DE3786604D1 - Verfahren zur behandlung von vorsensibilisierten flachdruckplatten und vorrichtung dazu. - Google Patents

Verfahren zur behandlung von vorsensibilisierten flachdruckplatten und vorrichtung dazu.

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Miegi Nakano
Minoru Seino
Masafumi Uehara
Akira Nogami
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    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
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