DE3701470A1

DE3701470A1 - Verfahren zur herstellung eines wandlerelementes fuer elektroakustische wandler

Info

Publication number: DE3701470A1
Application number: DE19873701470
Authority: DE
Inventors: Heinrich Kallhardt; Alfred Dr Murr; Konrad Dr Walliser
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1987-01-20
Filing date: 1987-01-20
Publication date: 1988-07-28

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines plattenförmigen Wandlerelementes für elektroakustische Wand ler, das aus zumindest einem Träger und einer auf ihm aufge brachten beidseitig mit Elektroden versehenen piezoelektri schen Schicht besteht, wobei die elektrischen Anschlüsse von den Elektroden nach außen geführt sind.

Derartige Wandlerelemente sind bekannt. Sie bestehen aus einem Träger aus Aluminium oder dergleichen, auf dem eine mit Elektroden versehene piezokeramische Schicht aufgeklebt ist. Die elektrische Kontaktierung zu den Elektroden kann über Druckkontaktverbindungen erfolgen, wobei der Träger zumeist aus elektrisch leitfähigem Material besteht. Es ist weiterhin üb lich, die elektrische Verbindung mittels elastischer Bändchen herzustellen, wobei eines der Bändchen zwischen dem Träger und der dem Träger zugewandten Elektroden eingelegt und das andere Bändchen an der dem Träger abgewandten Elektrode angelötet wird. Diese Arten der Kontaktierung beeinflussen entweder das Schwingungsverhalten (Druckkontaktierung) oder sie erfordern komplizierte Fertigungsautomaten, so daß die Herstellung ent sprechend teuer ist.

Es ist Aufgabe der Erfindung, ein Ver fahren zur kostengünstigeren Herstellung derartiger Wandler elemente anzugeben.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß zu mindest auf einer Seite des Trägers zunächst mit Ausnahme einer kleinen im Randbereich des Trägers befindlichen später den An schluß zu einer zweiten Elektrode aufnehmenden Aussparung eine eine erste Elektrode bildende elektrisch leitfähige Schicht aufgedruckt wird.

Dadurch entfallen sowohl Druckkontaktverbindungen als auch die Kontaktierung mittels Bändchen. Alle Verfahrensschritte können bandmäßig in einem Fertigungsautomaten vorgenommen werden, so daß die Herstellung derartiger Wandlerelemente nach der Erfin dung entsprechend kostengünstig ist.

Weitere zweckmäßige Ausgestaltungen nach der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Im folgenden sei die Erfindung anhand von vier Figuren näher erläutert.

Es zeigen

Fig. 1 einen Querschnitt durch ein Wandlerelement,

Fig. 2 eine Draufsicht auf das Wandlerelement nach Fig. 1

Fig. 3 einen Querschnitt durch ein weiteres Wandlerelement,

Fig. 4 eine Draufsicht auf das Wandlerelement nach Fig. 3.

Das in den Fig. 1 und 2 dargestellte Wandlerelement besteht zunächst aus einem durch eine Folie gebildeten Träger 1, auf dem in einem ersten Verfahrensschritt mit Ausnahme eines kleinen Randbereiches eine erste elektrisch leitfähige Schicht 2 aufgedruckt wird. Diese Schicht bildet eine erste Elektrode der auf ihr später aufgebrachten piezoelektrische Eigenschaften aufweisenden Schicht. Auf der elektrisch leitfähigen Schicht 2 wird anschließend in einem kleinen Randbereich eine erste Kon taktschicht 3 wie Graphit aufgedruckt. Anschließend wird auf der elektrisch leitfähigen Schicht 2 und einem kleinen Bereich des Trägers 1 eine zumindest später piezoelektrische Eigen schaften aufweisende Schicht 4 aufgedruckt. Auf dieser Schicht 4 wird in einem weiteren Verfahrensschritt eine zweite elektrisch leitfähige Schicht 5 aufgedruckt, die außerdem in einer Aussparung 6 unmittelbaren Kontakt zum Träger 1 hat. Über der in der Aussparung 6 befindlichen Schicht 5 wird an schließend eine zweite Kontaktschicht 7 aufgedruckt. Mit Aus nahme der Anschlußbereiche der ersten und zweiten Kontakt schicht wird das Wandlerelement in einem letzten Verfahrens schritt durch eine Isolierschicht 8 im Druckverfahren ver schlossen.

Das Wandlerelement nach den Fig. 3 und 4 weist dieselben Be standteile wie das Wandlerelement nach den Fig. 1 und 2 auf. Jedoch sind hier die Kontaktschichten 3 und 7 als Kontakt bahnen 9, 10 ausgebildet.

Claims

1. Verfahren zur Herstellung eines plattenförmigen Wandlerele mentes für elektroakustische Wandler, das aus zumindest einem Träger und einer auf ihm aufgebrachten beidseitig mit Elektro den versehenen piezoelektrischen Schicht besteht, wobei die elektrischen Anschlüsse von den Elektroden nach außen geführt sind, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest auf einer Seite des Trägers (1) zunächst mit Ausnahme einer kleinen im Randbereich des Trägers befindlichen später den Anschluß zu einer zweiten Elektrode aufnehmenden Ausspa rung (6) eine eine erste Elektrode bildende elektrisch leit fähige Schicht (2) aufgedruckt wird
daß anschließend zumindest auf einen später einen ersten elektrischen Anschluß bildenden kleinen Randbereich der ersten Elektrode eine erste Kontaktschicht (3, 9) aufgedruckt wird
daß weiterhin auf der so gedruckten Anordnung mit Ausnahme eines Teils des kleinen Randbereiches eine zumindest später piezoelektrische Eigenschaften aufweisende Schicht (4) aufge druckt wird
daß anschließend auf dieser Schicht mit Ausnahme des später einen ersten elektrischen Anschluß bildenden kleinen Randbe reich eine weitere die zweite Elektrode bildende Schicht (5) aufgedruckt wird, die auch die Aussparung überdeckt
daß schließlich zumindest im Bereich der Aussparung eine zweite Kontaktschicht (7, 10) aufgedruckt wird
und daß abschließend je nach den Erfordernissen eine Isolier schicht (8) mit Ausnahme der beiden Anschlußstellen (3, 7 bzw. 9, 10) auf diese Anordnung aufgedruckt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß die elektrisch leitfähigen Schichten (2, 5) aus Silber bestehen.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß die Kontaktschicht (3, 7 bzw. 9, 10) aus Graphit bestehen.

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß die später piezoelektrische Eigen schaften aufweisende Schicht zunächst in Form einer Paste auf gedruckt wird und daß nach Beendigung der Druckvorgänge das bedruckte Wandlerelement einem Sintervorgang unterzogen wird.