DE3705361C2 - - Google Patents

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DE3705361C2
DE3705361C2 DE19873705361 DE3705361A DE3705361C2 DE 3705361 C2 DE3705361 C2 DE 3705361C2 DE 19873705361 DE19873705361 DE 19873705361 DE 3705361 A DE3705361 A DE 3705361A DE 3705361 C2 DE3705361 C2 DE 3705361C2
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ion
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DE19873705361
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German (de)
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Hans Dr.-Ing. Betz
Uwe Dr.Rer.Nat. Weigmann
Helmut Dipl.-Phys. 1000 Berlin De Burghause
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Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
Original Assignee
Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/3002—Details
    • H01J37/3005—Observing the objects or the point of impact on the object

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