DE3725205A1 - Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete - Google Patents
Tastkopf fuer koordinatenmessgeraeteInfo
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 73
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 claims description 29
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 11
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 4
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 2
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 238000012549 training Methods 0.000 description 2
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Tastkopf für
Koordinatenmeßgeräte mit einem ein räumliches
Koordinatensystem definierenden, torsionssteifen, spiel- und
reibungsfreiem Federsystem, das einen in allen drei
Raumrichtungen auslenkbaren Taststift trägt.
Koordinatenmeßgeräte dienen dazu die Raumkoordinaten eines
Werkstücks an vorgewählten Stellen hochgenau zu erfassen, zur
Anzeige zu bringen und/oder einem nachgeschaltetem Rechner
zuzuleiten. Dieser Rechner ermittelt aus den Koordinatenwerten
die gesuchten Maße des Werkstücks.
Um diese Meßaufgabe lösen zu können ist ein Tastkopf
vorgesehen, der mit einem Taststift versehen ist und der
mittels eines Gerätes in allen drei Raumrichtungen bewegbar
ist, wobei durch Meßwertgeber, die mit diesem Gerät verbunden
sind, die Raumkoordinaten des Taststifts in jedem Augenblick
bekannt sind. Das Gerät zur Tastkopfbewegung kann manuell
betätigt werden, im allgemeinen sind jedoch motorisch
verschiebbare Schlitten vorgesehen, die eine gesteuerte
dreidimensionale Verschiebung des Tastkopfes bewirken. Ein
solches Koordinatenmeßgerät ist beispielsweise aus der DE-PS 27
18 506 bekannt.
Der Tastkopf selbst hat die Aufgabe die Raumkoordinaten
festzuhalten sobald die Spitze des mit ihm verbundenen
Taststifts das zu vermessende Werkstück berührt. Diese
Koordinatenwerte werden dann einer Auswerteeinheit zugeführt,
die aus den an verschiedenen Antaststellen ermittelten
Koordinatenwerten die gesuchten Maße des Werkstücks errechnet.
Der Tastkopf selbst muß so ausgebildet sein, daß eine Antastung
des Werkstücks und die damit verbundene Koordinatenmessung aus
allen drei Raumrichtungen möglich ist. Da bei einem
Antastvorgang der Bewegungsmechanismus für den Tastkopf nicht
im Augenblick der Berührung der Taststiftspitze mit dem
Werkstück zum Stehen gebracht werden kann, ist es erforderlich
den Taststift im Tastkopf so zu halten, daß er in allen
Antastrichtungen, d.h. in allen drei Raumkoordinaten auslenkbar
ist.
Es sind eine ganze Reihe von Tastköpfen bekannt, die sich durch
die Art unterscheiden lassen wie die beim Antastvorgang
vorliegenden Werte der Raumkoordinaten ermittelt werden. Im
allgemeinen unterscheidet man zwei Kategorien, nämlich die
schaltenden und die messenden Tastköpfe.
In die erste Kategorie der sogenannten schaltenden Tastköpfe
gehören solche, die bei der ersten Berührung der Tastkopfspitze
mit dem Meßobjekt einen Trigger-Impuls auslösen, der die in
diesem Augenblick geltenden Koordinatenwerte festhält.
Ein solcher Tastkopf ist beispielsweise aus der DE-PS 27 12 181
bekannt. Er weist ein Lager auf, das die Null-Position des
Taststifts hochgenau festlegt und in das der Taststift nach
jeder Auslenkung zwangsweise wieder hineinbewegt wird. Zur
Erfassung des Trigger-Impulses im Augenblick der Antastung des
Meßobjekts ist ein hochempfindlicher Sensor, beispielsweise
ein piezoelektrisches Element mit dem Taststift verbunden.
Beim Antastvorgang wird der Tastkopf mittels des
Koordinatenmeßgerätes solange auf das zu vermessende Werkstück
hin bewegt, bis die Tastkopfspitze das Werkstück berührt, wobei
der Sensor den Trigger-Impuls auslöst. Dieser friert die
Koordinatenwerte im Augenblick der Antastung ein. Der Tastkopf
bewegt sich zunächst weiter, wobei der Taststift aus seiner
Null-Position ausgelenkt wird. Diese Auslenkung löst über
elektrische oder optische Mittel einen Impuls aus, der den
Trigger-Impuls verifiziert, d.h. die von diesem festgehaltenen
Koordinatenwerte zum Rechner gibt und der zugleich den
Abbremsvorgang des Koordinatenmeßgerätes auslöst. Dabei kommt
der Tastkopf zum Stehen, die Bewegung des Meßgerätes kehrt sich
um und bewegt den Tastkopf solange zurück bis der Taststift in
die Null-Position einrastet. Das Meßgerät ist dann für den
nächsten Antastvorgang bereit.
Ein solcher schaltender Tastkopf ist relativ preiswert und ist
weitgehend gerätekompatibel, da die Meßwerterfassung im
Augenblick des Erstkontaktes zwischen Taststift und Meßobjekt
erfolgt.
In die zweite Kategorie gehören die sogenannten messenden
Tastköpfe. Diese bestehen beispielsweise aus einer
torsionssteifen Aneinanderreihung von spiel- und reibungsfreien
Geradführungssystemen, die miteinander ein räumliches
Koordinatensystem bilden und den Taststift tragen. In die
Geradführungssysteme, die vorzugweise als Federparallelogramme
ausgebildet sind, sind richtungs- und lageempfindliche
Signalgeber eingebaut, die bei einer Auslenkung des Taststifts
aus einer Null-Position Signale liefern. Diese Signalgeber sind
in einem Lageregelkreis so integriert, daß vom Zeitpunkt des
Erstkontaktes zwischen Tasterspitze und Meßobjekt an sowohl die
Bewegungssteuerung des Koordinatenmeßgerätes als auch, beim
Erreichen eines tasterinternen definierten Schaltpunktes, die
Meßwertübernahme initiiert wird.
Ein solcher messender Tastkopf ist beispielsweise aus der DE-PS
22 42 355 bekannt.
Der Lageregelkreis kann so ausgebildet sein, daß der Tastkopf
nach jedem Antastvorgang gesteuert in seine Null-Position
oder in eine Ausgangs-Position zurückgeführt wird, in der eine
voreingestellte Meßkraft erreicht wird. Außerdem sind zu diesem
Zeitpunkt die beim Antast-Stoßvorgang erregten Schwingungen
abgeklungen.
Es ist auch möglich den Lageregelkreis so auszubilden, daß auf
eine Nullpositions-Rückführung verzichtet wird und die
Lagesignale im Rechner mit den Koordinaten-Signalen des
Koordinatenmeßgerätes verknüpft werden. Dies ermöglicht das
kontinuierliche Abtasten eines Meßobjekts längs einer
vorgegebenen Linie, d.h. das sogenannte Scannen. Dabei werden
die tatsächlichen Koordinaten des Meßobjekts in jedem Punkt
rechnerisch ermittelt.
Die beschriebenen messenden Tastköpfe sind aufgrund des
erforderlichen hohen mechanischen und elektronischen Aufwandes
teuer. Sie sind im allgemeinen auch nicht gerätekompatibel, und
nicht einfach zu handhaben.
Die beiden besprochenen Tastkopfsysteme weisen jeweils
charakteristische Vor- und Nachteile auf und finden deshalb im
industriellen Einsatz auch für unterschiedliche Meßaufgaben
Verwendung. Es ist deshalb der Wunsch nach einem Tastsystem
entstanden, das sowohl den messenden als auch den schaltenden
Betrieb zuläßt. Eine erste Lösung für ein solches Tastsystem
ist in der DE-PS 28 35 615 beschrieben. Bei dem dort
beschriebenen und dargestellten Tastkopf ist mit dem Taststift
eine Lichtquelle verbunden, deren Lichtbündel die
Taststiftachse verlängert. Dieses Lichtbündel fällt auf eine
positionsempfindliche Fotodiode, so daß mittels der von dieser
erzeugten Analogsignale die Tastauslenkung im Sinne eines
messenden Tastkopfes gemessen werden kann. Diese Messung ist
allerdings nur in einer Ebene, d.h. in zwei
Koordinatenrichtungen möglich und ist zudem nicht mit der bei
heutigen Koordinatenmeßgeräten erreichbaren Genauigkeit
durchzuführen. In der Zeitschrift "Messen und Prüfen/
Automatik" Jan./Feb. 1984, Seiten 40/45 ist beschrieben, daß
der aus der DE-PS 28 35 615 bekannte Taster auch als
schaltender Taster eingesetzt werden kann. Aus dem Abschnitt
3.3.2 auf Seite 43 geht hervor, daß dazu im tastereigenen
Koordinatensystem um dessen Ursprung ein Koinzidenzkreis
definiert wird, der einen konstanten Wert der Auslenkung der
Taststiftspitze definiert. Ein Mikrorechner prüft ständig in
kurzen Zeitabständen, ob die Tasterachse die Peripherie dieses
Kreises durchstößt. Ist dies der Fall, so werden die Antast-
Koordinaten übernommen.
Dieser bekannte Taster ist nur zur zweidimensionalen Abtastung
eines Meßobjektes geeignet und erfordert einen relativ hohen
elektronischen Aufwand.
Es ist nun die Aufgabe der vorliegenden Erfindung einen
Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte nach dem Oberbegriff des
Patentanspruchs 1 so auszubilden, daß er universell, d.h. als
schaltender und messender Tastkopf einsetzbar ist und sich
durch einen relativ geringen mechanischen und elektronischen
Aufwand auszeichnet.
Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt durch die Ausbildung des
Tastkopfs nach dem kennzeichnenden Merkmal des Anspruchs 1,
d.h. der Tastkopf nach der Erfindung zeichnet sich durch eine
Kombination der Merkmale a-d aus.
Die durch die Erfindung erreichten Vorteile sind im
wesentlichen darin zu sehen, daß der Tastkopf universell, d.h.
sowohl als schaltender als auch als messender Tastkopf
einsetzbar ist ohne daß auf die mit den speziellen Tastköpfen
nach dem Stand der Technik erreichbare Meßgenauigkeit
verzichtet werden muß.
Weitere Ausgestaltungen des Tastkopfs nach der Erfindung er
geben sich aus den Unteransprüchen 2-11. Dabei beziehen sich
die Ansprüche 2-6 auf vorteilhafte Ausbildungen des Sensors
zur Auslösung eines Trigger-Impulses, die Ansprüche 7 und 8 auf
vorteilhafte Ausbildungen der Signalerzeuger des Tastkopfs, und
die Ansprüche 7-9 auf vorteilhafte Ausbildungen der Feder
systeme des Tastkopfs.
Die Erfindung wird im folgenden anhand der Ausführungsbeispiele
darstellenden Fig. 1-4 näher erläutert. Im einzelnen
zeigen:
Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel für das Federsystem des
Tastkopfs, wobei aus Gründen der Übersichtlichkeit die
Signalerzeugungsmittel nicht dargestellt sind;
Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel eines Tastkopfs nach der
Erfindung, in das auch die Signalerzeugungsmittel
eingezeichnet sind;
Fig. 3 die dem Taster nachgeschaltete Elektronik in
schematischer Darstellung;
Fig. 4 ein Ausführungsbeispiel für einen opto-elektronischen
Null-Indikator.
In Fig. 1 ist ein Federparallelogramm dargestellt, das aus den
Seitenteilen (1 bis 4) besteht, die durch Blattfedern (5)
miteinander verbunden sind. Anstelle der Blattfedern können
auch Kreuzfedergelenke vorgesehen sein, die aus zwei recht
winklig zueinander angeordneten Blattfedern bestehen. Das
Seitenteil (3) ist fest mit dem Koordinatenmeßgerät verbunden,
während das Seitenteil (4) im Sinne des Pfeiles (6) auslenkbar
ist.
Mit dem Seitenteil (4) ist ein Träger (7) fest verbunden,
welcher über Blattfedern (9) mit einem weiteren Träger (8) den
ersten Teil eines Kardangelenks bildet. Senkrecht zu den
Trägern (7 und 8) sind zwei weitere Träger (10 und 11)
angeordnet, wobei die Träger (8 und 10) starr miteinander
verbunden sind und ein Kreuz bilden. Die unteren Träger (7 und
11) sind jeweils mit einer Ausnehmung versehen, welche eine
Relativbewegung dieser Träger ermöglicht. Die beiden Träger (10
und 11) sind über Blattfedern miteinander verbunden, wobei in
Fig. 1 nur eine dieser Federn sichtbar ist. Mit dem unteren
Träger (11) ist über ein Bauteil (13) ein Taststift (14) fest
verbunden, wobei der Taststift (14) durch eine kreisförmige
Ausnehmung der Platte (1) so hindurchragt, daß er im Sinne der
Pfeile (15 und 16) frei beweglich ist.
Beim Bewegen im Sinne des Pfeiles (15) wird der Taststift
(14) um die Achse (17) geschwenkt, welche durch die Elemente
(7, 8, 9) gebildet ist. Eine Bewegung des Taststifts (14) im
Sinne des Pfeiles (16) ist durch das System (10, 11, 12)
ermöglicht, welches eine weitere Drehachse bildet, welche
senkrecht zur Achse (17) verläuft und sich mit dieser im Punkt
(18) schneidet.
Fig. 2 zeigt einen Tastkopf, welcher die in Fig. 1
dargestellten Federsysteme beinhaltet, wobei auch die
tasterinternen Wegmeß- und Dämpfungssysteme dargestellt sind.
Dieser Taster wird üblicherweise in vertikaler Position mit dem
Koordinatenmeßgerät verbunden, so daß die mit dem Pfeil
dargestellte Bewegungsrichtung (6) der z-Koordinate entspricht.
In diesem Fall ist das Federparallelogramm (1-5) mit einer
Gewichtsentlastung versehen, wie sie beispielsweise aus der DE-
PS 22 42 355 bekannt ist.
Mit der gerätefesten Seitenplatte (3) ist ein Abtastgitter (20)
fest verbunden, welches mit einem Meßgitter (19) zusammenwirkt,
das mit der in z-Richtung verschiebbaren Seitenplatte (4)
fest verbunden ist. Die beiden Gitter (19 und 20) bilden ein
inkrementales Wegmeßsystem.
Mit der maschinenfesten Seitenplatte (3) ist ferner ein Stab
(21) fest verbunden, welcher zwischen einem Federsystem (22)
gelagert ist, welches mit der verschiebbaren Platte (4) in
Verbindung steht. Das Federsystem (22) dient dazu, die Bewegung
in z-Richtung zu dämpfen und in dieser Richtung einen vorge
gebenen Anpreßdruck des Tasters (14) an das Meßobjekt zu
gewährleisten. Das Federsystem (22) ist dabei vorteilhaft so
ausgebildet, daß es ab einem gewissen Grenzwert der Auslenkung
eine abfallende Kraft-Weg-Kennlinie aufweisen. Damit werden bei
größeren Auslenkungen des Taststifts (14) in z-Richtung
schädlich hohe Anpressdrucke vermieden.
Das, aus den Elementen (7, 8, 9) bestehende Federgelenk, welches
eine Bewegung des Taststifts (14) in Richtung des
Doppelpfeils (15) ermöglicht, ist über den Träger (7) fest mit
der in z-Richtung verschiebbaren Seitenplatte (4) verbunden.
Der Träger (8) dieses Federgelenks ist mit dem Träger (10) fest
verbunden und bildet ein Kreuz. Mit dem Träger (10) ist ein
Tragarm (23) fest verbunden, welcher ein Abtastgitter (24)
trägt. Dieses wirkt mit einem Meßgitter (25) zusammen, welches
fest mit der Platte (4) verbunden ist. Die beiden Gitter (24
und 25) bilden wieder ein inkrementales Wegmeßsystem, das bei
einer Bewegung des Taststifts (14) in Richtung des Pfeiles (15)
und der damit verbundenen Bewegung des Tragarmes (23) in Richtung
(15) anspricht.
Mit dem Tragarm (23) ist ein Teil (26) fest verbunden, welcher
mit einem weiteren Teil (27) zusammenwirkt, der fest mit
der Seitenplatte (4) in Verbindung steht. Die Teile (26 und 27)
bilden einen Null-Indikator, dessen Wirkungsweise anhand der
Fig. 2 erläutert werden soll. Wie aus dieser Figur hervorgeht
ist das Teil (26) mit einer Zylinderlinse (28) versehen,
während das Teil (27) eine Leuchtdiode (29) und eine
Differentialdiode (30) trägt. Das von der Leuchtdiode (29)
ausgehende Licht wird über die Zylinderlinse (28), deren plane
Rückfläche verspiegelt ist, in einen linienförmigen Fokus
abgebildet, welcher auf der Differenzdiode (30) liegt. Diese
Differenzdiode ist so ausgebildet, daß sie eine Auslenkung der
Fokuslinie aus der durch die Diode selbst gegebenen Null-
Position hochempfindlich sensiert.
Aus Gründen der Übersichtlichkeit sind Null-Indikatoren für die
übrigen Koordinatenrichtungen in Fig. 2 nicht dargestellt. Es
muß jedoch betont werden, daß jedes einzelne inkrementale
Wegmeßsystem mit einem Null-Indikator versehen ist.
Mit dem Träger (8) des Federgelenks (7-9) ist ein Stab (31)
fest verbunden, welcher mit einem Federsystem (32)
zusammenwirkt. Dieses Zusammenwirken erfolgt ebenso wie das
Zusammenwirken des Stiftes (21) mit dem Federsystem (22) und
gewährleistet damit einen vorbestimmten Anpreßdruck des
Taststiftes (14) in Richtung (15).
Das Federgelenk (10, 11, 12) ermöglicht ein Bewegen des
Taststiftes (14) in Richtung des Pfeiles (16). Mit dem Träger
(11) des Federgelenks ist einmal der Taststift (14) und zum
anderen ein Trägerarm (33) fest verbunden, welcher ein
Meßgitter (34) trägt. Dieses Meßgitter wirkt mit einem
Abtastgitter (35) zusammen, welches auf einem Tragarm (36)
angeordnet ist, der mechanisch starr mit dem Träger (8) des
Federgelenks (7-9) verbunden ist. Beim Verschwenken des
Taststiftes (14) in Richtung des Pfeiles (15) wird das Gitter
(34) relativ zu dem bei dieser Bewegung feststehenden Gitter
(35) verschoben und es werden inkrementale Wegmeß-Signale
erzeugt.
Zur Dämpfung des Federgelenks (10-12) ist mit dem Arm (10)
ein Federsystem (37) verbunden, welches mit dem Stift (31)
zusammenwirkt, welcher fest mit dem Federgelenk (7-9)
verbunden ist.
Der Taststift (14) ist auswechselbar am Arm (11) des Feder
gelenkes (10-12) befestigt. Er kann beispielsweise als
starrer Stift ausgebildet sein, welcher einen hochempfindlichen
Sensor trägt, der bei der ersten Berührung der Tastkopfspitze
mit dem Meßobjekt einen Trigger-Impuls auslöst. Dabei ist es
von ganz besonderem Vorteil diesen Sensor in möglichst un
mittelbarer Nähe der Tastkopfspitze anzuordnen um irgendwelche
Laufzeiteffekte weitgehend zu eliminieren.
In der in Fig. 3 dargestellten Schema-Schaltung ist mit (41)
eim Komparator bezeichnet, welchem über eine Schaltung (42)
drei Schwellwertsignale zugeführt sind. Dadurch wird bewirkt,
daß der Komparator (41) bei drei Stufen schaltet, welche
beispielsweise als -US, O und +US bezeichnet werden sollen.
Mit (43) ist ein Koordinatenmeßgerät bezeichnet, welches in
jedem Augenblick Koordinatensignale erzeugt, welche den
Raumkoordinaten der Spitze des Taststiftes (14) des Tastkopfes
(40) entsprechen. Diese Koordinatensignale werden einem
Speicher (44) zugeleitet, dem ein Rechner (45) mit
nachgeschalteter Anzeigeeinheit (46) nachgeordnet ist.
Im folgenden soll der Einsatz des Tastkopfes (40) als
schaltender Taster beschrieben werden. Der Tastkopf (40)
entspricht in seinem Aufbau der Fig. 2, wobei der Taststift
(14) mit einem Sensor versehen ist, der im Augenblick des
Antastens des Meßobjektes einen Trigger-Impuls liefert, welcher
über die Leitung (47) dem Speicher (44) zugeführt wird. Dieser
Trigger-Impuls friert die im Augenblick seines Auftretens vom
Koordinatenmeßgerät (43) gelieferten Koordinatensignale ein.
Der Antastvorgang selbst wird weitergeführt, so daß der
Taststift (14) aus seiner Null-Position ausgelenkt wird.
Die Null-Indikatoren (26, 27), die in jedem Wegmeßsystems des
Tastkopfes (40) vorgesehen sind, liefern dabei über die Leitung
(48) ein Signal zum Komparator (41). Sobald dieses Signal einen
voreingestellten Schwellwert ± US überschreitet, liefert der
Komparator (41) über die Leitung (49) ein Auslösesignal zum
Speicher (44), welches diesen veranlaßt, die im Augenblick des
Auftretens des Trigger-Impulses festgehaltenen Koordinatenwerte
zum Rechner (45) weiterzuleiten.
Zwischen dem Trigger-Impuls und dem Auslösesignal vom
Komparator (41) muß ein vorbestimmter zeitlicher Abstand
bestehen. Nur wenn dieser Abstand erreicht oder überschritten
wird, liegt eine korrekte Antastung vor. Das Auslösesignal
dient also zur Verifikation des Trigger-Impulses. An die
Genauigkeit der Null-Indikatoren werden dabei nur begrenzte
Anforderungen gestellt; die Genauigkeit des Null-Impulses muß
besser sein als die Teilung des inkrementalen Meßsystems.
Der Komparator (41) leitet das Auslösesignal auch dem
Koordinatenmeßgerät (43) zu, welches dieses veranlaßt die
Antastbewegung abzubremsen.
Es ist auch möglich, den Tastkopf (40) so aufzubauen, daß der
Betrieb als schaltender Taster allein durch eine Kombination
von hochgenauen Null-Indikatoren (26, 27), Komparator (41) und
den inkrementalen Wegmeßsystemen (24, 25; 19, 20; 34, 35) erfolgt.
In diesem Fall ist der Taststift (14) nicht mit einem Sensor
versehen. Beim Antasten eines Meßobjekts weicht zumindest einer
der Null-Indikatoren (26, 27) aus seiner Nullstellung aus, d.h.
über die Leitung (48) werden Signale zum Komparator (41)
geleitet. Sobald ein Signal die Grenzwerte +US oder -US
überschreitet löst die Anstiegsflanke des vom Komparator
erzeugten Schaltimpulses einen Trigger-Impuls aus, der dem
Speicher (44) zugeleitet wird und dort die Koordinatenwerte
einfriert. Die Genauigkeit der Konstanz der Meßkraft und damit
die Gesamtgenauigkeit wird in diesem Fall von der Genauigkeit
der Null-Indikatoren (26, 27) bestimmt.
Das Signal zur Verifikation des Trigger-Impulses wird im
beschriebenen Fall zweckmäßig von den Wegmeßsystemen
abgeleitet.
Bei einer weiteren Ausführungsform des Tastkopfs (40) wird
wieder ein Taststift (14) ohne Sensor verwendet. Die von den
Wegmeßsystemen erzeugten Signale werden on-line erfaßt, so daß
die momentale Lage der Taststiftspitze jederzeit bekannt ist.
Wenn sich die Lage dieser Spitze plötzlich ändert, so liegt
eine Antastung vor. Zur Ableitung des Trigger-Impulses wird ein
Beschleunigungsmesser (53) verwendet, der bei Überschreiten
eines eingestellten Grenzwertes dv/dt einen Trigger-Impuls
liefert. Das Signal zur Verifikation dieses Trigger-Impulses
wird wieder zweckmäßig von den Wegmeßsystemen abgeleitet.
Im folgenden soll der Einsatz des Tastkopfes nach der Erfindung
als messender Tastkopf beschrieben werden. In diesem Falle wird
ein über die Leitung (47) gelieferter Trigger-Impuls zwar dem
Speicher (44) zugeführt, löst dort jedoch keine weitere
Funktion aus. Die Signale der Null-Indikatoren werden über die
Leitung (48) dem Komparator (41) zugeführt, während
gleichzeitig die Signale der Wegmeßsysteme (19, 20; 24, 25; 34, 35)
über die Leitung (51) dem Speicher (44) zugeführt werden.
Sobald der Komparator (41) feststellt, daß die über der Leitung
(48) anliegenden Signale der Null-Indikatoren (26, 27) den
voreingestellten Schwellwert ± US überschreiten, gibt er ein
Signal über die Leitung (49) zum Speicher (44).
In einer ersten Betriebsweise gibt der Speicher (44) beim
Eintreffen des Komparator-Signales über die Leitung (49) ein
Signal zum Koordinatenmeßgerät (43), welches dieses veranlaßt
den Antastvorgang abzubremsen und wieder in die
Ausgangsposition zurückzulaufen. Sobald diese erreicht ist und
vom Komparator (41) über ein entsprechendes Signal über die
Leitung (50) angezeigt wird, wird das in diesem Augenblick,
d.h. in der Null-Position anliegende Signal vom Koordinaten-
Meßgerät (43) über den Speicher (44) dem Rechner (45)
zugeleitet. In diesem Moment liegt also über die Leitungen (48
und 51) jeweils Null-Signal an.
In einer weiteren Betriebsart entfällt das Einregeln auf die
Null-Position. Der Meßwert wird direkt nach Einleiten des
Abbremsvorganges bestimmt.
In einer weiteren Betriebsweise gibt der Speicher (44) im
Augenblick des Eintreffens des Auslöseimpulses vom Komparator
(41) sowohl die in diesem Moment vom Koordinatenmeßgerät (43)
gelieferten Koordinaten-Meßsignale als auch die Signale der
Wegmeßsysteme des Tastkopfes (40) zum Rechner (45). Dieser
rechnet daraus den tatsächlichen Koordinatenwert. In dieser
Betriebsweise kann der Tastkopf (40) ein Meßobjekt entlang
einer vorbestimmten Linie abscannen, wobei die Auslöseimpulse
kontinuierlich von der Weg-Steuerung ausgelöst werden.
Mit (52) ist in der Darstellung der Fig. 3 schematisch ein
System bezeichnet, mit dessen Hilfe die Funktionen des
Komparators (41), des Speichers (44) und gegebenenfalls auch
des Rechners (45) zwischen den einzelnen Betriebsarten des
Tastkopfes (40) umgeschaltet werden.
Die Schaltelemente der Fig. 3 sind handelsüblich, so daß also
der Aufbau der Schaltung keine Probleme bereitet.
Claims (11)
1. Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte mit einem, ein räumliches
Koordinatensystem definierenden torsionssteifen, spiel- und
reibungsfreien Federsystem, das einen in allen drei
Raumrichtungen auslenkbaren Taststift trägt, gekennzeichnet
durch die Kombination folgender Merkmale
- a) im Tastkopf (40) ist für jede der drei Koordinatenrichtungen (x, y, z) ein Wegmeßsystem (34, 35; 24, 25; 19, 20) vorgesehen, das Signale erzeugt, die der Auslenkung in der jeweiligen Koordinatenrichtung proportional sind;
- b) mit jedem Wegmeßsystem ist ein Null-Indikator (26, 27) zur Erkennung der Null-Lage des Systems verbunden;
- c) es ist ein Sensor vorgesehen, der bei Berührung zwischen Meßobjekt und Taststift (14) einen Trigger- Impuls erzeugt;
- d) es ist ein System (52) zur Umschaltung des Tastkopfes (40) zwischen schaltender und messender Betriebsart vorgesehen.
2. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als
Sensor zur Auslösung des Trigger-Impulses einer oder mehrere
der Null-Indikatoren (26, 27) verwendet sind.
3. Tastkopf nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß dem
Null-Lagen-Indikator (26, 27) ein Komparator (41)
nachgeschaltet ist, der zur Erzeugung des Trigger-Impulses
dient.
4. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der
Sensor zur Auslösung des Trigger-Impulses zusätzlich
vorgesehen und direkt mit dem Taststift (14) verbunden ist.
5. Tastkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der
Sensor in der Nähe der Tastkopf-Spitze angeordnet ist.
6. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der
Sensor zur Auslösung des Trigger-Impulses aus einem zu
sätzlichen Beschleunigungsmesser (53) besteht, dem die
Signale der Wegmeßsysteme (19, 20; 24, 25; 34, 35) zugeführt sind
und der bei Überschreiten eines vorgewählten dv/dt-Wertes
den Trigger-Impuls auslöst.
7. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Wegmeßsysteme (34, 35; 24, 25; 19, 20) ein inkrementales Signal
liefern und daß mit jedem Wegmeßsystem ein Null-
Indikator (26, 27) verbunden ist.
8. Tastkopf nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch einen opto
elektronischen Null-Indikator (26, 27).
9. Tastkopf nach Anspruch 1 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß
mit dem translatorisch bewegbaren Teil (4) eines
torsionssteifen spiel- und reibungsfreien
Geradführungssystems (1-5) ein Kardangelenk (7-12)
verbunden ist, das den Taststift (14) trägt und daß sowohl
mit dem Geradführungssystem (1-5) als auch mit jedem
Gelenkteil des Kardangelenks (7-2) ein Wegmeßsystem
(19, 20; 24, 25; 34, 35) und ein Null-Indikator (26, 27)
verbunden ist.
10. Tastkopf nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß
zusätzlich jeder Koordinatenrichtung Federmittel (22, 32, 37)
zur Dämpfung der Bewegung und zur Gewährleistung eines
vorgegebenen Anpreßdruckes der Tastkopfspitze zugeordnet
sind.
11. Tastkopf nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die
Federmittel (22, 32, 37) eine ab einem Grenzwert der
Auslenkung abfallende Kraft-Weg-Kennlinie aufweisen.
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19873725205 DE3725205A1 (de) | 1987-07-30 | 1987-07-30 | Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete |
| EP88111633A EP0301390B1 (de) | 1987-07-30 | 1988-07-20 | Tastkopf für Koordinatenmessgeräte |
| DE8888111633T DE3879569D1 (de) | 1987-07-30 | 1988-07-20 | Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete. |
| US07/225,162 US4882848A (en) | 1987-07-30 | 1988-07-28 | Probe head for a coordinate-measuring instrument |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| DE19873725205 DE3725205A1 (de) | 1987-07-30 | 1987-07-30 | Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| DE3725205A1 true DE3725205A1 (de) | 1989-02-09 |
Family
ID=6332671
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| DE19873725205 Withdrawn DE3725205A1 (de) | 1987-07-30 | 1987-07-30 | Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete |
| DE8888111633T Expired - Lifetime DE3879569D1 (de) | 1987-07-30 | 1988-07-20 | Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete. |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE8888111633T Expired - Lifetime DE3879569D1 (de) | 1987-07-30 | 1988-07-20 | Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete. |
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| Country | Link |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8141 | Disposal/no request for examination |