschichtschaltungsstruktur 32 auftreten, geschützt ist. Anschlußelemente 24, die mit der Folienschaltungsstruktur 18 elektrisch leitend verbunden sind, stehen aus der Passivierungsschicht 26 vor und sind von der ersten Hauptfläche 14 zur zweiten Hauptfläche 38 des Trägerkörpers 12 herumgebogen, um hier mit dafür vorgesehenen Kontaktflächen der Dickschichtschaltungsstruktur 28 kontaktiert zu werden. Diese Kontaktierung kann bspw. durch Löten oder Schweißen erfolgen. Die in Fig. 2 schematisch gezeichnete Schaltungsanordnung 10 weist - wie ohne weiteres ersichtlich ist - einen kleineren Platzbedarf auf als die in Fig. 1 gezeichnete Schaltungsanordnung 10. Eine elektrisch isolierende Umhüllung kann die in Fig. 2 gezeichnete Schaltungsanordnung 10 allseitig bedecken, wobei aus dieser (nicht dargestellten) Umhüllung nur die Anschlußelemente 22 vorstehen.

Fig. 3 zeigt eine Ausbildung der Schaltungsanordnung 10, bei der auf der einen Hauptfläche 14 des elektrisch isolierenden Trägerkörpers 12 eine Folienschaltungsstruktur 18 festhaftend vorgesehen ist. Die Folienschaltungsstruktur 18 weist Anschlußelemente 22 auf, von denen in dieser Figur nur ein Anschlußelement 22 sichtbar ist, wobei diese Anschlußelemente 22 vom Trägerkörper 12 wegstehen. Die Folienschaltungsstruktur 18 ist mit diskreten Bauelementen 20 kontaktiert, von denen nur eines sichtbar ist. Die übrige Folienschaltungsstruktur 18 ist mit einer Passivierungsschicht 26 bedeckt, auf der eine Dickschichtschaltungsstruktur 28 festhaftend angeordnet ist. Neben der Dickschichtschaltungsstruktur 28 kann gegebenenfalls auch eine Dünnschichtschaltungsstruktur auf der Passivierungsschicht 26 festhaftend vorgesehen sein. Desgleichen ist es möglich, daß anstelle der Dickschichtschaltungsstruktur 28 eine Dünnschichtschaltungsstruktur auf der Passivierungsschicht 26 haftfest angeordnet ist. Anschlußelemente 24 dienen zur elektrisch leitenden Verbindung zwischen der Folienschaltungsstruktur 18 und der Dickschichtschaltungsstruktur 28 der Schaltungsanordnung 10. Eine (nicht dargestellte) Umhüllung kann die gesamte Schaltungsanordnung 10 allseitig umgeben, wobei die Anschlußelemente 22 aus der nicht gezeichneten Umhüllung vorstehen.

In den Figuren sind Passivierungsschichten dargestellt, bei denen es sich z.B. um Glasschichten, um Emailschichten oder um Kunstharzschichten handeln kann. Es ist jedoch auch möglich, als Passivierungsschicht einen selbsttragenden, elektrisch isolierenden Trägerkörper zu verwenden, auf dem die Dickschicht-und/oder Dünnschichtschaltungsstruktur vorgesehen ist. Desgleichen ist es möglich, mehrere Lagen übereinander vorzusehen, um eine sogen. Multilayer-Anordnung auszubilden.

Claims (10)

1. Schaltungsanordnung mit einer auf einem elektrisch isolierenden Trägerkörper (12) festhaftend angeordneten Schaltungsstruktur, an der gegebenenfalls diskrete elektrische Bauelemente (20, 30, 34) befestigt sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Schaltungsstruktur eine Folienschaltungsstruktur (18) aus einer strukturierten Metallfolie und eine Dickschicht- und/oder Dünnschichtschaltungsstruktur (28, 32) aufweist, wobei die Folienschaltungsstruktur (18) mindestens teilweise mit einer eine Oxidation verhindernden Passivierungsschicht (26) bedeckt ist und die Dickschichtschaltungsstruktur (28) und/oder die Dünnschichtschaltungsstruktur (32) auf dem Trägerkörper (12) von der Folienschaltungsstruktur (18) beabstandet und/oder auf der Passivierungsschicht (26) fest haftend vorgesehen ist.

2. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dickschichtschaltungsstruktur (28) und/oder die Dünnschichtschaltungsstruktur (32) auf der gleichen Hauptfläche (14) des Trägerkörpers (12) festhaftend vorgesehen sind, wie die Folienschaltungsstruktur (18).

3. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dickschichtschaltungsstruktur (28) und/oder die Dünnschichtschaltungsstruktur (32) auf der einen Hauptfläche (38) des Trägerkörpers (12) und die Folienschaltungsstruktur (18) auf der gegenüberliegenden Hauptfläche (14) festhaftend vorgesehen sind.

4. Schaltungsanordnung nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Folienschaltungsstruktur (18) mit Anschlußelementen (24) versehen ist, die mit Kontaktflächen der Dünnschichtschaltungsstruktur (32) bzw. Dickschichtschaltungsstruktur (28) verbindbar bzw. verbunden sind.

5. Schaltungsanordnung nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Dickschichtschaltungsstruktur (28) mit der Dünnschichtschaltungsstruktur (32) mittels Leitungsbahnen elektrisch leitend verbunden ist.

6. Schaltungsanordnung nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Folienschaltungsstruktur (18) und/oder die Dickschichtschaltungsstruktur (28) und/oder die Dünnschichtschaltungsstruktur (32) mit diskreten elektrischen Bauelementen (20, 30, 34) kontaktiert sind/ist.

7. Verfahren zur Herstellung einer Schaltungsanordnung bei dem auf einem elektrisch isolierenden Trägerkörper (12) eine Schaltungsstruktur festhaftend angeordnet wird, wobei an der Schaltungsstruktur gegebenenfalls diskrete elektrische Bauelemente (20, 30, 34) elektrisch leitend befestigt werden, dadurch gekennzeichnet,
daß auf dem Trägerkörper (12) zuerst eine Metallfolie (16) festhaftend angeordnet wird, die strukturiert ist bzw. die strukturiert wird,
daß die Folienschaltungsstruktur (18) anschließend mindestens teilweise mit einer temperaturbeständigen, eine Oxidation verhindernden Passivierungsschicht (26) bedeckt wird, und
daß danach auf dem Trägerkörper (12) von der Folienschaltung (18) beabstandet und/oder auf der Passivierungsschicht (26) eine Dickschichtschaltungsstruktur (28) und/oder eine Dünnschichtschaltungsstruktur (32) festhaftend angebracht werden/wird.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Dünnschichtschaltungsstruktur (32) nach der Dickschichtschaltungsstruktur (28) hergestellt wird.

9. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß an der Folienschaltungsstruktur (18) Anschlußelemente (24) ausgebildet werden, die nach der Herstellung der mit Kontaktflächen ausgebildeten Dickschichtschaltungsstruktur (28) und/oder Dünnschichtschaltungsstruktur (32) mit den zugehörigen Kontaktflächen elektrisch leitend verbunden werden.

10. Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß an der Folienschaltungsstruktur (18) und/oder an der Dickschichtschaltungsstruktur (28) und/oder an der Dünnschichtschaltungsstruktur (32) diskrete elektrische Bauelemente (20, 30, 34) elektrisch leitend kontaktiert werden.