DE3725205A1 - Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete - Google Patents

Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete

Info

Publication number
DE3725205A1
DE3725205A1 DE19873725205 DE3725205A DE3725205A1 DE 3725205 A1 DE3725205 A1 DE 3725205A1 DE 19873725205 DE19873725205 DE 19873725205 DE 3725205 A DE3725205 A DE 3725205A DE 3725205 A1 DE3725205 A1 DE 3725205A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
probe
probe according
stylus
trigger pulse
measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19873725205
Other languages
English (en)
Inventor
Klaus Herzog
Karl-Hermann Dr Ing Breyer
Franz Szenger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Priority to DE19873725205 priority Critical patent/DE3725205A1/de
Priority to EP88111633A priority patent/EP0301390B1/de
Priority to DE8888111633T priority patent/DE3879569D1/de
Priority to US07/225,162 priority patent/US4882848A/en
Priority to JP63188570A priority patent/JP2559816B2/ja
Publication of DE3725205A1 publication Critical patent/DE3725205A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/004Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
    • G01B7/008Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B7/012Contact-making feeler heads therefor
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/002Constructional details of contacts for gauges actuating one or more contacts

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte mit einem ein räumliches Koordinatensystem definierenden, torsionssteifen, spiel- und reibungsfreiem Federsystem, das einen in allen drei Raumrichtungen auslenkbaren Taststift trägt.
Koordinatenmeßgeräte dienen dazu die Raumkoordinaten eines Werkstücks an vorgewählten Stellen hochgenau zu erfassen, zur Anzeige zu bringen und/oder einem nachgeschaltetem Rechner zuzuleiten. Dieser Rechner ermittelt aus den Koordinatenwerten die gesuchten Maße des Werkstücks.
Um diese Meßaufgabe lösen zu können ist ein Tastkopf vorgesehen, der mit einem Taststift versehen ist und der mittels eines Gerätes in allen drei Raumrichtungen bewegbar ist, wobei durch Meßwertgeber, die mit diesem Gerät verbunden sind, die Raumkoordinaten des Taststifts in jedem Augenblick bekannt sind. Das Gerät zur Tastkopfbewegung kann manuell betätigt werden, im allgemeinen sind jedoch motorisch verschiebbare Schlitten vorgesehen, die eine gesteuerte dreidimensionale Verschiebung des Tastkopfes bewirken. Ein solches Koordinatenmeßgerät ist beispielsweise aus der DE-PS 27 18 506 bekannt.
Der Tastkopf selbst hat die Aufgabe die Raumkoordinaten festzuhalten sobald die Spitze des mit ihm verbundenen Taststifts das zu vermessende Werkstück berührt. Diese Koordinatenwerte werden dann einer Auswerteeinheit zugeführt, die aus den an verschiedenen Antaststellen ermittelten Koordinatenwerten die gesuchten Maße des Werkstücks errechnet.
Der Tastkopf selbst muß so ausgebildet sein, daß eine Antastung des Werkstücks und die damit verbundene Koordinatenmessung aus allen drei Raumrichtungen möglich ist. Da bei einem Antastvorgang der Bewegungsmechanismus für den Tastkopf nicht im Augenblick der Berührung der Taststiftspitze mit dem Werkstück zum Stehen gebracht werden kann, ist es erforderlich den Taststift im Tastkopf so zu halten, daß er in allen Antastrichtungen, d.h. in allen drei Raumkoordinaten auslenkbar ist.
Es sind eine ganze Reihe von Tastköpfen bekannt, die sich durch die Art unterscheiden lassen wie die beim Antastvorgang vorliegenden Werte der Raumkoordinaten ermittelt werden. Im allgemeinen unterscheidet man zwei Kategorien, nämlich die schaltenden und die messenden Tastköpfe.
In die erste Kategorie der sogenannten schaltenden Tastköpfe gehören solche, die bei der ersten Berührung der Tastkopfspitze mit dem Meßobjekt einen Trigger-Impuls auslösen, der die in diesem Augenblick geltenden Koordinatenwerte festhält.
Ein solcher Tastkopf ist beispielsweise aus der DE-PS 27 12 181 bekannt. Er weist ein Lager auf, das die Null-Position des Taststifts hochgenau festlegt und in das der Taststift nach jeder Auslenkung zwangsweise wieder hineinbewegt wird. Zur Erfassung des Trigger-Impulses im Augenblick der Antastung des Meßobjekts ist ein hochempfindlicher Sensor, beispielsweise ein piezoelektrisches Element mit dem Taststift verbunden.
Beim Antastvorgang wird der Tastkopf mittels des Koordinatenmeßgerätes solange auf das zu vermessende Werkstück hin bewegt, bis die Tastkopfspitze das Werkstück berührt, wobei der Sensor den Trigger-Impuls auslöst. Dieser friert die Koordinatenwerte im Augenblick der Antastung ein. Der Tastkopf bewegt sich zunächst weiter, wobei der Taststift aus seiner Null-Position ausgelenkt wird. Diese Auslenkung löst über elektrische oder optische Mittel einen Impuls aus, der den Trigger-Impuls verifiziert, d.h. die von diesem festgehaltenen Koordinatenwerte zum Rechner gibt und der zugleich den Abbremsvorgang des Koordinatenmeßgerätes auslöst. Dabei kommt der Tastkopf zum Stehen, die Bewegung des Meßgerätes kehrt sich um und bewegt den Tastkopf solange zurück bis der Taststift in die Null-Position einrastet. Das Meßgerät ist dann für den nächsten Antastvorgang bereit.
Ein solcher schaltender Tastkopf ist relativ preiswert und ist weitgehend gerätekompatibel, da die Meßwerterfassung im Augenblick des Erstkontaktes zwischen Taststift und Meßobjekt erfolgt.
In die zweite Kategorie gehören die sogenannten messenden Tastköpfe. Diese bestehen beispielsweise aus einer torsionssteifen Aneinanderreihung von spiel- und reibungsfreien Geradführungssystemen, die miteinander ein räumliches Koordinatensystem bilden und den Taststift tragen. In die Geradführungssysteme, die vorzugweise als Federparallelogramme ausgebildet sind, sind richtungs- und lageempfindliche Signalgeber eingebaut, die bei einer Auslenkung des Taststifts aus einer Null-Position Signale liefern. Diese Signalgeber sind in einem Lageregelkreis so integriert, daß vom Zeitpunkt des Erstkontaktes zwischen Tasterspitze und Meßobjekt an sowohl die Bewegungssteuerung des Koordinatenmeßgerätes als auch, beim Erreichen eines tasterinternen definierten Schaltpunktes, die Meßwertübernahme initiiert wird.
Ein solcher messender Tastkopf ist beispielsweise aus der DE-PS 22 42 355 bekannt.
Der Lageregelkreis kann so ausgebildet sein, daß der Tastkopf nach jedem Antastvorgang gesteuert in seine Null-Position oder in eine Ausgangs-Position zurückgeführt wird, in der eine voreingestellte Meßkraft erreicht wird. Außerdem sind zu diesem Zeitpunkt die beim Antast-Stoßvorgang erregten Schwingungen abgeklungen.
Es ist auch möglich den Lageregelkreis so auszubilden, daß auf eine Nullpositions-Rückführung verzichtet wird und die Lagesignale im Rechner mit den Koordinaten-Signalen des Koordinatenmeßgerätes verknüpft werden. Dies ermöglicht das kontinuierliche Abtasten eines Meßobjekts längs einer vorgegebenen Linie, d.h. das sogenannte Scannen. Dabei werden die tatsächlichen Koordinaten des Meßobjekts in jedem Punkt rechnerisch ermittelt.
Die beschriebenen messenden Tastköpfe sind aufgrund des erforderlichen hohen mechanischen und elektronischen Aufwandes teuer. Sie sind im allgemeinen auch nicht gerätekompatibel, und nicht einfach zu handhaben.
Die beiden besprochenen Tastkopfsysteme weisen jeweils charakteristische Vor- und Nachteile auf und finden deshalb im industriellen Einsatz auch für unterschiedliche Meßaufgaben Verwendung. Es ist deshalb der Wunsch nach einem Tastsystem entstanden, das sowohl den messenden als auch den schaltenden Betrieb zuläßt. Eine erste Lösung für ein solches Tastsystem ist in der DE-PS 28 35 615 beschrieben. Bei dem dort beschriebenen und dargestellten Tastkopf ist mit dem Taststift eine Lichtquelle verbunden, deren Lichtbündel die Taststiftachse verlängert. Dieses Lichtbündel fällt auf eine positionsempfindliche Fotodiode, so daß mittels der von dieser erzeugten Analogsignale die Tastauslenkung im Sinne eines messenden Tastkopfes gemessen werden kann. Diese Messung ist allerdings nur in einer Ebene, d.h. in zwei Koordinatenrichtungen möglich und ist zudem nicht mit der bei heutigen Koordinatenmeßgeräten erreichbaren Genauigkeit durchzuführen. In der Zeitschrift "Messen und Prüfen/ Automatik" Jan./Feb. 1984, Seiten 40/45 ist beschrieben, daß der aus der DE-PS 28 35 615 bekannte Taster auch als schaltender Taster eingesetzt werden kann. Aus dem Abschnitt 3.3.2 auf Seite 43 geht hervor, daß dazu im tastereigenen Koordinatensystem um dessen Ursprung ein Koinzidenzkreis definiert wird, der einen konstanten Wert der Auslenkung der Taststiftspitze definiert. Ein Mikrorechner prüft ständig in kurzen Zeitabständen, ob die Tasterachse die Peripherie dieses Kreises durchstößt. Ist dies der Fall, so werden die Antast- Koordinaten übernommen.
Dieser bekannte Taster ist nur zur zweidimensionalen Abtastung eines Meßobjektes geeignet und erfordert einen relativ hohen elektronischen Aufwand.
Es ist nun die Aufgabe der vorliegenden Erfindung einen Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 so auszubilden, daß er universell, d.h. als schaltender und messender Tastkopf einsetzbar ist und sich durch einen relativ geringen mechanischen und elektronischen Aufwand auszeichnet.
Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt durch die Ausbildung des Tastkopfs nach dem kennzeichnenden Merkmal des Anspruchs 1, d.h. der Tastkopf nach der Erfindung zeichnet sich durch eine Kombination der Merkmale a-d aus.
Die durch die Erfindung erreichten Vorteile sind im wesentlichen darin zu sehen, daß der Tastkopf universell, d.h. sowohl als schaltender als auch als messender Tastkopf einsetzbar ist ohne daß auf die mit den speziellen Tastköpfen nach dem Stand der Technik erreichbare Meßgenauigkeit verzichtet werden muß.
Weitere Ausgestaltungen des Tastkopfs nach der Erfindung er­ geben sich aus den Unteransprüchen 2-11. Dabei beziehen sich die Ansprüche 2-6 auf vorteilhafte Ausbildungen des Sensors zur Auslösung eines Trigger-Impulses, die Ansprüche 7 und 8 auf vorteilhafte Ausbildungen der Signalerzeuger des Tastkopfs, und die Ansprüche 7-9 auf vorteilhafte Ausbildungen der Feder­ systeme des Tastkopfs.
Die Erfindung wird im folgenden anhand der Ausführungsbeispiele darstellenden Fig. 1-4 näher erläutert. Im einzelnen zeigen:
Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel für das Federsystem des Tastkopfs, wobei aus Gründen der Übersichtlichkeit die Signalerzeugungsmittel nicht dargestellt sind;
Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel eines Tastkopfs nach der Erfindung, in das auch die Signalerzeugungsmittel eingezeichnet sind;
Fig. 3 die dem Taster nachgeschaltete Elektronik in schematischer Darstellung;
Fig. 4 ein Ausführungsbeispiel für einen opto-elektronischen Null-Indikator.
In Fig. 1 ist ein Federparallelogramm dargestellt, das aus den Seitenteilen (1 bis 4) besteht, die durch Blattfedern (5) miteinander verbunden sind. Anstelle der Blattfedern können auch Kreuzfedergelenke vorgesehen sein, die aus zwei recht­ winklig zueinander angeordneten Blattfedern bestehen. Das Seitenteil (3) ist fest mit dem Koordinatenmeßgerät verbunden, während das Seitenteil (4) im Sinne des Pfeiles (6) auslenkbar ist.
Mit dem Seitenteil (4) ist ein Träger (7) fest verbunden, welcher über Blattfedern (9) mit einem weiteren Träger (8) den ersten Teil eines Kardangelenks bildet. Senkrecht zu den Trägern (7 und 8) sind zwei weitere Träger (10 und 11) angeordnet, wobei die Träger (8 und 10) starr miteinander verbunden sind und ein Kreuz bilden. Die unteren Träger (7 und 11) sind jeweils mit einer Ausnehmung versehen, welche eine Relativbewegung dieser Träger ermöglicht. Die beiden Träger (10 und 11) sind über Blattfedern miteinander verbunden, wobei in Fig. 1 nur eine dieser Federn sichtbar ist. Mit dem unteren Träger (11) ist über ein Bauteil (13) ein Taststift (14) fest verbunden, wobei der Taststift (14) durch eine kreisförmige Ausnehmung der Platte (1) so hindurchragt, daß er im Sinne der Pfeile (15 und 16) frei beweglich ist.
Beim Bewegen im Sinne des Pfeiles (15) wird der Taststift (14) um die Achse (17) geschwenkt, welche durch die Elemente (7, 8, 9) gebildet ist. Eine Bewegung des Taststifts (14) im Sinne des Pfeiles (16) ist durch das System (10, 11, 12) ermöglicht, welches eine weitere Drehachse bildet, welche senkrecht zur Achse (17) verläuft und sich mit dieser im Punkt (18) schneidet.
Fig. 2 zeigt einen Tastkopf, welcher die in Fig. 1 dargestellten Federsysteme beinhaltet, wobei auch die tasterinternen Wegmeß- und Dämpfungssysteme dargestellt sind. Dieser Taster wird üblicherweise in vertikaler Position mit dem Koordinatenmeßgerät verbunden, so daß die mit dem Pfeil dargestellte Bewegungsrichtung (6) der z-Koordinate entspricht. In diesem Fall ist das Federparallelogramm (1-5) mit einer Gewichtsentlastung versehen, wie sie beispielsweise aus der DE- PS 22 42 355 bekannt ist.
Mit der gerätefesten Seitenplatte (3) ist ein Abtastgitter (20) fest verbunden, welches mit einem Meßgitter (19) zusammenwirkt, das mit der in z-Richtung verschiebbaren Seitenplatte (4) fest verbunden ist. Die beiden Gitter (19 und 20) bilden ein inkrementales Wegmeßsystem.
Mit der maschinenfesten Seitenplatte (3) ist ferner ein Stab (21) fest verbunden, welcher zwischen einem Federsystem (22) gelagert ist, welches mit der verschiebbaren Platte (4) in Verbindung steht. Das Federsystem (22) dient dazu, die Bewegung in z-Richtung zu dämpfen und in dieser Richtung einen vorge­ gebenen Anpreßdruck des Tasters (14) an das Meßobjekt zu gewährleisten. Das Federsystem (22) ist dabei vorteilhaft so ausgebildet, daß es ab einem gewissen Grenzwert der Auslenkung eine abfallende Kraft-Weg-Kennlinie aufweisen. Damit werden bei größeren Auslenkungen des Taststifts (14) in z-Richtung schädlich hohe Anpressdrucke vermieden.
Das, aus den Elementen (7, 8, 9) bestehende Federgelenk, welches eine Bewegung des Taststifts (14) in Richtung des Doppelpfeils (15) ermöglicht, ist über den Träger (7) fest mit der in z-Richtung verschiebbaren Seitenplatte (4) verbunden. Der Träger (8) dieses Federgelenks ist mit dem Träger (10) fest verbunden und bildet ein Kreuz. Mit dem Träger (10) ist ein Tragarm (23) fest verbunden, welcher ein Abtastgitter (24) trägt. Dieses wirkt mit einem Meßgitter (25) zusammen, welches fest mit der Platte (4) verbunden ist. Die beiden Gitter (24 und 25) bilden wieder ein inkrementales Wegmeßsystem, das bei einer Bewegung des Taststifts (14) in Richtung des Pfeiles (15) und der damit verbundenen Bewegung des Tragarmes (23) in Richtung (15) anspricht.
Mit dem Tragarm (23) ist ein Teil (26) fest verbunden, welcher mit einem weiteren Teil (27) zusammenwirkt, der fest mit der Seitenplatte (4) in Verbindung steht. Die Teile (26 und 27) bilden einen Null-Indikator, dessen Wirkungsweise anhand der Fig. 2 erläutert werden soll. Wie aus dieser Figur hervorgeht ist das Teil (26) mit einer Zylinderlinse (28) versehen, während das Teil (27) eine Leuchtdiode (29) und eine Differentialdiode (30) trägt. Das von der Leuchtdiode (29) ausgehende Licht wird über die Zylinderlinse (28), deren plane Rückfläche verspiegelt ist, in einen linienförmigen Fokus abgebildet, welcher auf der Differenzdiode (30) liegt. Diese Differenzdiode ist so ausgebildet, daß sie eine Auslenkung der Fokuslinie aus der durch die Diode selbst gegebenen Null- Position hochempfindlich sensiert.
Aus Gründen der Übersichtlichkeit sind Null-Indikatoren für die übrigen Koordinatenrichtungen in Fig. 2 nicht dargestellt. Es muß jedoch betont werden, daß jedes einzelne inkrementale Wegmeßsystem mit einem Null-Indikator versehen ist.
Mit dem Träger (8) des Federgelenks (7-9) ist ein Stab (31) fest verbunden, welcher mit einem Federsystem (32) zusammenwirkt. Dieses Zusammenwirken erfolgt ebenso wie das Zusammenwirken des Stiftes (21) mit dem Federsystem (22) und gewährleistet damit einen vorbestimmten Anpreßdruck des Taststiftes (14) in Richtung (15).
Das Federgelenk (10, 11, 12) ermöglicht ein Bewegen des Taststiftes (14) in Richtung des Pfeiles (16). Mit dem Träger (11) des Federgelenks ist einmal der Taststift (14) und zum anderen ein Trägerarm (33) fest verbunden, welcher ein Meßgitter (34) trägt. Dieses Meßgitter wirkt mit einem Abtastgitter (35) zusammen, welches auf einem Tragarm (36) angeordnet ist, der mechanisch starr mit dem Träger (8) des Federgelenks (7-9) verbunden ist. Beim Verschwenken des Taststiftes (14) in Richtung des Pfeiles (15) wird das Gitter (34) relativ zu dem bei dieser Bewegung feststehenden Gitter (35) verschoben und es werden inkrementale Wegmeß-Signale erzeugt.
Zur Dämpfung des Federgelenks (10-12) ist mit dem Arm (10) ein Federsystem (37) verbunden, welches mit dem Stift (31) zusammenwirkt, welcher fest mit dem Federgelenk (7-9) verbunden ist.
Der Taststift (14) ist auswechselbar am Arm (11) des Feder­ gelenkes (10-12) befestigt. Er kann beispielsweise als starrer Stift ausgebildet sein, welcher einen hochempfindlichen Sensor trägt, der bei der ersten Berührung der Tastkopfspitze mit dem Meßobjekt einen Trigger-Impuls auslöst. Dabei ist es von ganz besonderem Vorteil diesen Sensor in möglichst un­ mittelbarer Nähe der Tastkopfspitze anzuordnen um irgendwelche Laufzeiteffekte weitgehend zu eliminieren.
In der in Fig. 3 dargestellten Schema-Schaltung ist mit (41) eim Komparator bezeichnet, welchem über eine Schaltung (42) drei Schwellwertsignale zugeführt sind. Dadurch wird bewirkt, daß der Komparator (41) bei drei Stufen schaltet, welche beispielsweise als -US, O und +US bezeichnet werden sollen.
Mit (43) ist ein Koordinatenmeßgerät bezeichnet, welches in jedem Augenblick Koordinatensignale erzeugt, welche den Raumkoordinaten der Spitze des Taststiftes (14) des Tastkopfes (40) entsprechen. Diese Koordinatensignale werden einem Speicher (44) zugeleitet, dem ein Rechner (45) mit nachgeschalteter Anzeigeeinheit (46) nachgeordnet ist.
Im folgenden soll der Einsatz des Tastkopfes (40) als schaltender Taster beschrieben werden. Der Tastkopf (40) entspricht in seinem Aufbau der Fig. 2, wobei der Taststift (14) mit einem Sensor versehen ist, der im Augenblick des Antastens des Meßobjektes einen Trigger-Impuls liefert, welcher über die Leitung (47) dem Speicher (44) zugeführt wird. Dieser Trigger-Impuls friert die im Augenblick seines Auftretens vom Koordinatenmeßgerät (43) gelieferten Koordinatensignale ein. Der Antastvorgang selbst wird weitergeführt, so daß der Taststift (14) aus seiner Null-Position ausgelenkt wird. Die Null-Indikatoren (26, 27), die in jedem Wegmeßsystems des Tastkopfes (40) vorgesehen sind, liefern dabei über die Leitung (48) ein Signal zum Komparator (41). Sobald dieses Signal einen voreingestellten Schwellwert ± US überschreitet, liefert der Komparator (41) über die Leitung (49) ein Auslösesignal zum Speicher (44), welches diesen veranlaßt, die im Augenblick des Auftretens des Trigger-Impulses festgehaltenen Koordinatenwerte zum Rechner (45) weiterzuleiten.
Zwischen dem Trigger-Impuls und dem Auslösesignal vom Komparator (41) muß ein vorbestimmter zeitlicher Abstand bestehen. Nur wenn dieser Abstand erreicht oder überschritten wird, liegt eine korrekte Antastung vor. Das Auslösesignal dient also zur Verifikation des Trigger-Impulses. An die Genauigkeit der Null-Indikatoren werden dabei nur begrenzte Anforderungen gestellt; die Genauigkeit des Null-Impulses muß besser sein als die Teilung des inkrementalen Meßsystems.
Der Komparator (41) leitet das Auslösesignal auch dem Koordinatenmeßgerät (43) zu, welches dieses veranlaßt die Antastbewegung abzubremsen.
Es ist auch möglich, den Tastkopf (40) so aufzubauen, daß der Betrieb als schaltender Taster allein durch eine Kombination von hochgenauen Null-Indikatoren (26, 27), Komparator (41) und den inkrementalen Wegmeßsystemen (24, 25; 19, 20; 34, 35) erfolgt. In diesem Fall ist der Taststift (14) nicht mit einem Sensor versehen. Beim Antasten eines Meßobjekts weicht zumindest einer der Null-Indikatoren (26, 27) aus seiner Nullstellung aus, d.h. über die Leitung (48) werden Signale zum Komparator (41) geleitet. Sobald ein Signal die Grenzwerte +US oder -US überschreitet löst die Anstiegsflanke des vom Komparator erzeugten Schaltimpulses einen Trigger-Impuls aus, der dem Speicher (44) zugeleitet wird und dort die Koordinatenwerte einfriert. Die Genauigkeit der Konstanz der Meßkraft und damit die Gesamtgenauigkeit wird in diesem Fall von der Genauigkeit der Null-Indikatoren (26, 27) bestimmt.
Das Signal zur Verifikation des Trigger-Impulses wird im beschriebenen Fall zweckmäßig von den Wegmeßsystemen abgeleitet.
Bei einer weiteren Ausführungsform des Tastkopfs (40) wird wieder ein Taststift (14) ohne Sensor verwendet. Die von den Wegmeßsystemen erzeugten Signale werden on-line erfaßt, so daß die momentale Lage der Taststiftspitze jederzeit bekannt ist. Wenn sich die Lage dieser Spitze plötzlich ändert, so liegt eine Antastung vor. Zur Ableitung des Trigger-Impulses wird ein Beschleunigungsmesser (53) verwendet, der bei Überschreiten eines eingestellten Grenzwertes dv/dt einen Trigger-Impuls liefert. Das Signal zur Verifikation dieses Trigger-Impulses wird wieder zweckmäßig von den Wegmeßsystemen abgeleitet.
Im folgenden soll der Einsatz des Tastkopfes nach der Erfindung als messender Tastkopf beschrieben werden. In diesem Falle wird ein über die Leitung (47) gelieferter Trigger-Impuls zwar dem Speicher (44) zugeführt, löst dort jedoch keine weitere Funktion aus. Die Signale der Null-Indikatoren werden über die Leitung (48) dem Komparator (41) zugeführt, während gleichzeitig die Signale der Wegmeßsysteme (19, 20; 24, 25; 34, 35) über die Leitung (51) dem Speicher (44) zugeführt werden. Sobald der Komparator (41) feststellt, daß die über der Leitung (48) anliegenden Signale der Null-Indikatoren (26, 27) den voreingestellten Schwellwert ± US überschreiten, gibt er ein Signal über die Leitung (49) zum Speicher (44).
In einer ersten Betriebsweise gibt der Speicher (44) beim Eintreffen des Komparator-Signales über die Leitung (49) ein Signal zum Koordinatenmeßgerät (43), welches dieses veranlaßt den Antastvorgang abzubremsen und wieder in die Ausgangsposition zurückzulaufen. Sobald diese erreicht ist und vom Komparator (41) über ein entsprechendes Signal über die Leitung (50) angezeigt wird, wird das in diesem Augenblick, d.h. in der Null-Position anliegende Signal vom Koordinaten- Meßgerät (43) über den Speicher (44) dem Rechner (45) zugeleitet. In diesem Moment liegt also über die Leitungen (48 und 51) jeweils Null-Signal an.
In einer weiteren Betriebsart entfällt das Einregeln auf die Null-Position. Der Meßwert wird direkt nach Einleiten des Abbremsvorganges bestimmt.
In einer weiteren Betriebsweise gibt der Speicher (44) im Augenblick des Eintreffens des Auslöseimpulses vom Komparator (41) sowohl die in diesem Moment vom Koordinatenmeßgerät (43) gelieferten Koordinaten-Meßsignale als auch die Signale der Wegmeßsysteme des Tastkopfes (40) zum Rechner (45). Dieser rechnet daraus den tatsächlichen Koordinatenwert. In dieser Betriebsweise kann der Tastkopf (40) ein Meßobjekt entlang einer vorbestimmten Linie abscannen, wobei die Auslöseimpulse kontinuierlich von der Weg-Steuerung ausgelöst werden.
Mit (52) ist in der Darstellung der Fig. 3 schematisch ein System bezeichnet, mit dessen Hilfe die Funktionen des Komparators (41), des Speichers (44) und gegebenenfalls auch des Rechners (45) zwischen den einzelnen Betriebsarten des Tastkopfes (40) umgeschaltet werden.
Die Schaltelemente der Fig. 3 sind handelsüblich, so daß also der Aufbau der Schaltung keine Probleme bereitet.

Claims (11)

1. Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte mit einem, ein räumliches Koordinatensystem definierenden torsionssteifen, spiel- und reibungsfreien Federsystem, das einen in allen drei Raumrichtungen auslenkbaren Taststift trägt, gekennzeichnet durch die Kombination folgender Merkmale
  • a) im Tastkopf (40) ist für jede der drei Koordinatenrichtungen (x, y, z) ein Wegmeßsystem (34, 35; 24, 25; 19, 20) vorgesehen, das Signale erzeugt, die der Auslenkung in der jeweiligen Koordinatenrichtung proportional sind;
  • b) mit jedem Wegmeßsystem ist ein Null-Indikator (26, 27) zur Erkennung der Null-Lage des Systems verbunden;
  • c) es ist ein Sensor vorgesehen, der bei Berührung zwischen Meßobjekt und Taststift (14) einen Trigger- Impuls erzeugt;
  • d) es ist ein System (52) zur Umschaltung des Tastkopfes (40) zwischen schaltender und messender Betriebsart vorgesehen.
2. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Sensor zur Auslösung des Trigger-Impulses einer oder mehrere der Null-Indikatoren (26, 27) verwendet sind.
3. Tastkopf nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß dem Null-Lagen-Indikator (26, 27) ein Komparator (41) nachgeschaltet ist, der zur Erzeugung des Trigger-Impulses dient.
4. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor zur Auslösung des Trigger-Impulses zusätzlich vorgesehen und direkt mit dem Taststift (14) verbunden ist.
5. Tastkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor in der Nähe der Tastkopf-Spitze angeordnet ist.
6. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor zur Auslösung des Trigger-Impulses aus einem zu­ sätzlichen Beschleunigungsmesser (53) besteht, dem die Signale der Wegmeßsysteme (19, 20; 24, 25; 34, 35) zugeführt sind und der bei Überschreiten eines vorgewählten dv/dt-Wertes den Trigger-Impuls auslöst.
7. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wegmeßsysteme (34, 35; 24, 25; 19, 20) ein inkrementales Signal liefern und daß mit jedem Wegmeßsystem ein Null- Indikator (26, 27) verbunden ist.
8. Tastkopf nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch einen opto­ elektronischen Null-Indikator (26, 27).
9. Tastkopf nach Anspruch 1 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß mit dem translatorisch bewegbaren Teil (4) eines torsionssteifen spiel- und reibungsfreien Geradführungssystems (1-5) ein Kardangelenk (7-12) verbunden ist, das den Taststift (14) trägt und daß sowohl mit dem Geradführungssystem (1-5) als auch mit jedem Gelenkteil des Kardangelenks (7-2) ein Wegmeßsystem (19, 20; 24, 25; 34, 35) und ein Null-Indikator (26, 27) verbunden ist.
10. Tastkopf nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich jeder Koordinatenrichtung Federmittel (22, 32, 37) zur Dämpfung der Bewegung und zur Gewährleistung eines vorgegebenen Anpreßdruckes der Tastkopfspitze zugeordnet sind.
11. Tastkopf nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Federmittel (22, 32, 37) eine ab einem Grenzwert der Auslenkung abfallende Kraft-Weg-Kennlinie aufweisen.
DE19873725205 1987-07-30 1987-07-30 Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete Withdrawn DE3725205A1 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19873725205 DE3725205A1 (de) 1987-07-30 1987-07-30 Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete
EP88111633A EP0301390B1 (de) 1987-07-30 1988-07-20 Tastkopf für Koordinatenmessgeräte
DE8888111633T DE3879569D1 (de) 1987-07-30 1988-07-20 Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete.
US07/225,162 US4882848A (en) 1987-07-30 1988-07-28 Probe head for a coordinate-measuring instrument
JP63188570A JP2559816B2 (ja) 1987-07-30 1988-07-29 座標測定装置用の走査ヘツド

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19873725205 DE3725205A1 (de) 1987-07-30 1987-07-30 Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3725205A1 true DE3725205A1 (de) 1989-02-09

Family

ID=6332671

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19873725205 Withdrawn DE3725205A1 (de) 1987-07-30 1987-07-30 Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete
DE8888111633T Expired - Lifetime DE3879569D1 (de) 1987-07-30 1988-07-20 Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete.

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE8888111633T Expired - Lifetime DE3879569D1 (de) 1987-07-30 1988-07-20 Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete.

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP0301390B1 (de)
DE (2) DE3725205A1 (de)

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3905952A1 (de) * 1989-02-25 1990-08-30 Kugelfischer G Schaefer & Co Mehrkoordinatenmesstaster
DE4325743C1 (de) * 1993-07-31 1994-09-08 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Mehrkoordinaten-Tastkopf
DE4318741A1 (de) * 1993-06-05 1994-12-08 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Mehrkoordinaten-Tastkopf
EP0636859B1 (de) * 1993-07-31 1998-01-07 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Mehrkoordinaten-Tastkopf
DE19647514A1 (de) * 1996-11-16 1998-05-20 Leitz Brown & Sharpe Mestechni Verfahren zur Durchführung einer Messung mit einem Taster eines messenden Tastkopfes eines Koordinatenmeßgerätes sowie Tastkopf zur Durchführung dees Verfahrens
DE19848067A1 (de) * 1998-10-19 2000-05-04 Siemens Ag Einrichtung zur Erfassung der räumlichen Verlagerung von Konstruktionsteilen und/oder Strukturen
DE19708132C2 (de) * 1996-02-29 2002-06-13 Raytheon Co N D Ges D Staates Vorrichtung und Verfahren zur Ausrichtung an einem optischen Ziel
DE10105705A1 (de) * 2001-02-08 2002-09-05 Siemens Production & Logistics Lageerkennungs-Einrichtung und Verfahren zum Erfassen einer gewünschten Lage
DE10258448A1 (de) * 2002-12-13 2004-06-24 Franz Haimer Maschinenbau Kg Zentriervorrichtung, insbesondere für eine Tastmessvorrichtung
DE19500451B4 (de) * 1994-01-19 2006-10-19 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte
DE102008011476B3 (de) * 2008-02-27 2009-09-24 Carl Mahr Holding Gmbh Federgelenksystem in Sandwichbauweise für mehrdimensionalen Taster
CN104236599A (zh) * 2014-09-19 2014-12-24 西安交通大学 一种一维光栅扫描测头
EP3236194A1 (de) 2016-04-18 2017-10-25 Hexagon Metrology GmbH Koordinatenmessgerät mit einem messenden tastkopf sowie verfahren zur messung eines werkstückes mit einem koordinatenmessgerät
IT201700021025A1 (it) * 2017-02-24 2018-08-24 Marposs Spa Testa di misura bidirezionale per effettuare controlli dimensionali e/o geometrici di un pezzo meccanico
WO2018153921A1 (en) * 2017-02-24 2018-08-30 Marposs Societa' Per Azioni Bidirectional measuring head for dimensional and/or geometric checking of a mechanical piece
DE102019205798A1 (de) * 2019-04-23 2020-10-29 Thyssenkrupp Ag Nachführsteuerung für eine Induktionshärteanlage

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB8728500D0 (en) * 1987-12-05 1988-01-13 Renishaw Plc Position sensing probe
EP0521703B1 (de) * 1991-07-03 1995-11-02 Renishaw Metrology Limited Signalverarbeitungsschaltung für Triggersonde
DE69323289T3 (de) * 1992-12-24 2003-04-24 Renishaw Plc, Wotton-Under-Edge Tastsonde und Signalverarbeitungsschaltung dafür
GB9305687D0 (en) * 1993-03-19 1993-05-05 Renishaw Metrology Ltd A signal processing for trigger probe
DE4415152A1 (de) * 1994-05-02 1995-11-09 Widia Heinlein Gmbh Meßvorrichtung
GB9415338D0 (en) * 1994-07-29 1994-09-21 Renishaw Plc Trigger probe circuit
CN102359760B (zh) * 2011-08-22 2013-03-27 广东万濠精密仪器股份有限公司 软碰撞光栅尺及其测量方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2242355C2 (de) * 1972-08-29 1974-10-17 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Elektronischer Mehrkoordinatentaster
DE2712181C3 (de) * 1977-03-19 1981-01-22 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Tastsystem
DE2718506C2 (de) * 1977-04-26 1978-11-23 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Mehrkoordinaten-Meßmaschine
DE2835615C2 (de) * 1978-08-14 1987-01-15 Hartmut Dr.-Ing. 3016 Seelze Janocha Elektronischer Koordinatenmeßtaster
DE2937431C2 (de) * 1979-09-15 1987-02-05 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Einrichtung zur Meßwerterfassung an Prüflingen
DE3210711C2 (de) * 1982-03-24 1986-11-13 Dr.-Ing. Höfler Meßgerätebau GmbH, 7505 Ettlingen Mehrkoordinatentaster mit einstellbarer Meßkraft zum Abtasten von mehrdimensionalen, stillstehenden Gegenständen

Cited By (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3905952A1 (de) * 1989-02-25 1990-08-30 Kugelfischer G Schaefer & Co Mehrkoordinatenmesstaster
US5029398A (en) * 1989-02-25 1991-07-09 Fag Kugelfischer Georg Schafer (Kgaa) Multiple-coordinate measurement sensor
DE4318741A1 (de) * 1993-06-05 1994-12-08 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Mehrkoordinaten-Tastkopf
EP0628785A2 (de) 1993-06-05 1994-12-14 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Mehrkoordinaten-Tastkopf
EP0628785B1 (de) * 1993-06-05 1998-07-22 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Mehrkoordinaten-Tastkopf
DE4325743C1 (de) * 1993-07-31 1994-09-08 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Mehrkoordinaten-Tastkopf
US5548902A (en) * 1993-07-31 1996-08-27 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Multi-coordinate probe
EP0636855B1 (de) * 1993-07-31 1998-01-07 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Mehrkoordinaten-Tastkopf
EP0636859B1 (de) * 1993-07-31 1998-01-07 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Mehrkoordinaten-Tastkopf
DE19500451B4 (de) * 1994-01-19 2006-10-19 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte
DE19708132C2 (de) * 1996-02-29 2002-06-13 Raytheon Co N D Ges D Staates Vorrichtung und Verfahren zur Ausrichtung an einem optischen Ziel
DE19647514C2 (de) * 1996-11-16 2001-09-06 Leitz Brown & Sharpe Mestechni Verfahren zur Durchführung einer Messung mit einem Taster eines messenden Tastkopfes eines Koordinatenmeßgerätes
DE19647514A1 (de) * 1996-11-16 1998-05-20 Leitz Brown & Sharpe Mestechni Verfahren zur Durchführung einer Messung mit einem Taster eines messenden Tastkopfes eines Koordinatenmeßgerätes sowie Tastkopf zur Durchführung dees Verfahrens
DE19848067B4 (de) * 1998-10-19 2004-05-19 Siemens Ag Einrichtung zur Erfassung der räumlichen Verlagerung von Konstruktionsteilen und/oder Strukturen
DE19848067A1 (de) * 1998-10-19 2000-05-04 Siemens Ag Einrichtung zur Erfassung der räumlichen Verlagerung von Konstruktionsteilen und/oder Strukturen
DE10105705A1 (de) * 2001-02-08 2002-09-05 Siemens Production & Logistics Lageerkennungs-Einrichtung und Verfahren zum Erfassen einer gewünschten Lage
DE10258448A1 (de) * 2002-12-13 2004-06-24 Franz Haimer Maschinenbau Kg Zentriervorrichtung, insbesondere für eine Tastmessvorrichtung
US7111410B2 (en) 2002-12-13 2006-09-26 Franz Haimer Maschinenbau Kg Centering device, in particular for a probe measuring device
DE102008011476B3 (de) * 2008-02-27 2009-09-24 Carl Mahr Holding Gmbh Federgelenksystem in Sandwichbauweise für mehrdimensionalen Taster
CN104236599A (zh) * 2014-09-19 2014-12-24 西安交通大学 一种一维光栅扫描测头
CN104236599B (zh) * 2014-09-19 2016-06-08 西安交通大学 一种一维光栅扫描测头
EP3236194A1 (de) 2016-04-18 2017-10-25 Hexagon Metrology GmbH Koordinatenmessgerät mit einem messenden tastkopf sowie verfahren zur messung eines werkstückes mit einem koordinatenmessgerät
IT201700021025A1 (it) * 2017-02-24 2018-08-24 Marposs Spa Testa di misura bidirezionale per effettuare controlli dimensionali e/o geometrici di un pezzo meccanico
WO2018153921A1 (en) * 2017-02-24 2018-08-30 Marposs Societa' Per Azioni Bidirectional measuring head for dimensional and/or geometric checking of a mechanical piece
US11105603B2 (en) 2017-02-24 2021-08-31 Marposs Societa' Per Azioni Bidirectional measuring head for dimensional and/or geometric checking of a mechanical piece
DE102019205798A1 (de) * 2019-04-23 2020-10-29 Thyssenkrupp Ag Nachführsteuerung für eine Induktionshärteanlage

Also Published As

Publication number Publication date
DE3879569D1 (de) 1993-04-29
EP0301390A3 (en) 1990-08-22
EP0301390B1 (de) 1993-03-24
EP0301390A2 (de) 1989-02-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0301390B1 (de) Tastkopf für Koordinatenmessgeräte
DE2712181C3 (de) Tastsystem
DE2829222C3 (de) Vorrichtung zum Überwachen der Stellung eines beweglichen Organs
EP0301389B1 (de) Tastkopf für Koordinatenmessgeräte
EP0304881B1 (de) Tastsystem für Koordinatenmessgeräte
DE69003219T2 (de) Vorrichtung zum bestimmen einer position.
DE3210711C2 (de) Mehrkoordinatentaster mit einstellbarer Meßkraft zum Abtasten von mehrdimensionalen, stillstehenden Gegenständen
DE19947001A1 (de) Instrument zur Messung der Oberflächenkontur
DE2521618B1 (de) Vorrichtung zum Messen oder Einstellen von zweidimensionalen Lagekoordinaten
EP3739287A1 (de) Vermessungsvorrichtung
DE19605349A1 (de) Mehrkoordinaten-Tastkopf
DE10258579B4 (de) Messeinrichtung
DE102018103420A1 (de) Messgerät zur Oberflächen- oder Konturmessung
DE3724137C2 (de) Elektronisches Meßgerät mit Digitalanzeige
DE19617022C1 (de) Konturenmeßgerät
CH658313A5 (de) Verfahren zum synchronisieren der tasterbewegung eines teilungs- und/oder rundlaufmessgeraetes fuer zahnraeder mit der zahnrad-drehbewegung und vorrichtung zur durchfuehrung dieses verfahrens.
DE3605107A1 (de) Vorrichtung zum vermessen und positionieren
DE4307899C2 (de) Vorrichtung zum Biegen von auf Festigkeit zu prüfenden Probekörpern
DE3522061C2 (de)
EP3421931A1 (de) Koordinatenmessgerät zur koordinatenmessung von werkstücken sowie verfahren zur koordinatenmessung an werkstücken auf einem koordinatenmessgerät
DE2835615C2 (de) Elektronischer Koordinatenmeßtaster
EP3351895B1 (de) Messvorrichtung und verfahren zum betreiben einer messvorrichtung
WO2001077610A1 (de) Vorrichtung und verfahren zum dreidimensionalen vermessen von objekten
DE10229821B4 (de) Koordinatenmeßgerät und Verfahren zur Steuerung eines Koordinatenmeßgerätes mit variabler Tastkopfmasse
DE3219766A1 (de) Messeinrichtung und verwendung derselben

Legal Events

Date Code Title Description
8141 Disposal/no request for examination