DE3712125A1 - Verfahren zur aufarbeitung von chlorsilanhaltigen rueckstaenden durch verbrennung unter rueckgewinnung hochdisperser kieselsaeure und gasfoermiger hcl aus den rauchgasen - Google Patents
Verfahren zur aufarbeitung von chlorsilanhaltigen rueckstaenden durch verbrennung unter rueckgewinnung hochdisperser kieselsaeure und gasfoermiger hcl aus den rauchgasenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Aufarbeitung von
chlorsilanhaltigen Rückständen durch Verbrennung in einer
Verbrennungseinheit im kontinuierlichen Betrieb, unter Rück
gewinnung der bei der Verbrennung frei werdenden Kieselsäure
über mechanische Rauchgasreinigung, sowie Rückgewinnung des
gasförmigen Chlorwasserstoffs aus den Rauchgasen über eine
Absorptions/Desorptionseinheit und Nutzung der Rauchgaswärme
zur Dampferzeugung.
Bei der Produktion von Chlorsilanen und Chlorkohlenwasser
stoffen (= CKWs) fallen Produktionsrückstände mit einem
Chlorgehalt von bis zu 65 Gew.-% und einem organisch gebunde
nen Si-Anteil von bis zu 30 Gew.-% an. Eine umweltverträgliche
Entsorgung dieser Abfallstoffe kann nur in einer Ver
brennungsanlage erfolgen, wobei die dabei frei werdenden
Rauchgase allerdings erhebliche Mengen an Kieselsäure und
Chlorwasserstoff enthalten. Nicht nur aus Gründen des Umwelt
schutzes, sondern auch unter wirtschaftlichen Gesichtspunkten
ist eine möglichst vollständige Rückgewinnung dieser wertvol
len Rohstoffe anzustreben.
In der DE-A 28 27 761 (US-A 42 33 280) wird ein Verfahren
zur Herstellung von wasserfreiem Chlorwasserstoff durch
Verbrennen von Chlor enthaltenden organischen Stoffen
beschrieben. Die chlorhaltigen Rückstände werden dabei bei
über 2000°C in einer Verbrennungskammer verbrannt, der
Chlorwasserstoff aus den Rauchgasen von wäßriger HCl
absorbiert und gasförmiger Chlorwasserstoff durch Desorption
gewonnen. Auf die Aufbereitung von Abgasen aus der
Verbrennung chlorsilanhaltiger Rückstände wird hier nicht
eingegangen. Auch in der DE-A 22 62 875 (US-A 39 80 758)
wird ein Verfahren beschrieben, das sich mit der Verbrennung
von chlorhaltigen Rückständen und der Rückgewinnung
gasförmigen Chlorwasserstoffs über einen
Absorptions/Desorptionsprozeß befaßt. Eine Verbrennung
chlorsilanhaltiger Rückstände unter Rückgewinnung von
Chlorwasserstoff und Kieslsäure ist mit diesem Verfahren
nicht möglich.
Zur Aufarbeitung chlorsilanhaltiger Rückstände sind lediglich
zwei Verfahren bekannt, mittels derer aus chlorsilanhaltigen
Gasgemischen das gasförmige Chlorsilan mit gesättigter HCl
(EP-A2 114 226, US-A 44 90 343) bzw. mit Wasser (DE-PS 11 85 593)
hydrolysiert wird, die suspendierten Hydrolyseprodukte
abfiltriert werden und der Chlorwasserstoff aus den
Rauchgasen in der wäßrigen HCl bzw. im Waschwasser gelöst
wird. Die Entsorgung sowohl gasförmiger, als auch flüssiger
bzw. fester chlorsilanhaltiger Rückstände unter Rückgewinnung
von gasförmiger HCl und hochdisperser Kieselsäure ist mit
allen oben beschriebenen Verfahren jedoch nicht möglich.
Aufgabe der Erfindung war es daher, ein Verfahren zu ent
wickeln, mittels dessen chlorsilan- und gegebenenfalls chlor
kohlenwasserstoffhaltige Rückstände durch Verbrennung ent
sorgt werden können und der dabei anfallende gasförmige
Chlorwasserstoff und die hochdisperse Kieselsäure zurückge
wonnen werden können.
Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Aufarbeitung
von chlorsilan- und gegebenenfalls chlorkohlenwasserstoff
haltigen Rückständen durch Verbrennung bei einer Temperatur
von 900°C bis 1400°C, vorzugsweise von 1000°C bis 1200°C, da
durch gekennzeichnet, daß aus dem Rauchgasstrom, der
mindestens einen HCl-Gehalt von 1 Vol.-% hat, nach Kühlung der
Rauchgase, die bei der Verbrennung gebildete hochdisperse
Kieselsäure über Filter, der gasförmige Chlorwasserstoff über
eine Absorptions/Desorptionseinheit zurückgewonnen wird.
Die Verbrennung der gasförmigen und flüssigen chlorsilanhal
tigen Abfallstoffe kann in den üblichen Verbrennungsein
richtungen wie Muffelofen bzw. Drehrohrofen mit Nachbrennkam
mer erfolgen. Bevorzugt wird dabei die Verbrennung im Dreh
rohrofen mit Nachbrennkammer, da hier im Gegensatz zum
Muffelofen mit Nachbrennkammer auch die Verbrennung pastöser
und/oder fester chlorsilanhaltiger Produktionsrückstände
ermöglicht wird. Die Verbrennungstemperatur liegt zwischen
900°C und 1400°C, vorzugsweise zwischen 1000°C und 1200°C.
Die Zugabe flüssiger bzw. gasförmiger chlorsilanhaltiger Ab
fallstoffe kann auch über die Nachbrennkammer erfolgen, wo
durch hohe Verbrennungstemperaturen über 900°C erreicht
werden können. Eine Aufbereitung der festen und pastösen Ab
fallstoffe vor der Aufgabe in das Drehrohr ist bei Portionie
rung in Mengen bis zu 50 kg pro Aufgabe in der Regel nicht
erforderlich. Bei Einsatz eines PTFE-Gewebefilters (anstelle
eines keramischen Filters), dessen Einsatzgrenze bei 250°C
liegt, sollten schwefelarme Rückstände verbrannt werden, da
der Säuretaupunkt bereits bei niedrigem SO3-Gehalt im Rauch
gas stark ansteigt.
Die Zumischung von chlorkohlenwasserstoffhaltigen Abfallstof
fen, vor allem von chlorhaltigen organischen Flüssigkeiten
und Feststoffen ist wegen deren hohen Chlorgehalts vorteil
haft. Die Beimengung von Chlorkohlenwasserstoffen zu dem
chlorsilanhaltigen Verbrennungsgut bedingt einen Anstieg des
HCl-Gehalts im Rauchgas und damit eine höher konzentrierte
Salzsäure in der Absorptionseinheit.
Im Gegensatz zu den bisher bekannten Verfahren, bei denen die
Untergrenze zur HCl-Rückgewinnung aus Rauchgasen bei 5 Vol.-%
Chlorwasserstoffgehalt liegt, arbeitet das hier beschriebene
Verfahren noch bei Minimalwerten von 1 Vol.-% HCl im Rauchgas.
Kritisch ist hierbei der Wasserdampfgehalt, der bevorzugt
unter 10 Vol.-% liegt. Um das Verhältnis von Wasserdampf zu
HCl im Rauchgas möglichst niedrig zu halten, können neben der
Zumischung von Chlorkohlenwasserstoffabfallstoffen mit hohem
Chlorgehalt zu den Chlorsilanrückständen noch weitere
Maßnahmen ergriffen werden: Die Verbrennungsluft wird
gegebenenfalls über Trocknung aufbereitet; chlorfreie
wasserstoffhaltige Brennstoffe wie Erdgas werden ebenso
vermieden wie das Abreinigen der Kesselwände mit Dampf.
Ein Hauptproblem bei der Verbrennung von Chlorsilanen in
Muffelöfen ist das Verbacken der Verbrennungseinheit durch
die sich bildende Kieselsäure. Im erfindungsgemäßen Verfahren
werden deshalb Chlorsilane vorzugsweise im Drehrohrofen ver
brannt, wobei ein Teil der Kieselsäure über einen kontinuier
lichen Schlackenabzug mit der Verbrennungsschlacke ausgetra
gen und so ein Verbacken der Verbrennungseinheit vermieden
wird. Durch die erfindungsgemäßen Maßnahmen wird
überraschenderweise, aufgrund der im Drehrohrofen sich
bildenden Kieselsäure, das Anbacken der Schlacke an die
Ofenausmauerung reduziert, der Schlackeschmelzpunkt erhöht,
sowie die Infiltration von Schlacke in die Ausmauerung
vermindert.
Die Kühlung der die Verbrennungseinheit mit einer
Temperatur von 900°C bis 1400°C verlassenden Rauchgase
erfolgt vorzugsweise in einem Abhitzekessel, der aus
Strahlungs- u. Konvektionsteil besteht. Die Rauchgase werden
auf 180°C bis 240°C abgekühlt. Die dabei frei werdende
Wärmemenge dient der Erzeugung von Niederdruckdampf von bis
zu 16 bar. Ein Teil des erzeugten Dampfes wird zur Beheizung
der HCl-Desorbereinheit genutzt.
Die Abtrennung der hochdispersen Kieselsäure erfolgt über
Keramik- bzw. Tuchfilter aus thermisch hochbeständigen
Materialien wie z. B. PTFE. Um ein Absinken der Rauchgas
temperatur unter den Taupunkt zu vermeiden, kann die Filter
einheit beheizt werden. Wegen des geringen spezifischen
Gewichts der Kieselsäure von 40-80 kg/m3 wird der Filter
vorzugsweise im Fallstrom angeströmt, um on-line abgereinigt
werden zu können. Der Austrag der abfiltrierten Kieselsäure
erfolgt naß oder trocken, bevorzugt naß, um ein geringes
Lagervolumen zu erreichen. Die ausgetragene Kieselsäure kann
als Ersatzstoff für hochdisperse Kieselsäure, bei einfachen
Aufgabestellungen z. B. als Filterhilfsstoff bzw. Verdickungs
mittel zur Entwässerung von Abfallschlämmen, verwendet
werden.
Das Auswaschen der nach der mechanischen Rauchgasreinigung
noch im Rauchgas enthaltenen HCl kann auf beliebige, an sich
bekannte Weise, die einen möglichst langen und intensiven
Kontakt des Gasgemisches mit der Waschflüssigkeit ermöglicht,
durchgeführt werden. Bevorzugt werden Kolonnen eingesetzt, in
denen das Rauchgas und die zumeist über Düsen, vorzugsweise
eingesprühte Waschflüssigkeit im Gegen- oder Gleichstrom ge
führt und miteinander vermischt werden. Die Chlorwasserstoff
absorption erfolgt im erfindungsgemäßen Verfahren vorzugs
weise über eine Kombination aus isothermer und/oder adiabati
scher Absorbereinheit, wobei die in den beiden Teileinheiten
zur Absorption verwendete wäßrige HCl im Kreisstrom geführt
wird.
Im isothermen Absorber werden die Abgase vorzugsweise im
Gleichstrom zur eingesprühten Absorptionsflüssigkeit geführt.
Die isotherme Absorption erfolgt bei 50°C bis 65°C. Die opti
male Absorptionstemperatur kann je nach den Partialdrücken
von HCl und H2O über die Wasserkühlung im Absorptionsturm
eingestellt werden. Die Konzentration der als Absorptions
flüssigkeit eingesetzten wäßrigen HCl sollte mindestens 20 Gew.-%,
vorzugsweise 22 Gew.-% betragen. Ziel der isothermen
Absorption ist es, im Ablauf eine möglichst konzentrierte, d.
h. mindestens 22%ige, vorzugsweise 24%ige wäßrige Salzsäure
zu erhalten. Im adiabatischen Absorber wird das teilge
reinigte Rauchgas vorzugsweise im Gegenstrom mit azeotroper
Salzsäure ausgewaschen. Um eine möglichst weitgehende Absorp
tion des Chlorwasserstoffgases zu erhalten, wird die wäßrige
azeotrope Salzsäure gekühlt, d. h. mit einer Temperatur von
ca. 60°C vorgelegt. Je nach Systemüberdruck der Desorption,
der zwischen 1 und 3,5 bar, vorzugsweise 3 und 3,5 bar liegt,
beträgt die Konzentration der azeotropen Salzsäure 17 bis 21
Gew.-%. Im Ablauf zum isothermen Absorptionsturm beträgt die
HCl-Konzentration mindestens 20 Gew.-%. Wegen der schwankenden
HCl- und H2O-Konzentrationen im Rauchgas wird die Absorp
tionseinheit zweckmäßig über einen Rechner überwacht, der die
Betriebsparameter der Anlage der Rauchgaszusammensetzung
anpaßt. Um gegebenenfalls noch im Rauchgasstrom enthaltene
Kieselsäure aus der wäßrigen Salzsäure zu entfernen, kann
nach der isothermen Absorption eine Feststoffabscheidung, z.
B. über eine Filterpresse, durchgeführt werden.
Die wäßrige Salzsäure mit mindestens 22 Gew.-%, vorzugsweise
24 Gew.-% wird in der Desorptionskolonne rektifiziert, derart,
daß im Kolonnensumpf azeotrope Salzsäure, am Kolonnenkopf
HCl-Gas mit Wasserdampf anfällt. Die Kolonne wird vorzugswei
se bei 165°C und 3,4 bar Überdruck betrieben, um eine 17-
18 Gew.-%ige Salzsäure im Ablauf zu erhalten. Diese fließt zum
adiabatischen Absorber zurück, wobei sie über einen Gegen
stromwärmetauscher die aus dem isothermen Absorber dem Desor
ber zuströmende wäßrige HCl vorwärmt. Beheizt wird die
Desorptionskolonne mit einem Teil des im Abhitzekessel
erzeugten Niederdruckdampfes. Der so erhaltene gasförmige
Chlorwasserstoff wird zu Grobentfeuchtung auf bis zu -10°C
gekühlt und anschließend in einer Trockenkolonne durch
Besprühen mit konzentrierter H2SO4 im Gegenstrom auf eine
Restfeuchtigkeit von 10 ppm getrocknet. In der wäßrigen
Salzsäure lösliche, aber schwerflüchtige Bestandteile können
als Teilstrom aus dem Sumpf der Desorptionskolonne
ausgetragen werden.
In der Kältefalle können gegebenenfalls die, von den Brenn
stoffen herrührenden leichtflüchtigen Verunreinigungen, die
die Desorptionskolonne passieren, über einen Salzsäureteil
strom ausgeschleust werden. Das getrocknete, gereinigte und
mit ca. 3 bar Überdruck anstehende HCl-Gas wird einem Ver
braucher zugeführt.
Fällt aufgrund HCl-armer Rauchgase die
Säureablaufkonzentration nach dem isothermen Absorber unter
20 Gew.-%, so wird der Feedstrom zur Desorptionskolonne
unterbrochen und zum adiabaten Absorber umgeleitet. Sobald
die Ablaufkonzentration über 20 Gew.-% steigt, wird die
Desorptionskolonne wieder versorgt. Diese Maßnahme ermöglicht
es, den kontinuierlichen Verbrennungsprozeß bei kurzzeitigem
HCl-Mangel im Rauchgas beizubehalten. Die, die
Absorptionseinheit verlassenden Rauchgase enthalten die in
der flüssigen Phase nicht absorbierbaren gasförmigen
Bestandteile der Abgase, sowie auch einen bestimmten Chlorwas
serstoffrestanteil (300-1200 mg/m3). Um vor allem den An
teil an Chlorwasserstoff und Chlor im Abgas gering zu halten,
wird der Rauchgasstrom zweckmäßig einer Nachbehandlung in
einem ein- oder mehrstufigen Absorptionsturm unterzogen.
Zunächst wird mit Wasser das restliche HCl-Gas auf einen Wert
von unter 100 mg HCl/m3 Rauchgas ausgewaschen, anschließend
wird im alkalischen Bereich mit Na₂S₂O₃ oder H2O2, Cl₂ zu Cl-
reduziert, bevor schließlich das gereinigte Rauchgas in den
Kamin geleitet wird.
In einer Anlage, entsprechend dem in Fig. 1 dargestellten
Fließschema, werden folgende Stoffe verfeuert:
Lösungsmittel 600 kg/h
CKWs1200 kg/h
Chlorsilane1000 kg/h
Abgase 200 kg/h
Die Chlorsilane sowie ein Teil der CKWs und der Lösungsmittel
werden über die Stirnwand eines Drehrohrofens 1, der einen
Durchmesser von 3 m und eine Länge von 10 m hat, aufgegeben.
Die Abgase und der Rest der CKWs und der Lösungsmittel werden
der Nachbrennkammer 2 aufgegeben und verbrannt. Die im Dreh
rohrofen anfallende Schlacke wird am Boden der Nachbrennkam
mer über einen Tauchbehälter 3 abgezogen. Die Verbrennngsan
lage wird mit einem Luftverhältnis von g = 2,0 betrieben. Da
bei stellt sich am Austritt der Nachbrennkammer eine Tempera
tur von 1280°C ein bei folgender Rauchgaszusammensetzung:
O2 9,6 Vol.-%
H2O 6,6 Vol.-%
HCl 3,4 Vol.-%
Inerte80,4 Vol.-%
Die Gesamtrauchgasmenge beträgt 24 900 m3/h. Im Kessel 6 wird
das Rauchgas über einen Wärmetauscher 7 auf 230°C abgekühlt,
wobei 15,2 t/h 16-bar-Dampf erzeugt und über Leitung 4
abgezogen wird. Ein geringer Anteil an Flugasche, vermischt
mit Kieselsäure, wird über die Abtauchwannen 5 abgezogen. Die
am Kessel anhaftende Flugasche und Kieselsäure wird mit
Druckluftbläsern abgereinigt.
In den beheizten und isolierten Staubfiltern 8 werden 500 kg
SiO2 mit Flugaschespuren abgeschieden und mit Wasser über
Leitung 9 in einem Abschlammbehälter 10 niedergeschlagen.
Die Rauchgase, die jetzt noch 15 mg SiO2/m3 Rauchgas enthal
ten, werden durch den isothermen Absorber 13 geführt, wo sie
mit 23,8%iger wäßriger HCl über Leitung 14 gequencht und
durch Wärmetausch mit H2O über Leitung 15 auf 60°C abgekühlt
werden. Dabei wird eine 24,5%ige Salzsäure erhalten, die in
einem Pufferbehälter 16 zwischengelagert wird. Das
vorgereinigte Rauchgas wird über Leitung 17 in den adiabaten
Absorber 18 geleitet, in dem es zuerst über Leitung 19 mit
15,2 t/h azeotroper 18%iger Salzsäure und anschließend über
Leitung 20 mit 2,2 t/h Wasser gewaschen wird. Das aus dem
Absorber über Leitung 21 austretende Rauchgas enthält noch
1200 mg HCl/m3. Es wird im Sauerwäscher 22 mit 60 m3/h
Waschwasser aus Leitung 23 weitgehend von HCl befreit, bevor
es im alkalischen Wäscher 24 bei pH 8,5 mit alkalischer
Natriumthiosulfatlösung gewaschen wird. Dabei wird die Cl2-
Konzentration auf unter 1 mg/m3 Rauchgas und die HCl-
Konzentration auf unter 5 mg/m3 Rauchgas abgesenkt. Über
einen Saugzug 26 wird das Rauchgas dem Kamin 27 zugeführt.
Das Abwasser aus der Wäschereinheit wird über Leitung 28
abgezogen. Die Betriebsparameter der Anlage werden über einen
Rechner 12, der zwischen den Saugzug 11 und den isothermen
Absorber 13 geschaltet ist, überwacht.
4,1 t HCl in Form einer 24,5%igen wäßrigen Salzsäure werden
vom Pufferbehälter 16 über einen Filter 29 und Wärmetauscher
30 über Leitung 31 in die Desorptionskolonne 32 gepumpt.
Dabei fallen im Filter 29 4,0 kg/h Kieselsäureschlamm (Zusam
mensetzung ca. 18 Gew.-% Kieselsäure, Rest Salzsäure), der
über Leitung 33 ausgetragen wird. Im Umlaufverdampfer 34 wird
die wäßrige Salzsäure mit Dampf aus Leitung 35 auf 165°C
erhitzt, dabei stellt sich ein Kolonnendruck von 3,4 bar ein.
Der kondensierte Dampf wird über Leitung 36 abgezogen. Aus
dem Kolonnensumpf wird über Leitung 37 18%ige, nahezu
azeotrope Salzsäure abgezogen und über den
Gegenstromwärmeaustauscher 30 und Leitung 19 zum adiabaten
Absorber 18 geführt. Dabei wird die azeotrope Säure unter
Erwärmung des Kolonnenzulaufs 31 auf 90°C abgekühlt. Am Kopf
der Desorptionskolonne 32 wird das austretende HCl-Gas über
Leitung 38 dem ersten Kopfkondensator 39 zugeführt und mit
Kühlwasser über Leitung 40, anschließend in der zweiten
Kopfkondensatoreinheit 41 über Leitung 42 mit Sole, auf -8°C
abgekühlt. Im Kondensat des zweiten Kopfkondensators 41 sind
leichtflüchtige und säurelösliche Bestandteile enthalten. Sie
werden in einem Teilstrom von 10 kg/h über Leitung 43
abgezogen und verworfen. Das HCl-Reingas (1309 kg/h) strömt
über Leitung 44 in die Trocknungskolonne 45 und wird mit 1 t/
Monat 96%iger Schwefelsäure über Leitung 46 auf eine
Restfeuchte von 10 ppm gebracht. Die verdünnte Schwefelsäure
wird über Leitung 47 abgezogen. Das getrocknete HCl-Reingas
wird über Leitung 48 einer Wiederverwertung zugeführt.
Claims (9)
1. Verfahren zur Aufarbeitung von chlorsilan- und gegebenen
falls chlorkohlenwasserstoffhaltigen Produktionsrückstän
den durch Verbrennung bei einer Temperatur von 900°C bis
1400°C, vorzugsweise von 1000°C bis 1200°C, dadurch ge
kennzeichnet, daß aus dem Rauchgasstrom, der mindestens
einen HCl-Gehalt von 1 Vol.-% hat, nach Kühlung der
Rauchgase, die bei der Verbrennung gebildete hochdisperse
Kieselsäure über Filter, der gasförmige Chlorwasserstoff
über eine Absorptions/Desorptions-Einheit zurückgewonnen
wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Einstellung des HCl-Gehalts des Rauchgases über Zumischung
von chlorkohlenwasserstoffhaltigen Rückständen erfolgt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Chlorsilane enthaltenden Rückstände in kontinuier
lichem Betrieb einem Drehrohrofen aufgegeben werden.
4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeich
net, daß das Rauchgas durch indirekten Wärmeaustausch
unter Niederdruckdampferzeugung auf vorzugsweise 180°C bis
240°C abgekühlt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1, 2, 3 oder 4, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Heizung der Desorbereinheit über den
durch die Kühlung des Rauchgases erzeugten
Niederdruckdampf erfolgt.
6. Verfahren nach Anspruch 1, 2, 3, 4 oder 5, dadurch
gekennzeichnet, daß die dem Desorber zugepumpte konzen
trierte Salzsäurelösung aus der isothermen Absorption
durch die vom Desorber ablaufende und dem adiabatischen
Absorber zulaufende azeotrope HCl vorgewärmt wird.
7. Verfahren nach Anspruch 1, 2, 3, 4, 5 oder 6, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Abreinigung des Kessels mit vorge
wärmter Druckluft erfolgt.
8. Verfahren nach Anspruch 1, 2, 3, 4, 5, 6 oder 7, dadurch
gekennzeichnet, daß zusätzlich zum Kieselsäurefilter ein
Zyklon mit geringer Zentrifugalbeschleunigung eingesetzt
wird.
9. Verfahren nach Anspruch 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7 oder 8,
dadurch gekennzeichnet, daß bei Unterschreitung der HCl-
Ablaufkonzentration aus dem Absorberteil von 20%, die
Desorptionseinheit weggeschaltet und die
Absorptionseinheit im Kreislaufbetrieb gefahren wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19873712125 DE3712125A1 (de) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | Verfahren zur aufarbeitung von chlorsilanhaltigen rueckstaenden durch verbrennung unter rueckgewinnung hochdisperser kieselsaeure und gasfoermiger hcl aus den rauchgasen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19873712125 DE3712125A1 (de) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | Verfahren zur aufarbeitung von chlorsilanhaltigen rueckstaenden durch verbrennung unter rueckgewinnung hochdisperser kieselsaeure und gasfoermiger hcl aus den rauchgasen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3712125A1 true DE3712125A1 (de) | 1988-10-20 |
Family
ID=6325299
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19873712125 Withdrawn DE3712125A1 (de) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | Verfahren zur aufarbeitung von chlorsilanhaltigen rueckstaenden durch verbrennung unter rueckgewinnung hochdisperser kieselsaeure und gasfoermiger hcl aus den rauchgasen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3712125A1 (de) |
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