DE3721818A1 - Transportbehaelter fuer hochreine fluessigkeiten - Google Patents
Transportbehaelter fuer hochreine fluessigkeitenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Transportbehälter aus
korrosionsfestem Stahl für hochreine Flüssigkeiten, mit
einem Schraub- oder Flanschverschluß in einer oberen
Behälterwand und mit mindestens zwei aus dem Schraub- oder
Flanschverschluß ragenden Anschlußstutzen, von denen
mindestens einer mit einem bis zum Behälterboden
reichenden Tauchrohr verbunden ist.
Bei der Herstellung von elektronischen Bauelementen werden
in vielen Fällen Flüssigkeiten benötigt, an deren Reinheit
höchste Ansprüche gestellt werden. Beim Transport, der
Lagerung und der Handhabung müssen jegliche
Verunreinigungen dieser Flüssigkeiten vermieden werden. Da
diese Flüssigkeiten in vielen Fällen giftig oder in
anderer Weise schädlich sind, muß ein unbeabsichtigtes
Ausfließen, beispielsweise durch eine Beschädigung des
Transportbehälters, mit hoher Sicherheit ausgeschlossen
werden.
Die Forderung, jegliche Verunreinigungen auszuschließen,
wird zwar von Glasbehältern erfüllt. Deren Bruchgefahr
schließt aber die Verwendung als Transportbehälter aus. Um
die mechanische Beanspruchung gering zu halten, wurden
Kunststoffbehälter für diesen Verwendungszweck bisher
ausschließlich als drucklose Behälter ausgeführt. Dies
macht es aber erforderlich, die Entnahme der Flüssigkeiten
ebenfalls drucklos, nämlich mittels Saugpumpen
durchzuführen. Diese Saugpumpen weisen aber bewegte,
aneinander reibende Teile auf, so daß eine Verunreinigung
durch im Pumpenbereich entstehenden Abrieb nicht
vollständig ausgeschlossen werden kann.
Aus korrosionsfestem Stahl bestehende Transportbehälter
lassen sich zwar für eine höhere mechanische Beanspruchung
als Druckbehälter ausführen; die für die Entnahme der
Flüssigkeit und eine Füllstandsmessung erforderlichen
Tauchrohre bereiten aber konstruktive Schwierigkeiten. Es
ist einerseits schon vorgeschlagen worden (nicht zum
vorveröffentlichten Stand der Technik gehörende deutsche
Patentanmeldung P 36 36 888), den Anschlußstutzen
eines Tauchrohres außerhalb des Schraubverschlusses in der
oberen Behälterwand anzubringen und das Tauchrohr an
seinem unteren Ende über einen Steg mit dem Behälterboden
zu verschweißen.
Andererseits ist es bei ähnlichen Behältern bekannt,
mindestens ein Tauchrohr und gegebenenfalls weitere
Rohranschlüsse durch die Kopfplatte des Schraub- oder
Flanschverschlusses nach oben herauszuführen. Hierbei
müssen die aus der Kopfplatte herausragenden
Anschlußstutzen ausreichend weit voneinander entfernt sein,
um sich gegenseitig nicht zu stören. Dadurch wird eine
gewisse Mindestgröße der Kopfplatte und somit ein gewisser
Mindestdurchmesser des Schraub- oder Flanschverschlusses
bedingt.
Gerade bei aus Stahl bestehenden Transportbehältern für
hochreine Flüssigkeiten besteht aber das Bestreben, den
Schraub- oder Flanschverschluß möglichst klein
auszuführen, d. h. die Verschlußöffnung soll nicht größer
sein als dies für die Verwendung als Inspektions- und
Reinigungsöffnung erforderlich ist.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, einen
Transportbehälter der eingangs genannten Gattung so
auszugestalten, daß trotz geringem Verschlußdurchmesser
erreicht wird, daß sich die aus der Kopfplatte
herausragenden Anschlußstutzen auch mit den daran
angesetzten Rohranschlüssen gegenseitig nicht stören.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die
Anschlußstutzen schräg nach oben und außen abgewinkelt
sind. Dadurch wird einerseits ermöglicht, die
Durchtrittsbohrungen durch die Kopfplatte dicht
beieinander anzuordnen, so daß die Kopfplatte und somit
der Schraub- oder Flanschverschluß mit möglichst geringem
Durchmesser ausgeführt werden können; andererseits steht
aber um jeden Anschlußstutzen ausreichender Raum zur
Aufnahme der jeweiligen Anschlußarmatur zur Verfügung.
Da das Tauchrohr oder gegebenenfalls mehrere Tauchrohre
nur an der gemeinsamen Kopfplatte befestigt und somit in
einfacher Weise montierbar und demontierbar sind, ist es
bei der Herstellung des Transportbehälters nicht
erforderlich, im Behälterinneren Montage- oder
Schweißarbeiten auszuführen, so daß auch hierdurch keine
Notwendigkeit besteht, die Öffnung für den Schraub- oder
Flanschverschluß größer auszuführen als dies für die
Inspektions- und Reinigungszwecke erforderlich ist. Die
Reinigung des Behälterinnenraums wird dadurch erleichtert,
daß sich nach der Abnahme der Kopfplatte keine Einbauteile
im Behälterinnenraum mehr befinden. Auch dieser Umstand
trägt dazu bei, daß die Verschlußöffnung klein gewählt
werden kann.
Die schräg nach oben und außen gerichtete Abwinklung der
Anschlußstutzen kann über, unter oder innerhalb der
Kopfplatte liegen.
Wenn zwei oder mehr Tauchrohre vorgesehen sind, so können
diese in ihrem unteren Bereich durch mindestens einen
angeschweißten Steg miteinander verbunden sein. Dadurch
wird die Steifigkeit der miteinander verbundenen
Tauchrohre wesentlich erhöht, so daß unverwünschte
Verformungen der Tauchrohre, beispielsweise durch von der
Flüssigkeit ausgeübte Seitenkräfte, auch bei
verhältnismäßig dünnen bzw. dünnwandigen Tauchrohren
vermieden werden.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist
vorgesehen, daß das Tauchrohr an seinem unteren Ende eine
nach unten über das Ende des metallischen Tauchrohrs
hinausragende Kunststoffhülse aufweist. Einerseits ist man
bestrebt, das untere Ende des Tauchrohrs so dicht wie
möglich über dem Behälterboden anzuordnen, um eine
weitgehend vollständige Entleerung zu ermöglichen;
andererseits muß aber eine metallische Berührung zwischen
dem Tauchrohr und dem Behälterboden ausgeschlossen sein,
um einen metallischen Abrieb und insbesondere bei
entleertem Behälter eine Funkenbildung zu vermeiden, da in
den entleerten Behältern möglicherweise eine explosive
Atmosphäre herrscht, zumal die Transportbehälter für
hochreine Flüssigkeiten üblicherweise für den
Leertransport nicht entgast werden, um Verunreinigungen zu
vermeiden. Die aufgesetzte Kunststoffhülse verhindert auch
bei starken stoßartigen Belastungen beim Transport ein
metallisches Anschlagen der Tauchrohre aneinander oder an
den Behälterboden.
Damit entfällt die Notwendigkeit einer festen
Schweißverbindung des Tauchrohres bzw. der Tauchrohre mit
dem Behälterboden, wodurch wiederum eine freihängende
Bauweise mit ausschließlicher Befestigung des Tauchrohrs
bzw. der Tauchrohre in der abnehmbaren Kopfplatte des
Schraub- oder Flanschverschlusses ermöglicht wird.
Da das Tauchrohr bzw. die Tauchrohre nach Fertigstellung
des Behälters durch die Verschlußöffnung in den Behälter
eingebracht werden, wird die Fertigung erheblich
vereinfacht und die Zahl von Verschweißungen vermindert,
die mögliche Verunreinigungsquellen sind.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen des
Erfindungsgedankens sind Gegenstand weiterer
Unteransprüche.
Die Erfindung wird nachfolgend an Ausführungsbeispielen
näher erläutert, die in der Zeichnung dargestellt sind.
Es zeigt
Fig. 1 in einem vereinfachten senkrechten Schnitt einen
Transportbehälter für hochreine Flüssigkeiten,
Fig. 2 einen vergrößerten senkrechten Teilschnitt am
oberen und unteren Ende der Tauchrohre und
Fig. 3 einen ebenfalls vergrößerten senkrechten Schnitt im
Bereich der Kopfplatte am oberen Ende der Tauchrohre bei
einer abgewandelten Ausführungsform.
Fig. 1 zeigt in einem senkrechten Schnitt einen
Transportbehälter für hochreine Flüssigkeiten, wie sie bei
der Herstellung von Halbleiterbauteilen benötigt werden.
Der aus korrosionsfestem Stahl durch Schweißen
hergestellte Transportbehälter 1 weist einen zylindrischen
Wandabschnitt 2 auf, der mit einer oberen Behälterwand 3
und einem Behälterboden 4 verbunden ist, die in
herkömmlicher Weise als Klöpperböden ausgebildet sind. In
der oberen Behälterwand 3 ist zentrisch ein
Schraubverschluß 5 angeordnet, der zu Inspektions- und
Reinigungszwecken geöffnet werden kann.
Zum Befüllen und Entleeren des Transportbehälters 1 ist
ein Tauchrohr 6 vorgesehen, das an seinem oberen Ende
einen Anschlußstutzen 7 aufweist. Parallel zu dem
Tauchrohr 6 ist ein zweites senkrechtes Tauchrohr 8
angeordnet, das der Füllstands-Perlmessung dient und an
seinem oberen Ende ebenfalls einen Anschlußstutzen 9
trägt.
Die beiden Anschlußstutzen 7 und 9 der Tauchrohre 6, 8
sind durch eine gemeinsame Kopfplatte 10 nach oben hin
durchgeführt und schräg nach oben und außen abgewinkelt.
Die Kopfplatte 10 bildet einen herausnehmbaren Einsatz des
Schraubverschlusses 5 und wird auf diesem durch eine
Überwurfmutter 11 gehalten.
Ein dritter Anschlußstutzen 12, der gerade oder ebenfalls
schräg von der Kopfplatte 10 verlaufen kann und durch
diese hindurchgeführt ist, dient zum Anschluß einer
Gasleitung, um die im Transportbehälter 1 enthaltene
Flüssigkeit durch das der Entnahme dienende Tauchrohr 6
und den Anschlußstutzen 7 herauszudrücken.
Der Schraubverschluß 11 ist unter einer abnehmbar an der
oberen Behälterwand 8 angebrachten Schutzkappe 13
angeordnet, die von einem mit Durchbrechungen versehenen
Schutzkragen 14 umgeben ist, der an der oberen
Behälterwand 3 angeschweißt ist.
Nahe ihren unteren Enden sind die beiden Tauchrohre 6 und
8 durch einen angeschweißten Steg 15 miteinander
verbunden. Die beiden Tauchrohre 6 und 8 tragen an ihren
unteren Enden jeweils eine Kunststoffhülse 16 bzw. 17 (Fig.
2). Jede Kunststoffhülse 16 bzw. 17 ragt nach unten über das
Ende des metallischen Tauchrohrs 6 bzw. 8 hinaus und weist
eine abgesetzte Bohrung 18 bzw. 19 auf, deren
Bohrungsabsatz 20 bzw. 21 am unteren Ende des Tauchrohrs 6
bzw. 8 stirnseitig anliegt. Die Kunststoffhülsen 16, 17
können auf die Tauchrohre 6 bzw. 8 beispielsweise
aufgepreßt, aufgeschrumpft oder aufgeschraubt sein. Die
Kunststoffhülsen 16, 17 verhindern eine metallische
Berührung der Tauchrohre 6, 8 mit dem Behälterboden 4 auch
bei extremen Stößen, die beim Transport in Ausnahmefällen
auftreten können. Dadurch wird die Bildung von Abrieb und
insbesondere eine mögliche Funkenbildung vermieden, die
beim Transport von entleerten, jedoch nicht entgasten
Transportbehältern 2 zu einer Explosion führen könnte.
Auch wenn kein Steg 15 zur Verbindung der beiden
Tauchrohre 6, 8 vorgesehen ist, verhindern die
Kunststoffhülsen 16, 17 ein Aneinanderschlagen der
Tauchrohre 6, 8. Die Kunststoffhülsen 16, 17 bestehen aus
fluorierten, inerten Werkstoffen, so daß eine chemische
Reaktion mit der Flüssigkeit ausgeschlossen ist.
Während bei der in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform die
Abwinklung der Anschlußstutzen 7, 9 oberhalb der
Kopfplatte 10 erfolgt, ist in den Fig. 2 und 3
beispielsweise gezeigt, daß die Abwinklung der
Anschlußstutzen 7, 9 auch unterhalb der Kopfplatte 10
liegen kann. Stattdessen kann die Abwinklung auch in dem
Abschnitt erfolgen, der innerhalb der Kopfplatte 10 liegt.
Alle Anschlußstutzen 7, 9 und 12 sind unterschiedlich
gestaltet, um eine Verwechslungsmöglichkeit
auszuschließen.
Die Kopfplatte 10 ist in den Fig. 1 und 2 als eine
Einsatzplatte für den in Fig. 1 gezeigten Schraubverschluß
5 dargestellt. Abweichend davon ist in Fig. 3 angedeutet,
daß die Kopfplatte 10′ als Flanschplatte für einen
Flanschverschluß ausgeführt sein kann.
Allen Ausführungsformen ist gemeinsam, daß die Tauchrohre
6, 8 nach Fertigstellung des Transportbehälters 1 durch
die obere Anschlußöffnung eingebracht und nicht mit dem
Behälterboden verbunden werden. Dadurch wird die Fertigung
des Transportbehälters 1 wesentlich vereinfacht; außerdem
sind keine Einbauten im Innenraum des Transportbehälters
vorhanden, die die Reinigung und Inspektion stören
könnten.
Claims (8)
1. Transportbehälter aus korrosionsfestem Stahl für
hochreine Flüssigkeiten, mit einem Schraub- oder
Flanschverschluß in einer oberen Behälterwand und mit
mindestens zwei aus dem Schraub- oder Flanschverschluß
ragenden Anschlußstutzen, von denen mindestens einer mit
einem bis zum Behälterboden reichenden Tauchrohr
verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß die
Anschlußstutzen (17, 9) schräg nach oben und außen
abgewinkelt sind.
2. Transportbehälter nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Anschlußstutzen (17, 9) parallel
zueinander durch die Kopfplatte (10) geführt und über
dieser schräg nach außen abgewinkelt sind.
3. Transportbehälter nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Anschlußstutzen unterhalb der
Kopfplatte (10, 10′) schräg nach außen abgewinkelt sind
und ihre abgewinkelten Abschnitte durch die Kopfplatte
(10, 10′) hindurchgeführt sind.
4. Transportbehälter nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Anschlußstutzen (7, 9) in ihrem in
der Kopfplatte (10) liegenden Abschnitt schräg nach außen
abgewinkelt sind.
5. Transportbehälter nach einem der Ansprüche 1-4,
dadurch gekennzeichnet, daß zwei oder mehr Tauchrohre (6,
8) in ihrem unteren Bereich durch mindestens einen
angeschweißten Steg (15) miteinander verbunden sind.
6. Transportbehälter nach einem der Ansprüche 1-5,
dadurch gekennzeichnet, daß das Tauchrohr (6 bzw. 8) an
seinem unteren Ende eine nach unten über das Ende des
metallischen Tauchrohrs (6 bzw. 8) hinausragende
Kunststoffhülse (16 bzw. 17) aufweist.
7. Transportbehälter nach Anspruch 6, dadurch
gekennzeichnet, daß die Kunststoffhülse (16 bzw. 17) eine
abgesetzte Bohrung (18 bzw. 19) aufweist, deren
Bohrungsabsatz (20 bzw. 21) am unteren Ende des Tauchrohrs
(6 bzw. 8) stirnseitig anliegt.
8. Transportbehälter nach Anschluß 6, dadurch
gekennzeichnet, daß die Kunststoffhülse (16 bzw. 17) auf das
Tauchrohr (6 bzw. 8) aufgepreßt ist.
Priority Applications (3)
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