DE3645132C2 - - Google Patents

Info

Publication number
DE3645132C2
DE3645132C2 DE3645132A DE3645132A DE3645132C2 DE 3645132 C2 DE3645132 C2 DE 3645132C2 DE 3645132 A DE3645132 A DE 3645132A DE 3645132 A DE3645132 A DE 3645132A DE 3645132 C2 DE3645132 C2 DE 3645132C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
light
light beam
basic
area
value
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE3645132A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Keishin Higashiyamato Tokio/Tokyo Jp Tsuchiya
Kitabayashi Machida Tokio/Tokyo Jp Junichi
Toshio Katsushika Tokio/Tokyo Jp Kanoh
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP60071820A external-priority patent/JPS61230004A/ja
Priority claimed from JP8604285A external-priority patent/JPS61243332A/ja
Priority claimed from JP60094977A external-priority patent/JPS61253405A/ja
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Application granted granted Critical
Publication of DE3645132C2 publication Critical patent/DE3645132C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
    • G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods
    • G01J9/0215—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods by shearing interferometric methods

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
DE3645132A 1985-04-04 1986-04-04 Expired - Fee Related DE3645132C2 ( )

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60071820A JPS61230004A (ja) 1985-04-04 1985-04-04 シアリング干渉測定方式におけるシア原点検出方法
JP8604285A JPS61243332A (ja) 1985-04-22 1985-04-22 フリンジスキヤンニング干渉測定方式におけるバツクグラウンド領域識別方法
JP60094977A JPS61253405A (ja) 1985-05-02 1985-05-02 シアリング干渉測定方式におけるシア量測定方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3645132C2 true DE3645132C2 ( ) 1991-08-14

Family

ID=27300776

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3645132A Expired - Fee Related DE3645132C2 ( ) 1985-04-04 1986-04-04
DE19863611402 Granted DE3611402A1 (de) 1985-04-04 1986-04-04 Verfahren zum feststellen des ursprungs einer verdopplung und zum messen eines verdoppelungswerts in shearing-interferometer-systemen

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19863611402 Granted DE3611402A1 (de) 1985-04-04 1986-04-04 Verfahren zum feststellen des ursprungs einer verdopplung und zum messen eines verdoppelungswerts in shearing-interferometer-systemen

Country Status (2)

Country Link
US (1) US4743118A ( )
DE (2) DE3645132C2 ( )

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1992020991A1 (en) * 1991-05-14 1992-11-26 Blue Sky Research, Inc. Dynamic shearing interferometer
WO1993017311A1 (de) * 1992-02-28 1993-09-02 Klaus Pfister Beobachtung von prüflingsoberflächen nach dem speckle-shearing-verfahren
DE4206151C2 (de) * 1992-02-28 1994-10-27 Klaus Pfister Vorrichtung zur Beobachtung einer Prüflingsoberfläche für die Verformungsmessung nach dem Speckle-Shearing-Verfahren
US5327219A (en) * 1992-05-15 1994-07-05 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Method and apparatus for removing unwanted reflections from an interferometer
DE4306653A1 (de) * 1993-03-03 1994-09-08 Ettemeyer Andreas Dr Ing Meßkopf für ein kombiniertes Speckle- und Speckle-Scher-Interferometer
DE19708448A1 (de) * 1997-03-01 1998-09-03 Michael Dr Schulz Vorrichtung zur vollständigen Aufnahme von Wellenfronten auf der Basis von Scherungs-Interferometern mit freier Scherungs-Distanz und Verfahren zur Extraktion der gesuchten Wellenfrontdifferenzen
JP3441670B2 (ja) * 1999-03-19 2003-09-02 ペンタックス株式会社 レンズ検査システム及びレンズ検査装置
US6611379B2 (en) 2001-01-25 2003-08-26 Brookhaven Science Associates Llc Beam splitter and method for generating equal optical path length beams
US7030994B2 (en) * 2002-02-12 2006-04-18 Zygo Corporation Method and apparatus to measure fiber optic pickup errors in interferometry systems
US20030214898A1 (en) * 2002-04-15 2003-11-20 Tetsuya Ogata Optical pickup device and optical disk drive using the same
JP5483993B2 (ja) * 2009-10-20 2014-05-07 キヤノン株式会社 干渉計
CN103017906B (zh) * 2011-09-28 2014-10-15 中国科学院西安光学精密机械研究所 干涉仪剪切量在线检测系统
CN104111163B (zh) * 2014-07-23 2017-04-12 中国科学院上海光学精密机械研究所 凸透镜焦距的测量装置和测量方法
CN114264382A (zh) * 2020-09-16 2022-04-01 中国船舶重工集团公司第七六0研究所 一种基于共光路干涉的海洋湍流激光传输波前检测方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3829219A (en) * 1973-03-30 1974-08-13 Itek Corp Shearing interferometer
JPH0655213A (ja) * 1992-06-11 1994-03-01 Kawasaki Steel Corp 酸洗装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6055213A (ja) * 1983-09-06 1985-03-30 Ricoh Co Ltd 波面形状測定装置
JPS60130711A (ja) * 1983-12-20 1985-07-12 Ricoh Co Ltd 干渉計におけるフオ−カシング方法
US4643576A (en) * 1984-04-19 1987-02-17 Ricoh Company Ltd. Fringe scanning shearing interferometer
FR2564198B1 (fr) * 1984-05-11 1986-09-19 Onera (Off Nat Aerospatiale) Dispositif d'analyse et de correction de surfaces d'onde en temps reel
US4575248A (en) * 1984-06-18 1986-03-11 Itek Corporation Wavefront sensor employing novel D.C. shearing interferometer

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3829219A (en) * 1973-03-30 1974-08-13 Itek Corp Shearing interferometer
JPH0655213A (ja) * 1992-06-11 1994-03-01 Kawasaki Steel Corp 酸洗装置

Also Published As

Publication number Publication date
US4743118A (en) 1988-05-10
DE3611402C2 ( ) 1991-08-22
DE3611402A1 (de) 1986-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3428593C2 ( )
DE602004008111T2 (de) Optisches messsystem
DE3645132C2 ( )
DE69033111T2 (de) Apparat und Verfahren für die Ausmessung von dünnen mehrschichtigen Lagen
DE69416838T2 (de) Vorrichtung zur spektralanalyse unter einer mehrzahl von winkeln
EP0924493B1 (de) Durchmessermessung mit Beugungssäumen sowie elektronische Verschmutzungskorrektur
DE3874125T2 (de) Uv-abtastsystem fuer zentrifuge.
DE69225858T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Lageabweichungen von mehreren auf einem Objekt aufgebrachten Beugungsgittern
DE4031637A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum messen einer verschiebung zwischen zwei objekten sowie eines spaltabstands zwischen den beiden objekten
EP0561015A1 (de) Interferometrische Phasenmessung
WO1984004810A1 (en) Method and device for the contact-free measurement of the actual position and/or the profile of rough surfaces
DE102019103814B3 (de) Vorrichtung zum optischen Messen einer Oberfläche
EP0075032A1 (de) Verfahren zur interferometrischen Oberflächentopographie
DE69002085T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Geschwindigkeit einer Flüssigkeit.
DE69626395T2 (de) Abbildung und charakterisierung des fokalen feldes einer linse durch räumliche autokorrelation
EP0491749B1 (de) Vorrichtung zur absoluten zweidimensionalen positionsmessung
EP0112399B1 (de) Interferometrisches Messverfahren für Oberflächen
DE3233636C2 (de) Verfahren zur Bestimmung des Scharfeinstellzustandes einer Kamerea
DE3876435T2 (de) Wellenlaengenunabhaengiges interferometer zur behandlung optischer signale.
DE69105893T2 (de) Vorrichtung zur Messung der Polarisation.
DE68918006T2 (de) Deformationsmessverfahren und Vorrichtung mit Photoelementdetektoren.
DE3789901T2 (de) Entfernungsmessung mit hilfe von diffraktion.
DE102019001498A1 (de) Vorrichtung zur optischen Vermessung und Abbildung eines Messobjekts sowie Verfahren
EP3811025A1 (de) Vorrichtung zur chromatisch konfokalen optischen vermessung und konfokalen abbildung eines messobjekts sowie verfahren
DE69617354T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung des Abstands zwischen optischen Fasern und eine Faserspleissmaschine mit einer solchen Vorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
Q172 Divided out of (supplement):

Ref country code: DE

Ref document number: 3611402

8110 Request for examination paragraph 44
AC Divided out of

Ref country code: DE

Ref document number: 3611402

Format of ref document f/p: P

D2 Grant after examination
AC Divided out of

Ref country code: DE

Ref document number: 3611402

Format of ref document f/p: P

8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee