DE3810594A1 - Anordnung zum schutz integrierter bauelemente vor beschaedigung durch unkontrollierte elektrostatische entladung in handhabungssystemen - Google Patents

Anordnung zum schutz integrierter bauelemente vor beschaedigung durch unkontrollierte elektrostatische entladung in handhabungssystemen

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    • HELECTRICITY
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    • H01L23/58Structural electrical arrangements for semiconductor devices not otherwise provided for, e.g. in combination with batteries
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Description

Integrierte elektronische Bauelemente sind meist sehr empfind­ lich gegenüber elektrostatischen Aufladungen. Zum Transport werden sie deshalb zumeist in speziellen Stangenmagazinen aus leitendem Kunststoff oder entsprechend beschichteten anderen Werkstoffen gestapelt.
Entsprechende Probleme mit elektrostatischen Aufladungen bei integrierten elektronischen Bauelementen treten auch bei Hand­ habungssystemen zum Prüfen der integrierten Bauelemente auf:
Die Bauteile werden aus den Stangenmagazinen in Magazinführungen eines Handhabungsautomaten eingefüllt. Dabei können sich die Gehäusekörper der Bauelemente, die meist aus Kunststoff oder Keramik bestehen, durch das Gleiten in den Führungsrillen statisch aufladen. Die Anschlußstifte der Bauelemente, die meist seitlich aus dem Gehäusekörper herausragen, können durch Berührung mit den seitlichen Führungsleisten zu einer unkon­ trollierten Entladung der internen Schaltung des Bauelements führen. Dadurch kann die Schaltung irrreparabel geschädigt werden, so daß das integrierte elektronische Bauelement als unbrauchbar ausgesondert werden muß.
Damit stellt sich die Aufgabe, eine Magazinführung zu ent­ wickeln, die eine statische Aufladung des Bauteilegehäuses vermeiden läßt, eine unkontrollierte Entladung der internen Schaltung verhindert und einen undefinierten Ladungszustand zwischen der internen Schaltung und dem Bauteilgehäuse ver­ meidet.
Diese Aufgabe wird mit einer Magazinführung sowohl nach An­ spruch 1 als auch nach Anspruch 2 gelöst.
In Anspruch 3 ist eine vorteilhafte Ausgestaltung der Magazin­ führung nach Anspruch 1 angegeben.
Mit der Anordnung nach der Erfindung wird sichergestellt, daß beim Bauteiltransport durch die Magazinführung das Bau­ teilgehäuse sich nicht statisch aufladen kann, daß keine un­ kontrollierte Entladung der internen Schaltung durch die An­ schlußstifte stattfindet und daß zwischen der internen Schal­ tung und dem Gehäuse sich keine undefinierte statische Aufladung ausbilden kann.
In der Zeichnung ist in den Fig. 1 und 2 jeweils ein Bei­ spiel einer erfindungsgemäßen Magazinführung im Querschnitt schematisch skizziert.
Fig. 1 zeigt eine Magazinführung mit hochohmigen Führungs­ schienen,
Fig. 2 zeigt eine Magazinführung mit elektrisch gut leitenden Führungsschienen und hochohmiger Beschaltung.
In Fig. 1 ist eine Magazinführung im Querschnitt dargestellt. Der Boden 3 der Magazinführung ist aus einem elektrisch gut leitenden Werkstoff, z.B. Stahl, Aluminium oder einem leit­ fähigen Kunststoff hergestellt. Die beiden seitlichen Führungs­ schienen 4 sind z.B. aus hartanodisiertem Aluminium, aus nicht­ leitendem Kunststoff o.ä gefertigt oder entsprechend beschichtet. Die Oberfläche wirkt in diesem Fall als hochohmiger Leiterwerk­ stoff. Die integrierten Bauelemente sind so in die Magazin­ führung eingefüllt, daß der Gehäusekörper 1, der z.B. aus Kunst­ stoff oder Keramik (Nichtleiter) hergestellt ist, auf dem leitenden Werkstoff des Bodens 3 aufliegt und die metallischen (gut leitenden) Anschlußstifte 2 der integrierten Bauelemente lediglich die hochohmig ausgeführten Führungsleisten 4 berühren.
In Fig. 2 sind die Führungsleisten 5 aus gut leitendem Werk­ stoff hergestellt, wie z.B. Stahl, Aluminium oder leitendem Kunststoff oder einer entsprechenden Beschichtung, was auch für den Boden 3 der Magazinführung gilt. Die Führungsleisten sind gegenüber dem Boden durch Streifen 6 aus isolierendem Werkstoff elektrisch isoliert. Die definierte Entladung der internen Schaltung des integrierten Bauelements findet über die elektrisch gut leitenden Führungsschienen über eine hoch­ ohmige Beschaltung 7 gegenüber dem Magazinboden bzw. dem mit Erde verbundenen Gestell des Handhabungssystems statt.

Claims (3)

1. Anordnung einer Magazinführung für integrierte Bauelemente in einem Handhabungssystem, dadurch gekennzeichnet,
  • - daß der Boden 3 der Magazinführung, der mit dem Gehäuse 1 des integrierten Bauelements in Berührung kommt, aus elektrisch leitendem Werkstoff angefertigt ist,
  • - daß die seitlichen Führungsschienen 4 der Magazinführung, die mit den Anschlußstiften 2 des integrierten Bauelements in Berührung kommen, aus hochohmig leitendem Werkstoff angefertigt sind.
2. Anordnung einer Magazinführung für integrierte Bauelemente in einem Handhabungssystem, dadurch gekennzeichnet,
  • - daß sowohl der Boden 3 als auch die Führungsschienen 5 aus elektrisch leitendem Werkstoff gefertigt sind,
  • - daß die Führungsschienen 5 vom Boden 3 durch Streifen 6 aus isolierendem Werkstoff getrennt sind,
  • - daß die Führungsleisten 5 zum Boden 3 hin durch eine hoch­ ohmige elektrische Beschaltung 7 definiert entladbar sind.
3. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Führungsleisten hartanodisierte Aluminiumteile Verwendung finden.
DE19883810594 1988-03-29 1988-03-29 Anordnung zum schutz integrierter bauelemente vor beschaedigung durch unkontrollierte elektrostatische entladung in handhabungssystemen Withdrawn DE3810594A1 (de)

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