DE3743194C2 - - Google Patents

Info

Publication number
DE3743194C2
DE3743194C2 DE19873743194 DE3743194A DE3743194C2 DE 3743194 C2 DE3743194 C2 DE 3743194C2 DE 19873743194 DE19873743194 DE 19873743194 DE 3743194 A DE3743194 A DE 3743194A DE 3743194 C2 DE3743194 C2 DE 3743194C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
light
detector
distance
optical
detectors
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19873743194
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
DE3743194A1 (de
Inventor
Werner Dr. Scheck
Siegfried 8960 Kempten De Idler
Klaus 8961 Boerwang De Kittmann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Baumer Electric AG
Original Assignee
Baumer Electric AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Baumer Electric AG filed Critical Baumer Electric AG
Priority to DE19873743194 priority Critical patent/DE3743194A1/de
Priority to EP19880810840 priority patent/EP0322356A3/de
Priority to CA000586196A priority patent/CA1302700C/en
Priority to JP31934588A priority patent/JPH01203918A/ja
Priority to US07/286,049 priority patent/US4976543A/en
Publication of DE3743194A1 publication Critical patent/DE3743194A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3743194C2 publication Critical patent/DE3743194C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G01S7/4811Constructional features, e.g. arrangements of optical elements common to transmitter and receiver
    • G01S7/4812Constructional features, e.g. arrangements of optical elements common to transmitter and receiver transmitted and received beams following a coaxial path
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C3/00Measuring distances in line of sight; Optical rangefinders
    • G01C3/02Details
    • G01C3/06Use of electric means to obtain final indication
    • G01C3/08Use of electric radiation detectors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/06Systems determining position data of a target
    • G01S17/08Systems determining position data of a target for measuring distance only

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
DE19873743194 1987-12-19 1987-12-19 Verfahren und vorrichtung zur optischen entfernungsmessung Granted DE3743194A1 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19873743194 DE3743194A1 (de) 1987-12-19 1987-12-19 Verfahren und vorrichtung zur optischen entfernungsmessung
EP19880810840 EP0322356A3 (de) 1987-12-19 1988-12-07 Verfahren und Vorrichtung zur optischen Distanzmessung
CA000586196A CA1302700C (en) 1987-12-19 1988-12-16 Method and apparatus for optical distance measurement
JP31934588A JPH01203918A (ja) 1987-12-19 1988-12-17 測定装置と物体との間の光学的距離測定方法
US07/286,049 US4976543A (en) 1987-12-19 1988-12-19 Method and apparatus for optical distance measurement

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19873743194 DE3743194A1 (de) 1987-12-19 1987-12-19 Verfahren und vorrichtung zur optischen entfernungsmessung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3743194A1 DE3743194A1 (de) 1989-06-29
DE3743194C2 true DE3743194C2 (enrdf_load_stackoverflow) 1989-11-23

Family

ID=6343038

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19873743194 Granted DE3743194A1 (de) 1987-12-19 1987-12-19 Verfahren und vorrichtung zur optischen entfernungsmessung

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JPH01203918A (enrdf_load_stackoverflow)
DE (1) DE3743194A1 (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0322356A3 (de) * 1987-12-19 1991-06-12 Baumer Electric Ag Verfahren und Vorrichtung zur optischen Distanzmessung
DE102008014275B4 (de) * 2008-02-01 2017-04-13 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum Bestimmen einer Entfernung zu einem Objekt

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD65320A (enrdf_load_stackoverflow) *
FR2116872A5 (fr) * 1970-12-10 1972-07-21 Compteurs Comp D Perfectionnements aux dispositifs palpeurs optiques
DE2703463A1 (de) * 1977-01-28 1978-08-03 Erich Herbert Mehnert Verfahren zum messen von entfernungen und optisch-elektrisches entfernungsmessgeraet zur durchfuehrung des verfahrens
US4391515A (en) * 1981-05-07 1983-07-05 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Optical transmitter/receiver apparatus sharing common optics

Also Published As

Publication number Publication date
JPH01203918A (ja) 1989-08-16
DE3743194A1 (de) 1989-06-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102015001421B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Strahldiagnose an Laserbearbeitungs-Optiken (PRl-2015-001)
DE102008029459B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Abstandsmessung
DE3110287C2 (enrdf_load_stackoverflow)
DE2354141C2 (de) Optisches Meßverfahren zum Untersuchen von Oberflächen und Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE102014203645B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zum optischen Bestimmen eines Abstandes
DE10325942B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur berührungslosen Dickenmessung transparanter Körper
DE3304780C2 (enrdf_load_stackoverflow)
EP3242107A1 (de) Optische interferometrische vorrichtung zum erfassen einer 3d-struktur eines objekts
DE19639939A1 (de) Optische Spektralmeßvorrichtung
DE4444079C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens zum Messen der Lage einer Kante von einer Bahn oder einem Bogen
DE10204367B4 (de) Autofokusmodul für mikroskopbasierte Systeme und Autofokusverfahren für ein mikroskopbasiertes System
DE3503086C1 (de) Verfahren bzw.Vorrichtung zur Messung der Wanddicke von transparenten Gegenstaenden
DE2627753A1 (de) Anordnung und fotometer zur dickenmessung und -steuerung optisch wirksamer duennschichten
EP0322356A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur optischen Distanzmessung
DE10125454B4 (de) Gerät zur Röntgenanalyse mit einem Mehrschichtspiegel und einem Ausgangskollimator
CH628425A5 (de) Verfahren und vorrichtung zur kontaktlosen messung linearer wegstrecken, insbesondere des durchmessers.
DE3743194C2 (enrdf_load_stackoverflow)
DE102015014387B3 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Strahlanalyse mit einem variablen optischen Element
DE10153581A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung der Wirkkontur von Rotationswerkzeugen
DE102009015627B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zu Bestimmung von Innendurchmesser, Außendurchmesser und der Wandstärke von Körpern
DE19510034A1 (de) Vorrichtung zur Bestimmung von Partikelgrößen und/oder Partikelgrößenverteilungen mittels Lichtbeugung
WO2024068294A1 (de) Messverfahren der euv-reflektometrie und euv-reflektometer
DE1218169B (de) Vorrichtung zum Pruefen der Wandstaerke von Glasrohren
DE3924290C2 (enrdf_load_stackoverflow)
DE3437412A1 (de) Beruehrungslose, optische laengenmesseinrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee