DE3829338C2 - - Google Patents
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J27/00—Ion beam tubes
- H01J27/02—Ion sources; Ion guns
- H01J27/16—Ion sources; Ion guns using high-frequency excitation, e.g. microwave excitation
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Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Particle Accelerators (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19883829338 DE3829338A1 (de) | 1988-08-30 | 1988-08-30 | Vorrichtung zur ionisation eines polarisierten atomstrahls |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19883829338 DE3829338A1 (de) | 1988-08-30 | 1988-08-30 | Vorrichtung zur ionisation eines polarisierten atomstrahls |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3829338A1 DE3829338A1 (de) | 1990-03-01 |
| DE3829338C2 true DE3829338C2 (cs) | 1993-04-29 |
Family
ID=6361853
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19883829338 Granted DE3829338A1 (de) | 1988-08-30 | 1988-08-30 | Vorrichtung zur ionisation eines polarisierten atomstrahls |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE3829338A1 (cs) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19513345C2 (de) * | 1995-04-08 | 2000-08-03 | Ehret Hans P | ECR-Ionenquelle |
| DE19641439C2 (de) * | 1995-04-08 | 2000-09-07 | Ehret Hans P | ECR-Ionen-Quelle |
| DE19900437B4 (de) * | 1999-01-11 | 2009-04-23 | Ehret, Hans-P. | Verfahren und Vorrichtung zur Ionenimplantation in Festkörpern und/oder zur Beschichtung von Festkörperoberflächen sowie die Verwendung von Verfahren und Vorrichtung |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4127361A1 (de) * | 1991-08-19 | 1993-02-25 | Harald Dr Morgner | Verfahren zur erzeugung von beugungsbildern von oberflaechen mit hilfe von angeregten edelgasatomen |
| DE10334452A1 (de) * | 2003-07-26 | 2005-11-03 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Speicherringanordnung |
-
1988
- 1988-08-30 DE DE19883829338 patent/DE3829338A1/de active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19513345C2 (de) * | 1995-04-08 | 2000-08-03 | Ehret Hans P | ECR-Ionenquelle |
| DE19641439C2 (de) * | 1995-04-08 | 2000-09-07 | Ehret Hans P | ECR-Ionen-Quelle |
| DE19900437B4 (de) * | 1999-01-11 | 2009-04-23 | Ehret, Hans-P. | Verfahren und Vorrichtung zur Ionenimplantation in Festkörpern und/oder zur Beschichtung von Festkörperoberflächen sowie die Verwendung von Verfahren und Vorrichtung |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3829338A1 (de) | 1990-03-01 |
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