DE3751970T2 - Integrierter Abstaster für optische Platte - Google Patents

Integrierter Abstaster für optische Platte

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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen integrierten Abtaster für eine optische Platte, bei dem es sich um ein Schlüsselbauteil für optische Plattenvorrichtungen zum Aufzeichnen und Wiedergeben von Information handelt.
  • In der britischen Patentanmeldung GB 2 169 119 A ist eine Informationslesevorrichtung beschrieben, die einen elastischen Oberflächenwellenbereich (surface elastic wave region) aufweist. Die Oszillationsfrequenz der durch einen Schwingungserzeuger erzeugten Ultraschallwellen variiert, und der Abstand zwischen Abschnitten, die frei von bzw. dicht mit stehenden Ultraschallwellen besetzt sind, die in dem Wellenleiter gebildet sind, wird allmählich verringert. Eine derartige Änderung der stehenden Wellen erzeugt dasselbe Ergebnis, wie es erzielt wird, wenn das optische Gitterintervall geändert wird. Demnach ändert sich der Beugungswinkel des Lichtstrahls, der durch den elastischen Wellenbereich läuft, derart, daß der Strahl über einen Winkelbereich entsprechend der Änderung des Abstands zwischen den freigelassenen und dichten Abschnitten geschwenkt wird. Infolge davon ändert sich der Einfallswinkel eines Strahls kontinuierlich, der in eine Linse einfällt.
  • In IEEE Journal of Quantum Electronics, Band 22, Nr. 6, 10. Juni 1986, Seiten 845-867, sind periodische Strukturen verwendende integrierte Optiken, Bauteile und Elemente beschrieben. Die periodischen Strukturen enthalten statische Gitter und dynamische Gitter, die durch akustooptische (AO) und elektrooptische (EO) Effekte erzeugt werden. Sie stellen eine Vielfalt von passiven Funktionen und effektiven Mitteln zur Wellenführungssteuerung bereit.
  • Üblicherweise weisen integrierte Abtaster für eine optische Platte ein System mit mehreren Linsen, einen Strahlenteiler und Photodetektoren in Kombination auf.
  • Der herkömmliche optische Abtaster ist jedoch mühsam zusammenzubauen und einzustellen und deshalb kostenungünstig, während der optische Abtaster, der mit großer Abmessung ausgebildet ist, den Nachteil hat, eine längere Zugriffzeit zu erfordern.
  • Um die Nachteile zu überwinden, haben Nishihara et al. einen integrierten Abtaster für eine optische Platte vorgeschlagen (siehe IEICE (The Institute of Electronics, Information and Communication Engineers), Technical Report, OQE85-72 (1986)). Der vorgeschlagene Abtaster weist einen fokussierenden Gitterkoppler zum Fokussieren eines Laserstrahls auf der optischen Platte auf und erfordert eine Steuerung bzw. Regelung der absoluten Wellenlänge der Lichtquelle, da die Fokussiereigenschaft des Kopplers von der Wellenlänge der Lichtquelle abhängt. Soweit ein Halbleiterlaser als Lichtquelle verwendet wird, bringt die vorgeschlagene Anordnung demnach extreme Schwierigkeiten mit sich und ist unbrauchbar.
  • Die vorliegende Erfindung schafft einen integrierten Abtaster für eine optische Platte mit einem optischen Wellenleiter in der Form einer Halbleiterschicht oder einer Isolierschicht, welche auf der Oberfläche eines Substrats vorgesehen ist, einem Halbleiterlaser, welcher außerhalb des Wellenleiters angeordnet ist, einem Strahlenteiler und einer Wellenleiter- Linse, die für den Ausbreitungsweg eines von dem Halbleiterlaser ausgehenden und durch den Wellenleiter laufenden Laserstrahls vorgesehen und in der angegebenen Reihenfolge in einer von dem Laser abgewandten Richtung angeordnet sind, einem Diffraktionsgitter, welches auf dem Weg durch den Wellenleiter derart vorgesehen ist, daß der Laserstrahl bei durch den Strahlenteiler geänderter Richtung dorthin gelangt, nachdem er von dem Laser ausgestrahlt ist, durch den Strahlenteiler und die Wellenleiter-Linse hindurchgetreten, von einer außerhalb des Wellenleiters angeordneten optischen Platte reflektiert und durch die Wellenleiter-Linse hindurchgetreten ist, sowie einer Photodetektoreinrichtung, welche auf den Ausbreitungswegen durch den Wellenleiter zweier Anteile des durch das Diffraktionsgitter aufgeteilten Laserstrahls angeordnet ist; die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlenteiler einen ausgesparten Abschnitt aufweist, der in dem Wellenleiter der Halbleiterschicht oder der Isolationsschicht gebildet ist.
  • Der Laserstrahl von einem Halbleiterlaser wird auf der Oberfläche der optischen Platte durch eine Wellenleiter-Linse fokussiert, die auf dem optischen Wellenleiter so vorgesehen ist, daß ein Strahlfleck optimaler Form auf das Pit bzw. die Informationsvertiefung der Platte selbst dann projiziert wird, wenn die absolute Wellenlänge des Laserstrahls sich ändert, und um dadurch die Notwendigkeit für ein strenges Steuern der absoluten Wellenlänge des Laserstrahls zu beseitigen.
  • Der Strahlenteiler ist dazu ausgelegt, die Richtung des Laserstrahls zu ändern, der von der Plattenoberfläche reflektiert wird und erneut durch die Wellenleiter-Linse läuft.
  • Bei der Richtungsänderung durch den Strahlenteiler wird der Laserstrahl durch ein Diffraktionsgitter in zwei Anteile unterteilt. Zwei Photodetektoren sind angeordnet, um die unterteilten Strahlenanteile jeweils zu empfangen.
  • Fig. 1 zeigt ein Schema des Aufbaus eines integrierten Abtasters für eine optische Platte, der die vorliegende Erfindung verkörpert;
  • Fig. 2 zeigt eine Schnittansicht entlang der Linie II-II in Fig. 1;
  • Fig. 3 zeigt eine Schnittansicht entlang der Linie III-III in Fig. 1; und
  • Fig. 4 zeigt eine Schnittansicht entlang der Linie IV-IV in Fig. 1.
  • Der erfindungsgemäße integrierte Abtaster für eine optische Platte besteht im wesentlichen aus einem optischen Wellenleiter in der Form einer Halbleiterschicht oder einer Isolierschicht, die auf der Oberfläche eines Substrats vorgesehen ist, einem Halbleiterlaser, der außerhalb des Wellenleiters angeordnet ist, einem Strahlenteiler und einer Wellenleiter- Linse, die für den Ausbreitungsweg eines von dem Halbleiterlaser ausgehenden und durch den Wellenleiter laufenden Laserstrahls vorgesehen und in der angegebenen Reihenfolge in einer vom Laser abgewandten Richtung angeordnet sind, einem Diffraktionsgitter, das auf dem Weg durch den Wellenleiter derart vorgesehen ist, daß der Laserstrahl bei durch den Strahlenteiler geänderter Richtung dorthin gelangt, nachdem er von dem Laser ausgestrahlt ist, durch den Strahlenteiler und die Wellenleiter-Linse hindurchgetreten, von einer außerhalb des Wellenleiters angeordneten optischen Platte reflektiert und durch die Wellenleiter-Linse hindurchgetreten ist, und einer Photodetektoreinrichtung, die an bzw. auf den Ausbreitungswegen durch den Wellenleiter von zwei Anteilen des durch das Diffraktionsgitter aufgeteilten Laserstrahls angeordnet ist.
  • Das bei der Erfindung zu verwendende Substrat besteht aus Glas, Si oder dergleichen und ist beispielsweise 5 mm lang, 3 mm breit und 1 mm hoch.
  • Der optische Wellenleiter gemäß der Erfindung ist eine Halbleiterschicht aus GaAlAs, GaInAlP oder dergleichen oder eine Isolierschicht aus Si&sub3;N&sub4;, SiO&sub2; oder dergleichen. Beispielsweise weist die Si&sub3;N&sub4;-Schicht bevorzugt eine Dicke von 0,5 µm bis 2,0 µm, besonders bevorzugt von 1 µm, auf.
  • Ein Halbleiterlaser ist an einer Seite des Wellenleiters außerhalb von diesem angeordnet. An der anderen Seite des Wellenleiters gegenüber von dem Laser und von dem Wellenleiter weg bzw. entfernt ist eine optische Platte mit ihrer Oberfläche senkrecht zu dem Ausbreitungsweg des Laserstrahls von dem Laser angeordnet.
  • Beispiele für verwendbare Halbleiterlaser sind diejenigen des GaAlAs-Typs, des InGaAlP-Typs oder des InGaAsP-Typs.
  • Bevorzugt beträgt die Tiefe der Pits der optischen Scheibe 0,158 µm.
  • Ein Strahlenteiler ist in dem optischen Wellenleiter vorgesehen, und eine Wellenleiter-Linse auf dem Wellenleiter. Ein Beispiel eines verwendbaren Strahlenteilers ist ein Strahlenteiler des Transmissions-Typs mit einer Breite von 1 mm, einer Dicke von 1 µm und einer Länge von 1,5 mm, der durch Mesa-Ätzen eines optischen Wellenleiters eines Si&sub3;N&sub4;-Films photolithographisch gebildet ist. Verwendbar ist außerdem ein Strahlenteiler des Diffraktionsgitter-Typs.
  • Beispiele für verwendbare Wellenleiter-Linsen sind eine Luneburg-Linse&sub1; eine geodätische Linse usw. Die Luneburg- Linse wird beispielsweise durch Abscheiden von As&sub2;S&sub3; auf den Wellenleiter aus Si&sub3;N&sub4; durch Vakuumverdampfung gebildet, und sie ist in ihrer Mitte 1 µm dick, hat einen Durchmesser von 1,5 mm und eine Brennweite von 3 mm. Die geodätische Linse wird auf dem Wellenleiter in der Form einer Halbkugel durch die Diffusion von Ti gebildet.
  • Das bei der Erfindung zu verwendende Diffraktionsgitter ist beispielsweise ein Transmissionsgitter, das auf dem Wellenleiter gebildet ist. Das Transmissionsgitter wird durch Abscheiden von As&sub2;S&sub3; auf dem Wellenleiter aus dem Si&sub3;N&sub4;-Film durch Vakuumabscheiden und Ausbilden von Pits mit einer Breite von 20 µm, die mit einem Abstand von 4 µm angeordnet sind, in dem Niederschlag durch das photolithographische Verfahren gebildet.
  • Die Photodetektoreinrichtung gemäß der Erfindung weist einen ersten Photodetektor zum Ermitteln eines Fokus-Servosignals von der optischen Platte und einen zweiten Photodetektor zum Ermitteln eines Spurführungssignals von der optischen Platte auf. Der zweite Photodetektor ist so angeordnet, daß einer der zwei Laserstrahlanteile, die durch das Diffraktionsgitter aufgeteilt sind, d.h. der primärgebeugte Strahl, darauf einfällt. Insbesondere weist die Photodetektoreinrichtung zwei Photodioden auf, die auf dem Wellenleiter aus dem Si&sub3;N&sub4;-Film gebildet sind. Jede Photodiode weist zwei voneinander beabstandete unterteilte Teile bzw. Abschnitte auf.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung ist der optische Abtaster mit einer Einrichtung zum Antreiben des Abtasters quer zur Spur der optischen Platte und außerdem in der Richtung seiner optischen Achse versehen. Der Abtaster ist senkrecht zu der Ebene der Platte angeordnet.
  • Die Luneburg-Linse, die eine Brennweite von 3 mm aufweist, ist unter einem Abstand von 3,0 mm von dem Halbleiterlaser angeordnet und fokussiert einen Strahlenfleck mit einem Durchmesser von 1 µm auf die Oberfläche der Scheibe in der Strahlenfokussierposition.
  • Eine spezielle Ausführungsform der Erfindung wird nunmehr in bezug auf Fig. 1 erläutert. Die Erfindung ist jedoch in keinster Weise durch die Ausführungsforrn beschränkt.
  • Der in Fig. 1 gezeigte integrierte Abtaster für eine optische Platte besteht im wesentlichen aus einem Strahlenteiler 1, einer Luneburg-Linse 2, einem Diffraktionsgitter 3 und zwei Photodetektoren, d.h. ersten und zweiten Photodetektoren, 4 und 5.
  • Um das Abtastelement herzustellen, wird zunächst Si&sub3;N&sub4; mit einer Dicke von 1 µm auf der gesamten Oberfläche eines Glassubstrats 20 durch Vakuumverdampfung abgeschieden, um einen optischen Wellenleiter 6 zu bilden. Wie aus Fig. 2 hervorgeht, hat der Strahlenteiler 1 die Form einer Vertiefung bzw. Ausnehmung mit einer Breite d von 1 mm und einer Länge von 1,5 mm, und ist durch Mesa-Ätzen des Wellenleiters 6 durch den üblichen photolithographischen Prozeß gebildet. Dieser Strahlenteiler 1 vom Transmissions-Typ reflektiert den Strahl auf der die Vertiefung festlegenden Oberfläche. Alternativ können einige andere Strahlenteiler verwendet werden.
  • Als nächstes werden die ersten und zweiten Photodetektoren 4, 5 gebildet. Wie in Fig. 4 gezeigt, wird eine Elektrode mit einem Fenster oder einer transparenten Elektrode, die als P- Seiten-Elektrode 10 dient, auf dem Wellenleiter 6 durch Abscheiden von Al darauf durch Vakuumverdampfung gebildet. Polysilicium vom P-Typ und Polysilicium vom N-Typ werden daraufhin nacheinander jeweils mit einer Dicke von 2 µm über der Elektrode 10 durch einen chemischen Dampfabscheidungs(CVD)prozeß abgeschieden. Daraufhin wird eine Elektrode 11 in derselben Weise als die Elektrode 10 gebildet. Die Polysiliciumschichten vom P- und N-Typ werden daraufhin durch den üblichen photolithographischen Prozeß mit Ausnahme der erforderlichen P-, N-Übergangsabschnitte geätzt, um die ersten und zweiten Photodetektoren 4 und 5 bereitzustellen. Diese Photodetektoren 4 und 5 weisen jeweils zwei unterteilte Photodioden auf, d.h. ein Paar von Photodiodenelementen 4a, 4b und ein Paar von Photodiodenelementen 5a, 5b. Die Photodiodenelemente in jedem Paar sind mit einem Abstand von 10 µm beabstandet.
  • Als nächtes wird As&sub2;S&sub3; (Arsensulfid) auf dem Wellenleiter 6 durch den Schattenmaskenprozeß vakuumabgeschieden, um die Luneburg-Linse 2 zu bilden, die in Fig. 2 im Querschnitt gezeigt ist. Die Linse hat in ihrer Mitte bzw. ihrem Zentrum eine Dicke von 1 µm, einen Durchmesser D von 1,5 mm und eine Brennweite von 3 mm. Die derart gebildete Luneburg-Linse 2 befindet sich unter einem Abstand H von 3,0 mm von der Lichtquelle, d.h. einem Halbleiterlaser 7 entfernt. Die Verwendung der Luneburg-Linse ist nicht beschränkend; verwendbar ist auch eine geodätische Linse, die durch Diffundieren von Ti in einer Halbkugelform gebildet ist, oder eine andere Wellenleiter-Linse.
  • Um das Diffraktionsgitter 3 zu bilden, wird als nächstes As&sub2;S&sub3; mit einer Dicke von 1 µm durch Vakuumabscheidung abgeschieden. Ein Transmissionsgitter mit Pits unter einem Abstand von 4 µm, wie in Fig. 3 gezeigt, wird daraufhin in dem Niederschlag durch den photolithographischen Prozeß gebildet. Das Gitter hat eine Breite L von 20 µm (Fig. 1). Ein Strahlenteiler ist als das Diffraktionsgitter anstelle des Transmissionsgitters verwendbar. Auf diese Weise ist das Abtastelement hergestellt.
  • Das Abtastelement des vorstehend angeführten Aufbaus mit dem daran befestigten Halbleiterlaser 7 wird auf einem (nicht gezeigten) Rahmen angebracht, der quer zur Spur der optischen Platte sowie entlang seiner optischen Achse beweglich ist. Die Platte ist senkrecht zu dem Element angeordnet.
  • Bei dieser Anordnung beträgt der Abstand H zwischen dem Laser 7 und der Luneburg-Linse 2 3,0 mm.
  • Der Laserstrahl breitet sich durch den Abtaster in der folgenden Weise aus.
  • Zunächst fällt der Laserstrahl (mit beispielsweise einer Wellenlänge von 0,78 µm) 8, der von dem Halbleiterlaser 7 ausgeht, auf den optischen Wellenleiter 6 ein, woraufhin der Strahl 8 durch den Strahlenteiler 1 und daraufhin durch die Luneburg-Linse 2 läuft und Information von einem Pit der optischen Platte 9 liest. Der Strahl kehrt daraufhin zu dem Strahlenteiler 1 durch die Linse 2 zurück und trifft auf dem Gitter 3 auf,wodurch der Strahl in zwei Anteile aufgeteilt wird. Ein Strahlanteil fällt auf den ersten Photodetektor 4 ein und ergibt ein Fokus-Servosignal. Der andere Strahlanteil, d.h. der primäre gebrochene Strahl trifft auf den Photodetektor 5 auf, um ein Spurführungssignal zu erzeugen.
  • Gemäß der vorstehend erläuterten Ausführungsform wird der Strahl von einem Halbleiterlaser auf der Oberfläche der optischen Platte durch eine Luneburg-Linse fokussiert, so daß die Strahlfokussiereigenschaften nicht von der Wellenlänge des Laserstrahls abhängen, wie dies beim Stand der Technik der Fall ist, was es ermöglicht, einen Strahlfleck optimaler Form auf den Pit der Scheibe genau zu projizieren und die Notwendigkeit zur strengen Steuerung der absoluten Wellenlänge des Laserstrahls zu eliminieren. Im Fall des Fokus-Servosignal- Ermittlungsverfahrens unter Verwendung eines Gitters ist es ferner möglich, den Null-Punkt des Photodetektors elektrisch mit dem Ergebnis zu korrigieren, daß das Fokus-Servosignal selbst dann ermittelt werden kann, wenn die absolute Wellenlänge des Laserstrahls sich ändert.

Claims (3)

1. Integrierter Abtaster für eine optische Platte mit einem optischen Wellenleiter (6) in der Form einer Halbleiterschicht oder einer Isolierschicht, welche an der Oberfläche eines Substrates vorgesehen, einem Halbleiterlaser, welcher außerhalb des Wellenleiters (6) angeordnet ist, einem Strahlenteiler (1) und einer Wellenleiter-Linse (2), welche für den Ausbreitungsweg eines von dem Halbleiterlaser ausgehenden und durch den Wellenleiter (6) laufenden Laserstrahls vorgesehen ist und in der angegebenen Reihenfolge in einer von dem Laser abgewandten Richtung angeordnet ist, einem Diffraktionsgitter (3), welches an dem Weg durch den Wellenleiter (6) derart vorgesehen ist, daß der Laserstrahl bei durch den Strahlenteiler (1) geänderter Richtung dorthin gelangt, nachdem er von dem Laser ausgestrahlt ist, durch den Strahlenteiler (1) und die Wellenleiterlinse (2) hindurchgetreten, von einer außerhalb des Wellenleiters (6) angeordneten optischen Platte reflektiert und durch die Wellenleiterlinse (2) hindurchgetreten ist, sowie zwei Photodetektoren (4, 5), welche an den Ausbreitungswegen durch den Wellenleiter zweier Anteile des durch das Diffraktionsgitter aufgeteilten Laserstrahls angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlenteiler (1) einen ausgesparten Abschnitt aufweist, der in dem Wellenleiter (6) der Halbleiterschicht oder der Isolierschicht gebildet ist.
2. Integrierter Abtaster für eine optische Platte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Wellenleiter (6) aus einem Si&sub3;N&sub4;-Film hergestellt ist, und der Strahlenteiler (1) ein Strahlenteiler vom Übertragungstyp ist, der durch photolitographische Mesa- ätzung des Wellenleiters gebildet ist.
3. Integrierter Abtaster für eine optische Platte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlenteiler (1) vom Diffraktionsgittertyp ist.
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