DE3737631C1 - Optische Abstastvorrichtung fuer ebene Oberflaechen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine optische Abtastvorrichtung nach einem der Oberbegriffe der Patentansprüche 1 bis 4.

Derartige optische Abtastvorrichtungen (DE-OS 35 34 019) werden z. B. für die Fehlersuche an regulär bzw. spiegelnd reflektierenden Oberflächen verwendet. Hierbei ist es für die Erfassung von Fehlern mit geringer Strahlabweichung erforderlich, das Flattern der ebenen Oberfläche während der Signalaufnahme unschädlich zu machen, welches insbesondere dann auftritt, wenn es sich um die ebene Oberfläche einer laufenden Material-, z. B. Blechbahn in einem Walzwerk handelt.

Es kommt aber auch vor, daß bei einer spiegelnd reflektierenden Materialbahn außer einzelnen Oberflächenfehlern auch senkrecht zur Abtastlinie verlaufende Wellungen, deren Wellenberge und Wellentäler sich also parallel zur Abtastlinie erstrecken, mit der Licht­ empfangsvorrichtung erfaßt werden sollen.

Aus der DE-AS 20 42 508 ist eine Vorrichtung zum Verstärken der Abhängigkeit der Winkeländerungen eines optischen Ausfallstrahls von Winkeländerungen des zugehörigen Einfallstrahls bekannt. Die bekannte Vorrichtung weist dabei einen ersten, schwenkbaren Spiegel auf, der mit seiner Schwenkachse im vorderen Brennpunkt einer ersten Linse angeordnet ist. Auf der vom schwenkbaren Spiegel abgewandten Seite der ersten Linse ist eine zweite Linse vorgesehen, deren vorderer Brennpunkt mit dem hinteren Brennpunkt der ersten Linse zusammenfällt. Im hinteren Brennpunkt der zweiten Linse ist ein zweiter Spiegel angeordnet, der senkrecht zur gemeinsamen optischen Achse der beiden Linsen steht.

Ein vom feststehenden vorderen Brennpunkt der ersten Linse ausgehendes Parallellichtbündel wird also von der ersten Linse je nach Einfallswinkel einer Linie in die hintere Brennebene abgebildet. Die zweite Linse bildet über den zweiten Planspiegel jeden Punkt der gemeinsamen Brennebene in seinen inversen Punkt ab. Das reflektierte, die erste Linse verlassene Parallellichtbündel erreicht dann den vorderen Brennpunkt der ersten Linie unter dem inversen Winkel.

Steht dabei der erste, schwenkbare Spiegel nicht senkrecht zur ge­ meinsamen optischen Achse der beiden Linsen, so läßt sich auf diese Weise der Einfallswinkel des Parallellichtbündels auf den ersten Spiegel vergrößern.

Die Aufgabe der Erfindung besteht nun darin, eine optische Abtast­ vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, mit der an Bahnen mit insbesondere spiegelnden Oberflächen geringer Aufstreuung in Reflexion Fehler mit kleiner Strahlablenkung erfaßt werden können, ohne daß ein Flattern der ebenen Oberfläche oder senkrecht zur Abtastlinie verlaufende Wellungen diese empfindliche Messung stören, wobei mit der Abtastvorrichtung zusätzlich auch senkrecht zur Ab­ tastlinie verlaufende Wellungen mit parallel zur Abtastlinie sich erstreckenden Wellenbergen und Wellentälern mittels der Lichtempfangsvorrichtung erfaßt werden können.

Zur Lösung der Aufgabe sieht die Erfindung die Vorrichtungen nach einem der Ansprüche 1 bis 4 vor.

Die Erfindung schafft also abbildende Retroreflektoren, die den abtastenden Lichtfleck auf der ebenen Oberfläche nochmals abbilden, worauf dann die von diesem sekundären Lichtfleck ausgehende Strahlung zur Lichtempfangsanordnung gelangt. Während der Retroreflektor mit Zylinderspiegel Winkelabweichungen der Materialoberfläche in Richtung senkrecht zur Abtastlinie kompensiert, bewirken die Retro­ reflektoren mit sphärischen Abbildungselementen eine Kompensation von Winkelabweichungen beliebiger Richtung. Die Kompensation bewirkt, daß das vom sekundären Lichtfleck ausgehende Bündel unabhängig von der Winkelabweichung der Oberfläche exakt mit dem einfallenden Bündel zusammenfällt und nur entgegengesetzt gerichtet ist.

Lediglich Strahlablenkungen durch Oberflächenfehler, die kleinere Ausdehnung als der Lichtfleck haben, werden wegen der Bildumkehr im zurückreflektierten Bündel nicht kompensiert und werden durch die Photoempfangsanordnung meßtechnisch erfaßt.

Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist es zweckmäßig, wenn zwischen der telezentrischen Abtastoptik und der Lichtablenkvorrichtung vorzugsweise nahe der letzteren ein teildurchlässiger Spiegel im Strahlengang angeordnet ist, der einen Teil des Empfangslichtes auf eine Photoempfangsanordnung lenkt. Diese Ausführung ist erforderlich, weil Sende- und Empfangslicht nach Art eines Autokollimationsstrahlenganges einander durchsetzen.

Zur zusätzlichen Messung von Oberflächenwellungen in Richtung senkrecht zur Abtastlinie sehen weitere Ausführungsformen der Erfindung vor, die gedachte Kreiszylindermittelachse bzw. den ersten Brennpunkt des ersten sphärischen Linsenstreifens bzw. des sphärischen Hohlspiegelstreifens in geringem Abstand von der Abtastlinie anzuordnen. Hierbei ist insbesondere vorgesehen, daß der geringe Abstand 5 bis 10 mm beträgt.

In diesem Fall kann aus Ablenkungen des Empfangsstrahls, deren Frequenz kleiner als die Scanfrequenz ist, auf Wellungen der Oberfläche in Richtung senkrecht zur Abtastlinie geschlossen werden. Die von Oberflächenfehlern verursachten Ablenkungen und Aufstreuungen liegen dagegen bei Frequenzen deutlich über der Abtastfrequenz, so daß die beiden Signale gut voneinander unterschieden werden können. Die Ausspiegelung des Empfangslichtes kann bei dieser Ausführungsform ohne Strahlenteilung erfolgen, indem außerhalb des Sendelichtbündels vor der Lichtablenkvorrichtung ein Auslenkspiegel im Empfangsstrahlengang angeordnet ist, der das Empfangslicht zu einer Photoempfangsanordnung lenkt.

Durch entsprechendes Verlagern der Brennpunkte der Ausführungsformen mit Retroreflektoren aus sphärischen Abbildungselementen in Richtung der Abtastlinie können Wellungen der Oberfläche in Richtung der Abtastlinie erfaßt werden.

Bei allen Ausführungsformen ist es zweckmäßig, wenn die Photoempfangsanordnung ein lineares Photoempfangsarray ist, welches sich optisch senkrecht zur Abtastlinie erstreckt. Auf diese Weise können problemlos Lichtablenkungen in Ebenen senkrecht zur Abtastlinie erfaßt werden.

Die Erfindung wird im folgenden beispielsweise anhand der Zeichnung beschrieben; in dieser zeigt:

Fig. 1 eine schematische perspektivische Darstellung einer ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen optischen Abtastvorrichtung für ebene Oberflächen,

Fig. 2 eine schematische Ansicht der Abtastvorrichtung nach Fig. 1 in Richtung der Abtastlinie und parallel zur ebenen Oberfläche zwecks Ver­ anschaulichung der Wirkungsweise des Kreis­ zylinderspiegels,

Fig. 3 eine Ansicht analog Fig. 2 einer weiteren Ausführungsform zur Wellenmessung,

Fig. 4 eine Ansicht zweier weiterer Ausführungsformen eines Reflexionsstrahlenganges in Richtung des Pfeiles IV in Fig. 1,

Fig. 4a eine Draufsicht der bei den Ausführungsformen nach den Fig. 4 und 5 verwendeten Linsenstreifen (die Draufsicht auf die in Fig. 5 verwendeten Hohlspiegelstreifen sieht ähnlich aus), und

Fig. 5 eine Ansicht zweier weiterer Ausführungsformen eines Reflexionsstrahlenganges in Richtung des Pfeiles IV von Fig. 1.

Nach Fig. 1 beaufschlagt eine Laserlichtquelle 20 über eine nur schematisch angedeutete Strahlaufweitungsoptik 21 und einen Umlenkspiegel 22 ein Spiegelrad 16, welches einen scharf gebündelten Lichtstrahl 23 reflektiert, der innerhalb eines sektorförmigen Bereiches 24 entsprechend der Drehung des Spiegelrades in Richtung des Pfeiles eine periodische Abtastbewegung ausführt.

Ein streifenförmiger Planspiegel 25 reflektiert den die sektorförmige Abtastbewegung ausführenden Lichtstrahl 23 zu einem streifenförmigen Hohlspiegel 15, der einen parallel zu sich selbst verschobenen Fahr­ strahl 26 erzeugt, indem er im Abstand seiner Brennweite von der reflektierenden Oberfläche des Spiegel­ rades 16 angeordnet ist.

Der Fahrstrahl 26 trifft auf die ebene Oberfläche 13 einer Materialbahn 27, die beispielsweise in Richtung des Pfeiles f unter der beschriebenen optischen Abtast­ vorrichtung hindurchbewegt wird, wobei die Richtung f senkrecht zu der Abtastlinie 11 verläuft, die der Fahrstrahl 26 quer zur Längsrichtung der Materialbahn 27 periodisch durchläuft.

Wesentlich ist, daß der Sende-Fahrstrahl 26 nicht senkrecht, sondern, unter einem Winkel α von beispielsweise 15° bis 45° auf die ebene Oberfläche 13 auftrifft. Wenn die ebene Oberfläche 13 im wesentlichen spiegelnd reflektierend ist, wird der Fahrstrahl 26 unter dem Reflexionswinkel α als Reflexionsstrahl 26′ reflektiert. In dessen Bahn ist erfindungs­ gemäß ein Kreiszylinderspiegel 12 angeordnet, dessen Kreiszylindermittelachse 14 mit der Abtastlinie 11 zusammenfällt. Bei normaler Reflexion unter dem Reflexionswinkel α fällt der Fahrstrahl auf die mittlere Mantellinie des Kreis­ zylinderspiegels 12.

Nach den Fig. 1 und 2 wird aufgrund dieser Anordnung das auf den Kreiszylinderspiegel 12 gelangende Licht wie von einem Retroreflektor in sich selbst zurückreflektiert, so daß auf der Abtastlinie 11 außer dem Primärlichtfleck 28 diesem überlagert ein Sekundärlichtfleck 29 entsteht. Von diesem wird das Licht in Überdeckung mit dem Sende- Fahrstrahl 26 auf den Streifenhohlspiegel 15 und den Umlenkplanspiegel 25 zurückgeworfen. Nahe dem Spiegelrad 16 ist ein teildurchlässiger Spiegel 17 im Sende­ strahlengang angeordnet, der das Empfangslicht zu einem linearen Photoempfangsarray 18 ausspiegelt, welches sich senkrecht zur Abtastlinie 11 erstreckt. Auf diese Weise beeinflussen Verkippungen der Materialoberfläche 13 um eine Achse parallel zur Abtastlinie 11 oder sich senkrecht zur Abtastlinie 11 erstreckende Wellungen 30, wie eine in Fig. 1 bespielsweise angedeutet ist, die Fehlermessung nicht, denn das zweimal im Lichtfleck, also exakt an der gleichen Stelle der Oberfläche 13 regulär reflektierte Licht fällt unabhängig vom Grad der Wellung jeweils wieder mit dem Sende-Fahrstrahl 26 zusammen.

Trifft jedoch der Lichtfleck auf einen Oberflächenfehler, dessen den Strahl ablenkende Oberflächenstruktur kleiner als der Lichtfleck ist, so wird diese Strahlablenkung deshalb nicht kompensiert, weil das Strahlenbündel auf seinem Rückweg in Höhe und Seite vertauscht den Sekundärllichtfleck bildet, also auf Hin- und Rückweg an unterschiedlichen Flächenelementen reflektiert wird. Die insgesamt an der Objektstelle entstandenen Strahlablenkungen ergeben so die Aufstreuung des zurückkommenden Bündels, die auf dem linearen Photoempfangsarray 18 registriert wird.

Nach Fig. 3 ist der Kreiszylinderspiegel 12 so gekippt angeordnet, daß die Kreiszylindermittelachse 14 etwas neben der Abtastlinie 11 des Sende-Fahrstrahls 26 zu liegen kommt.

Auf diese Weise wird der vom Kreiszylinderspiegel 12 reflektierte Reflexionsstrahl 26′ jenseits der Kreiszylindermittelachse 14 auf die ebene Oberfläche 13 auftreffen und dort einen sekundär Abtastlichtfleck 29 erzeugen, der entlang einer Sekundärabtastlinie 11′ eine zum Abtastlichtfleck 28 synchrone Abtastbewegung ausführt. Aufgrund dieser Anordnung wird das von der Sekundärabtastlinie 11′ ausgehende Empfangslicht unter einem etwas anderen Winkel verlaufen als der Sende-Fahrstrahl 26. Deswegen kann der Sekundärempfangs­ lichtstrahl 31 auch einen neben dem Sendelichtstrahl 26 angeordneten, als Planspiegel ausgebildeten Auslenkspiegel 19 fallen, der das Empfangs­ licht wieder zu einem linearen Photoempfangsarray 18 lenkt.

Sofern am Orte der Abtastlichtflecke 28 und 29 unter­ schiedliche Neigungen einer Wellung 30 (Fig. 1) vorliegen, fällt das Empfangslicht an unterschiedliche Stellen des Photoempfangsarrays, so daß aus den vom Photoempfangsarray abgenommenen elektrischen Signalen der Grad der Wellung bestimmt werden kann.

Insgesamt zeigt das Photoempfangsarray 18 in Längsrichtung verlaufende Wellungen 30 mit quer verlaufenden Wellenbergen und Wellentälern durch Verlagerung des auf ihr erzeugten Sekundärlichtflecks 29 im Frequenzbereich der Scanfrequenz und darunter an, während einzelne aufstreuende Fehler als Verbreiterung dieses Flecks in 100- bis 1000-fach höheren Frequenzbändern registriert werden.

Da die hier beschriebene optische Abtastvorrichtung kleine Aufstreuungen in Reflexion registriert, kann sie auch mit den herkömmlichen Empfängersystemen mit Zylinderlinse und Lichtleitstab kombiniert werden, mit denen Fehler großer Aufstreuung in dem dem Retroreflektor benachbarten Dunkel­ bereich erfaßt werden.

Bei der ersten in Fig. 4 veranschaulichten Ausführungsform des Empfangsstrahlenganges fällt das von der Abtastlinie 11 reflektierte Licht in einen Linsenstreifen 32, der im Abstand seiner Brennweite F parallel zur Abtastlinie 11 angeordnet ist. In der von der Abtastlinie 11 abgewandten Brennebene 33 des Linsenstreifens 32 ist auf der optischen Achse 37 ein Tripelspiegel 34 so angeordnet, daß er das einfallende Licht etwas seitenversetzt in gleicher Richtung zurückwirft, so daß es durch den Linsenstreifen 32 als Sekundärlichtfleck 29 auf den Primärlichtfleck 28 geworfen wird.

Praktisch der gleiche Reflexionslichtweg läßt sich erreichen, wenn statt des Tripelspiegels 34 im Abstand F seiner Brennweite von der Brennebene 38 ein weiterer Linsenstreifen 35 angeordnet ist, hinter dem sich im Abstand seiner Brennweite F ein ebener Streifenspiegel 36 befindet, der senkrecht zur optischen Achse 37 steht. Diese Ausführungsform beansprucht jedoch deutlich mehr Raum.

Bei der ersten Ausführungsform nach Fig. 5 wird statt des Linsenstreifens 32 in Fig. 4 ein Hohlspiegelstreifen 38 verwendet, der im Abstand F seiner Brennweite von der Ab­ tastlinie 11 so angeordnet ist, daß er das von dort reflektierte Licht empfängt. Der Hohlspiegelstreifen 38 ist um seine Längsachse so gekippt, daß neben den Eingangsstrahlen für den Hohlspiegelstreifen 38 ein Umlenkspiegelstreifen 40 angeordnet werden kann, der das vom Hohlspiegelstreifen 38 reflektierte Licht empfängt und zur Brennebene 39 des Hohlspiegelstreifens 38 lenkt, die durch den Umlenkspiegelstreifen 40 auf die von der Abtastlinie 11 abgewandte Seite des Hohlspiegelstreifens 38 verlegt ist. Dort ist wieder auf der optischen Achse 37 ein Tripelspiegel 34 angeordnet. Die Wirkung ist analog der des ersten Ausführungsbeispiels von Fig. 4.

Analog zu Fig. 4 kann statt des Tripelspiegels 34 hinter der Brennebene 39 auch wieder ein Linsenstreifen 35 mit dahinter angeordnetem Spiegelstreifen 36 vorgesehen sein. Der zweite Linsenstreifen 35 könnte in analoger Weise auch wieder durch einen Hohlspiegelstreifen ersetzt werden.

Mit den Ausführungsformen des Reflexionsstrahlenganges nach den Fig. 4 und 5 wird erreicht, den Primärlichtfleck 28 als Sekundärlichtfleck 29 wieder auf sich selbst abzubilden.

Gegenüber dem Zylinder- oder Rinnenspiegel 12 nach Fig. 1 hat die Anordnung sphärischer Abbildungselemente nach den Fig. 4 und 5 den Vorteil, daß ein abbildender Retroreflektor geschaffen wird, der Winkelschwankungen der Oberfläche der Materialbahn 27 sowohl in als auch quer zur Abtastrichtung kompensiert. Mit den abbildenden Retroflektoren nach den Fig. 4 und 5 werden neben diesen Winkelbewegungen der Bahn sowie Quer- und Längswellen kompensiert.

Bei diesen Anordungen läßt sich eine Anzeige von Quer- oder Längswellen dadurch erzielen, daß der Sekundärlichtfleck quer oder längs der Abtastlinie ff verschoben wird.

Ebenso wie man auf der Sendeseite entweder sphärische Spiegelstreifen oder ein telezentrisches Abtastobjektiv als Abbildungselemente verwendet kann, ist dies auch für den telezentrischen Retroreflektor nach den Fig. 4 und 5 möglich.

Claims (10)

1. Optische Abtastvorrichtung für ebene Oberflächen mit einer Laserlichtquelle, einer vom Laserstrahl beaufschlagten periodischen Lichtablenkvorrichtung wie einem Spiegelrad, einer telezentrischen Abtastoptik, die den von der Lichtablenkvorrichtung periodisch über einen bestimmten Winkelbereich geführten Laserstrahl als parallel zu sich selbst verschobenen Fahrstrahl unter einem von Null verschiedenen Einfallswinkel auf die ebene Oberfläche lenkt, wo ein die ebene Oberfläche entlang einer Abtastlinie periodisch abtastender Lichtfleck entsteht, sowie mit einer Lichtempfangsvorrichtung für das vom Bereich der Abtastlinie auf der Oberfläche reflektierte Licht, dadurch gekennzeichnet, daß unter dem Reflexionswinkel (α) des Fahrstrahls (26) ein im wesentlichen die Länge der Abtastlinie (11) aufweisender Kreiszylinderspiegel (12) mit parallel zur Abtastlinie (11) verlaufender gedachter Kreiszylindermittelachse (14) in einem solchen Abstand von der Oberfläche (13) angeordnet ist, daß die gedachte Kreiszylindermittelachse (14) auf der Abtastlinie (11) oder in ihrer unmittelbaren Nähe auf der Oberfläche (13) liegt.

2. Optische Abtastvorrichtung für ebene Oberflächen mit einer Laserlichtquelle, einer vom Laserstrahl beaufschlagten periodischen Lichtablenkvorrichtung wie einem Spiegelrad, einer telezentrischen Abtastoptik, die den von der Lichtablenkvorrichtung periodisch über einen bestimmten Winkelbereich geführten Laserstrahl als parallel zu sich selbst verschobenen Fahrstrahl unter einem von Null verschiedenen Einfallswinkel auf die ebene Oberfläche lenkt, wo ein die ebene Oberfläche entlang einer Abtastlinie periodisch abtastender Lichtfleck entsteht, sowie mit einer Lichtempfangsvorrichtung für das vom Bereich der Abtastlinie auf der Oberfläche reflektierte Licht, dadurch gekennzeichnet, daß unter dem Reflexionswinkel (α) des Fahrstrahls (26) parallel zu der Abtastlinie (11) ein im wesentlichen die Länge der Abtastlinie (11) aufweisender sphärischer Linsenstreifen (32) im Abstand seiner Brennweite (F) von der Abtastlinie (11) angeordnet ist, daß ein weiterer Linsenstreifen (35), der zum ersten Linsenstreifen (32) parallel verläuft, im Abstand seiner Brennweite (F), die vorzugsweise die gleiche wie die des ersten Linsenstreifens (32) ist, von der von der Abtastlinie (11) abgewandten Brennebene (33) des ersten Linsenstreifens (32) so angeordnet ist, daß er das von der Abtastlinie (11) ausgehende Re­ flexionslicht empfängt, und daß hinter dem weiteren Linsenstreifen (35) ein ebener Streifenspiegel (36) senkrecht zur optischen Achse (37) im Abstand der Brennweite (F) des weiteren Linsenstreifens (35) vorgesehen ist.

3. Optische Abtastvorrichtung für ebene Oberflächen mit einer Laserlichtquelle, einer vom Laserstrahl beaufschlagten periodischen Lichtablenkvorrichtung wie einem Spiegelrad, einer telezentrischen Abtastoptik, die den von der Lichtablenkvorrichtung periodisch über einen bestimmten Winkelbereich geführten Laserstrahl als parallel zu sich selbst verschobenen Fahrstrahl unter einem von Null verschiedenen Einfallswinkel auf die ebene Oberfläche lenkt, wo ein die ebene Oberfläche entlang einer Abtastlinie periodisch abtastender Lichtfleck entsteht, sowie mit einer Lichtempfangsvorrichtung für das vom Bereich der Abtastlinie auf der Oberfläche reflektierte Licht, dadurch gekennzeichnet, daß unter dem Reflexionswinkel (α) des Fahrstrahls (26) parallel zu der Abtastlinie (11) ein im wesentlichen die Länge der Abtastlinie (11) aufweisender sphärischer Hohlspiegelstreifen (38) im Abstand seiner Brennweite (F) von der Abtastlinie (11) angeordnet ist, daß seine Brennebene (39) durch eine leichte Kippung des Hohlspiegelstreifens (38) um seine Längsachse und einen in seinem Reflexionslicht angeordneten ebenen Umlenkspiegelstreifen (40) auf die von der Abtastlinie (11) abgewandte Seite des Hohlspiegel­ streifens (38) verlegt ist, daß ein weiterer Linsenstreifen (35) oder ein weiterer Hohlspiegelstreifen, der zum ersten Hohlspiegelstreifen (38) parallel verläuft, im Abstand seiner Brennweite (F), die vorzugsweise die gleiche wie die des ersten Hohlspiegelstreifens (38) ist, von der von der Abtastlinie (11) abgewandten Brennebene (39) des ersten Hohlspiegelstreifens (38) so angeordnet ist, daß er das von der Abtastlinie (11) ausgehende Reflexionslicht empfängt, und daß hinter dem weiteren Linsenstreifen (35) ein ebener Streifenspiegel (36) senkrecht zur optischen Achse (37) im Abstand der Brennweite (F) des weiteren Linsen­ streifens (35) bzw. des weiteren Hohlspiegelstreifens vorgesehen ist.

4. Optische Abtastvorrichtung für ebene Oberflächen mit einer Laserlichtquelle, einer vom Laserstrahl beaufschlagten periodischen Lichtablenkvorrichtung wie einem Spiegelrad, einer telezentrischen Abtastoptik, die den von der Lichtablenkvorrichtung periodisch über einen bestimmten Winkelbereich geführten Laserstrahl als parallel zu sich selbst verschobenen Fahrstrahl unter einem von Null verschiedenen Einfallswinkel auf die ebene Oberfläche lenkt, wo ein die ebene Oberfläche entlang einer Abtastlinie periodisch abtastender Lichtfleck entsteht, sowie mit einer Lichtempfangsvorrichtung für das vom Bereich der Abtastlinie auf der Oberfläche reflektierte Licht, dadurch gekennzeichnet, daß unter dem Reflexionswinkel (α) des Fahrstrahls (26) parallel zu der Abtastlinie (11) ein im wesentlichen die Länge der Abtastlinie (11) aufweisender sphärischer Hohlspiegelstreifen (38) im Abstand seiner Brennweite (F) von der Abtastlinie (11) angeordnet ist, in dessen durch eine leichte Kippung des Hohlspiegels (38) um seine Längsachse und einen in seinem Reflexionslicht angeordneten ebenen Umlenk­ spiegelstreifen (40) von der Abtastlinie (11) ab­ gewandter Brennebene (39) ein das von der Abtastlinie (11) kommende Reflexionslicht empfangender Tripelspiegel (34) angeordnet ist.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der telezentrischen Abtastoptik (15) und der Lichtablenkvorrichtung (16) vorzugsweise nahe der letzteren ein teildurchlässiger Spiegel (17) im Strahlengang angeordnet ist, der einen Teil des Empfangslichtes auf eine Photoempfangs­ anordnung (18) lenkt.

6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die gedachte Kreiszylindermittelachse (14) in geringem Abstand von der Abtastlinie (11) und parallel zu letzterer auf der Materialoberfläche angeordnet ist (Fig. 3).

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der geringe Abstand 5 bis 10 mm beträgt.

8. Vorrichtung nach Anspruch 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß der vordere Brennpunkt des ersten sphärischen Linsenstreifens (32) bzw. des sphärischen Hohlspiegelstreifens (38) einige Millimeter neben der Abtastlinie (11) angeordnet ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß außerhalb des Sendelichtbündels vor der Lichtablenkvorrichtung (16) ein Auslenkspiegel (19) im Empfangsstrahlengang angeordnet ist, der das Empfangslicht zu einer Photoempfangsanordnung (18) lenkt.

10. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Photoempfangsanordnung (18) ein lineares Photoempfangserray ist, welches sich senkrecht zur Richtung der Abtastlinie (11) erstreckt.