DE3704584A1 - Kraftsensor bzw. bezugsfrequenzgeber - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Kraftsensor der im Oberbegriff des Patent­ anspruchs 1 angegebenen Art bzw. auf einen Bezugsfrequenzgeber der im Ober­ begriff des Patentanspruchs 7 angegebenen Art.

Es ist bekannt, Beschleunigungen und Drücke mittels eines als Schwingbalken oder Schwingsaite ausgebildeten Schwinggliedes zu messen, welches an den beiden Enden mit den entsprechenden Axialkräften beaufschlagt wird. In unbe­ lastetem Zustand weist ein Schwingbalken eine bestimmte Eigenfrequenz auf, welche hauptsächlich von seinen Abmessungen, dem Schwingbalkenmaterial, seiner Temperatur und dem Medium, in welchem er arbeitet, abhängt und sich bei axialer Belastung ändert, nämlich mit wachsender Zugspannung ansteigt und mit wachsender Druckspannung abfällt. Schwingsaiten werden entsprechend den zu messenden axialen Druckkräften vorgespannt, so daß sich ihre entspre­ chende Eigenfrequenz bei Beaufschlagung der beiden Enden mit axialen Zug- oder Druckkräften ebenfalls in der besagten Weise ändert, um als Maß für die jeweils einwirkenden Axialkräfte zu dienen.

Zur Erzielung genauer Meßergebnisse muß die jeweilige Frequenz der Schwin­ gungen des Schwinggliedes solcher Kraftsensoren seiner jeweiligen axialen Belastung bzw. den aufgebrachten Axialkräften genau entsprechen. Dieses ist im Hinblick darauf, daß das Schwingglied irgendwie montiert werden muß, schwierig zu gewährleisten, weil das montierte Schwingglied Energie an die Halterungen verliert, so daß der Kraftsensor insgesamt weniger wirksam und sein Gütefaktor Q vermindert ist, welcher das Verhältnis der im Schwingungs­ system des Kraftsensors gespeicherten Energie zum Energieverlust darstellt.

Der Gütefaktor Q sollte aus verschiedenen Gründen hoch sein. So muß beim Kraftsensorbetrieb das Schwingglied in Schwingungen versetzt und gehalten werden, wozu elektrische Energie benötigt wird, und zwar um so mehr, je mehr Schwingungsenergie das Schwingungssystem während des Betriebs ver­ liert. Wenn jedoch mit einem relativ hohen Niveau elektrischer Energie gear­ beitet werden muß, dann besteht die Gefahr, daß es sich schädlich auf den Kraftsensor selbst oder auf andere in dessen Nähe befindliche Instrumente auswirkt. Außerdem verringern solche hohen Energieniveaus die Genauigkeit des Kraftsensors, weil Variationen oder Fehler der Energiezufuhr größere Fre­ quenzabweichungen des Schwinggliedes bewirken. Weiterhin hat ein hoher Ener­ gieverlust des Schwingungssystems zur Folge, daß bei einem kurzzeitigen und unerwarteten Ausfall der elektrischen Energiequelle die Schwingungen des Schwinggliedes schnell abklingen, so daß sich beim neuerlichen Wirksamwerden der Energiequelle ungenaue Frequenzangaben ergeben.

Bei Instrumenten mit einem einzigen Schwingglied ist letzteres unmittelbar mit der Halterung gekoppelt, so daß seine Frequenz von strukturellen Resonan­ zen desjenigen Bauteils beeinflußt wird, an welchem das Schwingglied ange­ bracht ist, was die Funktionsweise des Schwinggliedes weiterhin beträchtlich verschlechtern kann, insbesondere den Betriebsfrequenzbereich begrenzt und die Frequenzstabilität verringert. Darüberhinaus ist dann das Schwingglied gegenüber äußeren Schwingungen empfindlich, welche auf das Gehäuse bei einer der Resonanzfrequenzen desselben einwirken, und wird dann sein Tempe­ raturkoeffizient der Frequenz durch den Gehäusetemperaturkoeffizienten be­ einflußt.

Um die geschilderten Nachteile zu vermeiden, kann man mit zwei Schwing­ gliedern arbeiten, welche theoretisch im Gegentakt schwingen. Die beiden gleich großen Schwingglieder, wobei es sich um Schwingbalken oder um Schwing­ saiten handeln kann, werden parallel zueinander montiert und schwingen im Idealfall so, daß sie sich simultan aufeinander zu bzw. voneinander weg bewe­ gen, was zur Eliminierung von Auswirkungen an den Enden führt. Jedoch sind mit solchen Kraftsensoren in praxi Schwierigkeiten verbunden. Wenn die beiden Schwingglieder nicht gleich belastet werden, dann ergeben sich unterschiedliche Frequenzverschiebungen infolge der von außen aufgebrachten Axialkräfte und statt einer einzigen, wohldefinierten Resonanzfrequenz je eine Resonanzfre­ quenz für jedes Schwingglied, was die Frequenz/Kraft-Kennlinie verändern und manchmal dazu führen kann, daß der Verstärkungsgrad des elektronischen Treibers für die Schwingglieder unter 1 abfällt, was dazu führt, daß die Schwing­ glieder nicht mehr erregt werden, um zu schwingen. Darüberhinaus hängen die Eliminierungseffekte der beiden Schwingglieder davon ab, daß ihre Abmes­ sungen einander genau entsprechen. Sie verringern sich, wenn dieses nicht der Fall ist.

Festzuhalten bleibt also, daß im Idealfall die Schwingungen des Schwingglieds und seine Schwingungsänderungen von seiner Halterung vollkommen unbeein­ flußt sein sollten, so daß die Schwingungsänderungen in direkter Beziehung zu den aufgebrachten Axialkräften sind. Dann ist der entsprechende Kraftsensor, welcher beispielsweise zur Beschleunigungsmessung oder zur Druckmessung verwendet werden kann, genau und zuverlässig.

Kraftsensoren bzw. Bezugsfrequenzgeber nach dem Oberbegriff des Patentan­ spruchs 1 bzw. 7 sind bekannt (US-PS 34 70 400). Dabei sind die Isolatormassen über zwei Paare zueinander paralleler Isolatorfedern mit dem einen bzw. mit dem anderen äußeren Halter verbunden. Obwohl diese Instrumente zufrieden­ stellend arbeiten, ist der Gütefaktor Q für manche Anwendungen nicht groß genug. Vermutlich ist dieses darauf zurückzuführen, daß das Schwingglied deswegen zuviel Energie an seine beiden äußeren Halter verliert, weil die Isolatormassen nicht frei genug schwingen können. Die beiden Isolatorfeder­ paare, welche jeweils am einen bzw. am anderen der beiden die Isolatormassen tragenden Supporte angreifen, verhindern nämlich jegliches Drehen der letzte­ ren. Wenn es auch theoretisch nicht erforderlich ist, daß die Isolatormassen sich beträchtlich drehen, weil sie so gestaltet und positioniert sind, daß alle derartigen Schwingungen eliminiert werden, so läßt sich doch ein solch genauer Abgleich in praxi nur schwierig verwirklichen, weil dafür sehr genaue geome­ trische Bedingungen eingehalten werden müssen. Darüberhinaus führt die für einen vollkommenen Abgleich erforderliche Isolatormassengeometrie gewöhn­ lich zu anderen Schwierigkeiten, wie beispielsweise geringer Isolatorsteifheit, störenden Resonanzen oder beidem.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Kraftsensor bzw. Bezugs­ frequenzgeber der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 bzw. 7 angegebenen Art zu schaffen, welcher im Hinblick auf die Entkoppelung bzw. Isolierung des Schwinggliedes von seinen beiden äußeren Haltern in seinem Betriebsfre­ quenzbereich noch weiter verbessert ist, so daß Energieverluste noch weiter reduziert sind.

Diese Aufgabe ist durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 bzw. 7 angegebenen Merkmale gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen des erfin­ dungsgemäßen Kraftsensors bzw. Bezugsfrequenzgebers sind in den restlichen Patentansprüchen angegeben.

Beim erfindungsgemäßen Kraftsensor bzw. Bezugsfrequenzgeber ist zwischen jedem Halter des Schwinggliedes und dem Support am benachbarten Ende des­ selben nur eine dünne Isolatorfeder vorgesehen, bei welcher es sich um ein blattfederartiges elastisches Element handelt. Beim Kraftsensor sind die beiden Supporte jeweils mit einem Paar von Isolatormassen versehen, welche jeweils als massive Stange vom einen bzw. anderen Ende des zugehörigen Supports auf den anderen Support zu ragen, so daß der Schwerpunkt jedes Isolatormassen­ paares im Schwingglied liegt oder seine Projektion auf demselben liegt, während beim Bezugsfrequenzgeber nur zwei Isolatormassen vorgesehen sind, welche sich beiderseits des Schwinggliedes von den beiden Enden des einen Supportes zu den beiden Enden des anderen Supportes am einen bzw. am anderen Ende des Schwinggliedes erstrecken. Beim Kraftsensor bilden die Isolatormassen und die beiden Isolatorfedern Resonanzkombinationen, welche durch die End­ kräfte und -momente des Schwinggliedes in Schwingungen versetzt werden, wobei durch richtige Anpassung der Isolatormassen und Isolatorfedern entspre­ chend den Eigenschaften des Schwinggliedes letzteres annähernd vollständig von seinen Haltern in seinem Betriebsfrequenzbereich entkoppelt werden kann. Eine solche Entkoppelung wird auch beim Bezugsfrequenzgeber erzielt. Das Schwingglied kann als Schwingbalken oder als Schwingsaite ausgebildet sein.

Beim erfindungsgemäßen Kraftsensor ermöglichen die beiden einzelnen dünnen Isolatorfedern, welche die beiden Supporte und die beiden Halter des Schwing­ gliedes miteinander verbinden, daß die Isolatormassen an den Supporten sich im Betrieb des Kraftsensors drehen und translatorisch verschieben können, wodurch auf die Halter geringere Kräfte übertragen werden. Das gesamte Schwingungssystem aus Isolatormassen und Schwingglied kann noch ähnlicher einem freien Schwingungssystem schwingen, also als ob es aufgehängt im Raum schwingen würde, selbst wenn der Kraftsensor mit geringem Fehlabgleich her­ gestellt ist. Vom Schwingglied wird weniger Schwingungsenergie zu den beiden äußeren Haltern übertragen, und zwar sowohl dann, wenn alle Isolatormassen identisch und bezüglich des Schwinggliedes symmetrisch angeordnet sind, so daß sich die Schwerpunktslage gemäß US-PS 34 70 400 ergibt, als auch dann, wenn die Isolatormassen nicht genau identisch sind und einen fehlangepaßten, asymmetrischen Aufbau sowie eine andere Schwerpunktslage ergeben. Solche asymmetrischen Strukturen können sich zufällig, beispielsweise aufgrund von Herstellungsungenauigkeiten, ergeben oder aber auch absichtlich angewendet werden, da ein asymmetrisches Isolatormassendesign die Schwingungsisolierung erhöht, weil die unabgeglichenen Schwingungen der asymmetrischen Isolator­ massenpaare als Sperre für die Übertragung der Schwingungen des Schwing­ gliedes zu den Haltern wirkt.

Nachstehend sind zwei Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Kraftsensors anhand von Zeichnungen beispielsweise beschrieben. Darin zeigen:

Fig. 1 perspektivisch eine erste Ausführungsform;

Fig. 2 eine Seitenansicht des Kraftsensors gemäß Fig. 1 beim Schwingen; und

Fig. 3 perspektivisch eine zweite Ausführungsform.

Der dargestellte Kraftsensor 10 weist zwei äußere Halter 12, 14 mit je zwei zueinander parallelen Ausnehmungen 13 bzw. 15 auf, welche ein Biegegelenk bilden. Die Halter 12, 14 werden an Aufnehmern angebracht, um entlang der angegebenen Eingangsachse mit Axialkräften beaufschlagt zu werden. Weiterhin ist ein Schwingglied vorgesehen, welches als Schwingbalken 16 ausgebildet ist, der sich zwischen zwei quer zu seiner Längsachse verlaufenden Supporten 18, 20 erstreckt. Der Kraftsensor 10 kann beispielsweise zur Beschleunigungs­ messung oder Druckmessung verwendet werden, wobei die Halter 12, 14 mit entsprechenden Axialkräften beaufschlagt werden.

Um den Schwingbalken 16 bei seinen Betriebsfrequenzen von den beiden äußeren Haltern 12, 14 zu entkoppeln bzw. zu isolieren, deren Biegegelenkachsen parallel zueinander verlaufen und quer zur Eingangsachse orientiert sind, sind die beiden Supporte 18, 20 jeweils über eine einzelne dünne Isolatorfeder 22 bzw. 26 mit dem benachbarten Halter 12 bzw. 14 verbunden und mit einem Paar von Isolatormassen 30, 32 bzw. 34, 36 versehen, welche sich vom einen bzw. anderen Ende des zugehörigen Supportes 18 bzw. 20 im wesentlichen parallel zur Längs­ achse des Schwingbalkens 16 entlang desselben erstrecken und deren Längen sowie anderen Abmessungen von den Eigenschaften des Schwingbalkens 16 abhängen, wobei jedoch sowohl die beiden auf der einen als auch die beiden auf der anderen Seite des Schwingbalkens 16 sich erstreckenden Isolatormassen 30, 34 bzw. 32, 36 im Abstand voneinander angeordnet sind. Die in Richtung der Eingangsachse auf die Halter 12, 14 einwirkenden Zug- oder Druckkräfte werden über die Isolatorfedern 22, 26 auf den Schwingbalken 16 übertragen.

Der Kraftsensor 10 kann einstückig ausgebildet sein und aus jedem geeigneten Material, einschließlich Metall, bestehen. Im dargestellten Fall ist er aus einem Quarzblock oder einem Block eines anderen piezoelektrischen Materials durch spanabhebende Bearbeitung hergestellt.

Um den Schwingbalken 16 als Dickenscherungsschwinger anzutreiben, ist er mit zwei Paaren einander gegenüberliegender Elektroden 38, 40 und 42, 44 beschichtet, wobei die beiden Elektroden 38, 40 bzw. 42, 44 jedes Paares die eine bzw. die andere Breitseite des Schwingbalkens 16 über eine bestimmte Länge bedecken. Dabei ist die Dicke der Elektroden 38, 40, 42 und 44 so ge­ wählt, daß sie das Schwingen des Schwingbalkens 16 nicht behindert, und be­ stehen die Elektroden 38, 40, 42 und 44 aus Metall oder einem anderen Material hoher Leitfähigkeit. Die beiden Elektrodenpaare 38, 40 und 42, 44 sind über zwei Leitungen 46, 48 mit einem nicht dargestellten elektronischen Oszillator verbunden, wobei die eine Leitung 46 an die in den Zeichnungen obere Elektrode 38 des einen Elektrodenpaars 38, 40 und an die untere Elektrode 44 des anderen Elektrodenpaars 42, 44 angeschlossen ist, während die andere Leitung 48 zu der in den Zeichnungen unteren Elektrode 40 des einen Elektrodenpaars 38, 40 und zur oberen Elektrode 42 des anderen Elektrodenpaars 42, 44 führt, so daß die elektrische Erregung durch den Oszillator entgegengesetzt gerichtete elektrische Felder quer durch den Schwingbalken 16 an entlang von dessen Längsachse im Abstand voneinander befindlichen Stellen bewirkt und die Schwing­ balken 16 schwingt. Allerdings kann der Schwingbalken 16 auch anders als auf diese Art und Weise gemäß US-PS 34 79 536 in Schwingungen versetzt werden.

Wenn auch die Isolatormassen 30, 32, 34 und 36 im dargestellten Fall jeweils einen rechteckigen Querschnitt aufweisen und im wesentlichen parallel zum Schwingbalken 16 verlaufen, so ist dieses doch nicht unbedingt erforderlich, ebenso wenig wie jedes Isolatormassenpaar 30, 32 bzw. 34, 36 zusammen mit dem zugehörigen Support 18 bzw. 20 unbedingt ein rechteckiges U-Profil bilden muß, sondern vielmehr auch beispielsweise ein gekrümmtes U-Profil bilden kann.

In Fig. 2 ist der Kraftsensor 10 gemäß Fig. 1 mit ausgezogenen Linien in einer Extremstellung beim Schwingen und mit gestrichelten Linien in der Ruhestellung dargestellt, wobei die Ausnehmungen 13 des Halters 12, die Ausnehmungen 15 des Halters 14, die Elektroden 38, 40, 42 und 44 des Schwingbalkens 16 und deren elektrische Leitungen 46, 48 weggelassen sind.

Wenn das aus dem Schwingbalken 16, den beiden Supporten 18, 20 und den vier Isolatormassen 30, 32, 34 und 36 bestehende primäre Schwingungssystem des Kraftsensors 10 gemäß Fig. 1 im Raum aufgehängt wäre und in Schwingun­ gen versetzt würde, dann würden sich die beiden in Fig. 2 angegebenen Punkte A, B des einen Supports 18 bzw. des anderen Supports 20 jeweils in der Zeich­ nungsebene von Fig. 2 sowohl in Richtung der eingezeichneten X-Achse als auch in Richtung der dazu senkrechten, ebenfalls eingezeichneten Y-Achse bewegen. Zwar schränken die beiden jeweils am Punkt A bzw. B am Support 18 bzw. 20 angreifenden Isolatorfedern 22, 26 die Bewegungsmöglichkeiten der beiden Supporte 18, 20 so ein, daß sie sich jeweils nur um einen Winkel 0 aus der Ruhestellung im Uhrzeigersinn und entgegen dem Uhrzeigersinn drehen sowie nur um eine Strecke D aus der Ruhestellung senkrecht nach unten und nach oben translatorisch verschieben können, jedoch gelangt dennoch weniger Drehenergie vom Schwingbalken 16 zu den beiden Haltern 12, 14 als beim Kraftsensor gemäß US-PS 34 70 400 mit zwei lsolatorfederpaaren, welche ein derartiges Isolatormassendrehen verhindern.

Beim Kraftsensor 10 gemäß Fig. 1 und 2 sind die beiden lsolatormassen 30, 32 am einen Ende des Schwingbalkens 16 identisch, ebenso wie die beiden Isolator­ massen 34, 36 am anderen Ende des Schwingbalkens 16, so daß sich jeweils eine symmetrische Struktur ergibt und der Schwerpunkt jedes Isolatormassen­ paares 30, 32 bzw. 34, 36 annähernd in der Ebene des Schwingbalkens 16 liegt.

Jedoch lassen sich Momente auch unter Verwendung von unterschiedlichen bzw. asymmetrischen lsolatormassen 30, 32, 34 und 36 ausschalten, wie bei dem Kraftsensor 10 gemäß Fig. 3 vorhanden. Dessen obere Isolatormasse 30 am einen Ende des Schwingbalkens 16 weist eine andere Größe und somit Masse als dessen untere Isolatormasse 32 an demselben Schwingbalkenende auf, was genauso bei dem Isolatormassenpaar 34, 36 am anderen Ende des Schwingbalkens 16 der Fall ist. Die asymmetrische Struktur jedes Isolatormassen­ paares 30, 32 bzw. 34, 36 läßt sich mit vielerlei Formgebungen für die Isolator­ massen 30, 32, 34 und 36 verwirklichen. Wenn auch an sich zu erwarten ist, daß eine solche fehlende gegenseitige Isolatormassenanpassung den Gütefaktor Q vermindert, so werden doch andere vorteilhafte Auswirkungen erzielt. Ins­ besondere bewirkt die Isolatormassenfehlanpassung eine geringfügige Verstim­ mung jedes Isolatormassenpaares 30, 32 bzw. 34, 36, so daß es weniger wahr­ scheinlich ist, daß die Resonanzfrequenz des Schwingbalkens 16 derjenigen der Isolatormassenpaare 30, 32 und 34, 36 entspricht, was mit einer erhöhten Schwingungsübertragung zu den Haltern 12, 14 verbunden wäre und daher un­ erwünscht ist. Vielmehr wirkt das Schwingen jedes Isolatormassenpaares 30, 32 bzw. 34, 36 als Sperre gegenüber der Übertragung von Schwingungen vom Schwingbalken 16 zu den Haltern 12, 14 des Kraftsensors 10 gemäß Fig. 3, so daß ein hoher Gütefaktor Q desselben dennoch gewährleistet ist.

Zusätzlich zu den bereits erwähnten Möglichkeiten können die dargestellten und geschilderten Ausführungsformen auch noch in anderen Richtungen abge­ wandelt werden. So ist es beispielsweise nicht unbedingt erforderlich, den Schwingbalken 16 vorzusehen, sondern kann statt dessen auch eine Schwingsaite als Schwingglied verwendet werden.

Ferner ist es möglich, die Erfindung bei einem Bezugsfrequenzgeber zu ver­ wirklichen. Dieser ergibt sich aus dem Kraftsensor 10 gemäß Fig. 1 und 2 bzw. dem Kraftsensor gemäß Fig. 3 dann, wenn die beiden Isolatormassen 30, 34 auf der einen Seite des Schwingbalkens 16 und die beiden Isolatormassen 32, 36 auf der anderen Seite des Schwingbalkens 16 jeweils zu einer durchge­ henden, sich von der einen Isolatorfeder 22 zur anderen Isolatorfeder 26 er­ streckenden Isolatormasse vereinigt werden, so daß auf die beiden äußeren Halter 12, 14 einwirkende axiale Zug- oder Druckkräfte von den beiden großen Isolatormassen und nicht vom Schwingbalken 16 aufgenommen werden und dessen Eigenfrequenz nicht ändern. Auch bei einer solchen Konstruktion ver­ mittelt die Erfindung dieselbe Isolierung zwischen dem Schwingbalken 16 und den Haltern 12, 14.

Claims (10)

1. Kraftsensor, insbesondere zur Beschleunigungsmessung, mit einem Schwing­ glied, welches

• a) in einer seine Längsachse enthaltenden Ebene unter Aufrechterhaltung einer charakteristischen Frequenz schwingt und
• b) zur Entkoppelung bzw. Isolierung von seinen beiden äußeren Haltern an seinen beiden Enden mit je einem Paar von Isolatormassen am einen bzw. anderen Ende eines quer zur Längsachse verlaufenden Supportes versehen sowie über dünne Isolatorfedern mit den Haltern verbunden ist, die sich zwischen letzteren und den beiden Supporten erstrecken und Axialkräfte entlang ihrer Längsachsen von den Haltern zum Schwingglied übertragen, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen jedem Halter (12 bzw. 14) und dem benachbarten Support (18 bzw. 20) nur eine Isolatorfeder (22 bzw. 26) vorgesehen ist.

2. Kraftsensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Schwingglied als Schwingbalken (16) ausgebildet ist und die Isolator­ massen (30, 32, 34, 36) sich im wesentlichen parallel zur Längsachse des Schwingbalkens (16) entlang desselben erstrecken, so daß der Schwerpunkt jedes Isolatormassenpaares (30, 32 bzw. 34, 36) in der Schwingungsebene des Schwingbalkens (16) liegt und einen vorgegebenen Abstand vom Support (18 bzw. 20) des Isolatormassenpaares (30, 32 bzw. 34, 36) hat.

3. Kraftsensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Schwingglied als Schwingsaite ausgebildet ist und der Schwerpunkt jedes Isolatormassenpaares (30, 32 bzw. 34, 36) rnit der Befestigungsstelle der Schwingsaite am Support (18 bzw. 20) des Isolatormassenpaares (30, 32 bzw. 34, 36) zusammenfällt.

4. Kraftsensor nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeich­ net, daß die Isolatormassen (30, 32, 34, 36) im wesentiichen gleiche Größe und Masse aufweisen und in gleichem Abstand vom Schwingglied angeordnet sind.

5. Kraftsensor nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeich­ net, daß die Isolatormassen (30, 32, 34, 36) im wesentlichen gleiche Größe und Masse aufweisen und symmetrisch zum Schwingglied angeordnet sind.

6. Kraftsensor nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeich­ net, daß die beiden Isolatormassen (30, 32 bzw. 34, 36) jedes Paares unter­ schiedliche Größen und Massen aufweisen und die Isolatormassen (30, 32, 34, 36) symmetrisch zum Schwingglied angeordnet sind.

7. Bezugsfrequenzgeber mit einem Schwingglied, welches

• a) in einer seine Längsachse enthaltenden Ebene unter Aufrechterhaltung einer charakteristischen frequenz schwingt und
• b) zur Entkoppelung bzw. Isolierung von seinen beiden äußeren Haltern mit zwei sich zwischen den Enden von zwei quer zur Längsachse verlaufenden Supporten am einen bzw. anderen Ende des Schwinggliedes erstreckenden Isolatormassen versehen sowie über dünne Isolatorfedern mit den Haltern verbunden ist, die sich zwischen letzteren und den beiden Supporten er­ strecken, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen jedem Halter (12 bzw. 14) und dem benachbarten Support (18 bzw. 20) nur eine Isolatorfeder (22 bzw. 26) vorgesehen ist.

8. Kraftsensor bzw. Bezugsfrequenzgeber nach einem der vorstehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Längsachsen der beiden Isolatorfedern (22, 26) mit der Längsachse des Schwinggliedes im wesent­ lichen zusammenfallen.

9. Kraftsensor bzw. Bezugsfrequenzgeber nach einem der vorstehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Halter (12 bzw. 14) mit zwei zueinander parallelen Ausnehmungen (13 bzw. 15) versehen ist, welche ein Biegegelenk bilden.

10. Kraftsensor bzw. Bezugsfrequenzgeber nach einem der vorstehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Schwingglied, die Supporte (18, 20), die Isolatormassen (30, 32, 34, 36), die Isolatorfedern (22, 26) und die Halter (12, 14) aus piezoelektrischem Material, vorzugsweise Quarz, oder Metall bestehen.