DE3446354C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine optoelektronische Vergleichs­ vorrichtung nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Derartige Vergleichsvorrichtungen werden z. B. dazu ver­ wendet, um gedruckte Schaltungs- oder Leiterplatten mit einer als Vorbild dienenden Meisterleiterplatte auf Ab­ weichungen zu vergleichen.

Es ist bereits eine Vorrichtung zum Vergleichen eines Prüflings mit einem Meisterstück mittels zweiter be­ weglicher Abtaststrahlenbündel bekannt (DE-OS 14 23 597), von denen eines das Meisterstück und eines den Prüfling Punkt für Punkt zeilenweise abtastet und die nach Durch­ setzen der Objekte auf eine photoelektrische Empfänger­ anordnung fallen, welche auf die Differenz der Licht­ bündelintensitäten anspricht.

Die bekannte Anordnung hat jedoch den Nachteil, daß sie wegen der Nebeneinanderanordnung des Beleuchtungs­ strahlenganges und des Empfangsstrahlenganges einen erheblich von der Senkrechten abweichenden Einfall der Beleuchtungslichtstrahlen auf die Lichtablenkvor­ richtungen erfordert, was nicht nur zu optischen Ver­ zerrungen, sondern auch zu einem räumlich aufwendigen Aufbau führt. Außerdem befinden sich die im Meß- und Vergleichsstrahlengang befindlichen Abtastlichtstrahlen nicht exakt in einer Linie, sondern sind entsprechend dem Abstand der Teillichtbündel gegeneinander versetzt.

Es ist auch schon bekannt (DE-OS 29 25 734), ein Ein­ trittslichtbündel so schräg auf ein Spiegelrad auftreffen zu lassen, daß es zu einem neben dem Eintrittslichtbündel angeordneten streifenförmigen Spiegel umgelenkt wird. Die vorbekannte Anordnung arbeitet jedoch nur mit einem Eintritts- und einem Austrittslichtbündel.

Schließlich ist auch schon eine optische Vorrichtung zur Prüfung reflektierender Oberflächen mit gerader Erzeugender bekannt (DE-AS 11 76 398), bei der ein dachkantförmiger Doppelspiegel senkrecht zu seiner Winkelhalbierungsebene bewegt wird, um ein Eintrittslichtbündel entlang der Oberfläche des Prüfkörpers zu bewegen, d. h. einen Ab­ tastlichtstrahl zu erzeugen. Auch diese bekannte optische Vorrichtung arbeitet lediglich mit einem Eintritts- und einem Austrittslichtbündel. Auch ist ein linear bewegtes Spiegelsystem nicht geeignet, eine schnelle Abtastung von einigen tausend Zeilen in der Sekunde zu realisieren.

Das Ziel der Erfindung besteht darin, eine opto­ elektronische Vergleichsvorrichtung der eingangs ge­ nannten Gattung zu schaffen, welche bei kompaktem räum­ lichem Aufbau mit höchster optischer Genauigkeit in einer Ebene zwei exakt miteinander ausgerichtete und nebenein­ ander liegende Abtastlichtstrahlen erzeugt.

Zur Lösung dieser Aufgabe sind die Merkmale des kenn­ zeichnenden Teils des Patentanspruchs 1 vorgesehen.

Aufgrund der erfindungsgemäßen Ausbildung wird ein kom­ pakter und vor allen Dingen sehr schmaler Gesamtaufbau erzielt, wobei der Beleuchtungsteil von dem im Anschluß an die Lichtablenkvorrichtung vorgesehenen Strahlengang räumlich weitgehend getrennt ist, ohne daß der Lichtein­ fall auf die Lichtablenkvorrichtung unter zu stark von der Senkrechten abweichenden Winkeln erfolgen muß. Die durch die Nebeneinanderanordnung der ersten Streifen­ spiegel bedingte geringfügige Versetzung der beiden Teillichtbündel wird durch die Strahlversetzungsvorrichtung mit höchster optischer Genauigkeit rückgängig gemacht, so daß letztendlich auf der Abtastfläche zwei exakt gleiche und in einer Linie liegende Abtastlichtstriche mit einem geringen Abstand vorliegen. Dadurch wird es ermöglicht, auch feinste strukturelle Unterschiede zwischen Meister­ stück und Werkstück optisch zu erfassen.

Aufgrund der Ausbildung nach den Ansprüchen 2 bis 3 wird erreicht, daß es bei der seitlichen Entkopplung der beiden Abtaststrahlen zu keinen optischen Ver­ zerrungen beispielsweise einem Bildsturz kommt und daß auch geringfügige Erschütterungen der Vorrichtung sich nicht in Fehlern beim Vergleich auswirken können.

Aufgrund der Ausbildung nach Anspruch 5 wird eine besonders kompakte Anordnung erzielt, denn die Licht­ ablenkvorrichtung kann jeweils z. B. unter den beiden gekreuzten ersten Streifenspiegeln angeordnet sein, d. h. sich mit diesem überlappen.

Die Ausbildung nach Anspruch 6 gestattet es, daß die Versetzung der beiden Einzelteillichtbündel in Richtung der Drehachse der Lichtablenkvorrichtung sehr gering gehalten werden kann.

Weitere vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind durch die Patentansprüche 7 bis 14 gekennzeichnet.

Als Lichtquelle wird bei der erfindungsgemäßen opto­ elektronischen Vergleichsvorrichtung bevorzugt ein Laser verwendet, weil hiermit besonders enge Strahl­ querschnitte verwirklicht werden können.

Die Erfindung wird im folgenden beispielsweise anhand der Zeichnung be­ schrieben; in dieser zeigt

Fig. 1 eine schematische perspektivische Ansicht einer Ausführungsform einer optoelektronischen Plattenoberflächen- Vergleichsvorrichtung,

Fig. 2 eine vergrößerte schematische Stirnansicht in Richtung des Pfeils II in Fig. 1 und

Fig. 3 eine analoge Stirnansicht einer weiteren Ausführungsform.

Nach Fig. 1 erzeugt ein Laser 35 durch Verwendung geeigneter Strahlauf­ weitungsmittel, die nicht dargestellt sind, ein über den Querschnitt eine gleichmäßige Lichtintensität aufweisendes Lichtbündel 55 mit im wesent­ lichen kreisförmigen Querschnitt, dessen Durchmesser etwa 100 mm beträgt.

Durch eine im Lichtbündel 55 angeordnete Strahlformungs- bzw. Modenblende 56 mit kreisförmiger Öffnung erhält das Lichtbündel 55 eine exakte Kreis- Querschnittsform. Das Lichtbündel 55 ist konvergent bis zur Moden­ blende 56. Das so gebildete divergente Lichtbündel 57 mit exakt kreis­ förmigem Querschnitt fällt auf einen Umlenkplanspiegel 58, der das Licht­ bündel aus der zunächst im wesentlichen horizontalen Lage vertikal nach unten zu einem Abbildungsobjektiv 26 angelenkt, welches den Lichtbündeln einen leicht divergenten Verlauf verleiht und das eintretende Lichtbündel 57 auf Punkte 42, 43 auf einer vorzugsweise ebenen Abtastfläche 18 konzen­ triert. Durch eine gedachte Trennlinie 51, an der vorzugsweise eine Streifenblende angeordnet ist, ist das Abbildungsobjektiv 26 in zwei Hälften 26′, 26′′, unterteilt, wobei hinter der Hälfte 26′ als Teilbündel-Seitenversetzungsanordnung 25 ein optischer Keil angeordnet ist, der dem durch die Hälfte 26′′ hindurchtretenden Teillichtbündel eine Winkelversetzung senkrecht zur optischen Achse 52 und der Trennlinie 51 des Abbildungsobjektivs 26 erteilt, welche in Fig. 1 etwas übertrieben wiedergegeben ist.

Im Anschluß an den Keil liegen also zwei durch einen geringen Abstand getrennte Eintritts-Teillichtbündel 21 bzw. 22 mit einer kleinen Winkel­ differenz gegeneinander vor, die auf die gerade reflektierende Fläche 59 des Spiegelrades 11 auftreffen, dessen Drehachse 20 senkrecht zur optischen Achse 52 und der Trennlinie 51 des Abbildungsobjektivs 26 verläuft. Auf der reflektierenden Fläche 59 erscheinen demnach nebeneinander in geringem Abstand zwei halbkreisförmige Lichtflecke 60, 61, wobei die Anordnung zweckmäßigerweise so ist, daß der eine halbkreisförmige Lichtfleck 60 zur einen Seite und der andere halbkreisförmige Lichtfleck 61 zur anderen Seite der Mittelebene 19 des Spiegelrades 11 angeordnet ist. Auf dem Spiegelrad 11 ist also bereits eine räumliche Entkopplung der beiden Eintritts-Teillichtbündel 21, 22 erfolgt.

Oberhalb des Spiegelrades 11, welches in Richtung des Pfeils f in schnellen Umlauf versetzt werden kann, befinden sich zwei gekreuzte erste Streifen­ spiegel 12, 13, welche sich an der Kreuzungsstelle 62 vorzugsweise be­ rühren. Ihre Anordnung ist derart, daß das eine vom Spiegelrad 11 re­ flektierte Austritts-Teillichtbündel 14 auf den hinteren ersten Streifen­ spiegel 12, das andere reflektierte Austritts-Teillichtbündel 15 auf den vorderen ersten Streifenspiegel 13 auftrifft. Der Spalt zwischen den beiden Austritts-Teillichtbündeln 14, 15 überlappt sich etwas mit den beiden Streifenspiegeln 12, 13.

An die oberen Enden der ersten Streifenspiegel 12, 13, die mit den Eintritts- Teillichtbündeln 21, 22 in dem Augenblick einen Winkel von etwa 45° ein­ schließen, in dem der Lichtfleck auf die Mitte der Abtaststrecke fällt, grenzen die oberen Enden von zwei zweiten Streifenspiegeln 16, 17 an, die mit dem zugeordneten ersten Streifenspiegel 12, 13 eine dachförmige Anordnung bilden. Der Winkel zwischen den jeweiligen ersten und zweiten Streifenspiegeln 12, 16 bzw. 13, 17 beträgt 90°. Die Projektion der zwei­ ten Streifenspiegel 17 auf die ebene Abtastfläche 18 entspricht der Länge der Abtastlichtstriche 38, 39. Länge und Ausbildung der ersten und zweiten Streifenspiegel 12, 13, 16, 17 sind gleich.

Aufgrund der dachkantprismenartigen Zusammenfügung der ersten und zweiten Streifenspiegel 12, 13, 16, 17 werden die Austritts-Teillichtbündel 14, 15 von den ersten Streifenspiegeln 12, 13 zu den zweiten Streifenspiegeln 16,17 reflektiert, von wo sie als versetzte Reflexions-Teillichtbündel 44, 45 seitlich versetzt aber parallel zu den Eintritts-Teillichtbündeln in ent­ gegengesetzter Richtung zur Abtastfläche 18 hin umgelenkt werden.

Da das Bündel unmittelbar vor oder nach dem Abbildungsobjektiv 26 geometrisch auf­ gespalten wird, ist der Abstand der Bündelmitten etwa gleich dem halben Durchmesser der Pupille. Der als Teilbündel-Seitenversetzungsanordnung 25 dienende Keil bewirkt zusätzlich eine Winkel­ differenz, wodurch dieser Abstand noch vergrößert wird und bei den ersten Streifenspiegeln 12, 13 die Trennung vollständig ist. Nach der Reflexion an den zweiten Streifen­ spiegeln 16, 17 soll diese Trennung sich nicht noch weiter vergrößern, son­ dern vielmehr durch Strahlversetzungen wieder rückgängig gemacht werden. Es wird zunächst die noch vorhandene Winkeldifferenz durch geringes Verkippen der beiden Dachanordnungen gegeneinander kompensiert, so daß die beiden austretenden Teillichtbündel 44, 45 in parallelen Enden laufen. Erst dann erfolgt in transparenten Stäben 23, 24 eine Rückgängigmachung der noch vorhandenen Strahlversetzung. Hierzu treten die reflektierten Teil­ lichtbündel 44, 45 in der im einzelnen aus Fig. 2 ersichtlichen Weise in die Eintrittsflächen 49, 50 der beiden transparenten Stäbe 23, 24 mit quadratischen Querschnitt ein, welche so angeordnet sind, daß die Eintritts­ flächen 49, 50 mit den reflektierten Teillichtbündeln 44, 45 einen Wink el von etwa 45° einschließen. Während jedoch das Teillichtbündel 44 in die hintere Fläche des transparenten Stabes 23 eintritt, tritt das weit ere Teillichtbündel 45 in die vordere Fläche 50 des transparenten Stabes 24 ein. Das reflek­ tierte Teillichtbündel 44 wird also nach vorn, das reflektierte Teil­ lichtbündel 45 nach hinten versetzt, wobei durch eine vertikale Versetzung der beiden Stabachsen 46, 47 gemäß Fig. 2 nach dem Austritt aus den transparen ten Stäben 23, 24 Abtaststrahlen 31, 32 gebildet werden, die in der Seitenansicht der Fig. 2 zusammenfallen und nach Fig. 1 in der gleichen Abtastebene 48 zu liegen kommen, welche senkrecht zur Drehachse 20 des Spiegelrades verläuft.

Die Abtaststrahlen 31, 32 gelangen schließlich nahe der Abtastfläche 18 auf streifenförmige Planspiegel 27, 28, die parallel zur Abtastfläche 18 und zu den Stäben 23, 24 verlaufen und das Licht schräg zu unmittel­ bar darüber und nach hinten etwas versetzt angeordneten streifenförmigen Hohlspiegeln 29, 30 reflektieren. Die Hohlspiegel 29, 30 sind zweckmäßiger­ weise sphärisch ausgebildet, können aber auch eine Zylinderspiegelcharakte­ ristik haben.

Optisch liegen die Hohlspiegel 29, 30 im Abstand ihrer Brennweite von den Lichtflecken 60, 61 auf dem Spiegelrad 11 entfernt, so daß die von den Hohl­ spiegeln 29, 30 reflektierten Fahrstrahlen 33, 34 beim Drehen des Spiegel­ rades 11 parallel zu sich selbst verschoben werden.

Auf der Abtastfläche 18 bilden die Fahrstrahlen 33, 34 an den Punkten 42, 43 Abtastlichtflecke, die beim schnellen Umlaufen des Spiegelrades in Richtung der Pfeile F über die Oberfläche der Abtastfläche 18 hinweglaufen und so die beiden Abtastlichtstriche 38, 39 bilden, welche exakt in einer und derselben Geraden liegen parallel zueinander und miteinander ausgerich­ tet in der aus Fig. 1 ersichtlichen Weise hintereinander liegen.

Zwischen den benachbarten Endpunkten 63, 64 der beiden Abtastlichtstriche 38, 39 verbleibt ein deutlicher Abstand A. Parallel zu jedem Abtastlicht­ strich 38, 39 ist jeweils eine nur gestrichelt angedeutete Lichtempfangs­ vorrichtung vorgesehen, die aus jeweils einem Lichtleitstab 36 bzw. 37 besteht, an deren Enden als Photoempfänger 40, 41 ein Photovervielfacher angebracht ist, der ein dem auf die Mantelfläche des jeweiligen Lichtleit­ stabes 36, 37 auftreffendem Licht entsprechendes elektrisches Signal abgibt.

Auf der Abtastfläche 18 sind nebeneinander eine Meister-Leiterplatte 53 und eine Prüfling-Leiterplatte 54 angeordnet, die in Richtung der Pfeile P senkrecht zu den Abtastlichtstrichen 38, 39 so vorgeschoben werden, daß sie beim Hindurchlaufen unter den Abtastlichtstrichen zeilenweise abgetastet werden.

Wird dafür gesorgt, daß stets gleiche Stellen der beiden Leiterplatten 53, 54 im gleichen Augenblick von den Abtastlichtflecken an den Punkten 42, 43 erfaßt werden, so kann durch Vergleich der elektrischen Ausgangssignale der Photoempfänger 40, 41 festgestellt werden, ob an irgendeinem Punkt der beiden Leiterplatten 53, 54 ein bestimmtes Maß überschreitende Ungleich­ heiten vorliegen. Es kann so ein exakter Punktvergleich der Oberflächen der beiden Leiterplatten relativ schnell durchgeführt werden, weil die Abtastlichtfrequenz sehr hoch gewählt werden kann und daher die beiden Leiterplatten 53, 54 relativ schnell in Richtung der Pfeile P unter der Abtastvorrichtung hindurchtransportiert werden können.

Nach der Untersuchung einer Leiterplatte 54 wird die Meister-Leiterplatte wieder in ihre Ausgangsposition zurückgeschoben, und anschließend erfolgt dann mit einer weiteren gerade produzierten Leiterplatte 54′ der gleiche Ver­ gleichsvorgang.

Nach Fig. 3 können statt der transparenten Stäbe 24, 23 in Fig. 1, 2 auch zwei unter einem Winkel von 90° angeordnete planparallele Glasplatten 23′, 24′ vorgesehen sein, in deren Eintrittsflächen 49′, 50′ die beiden reflektierten Teillichtbündel 44, 45 in analoger Weise unter Winkeln von 45° eintreten. Am Kreuzungspunkt der beiden Austrittsflächen der Glasplatten 23′, 24′ treten dann wieder die beiden exakt ausgerichteten Abtaststrahlen 31, 32 aus.

Claims (14)

1. Optoelektronische Vergleichsvorrichtung für Strukturen auf zwei zu vergleichenden ebenen Oberflächen mit in Strahlrichtung gesehen einer Lichtquelle, einer optischen Teilbündel-Seitenversetzungsanordnung, einer gemeinsamen periodischen Lichtablenkvorrichtung, insbesondere einem Spielrad, auf die die beiden Teil­ bündel in Richtung von deren Drehachse versetzt auf­ treffen, mit zwei gegeneinander gekreuzten, nebenein­ ander angeordneten, ebenen ersten Streifenspiegeln zur Aufnahme nur je eines Teillichtbündels, an denen die Eintritts-Teillichtbündel seitlich derart vorbei­ laufen, daß sie schräg zur Drehachse auf die Spiegel­ flächen der Lichtablenkvorrichtung zueinander geneigt auftreffen, wobei die ersten ebenen Streifenspiegel die reflektierten Teillichtbündel in entgegengesetzten Richtungen umlenken, mit zweiten ebenen Streifenspiegeln zur Umlenkung in zu den reflektierten Teillichtbündeln paralleler Richtung, mit optischen Elementen zur Erzeugung parallel zueinander verschobener, sich nicht über­ lappender, auf den zu vergleichenden Oberflächen Abstandslichtstriche bildender Abtastlichtstrahlen und mit einer photoelektrischen Lichtempfangsvor­ richtung, an die eine Auswerteschaltung angeschlossen ist, dadurch gekennzeichnet, daß die zweiten Streifenspiegel (16, 17) derart angeordnet sind, daß sie die auftreffenden Teillichtbündel zusätzlich in zu den reflektierten Teillichtbündeln entgegengesetzter Richtung umlenken und zwischen den zweiten Streifenspiegeln (16, 17) und den zwei zu vergleichenden Oberflächen (53, 54) mindestens eine Strahlversetzungsvorrichtung (transparente Stäbe 23, 24; planparallele Glasplatten 23′, 24′) vorge­ sehen ist, welche die durch die Teilbündel-Seitenver­ setzungsanordnung (25) bedingte Strahlversetzung rück­ gängig macht.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die senkrecht zur Drehachse (20) der Lichtablenkvorrichtung (11) ver­ laufende Mittelebene (19) der Lichtablenkvorrichtung (11) zwischen den beiden ersten Streifenspiegeln (12, 13) symmetrisch hindurchläuft.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß jeder erste und zweite Streifenspiegel (12, 16 bzw. 13, 17) einen Winkel von 90° miteinander einschließen.

4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten Streifenspiegel (12, 13) sich von den Eintritts-Teil­ lichtbündeln (21, 22) um gleiche Längen nach beiden Seiten erstrecken.

5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Längs­ achse der ersten Streifenspiegel (12, 13) einen Winkel von 45° gegen die Ebene einschließt, die von dem auf die Lichtablenkvorrichtung fallenden Strahl und deren Rotationsachse definiert wird.

6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sich die ersten Streifenspiegel (12, 13) bei ihrer halben Länge miteinander berühren.

7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß jede Strahl­ versetzungsvorrichtung (transparente Stäbe 23, 24; planparelle Glasplatten 23′, 24′) aus einer schräggestellten planparallelen Streifenplatte besteht.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die planparallelen Streifen­ platten aus zwei in Längsrichtung ausgerichteten transparenten Stäben (23, 24) mit quadratischem Querschnitt bestehen, auf deren Eintrittsflächen (49, 50) die von den zweiten ebenen Streifenspiegeln (16, 17) reflektierten Teillichtbündel (44, 45) unter 45° zur Senkrechten auf dieser Eintrittsfläche (49, 50) auftreffen und welche bezüglich Brechungsindex und Dicke so dimensioniert sowie in Richtung senkrecht zu den Teillichtbündeln (44, 45) und senkrecht zu ihrer Längsachse (46, 47) geringfügig derart versetzt sind, daß die austretenden Abtast­ strahlen (31, 32) in der gleichen Abtastebene (48) verlaufen.

9. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Streifen­ platten aus zwei in Längsrichtung ausgerichteten unter 90° zueinander angeordneten planparallelen Glasplatten (23′, 24′) bestehen, auf deren Eintrittsfläche (49′, 50′) Teillichtbündel (44, 45) unter 45° zur Senkrechten auf dieser Eintrittsfläche (49′, 50′) auftreffen und welche bezüglich Brechungsindex und Dicke so dimensioniert sind, daß die austretenden Abtaststrahlen (31, 32) in der gleichen Abtastebene (48) verlaufen.

10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß an einem vor der Lichtablenkvorrichtung (11) angeordneten Abbildungs­ objektiv (26) die Teilbündel-Seitenversetzungsanordnung (25) vorgesehen ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß als Teilbündel- Seitenversetzungsanordnung (25) unmittelbar vor oder hinter dem Abbildungsobjektiv (26) im Bereich wenigstens einer Hälfte (26′, 26′′) ein optischer Keil ange­ ordnet ist, der die eintretenden Strahlen von der optischen Achse (52) des Abbildungsobjektivs (26) weg abknickt.

12. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß nahe den Ober­ flächen (53, 54) in Längsrichtung hintereinander im Abstand optisch senkrecht zur Drehachse (20) der Licht­ ablenkvorrichtung (11) zwei streifenförmige Planspiegel (27, 28) angeordnet sind, die jeweils einen der beiden Abtaststrahlen (31, 32) empfangen und zu jeweils einem geringfügig darüber angeordneten streifenförmigen Hohlspiegel (29, 30) reflektieren, der optisch je­ weils im Abstand seiner Brennweite von der re­ flektierenden Fläche der Lichtablenkvorrichtung (11) angeordnet ist und jeweils einen sich parallel zu sich selbst verschiebenden Fahrstrahl (33, 34) bildet.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die streifen­ förmigen Planspiegel (27, 28) und die streifenförmigen Hohlspiegel (29, 30) in ihrer Längsrichtung miteinander ausgerichtet sind und ihre benachbarten Stirnseiten einen Abstand voneinander aufweisen.

14. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als photo­ elektrische Lichtempfangsvorrichtung zwei parallel zu den Abtastlichtstrichen (38, 39) verlaufende lineare Lichtempfänger, insbesondere zwei Licht­ leitstäbe (36, 37) angeordnet und jeweils einem der Abtastlichtstriche (38, 39) zugeordnet sind, wobei sich an wenigstens einer Stirnseite der Lichtleit­ stäbe (36, 37) ein Photoempfänger (40, 41) befindet.