DE3832901C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Messen der Anzahl und der Eigenschaften von Teilchen in einer Probeflüs­ sigkeit gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Eine derartige Anordnung ist beispielsweise in der DE-OS 28 13 245 und der DE-OS 29 22 643 offenbart.

Die Anordnung gemäß der DE-OS 28 13 245 hat zwei wesent­ liche Nachteile. Zum einen ergeben sich zwangsläufig beim Eintritt und Austritt des Lichtes von der umgebenden Luft in den Fluidstrom aufgrund der unterschiedlichen Brechungsin­ dizes Brechungswinkel, und damit Streulicht, das zu einer Verfälschung der Messung führt. Um diesen Effekt soweit wie möglich zu vermeiden, wird der Lichtstrahl auf einen kleinen, nämlich den mittleren Teil des Fluidstromes gelenkt, der im wesentlichen flach und eben ist. Hierdurch lassen sich zwar Brechungen und Streuungen reduzieren, jedoch bewirkt dies zum anderen, daß nur ein kleiner Teil des Fluidstromes abgetastet wird.

Zwar kann die Anordnung gemäß der DE-OS 29 22 643 die Streuverluste im wesentlichen vermeiden. Diese Anordnung hat jedoch den Nachteil, daß ein den eigentlich zu messenden Fluidstrom umgebender Mantelstrom notwendig ist, und in der Praxis die angegebene rechteckige Querschnittskontur des Fluidstrahls nur sehr eingeschränkt erzielbar ist. Mes­ sungen mit relativ geringer Streuung lassen sich auch bei dieser Anordnung nur im mittleren Bereich des Fluidstromes durchführen, während zu den Kanten hin ebenfalls mit großen Verfälschungen zu rechnen ist. Dies hat zur Folge, daß auch bei dieser Anordnung keine Messung des gesamten Strömungs­ querschnittes möglich ist.

Die gattungsgemäße Vorrichtung kann dazu benutzt werden, den Schmutz in Flüssigkeiten zu überwachen, die bei der Halb­ leiterherstellung verwandt werden, oder die Größe und die Art von Bakterien und biologischen Zellen in der Bioindustrie zu bestimmen.

Bei einer Vorrichtung, bei der eine Probesuspension durch ein transparentes Rohr (Strömungszelle) fließengelassen wird und die Probesuspension mit Licht bestrahlt wird, um die Eigenschaften der in der Suspension enthaltenden Teilchen, beispielsweise die Größe und den Brechungsindex, durch Erfassen des von den Teilchen gestreuten Lichtes zu bestimmen, sind viele Weiterentwicklungen vorgenommen worden, um das Signalrauschverhältnis während der Messung zu erhöhen. Die meisten dieser Weiterentwicklungen sind darauf gerichtet, das Streulicht zu verringern, das ein Rauschen oder Störsignale erzeugen wird, oder den Einfluß der Störsignale auszuschalten.

Im Gegensatz zur Messung von Teilchen in Gasen ist die Messung von kleinsten Teilchen in Flüssigkeiten mit den folgenden Schwierigkeiten verbunden. Da Unterschiede im Brechungsindex zwischen der Probeflüssigkeit, dem Material, das die Strömungszelle bildet, durch die die Probeflüssigkeit hindurchgeleitet wird, und der Freiluft bestehen, wird das von den Grenzen zwischen diesen drei Materialien gestreute und reflektierte Licht ein starkes Streulicht bilden.

Um das starke Streulicht auszuschalten, werden die folgenden herkömmlichen Verfahren angewandt, wie es in der JP-OS 114 260/1979 beschrieben ist.

• (a) Ein erstes Verfahren besteht darin, den Meßbereich der Probesuspension sehr klein zu halten und den empfindlichen Bereich soweit wie möglich von der Grenze zwischen der Probesuspenion und der Wand der Strömungszelle entfernt zu halten, um ihn gegenüber dem Einfluß des Streulichtes von der Grenze zu schützen. Dieses Verfahren hat jedoch einen Nachteil insofern, als aufgrund der Tatsache, daß der Meßbereich sehr klein ist, die Menge an Probeflüssigkeit, die pro Zeiteinheit gemessen werden kann, sehr klein ist und die Teilchen in anderen Bereichen als dem Meßbereich irrtümlich nicht gezählt werden könnten.
• (b) Bei einem zweiten Verfahren wird ein Flüssigkeitsstrom um den Probesuspensionsstrom herum gebildet, der einen Brechungsindex gleich dem der Probesuspension hat, um Streulicht von der Grenze zwischen der Probesuspension und der Wand der Strömungszelle auszuschließen. Dieses Verfahren verwendet eine sogenannte Hüllstromzelle. Da bei diesem Verfahren der Strom der Probesuspension schmaler als der Durchmesser des Bestrahlungslichtstrahls gemacht werden kann, kann ein Zählfehler verhindert werden. Dieses Verfahren hat jedoch die folgenden Nachteile: Die Hüllflüssigkeit, die um den Probesuspensionsstrom herum fließt, muß eine saubere Flüssigkeit sein, die keine Teilchen enthält. Um zu verhindern, daß der Probesuspensionsstrom auseinanderfließt, ist es notwendig, einen Hüllflüssigkeitsstrom zu erzeugen, der sich mit einer höheren Geschwindigkeit und mit einem höheren Durchsatz als die Probesuspension bewegt. Das bedeutet, daß der Strom der Hüllflüssigkeit den oberen Grenzwert des Probesuspensionsstromes festlegt und somit in der Praxis der Durchsatz der Probesuspension pro Zeiteinheit sehr klein ist.

Eine Vorrichtung zum Messen der Eigenschaften der Teilchen in einem Gas durch Aufnahme des Streulichtes, wie sie in der JP-OS 69 683/1976 vorgeschlagen ist, verwendet ein Verfahren, bei dem das Teilchen enthaltende Probegas von einer Düse ausgegeben und mit Licht koaxial zur Achse des Probegasstromes bestrahlt wird. Da der Brechungsindex des Probegases und der des umgebenden Gases nahezu gleich sind, kann das Bestrahlungslicht nicht im Probegas eingeschlossen werden. Um beim Zählen der Teilchen ein Auslassen von Teilchen zu verhindern, muß ein Lichtstrahl verwandt werden, dessen Durchmesser größer als der des Probegasstromes ist, was bedeutet, daß ein Überschuß von Strahlungslicht vorliegt, der effektiv nicht benutzt wird. Da das Probegas weiterhin in ein anderes Gas ausgegeben wird, muß das umgebende Gas in der gleichen stabilen Strömung wie das Probegas bewegt werden, um eine Probegasströmungsdisperion zu vermeiden.

Im Gegensatz zur Teilchenmessung bei Gas müssen bei der Messung von Teilchen in einer Flüssigkeit Teilchen in einer Flüssigkeit erfaßt werden, die einen anderen Brechungsindex als Luft hat. Das von der Oberfläche der Strömungszelle, durch die die Probeflüssigkeit geleitet wird, reflektierte, gebeugte und gestreute Licht kombiniert sich zu einem starken Streulicht. Um den Einfluß des Streulichtes zu vermeiden, ist es bisher üblich, in der oben beschriebenen Weise das einfallende Licht auf einen sehr kleinen Bereich der Probeflüssigkeit zu fokussieren oder die Probeflüssigkeit in einen schmalen Strom auszugeben, indem eine Hüllstromzelle verwandt wird. Diese herkömmlichen Verfahren haben den Nachteil, daß der gesamte Querschnitt des Probeflüssigkeitsstromes verglichen mit dem empfindlichen Bereich groß ist, ein großer Anteil des Probesuspensionsstromes verschwendet wird und daß dann, wenn der Probesuspensionsstrom schmaler als der Durchmesser des Bestrahlungslichtstrahls gemacht wird, um zu vermeiden, daß beim Zählen der Teilchen Teilchen unberücksichtigt bleiben, der Teil des Lichtstrahles verschwendet wird, der nicht an der Probesuspension liegt.

Die US-PS 37 49 910 offenbart eine Meßeinrichtung zur Feststellung der Partikeldichte unter Verwendung von Gamma­ strahlen. Hierbei wird zwar offenbar ein Fluidstrom koaxial zur Strömungsrichtung von den Gammastrahlen durchquert, je­ doch treten hierbei die Probleme der Streulichteinflüsse überhaupt nicht auf. Zum einen wird anstelle von sichtbarem Licht Gammastrahlung verwendet, zum anderen befindet sich der Fluidstrom in einem Rohr und strömt nicht aus einer Düse.

Die US-PS 43 75 334 beschäftigt sich mit der Messung von Aerosolen, d. h. im wesentlichen mit Gasströmungen. Hierbei treten überhaupt keine Grenzflächen zwischen Medien unter­ schiedlicher optischer Dichten auf, so daß auch die Probleme von hieraus resultierenden Brechungen nicht vorhanden sind.

Zur Vermeidung dieser Schwierigkeiten liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Messen von Teilchen in einer Flüssigkeit zu schaffen, bei der Streulichteinflüsse besei­ tigt sind und eine Verschwendung von Bestrahlungslicht ver­ mieden wird.

Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst.

Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird der Unterschied im Brechungsindex zwischen dem Gas und der Probeflüssigkeit ausgenützt, um das einfallende Licht in der Probeflüssigkeit einzuschließen, wodurch Streulichteinflüsse und eine Verschwendung des Bestrahlungslichtes ausgeschlossen und gleichzeitig Fehler beim Zählen der Teilchen vermieden wer­ den.

Der Brechungsindex einer Flüssigkeit ist im allgemeinen größer als der von Gas. Beispielsweise liegt der Brechungsindex von Luft bei 1,00 im Gegensatz zu einem Brechungsindex von 1,33 für Wasser. Wenn daher die Flüssigkeit in einem Strom ausfließen gelassen wird und das Licht durch den Strom koaxial zu seiner Achse geleitet wird, dann wird das Licht im Inneren des Stromes total reflektiert, so daß der Flüssigkeitsstrom die Funktion eines Lichtleiters wie eine optische Faser hat. Da das Bestrahlungslicht im Flüssigkeitsstrom eingeschlossen ist, wird kein Streulicht erzeugt. Bei einer optischen Faser muß jedoch ein Hüllmaterial mit einem kleineren Brechungsindex als dem des Kernmaterials über dem Kern angeordnet sein, der als Lichtwellenleiter arbeitet.

Bei der erfindungsgemäßen Ausbildung muß jedoch nur ein Strom der Probeflüssigkeit gebildet werden. Allein damit kann das Licht über die gesamte Querschnittsfläche des Probeflüssigkeitsstromes ausgestrahlt werden, was es möglich macht, alle Teilchen in der Probeflüssigkeit zu zählen, ohne daß Teilchen unberücksichtigt bleiben.

Im folgenden werden anhand der zugehörigen Zeichnungen besonders bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung näher beschrieben. Es zeigt

Fig. 1 den Grundaufbau eines ersten Ausführungsbeispiels der Erfindung,

Fig. 2 den Grundaufbau eines zweiten Ausführungsbeispiels der Erfindung,

Fig. 3 und 4 den Grundaufbau eines dritten und eines vierten Ausführungsbeispiels, die dem ersten und zweiten Ausführungsbeispiel mit zusätzlichen Bauteilen entsprechen,

Fig. 5 eine Querschnittsansicht, wobei ein Grundgedanke dargestellt ist, und

Fig. 6 und 7 den Grundaufbau eines fünften und sechsten Ausführungsbeispiels, die den in Fig. 5 dargestellten Grundgedanken verwenden.

Fig. 1 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung. Eine Probesuspension 2 wird von einer schwarzen Düse 1 aus in die freie Luft ausgegeben. Bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel hat die Düse 1 einen Innendurchmesser von 0,4 mm, so daß der Außendurchmesser der Probesuspension 2, die in einem Strom ausläuft, bei 0,4 mm liegt. Das Auslaufen der Probesuspension von der Düse erfolgt nach dem Verfahren des freien Falles, wobei die Düse mit einem nicht dargestellten Suspensionsflüssigkeitsbehälter verbunden ist, der in der Höhe angeordnet ist. Statt dieses Verfahrens kann ein Verfahren angewandt werden, bei dem eine Pumpe dazu benutzt wird, die Probesuspension unter einem konstanten Druck zu pumpen. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Probesuspension 2 Wasser, das Staubteilchen oder Schmutzteilchen enthält. Das Licht von einer Lichtquelle 6 wird in die Strömungsrichtung des Probesuspensionsstromes 2 unter Verwendung eines Spiegels 4 gestrahlt. Das anliegende Licht ist im allgemeinen ein sichtbarer Lichtstrahl, der auf einen Durchmesser von nahezu 1 mm gebündelt ist. Es ist möglich, einen Laserstrahl statt eines sichtbaren Lichtstrahles zu verwenden.

Da ein Unterschied im Brechungsindex zwischen der Probesuspenion und der Luft besteht (die Probesuspension hat einen größeren Brechungsindex), wird der Lichtstrahl im Strom der Probeflüssigkeit durch die Totalreflexion in der Flüssigkeit eingeschlossen. Der Lichtstrahl wird auch über die gesamte Querschnittsfläche des Probeflüssigkeitsstromes ausgestrahlt. Die durch die Teilchen in der Probeflüssigkeit gestreuten Lichtstrahlen werden in vielen Richtungen und auch in eine Richtung senkrecht zur Oberfläche des Probeflüssigkeitsstromes ausgegeben, so daß sie nicht in der Probeflüssigkeit eingeschlossen sind. Die gestreuten Lichtstrahlen werden durch eine Linse 7 gesammelt und von einem Detektor 9 mit einem Empfindlichkeitsbereich erfaßt, der durch eine Blende 8 begrenzt ist. Das übertragene Licht und die Probeflüssigkeit treten zur Rückgewinnung in ein schwarzes Rohr 3 ein.

Bei der oben beschriebenen Anordnung können die von den Teilchen gestreuten Lichtstrahlen ohne Streulicht erfaßt werden. Das Licht über die gesamte Querschnittsfläche des Probeflüssigkeitsstromes an, so daß alle Teilchen in der Flüssigkeit gemessen werden können, ohne das Teilchen unberücksichtigt bleiben.

Fig. 2 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung. Um den Lichtstrahl in die Probesuspension 2 einzuführen, wird eine optische Faser 5 verwandt.

Die Fig. 3 und 4 zeigen ein drittes und ein viertes Ausführungsbeispiel, bei dem der laufende Strom der Probesuspension 2, das untere Ende der Düse 1 und das obere Ende des schwarzen Rohres 3 aus dem ersten und dem zweiten Ausführungsbeispiel von einem Glasrohr 10 eingeschlossen sind. Bei dieser Anordnung kann verhindert werden, daß der Staub in der Luft in die Probeflüssigkeit eintritt, was die Meßgenauigkeit erhöht.

Im folgenden wird ein Aufbau unter Bezug auf das Ausführungsbeispiel von Fig. 2 und 4 beschrieben, der dazu dient, die Erzeugung von Streulicht zu unterdrücken.

Zunächst wird der Grundgedanke dieses Ausführungsbeispiels beschrieben.

Fig. 5 zeigt eine Erläuterungsansicht hinsichtlich des Winkels des Lichtstrahles, der vom Ende der optischen Faser in eine Wasserprobe ausgesandt wird. Die optische Faser 5 besteht aus einem Kern (Brechungsindex n 1) und einer Hülle (Brechungsindex n 2). Der Grenzwinkel Φ c des von der optischen Faser 5 ausgesandten Lichtstrahles liegt bei

wobei n 0 (= 1,33) der Brechungsindex der Wasserprobe 2 ist. Unter Verwendung von allgemeinen Werten n 1 = 1,5 und n 2 = 1,44 berechnet sich der Grenzwinkel Φc auf 24°. Der maximale Winkel für die Totalreflexion des Lichtes in der Wasserprobe 2, die von Luft umgeben ist (Brechungsindex = 1,0) liegt bei 41,2°, ein Winkel, der größer als der Grenzwinkel Φc ist. Die von der optischen Faser austretenden Lichtstrahlen werden daher total-reflektiert und im Wasserprobestrom 2 eingeschlossen, der von Luft umgeben ist. Diese Lichtstrahlen werden über den gesamten Querschnitt des Wasserprobestromes 2 ausgestrahlt. Die Teilchenmeßvorrichtung für Flüssigkeit gemäß der Erfindung produziert daher kein unnützes Licht, das nicht für die Messung benutzt wird, und kann die Teilchen fehlerfrei, d. h. ohne das Teilchen unberücksichtigt bleiben, zählen. Bei den in den Fig. 2 und 4 dargestellten Ausführungsbeispielen bleibt jedoch das Problem, daß in dem Bereich, in dem der Wasserprobestrom 2 von dem Düssenende 1′ umschlossen ist, die Lichtstrahlen nicht total eingeschlossen werden, was Streulicht erzeugt.

Das obige Problem wird dadurch beseitigt, daß das vordere Ende der optischen Faser so angeordnet wird, daß die vom optischen Faserende ausgehenden Lichtstrahlen nicht auf die Innenwände der Düse fallen.

Fig. 6 zeigt ein fünftes Ausführungsbeispiel der Erfindung. Bei diesem Ausführungsbeispiel steht das vordere Ende der optischen Faser 5 aus dem Düsenende vor und ist die benutzte Probeflüssigkeit Wasser, das Staub- oder Schmutzteilchen enthält. Die Wasserprobe 2 kommt von einem Wasserzuführungsrohr 11 und kann von der Düse 1 in die freie Luft in einem Strom ausfließen. Bei diesem Ausführungsbeispiel liegt der Innendurchmesser der Düse 1 bei 0,4 mm, so daß der Außendurchmesser des Wasserprobestromes bei etwa 0,4 mm liegt. Das hintere Ende des Wasserzuführungsrohres 11, das der Düse 1 gegenüberliegt, ist mit einem Probeflüssigkeitsbehälter verbunden (nicht dargestellt), der in der Höhe angeordnet ist, so daß die Wasserprobe 2 frei durch die Schwerkraft von der Düse 1 nach unten fallen kann. Das Wasser kann unter einem konstanten Druck durch eine Pumpe zugeführt werden. Die Lichtstrahlen von der Lichtquelle 6 werden durch eine Linse 12 so fokussiert, daß sie in die optische Faser 5 eintreten, die einen Kerndurchmesser von 0,05 mm und einen Hüllenaußendurchmesser von 0,1 mm hat. Im allgemeinen wird sichtbares Licht als Strahlungslicht verwandt. Stattdessen kann auch ein Laserlichtstrahl verwandt werden.

Die optische Faser 5 wird durch das Wasserzuführungsrohr 11 eingeführt und so angeordnet, daß das vordere Ende der optischen Faser 5 vom Ende der Düse 1 vorsteht. Die von der optischen Faser 5 austretenden Lichtstrahlen werden in der anhand von Fig. 5 dargestellten Weise total-reflektiert und im Strom der Wasserprobe eingeschlossen, da ein Unterschied im Brechungsindex zwischen der Wasserprobe und Luft besteht (die Wasserprobe hat einen größeren Brechungsindex). Diese Strahlen werden darüber hinaus über den gesamten Querschnitt des Wasserprobestromes ausgesandt.

Die Teilchen in der Wasserprobe streuen das einfallende Licht in viele Richtungen und auch in einer Richtung senkrecht zur Oberfläche der Wasserprobe 2, so daß die Streustrahlen des Lichtes nicht im Wasserstrom eingeschlossen sind. Die Streustrahlen werden durch eine Linse 7 auf einen Detektor 9 mit einem Empfindlichkeitsbereich gesammelt, der durch einen Schlitz 8 begrenzt ist. Die übertragenen Lichstrahlen und die Wasserprobe treten in das schwarze Rohr 3 zur Rückgewinnung ein. Um den Einfluß von Staub in der Luft auszuschalten, sind die Düse 1 und das schwarze Rohr 3 von einem lichtdurchlässigen Schutzrohr 10 umgeben.

Bei diesem Ausführungsbeispiel können die durch die Teilchen gestreuten Lichtstrahlen ohne Streulicht erfaßt werden. Da der gesamte Querschnitt des Probewasserstromes mit Licht bestrahlt wird, können alle in der Wasserprobe enthaltenen Teilchen gezählt werden, ohne daß beim Zählen Teilchen unberücksichtigt bleiben.

Fig. 7 zeigt ein sechstes Ausführungsbeispiel der Erfindung, bei dem das vordere Ende der optischen Faser in die Düse in einem Maß zurückgezogen ist, daß das von der optischen Faser austretende Licht nicht auf die Innenwand der Düse fällt. Die benutzte Probeflüssigkeit ist Wasser, das Staubteilchen oder Schmutzteilchen enthält, wie es bei den vorhergehenden Ausführungsbeispielen der Fall war. Dieses Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 6 dadurch, daß sich das Ende der optischen Faser 5 im Inneren des Endes der Düse 1 befindet. Die anderen Bauteile sind mit denjenigen von Fig. 6 identisch.

Wie es in Fig. 7 und in Fig. 5 in einer teilweise vergrößerten Ansicht dargestellt ist, befindet sich das vordere Ende der optischen Faser um eine Strecke L im Inneren des Endes der Düse 1. Der erlaubte Grenzwert Lc der Strecke L ist durch den Grenzwinkel Φc eines Lichtstrahles, der von der optischen Faser 5 ausgeht, den Durchmesser D des Wasserprobestromes 2 und dem Kerndurchmesser d der optischen Faser 5 bestimmt. Das heißt, daß Lc · tanΦc = D /2 - d /2. Daraus wird erhalten Lc = (D /2 - d /2)/tanΦc. Wenn die Strecke L kleiner als der erlaubte Grenzwert Lc ist, dann kann verhindert werden, daß das von der optischen Faser 5 ausgesandte Licht auf die Innenwand der Düse 1 fällt, so daß kein Streulicht erzeugt wird.

Zusätzlich von den Vorteilen des fünften Ausführungsbeispiels hat das sechste Ausführungsbeispiel den Vorteil, daß die Anordnung des Endes der optischen Faser im Inneren des Endes der Düse die Stabilität der Strömung des Wasserprobenstromes und die Konstanz der Strömungsgeschwindigkeit verbessert.

Claims (8)

1. Vorrichtung zum Messen der Anzahl und der Eigenschaften von Teilchen in einer Probeflüssigkeit, mit einer Probeflüs­ sigkeitszuführeinrichtung, die die Probeflüssigkeit aus einer Düse (1) als Probeflüssigkeitsstrom in ein Gas ausfließen läßt, einer Lichtstrahlungs­ einrichtung (4, 5, 6) zum Einstrahlen von Licht in den Probe­ flüssigkeitsstrom, und einer Streulichtdetektoreinrichtung (7, 8, 9) zum Sammeln der von den Teilchen in dem Probeflüs­ sigkeitsstrom gestreuten Lichtstrahlen an einer Stelle außer­ halb und seitlich vom Probeflüssigkeitsstrom und zum an­ schließenden Messen der gesammelten Lichtstrahlen, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtstrahlungseinrichtung (4, 5, 6) das Licht koaxial zur Achse des Flüssigkeitsstromes ein­ strahlt.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Probeflüssigkeitszuführeinrichtung aus einem Probeflüssigkeitszuführrohr (11), einer Düse (1), die an einem Ende des Probeflüssigkeitszuführrohres (11) vorgesehen ist, und aus einem Probeflüssigkeitsrückgewinnungsrohr (3) besteht, das der Diode (1) mit einem Zwischenraum dazwischen gegenüberliegt.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Probeflüssigkeitsrückgewinnungsrohr (3) so ausgebildet ist, daß es das ausgesandte, nicht von Teilchen gestreute Licht einfängt.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtstrahlungseinrichtung (5, 6) aus einer Lichtquelle (6) und einer optischen Faser (5) zum Leiten des Lichtes von der Lichtquelle (6) besteht.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das vordere Ende der optischen Faser (5) so angeordnet ist, daß das von der optischen Faser (5) ausgesandte Licht nicht auf die Innenwand der Düse (1) fällt.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das vordere Ende der optischen Faser (5) aus dem Ende der Düse (1) vorsteht.

7. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein lichtdurchlässiges Rohr (10) so vorgesehen ist, daß es den Außenumfang des Probeflüssigkeitsstromes vom Ende der Düse (1) bis zum Beginn des Probeflüssigkeitsrückgewinnungsrohres (3) umschließt.

8. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Streulichtdetektoreinrichtung (7, 8, 9) eine Sammellinse (7) ein­ schließt, die zwischen dem Probeflüssigkeitsstrom und einem zur Streulichtdetektoreinrichtung (7, 8, 9) gehörenden Detektor (9) angeordnet ist.