DE3829338C2 - - Google Patents

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DE3829338C2 DE19883829338 DE3829338A DE3829338C2 DE 3829338 C2 DE3829338 C2 DE 3829338C2 DE 19883829338 DE19883829338 DE 19883829338 DE 3829338 A DE3829338 A DE 3829338A DE 3829338 C2 DE3829338 C2 DE 3829338C2
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Erhard Dr. 7514 Eggenstein-Leopoldshafen De Huttel
Pierre Dr. Neerach Ch Schmelzbach
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00Ion beam tubes
    • H01J27/02Ion sources; Ion guns
    • H01J27/16Ion sources; Ion guns using high-frequency excitation, e.g. microwave excitation
    • H01J27/18Ion sources; Ion guns using high-frequency excitation, e.g. microwave excitation with an applied axial magnetic field

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