DE4306653A1

DE4306653A1 - Meßkopf für ein kombiniertes Speckle- und Speckle-Scher-Interferometer

Info

Publication number: DE4306653A1
Application number: DE19934306653
Authority: DE
Inventors: Michel Honlet
Original assignee: Ettemeyer Andreas Dr-Ing 7910 Neu-Ulm De
Current assignee: Ettemeyer Andreas Dr-Ing 7910 Neu-Ulm De
Priority date: 1993-03-03
Filing date: 1993-03-03
Publication date: 1994-09-08

Description

Die Erfindung bezieht sich auf Speckle-Interferometer und auf Speckle- Scher-Interferometer oder Speckle-Shearing-Interferometer. Insbesondere richtet sich die Erfindung auf einen Meßkopf, dessen konstruktives Grundprinzip es erlaubt, sowohl als Speckle-Interferometer zur berührungslosen Messung von reellen Verformungen als auch als Speckle-Scher- Interferometer zur berührungslosen Messung räumlicher Differenzquotienten von Verformungen eines Objekts eingesetzt zu werden, und das nicht nur einzeln, sondern auf Wunsch umschaltbar oder sogar absolut gleichzeitig.

Das Meßprinzip dieser Interferometer beruht auf dem interferometrischen Vergleich versetzter Speckle-Bilder des Untersuchdungsobjekts (Speckle- Scher-Interferometer) beziehungsweise mit Referenzlicht überlagerter Speckle-Bilder des Untersuchungsobjekts (Speckle-Interferometer). Hierzu wird das Objekt mit aufgeweitetem Laserlicht beleuchtet und das reflektierte oder transmittierte Licht über die Aufnahmeoptik gesammelt.

Werden nun über weitere Optiken zwei zueinander versetzte Bilder des Untersuchungsobjekts erzeugt, und diese auf einem lichtempfindlichen Medium wie einem Film oder einem elektronischen Bildsensor (CCD-Array) abgebildet, so arbeitet diese Anordnung als Speckle-Scher-Interferometer. Wird hingegen ein mit der Objektwelle kohärentes Referenzlicht in den Objektlichtstrahlengang dem lichtempfindlichen Medium zugeführt, wo es vorzugsweise divergent auftrifft und sich mit den dort ebenfalls vorhandenen subjektiven Speckles überlagert, so arbeitet diese Anordnung als Speckle-Interferometer.

Als Stand der Technik gelten alle bisher angebotenen Meßköpfe mit einer Aufnahmeoptik, die prinzipiell nur als Speckle-Scher-Interferometer oder als Speckle-Interferometer konstruiert sind. Eine Umschaltung zwischen den Verfahren ist nur durch das Hinzufügen oder Entfernen weiterer optischer Komponenten möglich. Dies bedarf zusätzlichen mechanischen Aufwands und kostet Zeit. Die meisten Systeme sind Umsetzungen oder Varianten der in der Literatur beschriebenen Aufbaumöglichkeiten eines Speckle- oder Speckle-Scher-Interferometers.

Beide Verfahren bieten ihre individuelle Vor- und Nachteile, die in folgender Tabelle kurz erwähnt werden:

Speckle-Scher-Interferometer

Vorteile:

- Eliminierung von Ganzkörperbewegungen während der Messung,
- mittels Betrag und Richtung des Bildversatzes einstellbare Meßempfindlichkeit.

Nachteile:

- Durch die Scherung bedingte Flächenvergrößerung der Verformungsdarstellung,
- schwierigere Interpretation der Verformung weil Gradient davon,
- durch die Scherung bedingte Verkleinerung von abgegrenzten Meßflächen.

Speckle-Interferometer

Vorteile:

- Unverfälschte Darstellung der Verformung, dadurch leicht interpretierbar,
- prinzipiell feste Meßempfindlichkeit in Aufnahmerichtung,
- leicht quantifizierbare Messung,
- kein Flächenverlust bei abgegrenzten Meßflächen.

Nachteile:

- In der Darstellung werden Verformungen durch Ganzkörperbewegungen überlagert.

Aufgabe der Erfindung war es deshalb, eine optische Grundanordnung zu entwerfen, die bei hoher optischer Qualität folgende Eigenschaften aufweist:

- Modular ausbaubar zum Speckle-Interferometer für die Messung verschiedenster Richtungskomponenten,
- modular ausbaubar zum Speckle-Scher-Interferometer mit festem oder variablem Scherbetrag sowie fester oder variabler Scherrichtung,
- umschaltbarer Betrieb bei Vorhandensein beider Interferometer,
- erweiterbar für den simultanen Betrieb beider Interferometer,
- erweiterbar für den umschaltbaren oder simultanen Betrieb weiterer Applikationen wie beispielsweise On-Line-Beobachtung, Positionierung, Moir´- Techniken, Schlieren sowie weiterer Interferometer,
- keine gegenseitige Beeinflussung beider Interferometer oder sonstiger Applikationen,
- nur ein einziges Aufnahmeobjektiv sowohl für den getrennten als auch für den simultanen Betrieb beider Interferometer; dies soll auch für weitere Applikationen gelten,
- minimaler Verlust an Bildqualität, um eine eindeutige Zuordnung der Meßergebnisse zum Objekt zu erzielen,
- Abstimmung auf die Objektgröße durch die Möglichkeit des Einsatzes von Wechselobjektiven,
- Möglichkeit zum Einbau mindestens einer integrierten Laser-Lichtquelle.

Die Lösung der Aufgabe gelingt bei Meßköpfen so wie in der Einleitung definiert dadurch, daß der Kern dieses kombinierten Interferometers grundsätzlich aus dem im Patentantrag Nr. P 41 29 168.9/52 (Erfinder: Honlet) ausführlich beschriebenen und dort in Fig. 2 schematisch dargestelltem Zwischenbildübertragungssystem besteht.

Dieses Zwischenbildübertragungssystem besteht vorzugsweise aus mindestens zwei optischen Abbildungselementen - nachfolgend auch Abbildungs- oder optische Systeme genannt -, wobei das erste Element so angeordnet ist, daß der objektseitige Fokuspunkt in der Bildebene des Aufnahmeobjektivs liegt, und wobei das zweite Element so angeordnet ist, daß der mediumseitige Fokuspunkt in der Ebene des photoempfindlichen Mediums liegt. Eine solche Anordnung hat den Vorteil, daß der Strahlengang im Raum zwischen den beiden Elementen sich nur aus Bündeln parallelter oder fast paralleler Strahlen zusammensetzt. Dadurch kann ein- oder mehrfach ein Anteil, vorzugsweise von der ganzen Querschnittsfläche, herausgespiegelt werden. Wird hinter jedem herausgespiegelten Anteil dieses Strahlenbündels ein weiteres Abbildungssystem plaziert, so kann zwar mit Helligkeits-, aber ohne optische Qualitätseinbußen die gesamte Zwischenbild- und damit die gesamte Objektinformation absolut gleichzeitig genutzt werden. Dies ermöglicht beispielsweise den Aufbau eines weiteren Interferometers (wie Speckle, Speckle-Shearing oder Moir´) oder kann auch nur zur Beobachtung, Positionierung oder Helligkeitsregelung benutzt werden.

Umgekehrt können in diesem Raum zwischen zwei Elementen beliebige Lichtstrahlen bzw. Lichtbündel eingespiegelt werden, ohne daß sie den weiteren Strahlenverlauf der vom Objekt kommenden Lichtwellen beeinflussen. Beispiel hierfür ist die Vorrichtung zur Einkopplung des Referenzlichts.

Die genaue Funktionsweise ist im folgenden beschrieben:

Die vom Aufnahmeobjekt kommenden, zum reellen Bildaufbau in der Zwischenbildebene beitragenden Strahlen dringen in ihrer Verlängerung als divergentes Strahlenbündel in das erste optische Element ein. Da die Zwischenbildebene vorzugsweise im Brennraum des ersten Elements liegt, wird das Zwischenbild ins Unendliche abgebildet. Sind die beiden optischen Elemente Objektive, so ist das Erste in Retrostellung montiert; beide Objektive sind auf unendlich eingestellt. Das nun entstandene Bündel paralleler Strahlen, das in seiner Querschnittsfläche an jeder Stelle alle Bildinformationen enthält, gelangt nun in das zweite optischen Element. Dieses empfängt also die Bildinformationen aus der unendlichen Ferne und fokussiert sie in seiner Brennebene. Diese Brennebene ist gleichzeitig Bildfläche des photosensitiven Mediums. Besteht das Zwischenbild-Übertragungsystem aus zwei optischen Elementen gleicher Brennweite, so wird das ursprüngliche, vom Aufnahmeobjektiv gelieferte Bild im Maßstab unverändert auf die photosensitive Fläche übertragen. Wird das Zwischenbildübertragungssystem mit ungleichen Brennweiten aufgebaut, so bringt das Veränderungen im Abbildungsmaßstab mit sich. Mit einer solchen Anordnung kann ein von einem beliebigen Wechselobjektiv stammendes, reelles Bild über eine gewisse Strecke als Bündel paralleler Strahlen auf die photosensitive Fläche übertragen werden.

Werden in dieser Strecke, nachfolgend Raum R genannt, optische Komponenten plaziert, welche den gesamten Querschnitt des Strahlenbündels herausspiegeln, so hat dies neben einem eventuellen Versatz sowie einer Intensitätsabnahme keinen Einfluß auf die weitergeleitete Bildinformation des Zwischenbilds. Somit können auch mehr als eine dieser Vorrichtungen hineingestellt werden. Das Gleiche betrifft optische Komponenten, welche dazu dienen, externe Lichtstrahlen der gleichen, kohärenten oder einer fremden Lichtquelle in den Strahlengang hineinzuleiten oder die für die Shearografie notwendige Bildverdopplung zu erzeugen.

In Fig. 1 ist die Grundanordnung des Zwischenbildübertragungssystems erläutert.

Hier befindet sich hinter der Aufnahmeoptik ein Zwischenbildübertragungssystem ZBUS bestehend aus zwei abbildenden Elementen AE1 und AE2. In einer Objektebene O befindet sich ein zu abbildendes Objekt, dessen Endpunkt beispielsweise durch den Punkt P gekennzeichnet ist. Dieses Objekt wird nun durch die Aufnahmeoptik AO in dessen Brennebene, die zugleich die Zwischenbildebene ZBE ist, abgebildet. Die vom Punkt P ausgehenden Mittel- und Parallelstrahlen vereinigen sich in der Zwischenbildebene im Punkt P′. Der Punkt des Objektivs, der sich auf der optischen Achse des Systems befindet, wird ebenfalls auf der optischen Achse in der Zwischenbildebene abgebildet. Da die Zwischenbildebene ZBE zugleich die objektseitige Brennebene des ersten abbildenden Elementes AE1 ist, werden die Verlängerungen der zum Bildpunktaufbau in der Zwischenbildebene ZBE beitragenden Strahlen durch das abbildende Element AE1 in parallele Strahlenbündel umgewandelt. Der Querschnitt oder Durchmesser dieser Bündel wird durch die Pupillen oder numerischen Aperturen der Aufnahmeoptik AO sowie der verwendeten optischen Abbildungssysteme bestimmt. Diese parallelen Bündel treffen auf das zweite abbildende Element AE2, welches die aus dem scheinbar Unendlichen kommenden Strahlenbündel wiederum in dessen Brennebene, welche nun die Bildebene B darstellt, fokussiert. Hier entsteht auch der zweite Abbildungspunkt P′′ des vom Objekt ausgehenden Punktes P. Zwischen den beiden abbildenden Elementen AE1 und AE2 befindet sich - gestrichelt dargestellt - der Raum R. In diesem Raum R sind die Lichtstrahlen, welche insgesamt die Informationen vom Punkt P darstellen, über den gesamten Querschnitt des Bündels paralleler oder nahezu paralleler Strahlen vorhanden, dies natürlich bei diffuser Emission oder Remission der Lichtstrahlen im Punkt P. Das ist der Bereich, wo beliebige optische Vorrichtungen, vorzugsweise zur Einkopplung von Referenzlicht, welches mit dem von der Aufnahmeoptik aufgenommenen Lichtstrahlen kohärent ist, oder Vorrichtungen, welche zur Erzeugung zweier versetzter Bilder dienen, eingesetzt werden können.

In Fig. 2 wird ein Zwischenbildübertragungssystem ZBUS alleine dargestellt. Hier wird beispielsweise als Vorrichtung zur Bildverdopplung als optisches Element ein Biprisma BP eingesetzt. Damit wird ein Meßkopf mit diesem Zwischenbildübertragungssystem ZBUS zum Speckle-Scher-Interferometer. Da die Lichtstrahlen, welche vom Punkt P′ in der Zwischenbildebene ZBE stammen, über den Querschnitt verteilt sind, können zur Bildverdopplung beliebige Anteile umgelenkt, gebeugt oder gebrochen werden, vorzugsweise in einem prozentualen Verhältnis von 50% zu 50%. Da die Anteile durch das darauf folgende Abbildungssystem AE2 nicht an der gleichen Stelle in der Bildebene B vereinigt werden, entstehen hier die doppelten aber identischen Punkte P′′1 und P′′2.

Bekanntlich werden in der Shearografie zwei benachbarte Punkte vom Objekt interferometrisch miteinander verglichen. Bei der Abbildung eines Objekts sieht das in der Bildebene B aber so aus, als ob dieses Objekt doppelt und versetzt vorhanden wäre. Da die optischen Verläufe im Zwischenbildübertragungssystem ZBUS reversibel sind entstehen bei Rückverfolgung eines einzigen Punktes aus der Bildebene B zwei benachbarte Punkte in der Zwischenbildebene ZBE, folglich auch in der Ojektebene O. Somit kann die Shearografie praktiziert werden.

In Fig. 3 wird im Zwischenbildübertragungssystem ZBUS im Raum R über eine teilreflektierende und teildurchlässige Platte TE das dem fotoempfindlichen Medium dem Objektlicht kohärente Referenzlicht zugeführt. Diese Überlagerung der Lichtwellen bzw. subjektiven Speckles kann in der Bildebene B aufgenommen werden. So kann die gesamte Anordnung als Speckle-Interferometer arbeiten.

Eine weitere Möglichkeit, eine Bildverdopplung für ein Speckle-Scher- Interferometer zu erzeugen, ist in Fig. 4 dargestellt. Hier wird jeweils ein Teil des Strahlenbündels verstellt bzw. umgelenkt, womit auch ein doppeltes Bild entsteht, weil sämtliche Informationspunkte über den gesamten Querschnitt des Bündels paralleler Strahlen verteilt sind.

Zu sehen ist hier ein Zwischenbildübertragungssystem ZBUS, das ja die beiden abbildenden Elemente AE1 und AE2 enthält, und einer Vorrichtung zur Erzeugung zweier versetzter Bilder, hier ein geteilter Spiegel SP2A und SP2B. Um die Bildspiegelung zu kompensieren, ist ein weiterer Spiegel SP1 vorhanden. Der Punkt P′ in der Zwischenbildebene ZBE, welcher sich in der objektseitigen Brennebene des ersten abbildenden Elements AE1 befindet, wird bei dessen Durchlauf in ein paralleles Strahlenbündel umgewandelt. Dieses parallele Bündel trifft zuerst auf einen festen Spiegel SP1, welcher zur Kompensation der Bildspiegelung, die durch die eigentliche Vorrichtung zur Erzeugung der beiden Teilbilder, nämlich den Spiegeln SP2A und SP2B entsteht, dient. Anschließend fallen die parallelen Strahlenbündel auf den geteilten Spiegel SP2A/SP2B. Da eine Teilfläche (SP2B) gegenüber der anderen (SP2A) um einen Winkel Alpha gekippt ist, werden die zwei Teilstrahlenbündel in einem Winkel zueinander in das abbildende Element AE2 eindringen. Somit vereinigen sich nicht mehr alle Strahlen in einem Punkt P′′, sondern es entsteht gemäß dem Anteil der spiegelnden Fläche ein zweiter Bildpunkt P′′2 der Bildebene B. Der Spiegel SP2A kann mittels einem piezoelektrischen Aktor zwecks Phasenschiebung parallel zur spiegelnden Fläche verschoben werden.

In Fig. 5 ist dargestellt, wie sich der Raum R für einen gleichzeitigen Betrieb beider Interferometertypen nutzen läßt. Dazu wird ein Teil, vorzugsweise etwa die Hälfe der Gesamtintensität mit einem strahlteilendem Element TE herausgekoppelt. Im Verlauf des normalen Strahlengangs des Zwischenbildelementes wird nun das Referenzlicht RE eingekoppelt, womit in Kombination mit dem hinter dem zweiten Abbildungselement liegenden fotoempfindlichen Medium das Speckle-Interferometer entsteht. In der Bildebene B1 entsteht der mit dem Referenzlicht überlagerte Bildpunkt P′′A. Wird nun hinter dem ausgekoppelten Anteil ein weiteres Abbildungssystem AE3 mit einem dahinterliegenden fotoempfindlichen Medium angebracht und eine bildverdoppelnde Vorrichtung hinzugefügt, so entsteht hier ein Speckle-Scher-Interferometer. In der Bildebene B2 entstehen die verdoppelten Bildpunkte P′′B1 und P′′B2. Zur Kompensation der Spiegelumkehrung wurde hier ein weiterer Spiegel SP verwendet. Beide Interferometer können gleichzeitig oder unabhängig voneinander verwendet werden, nehmen aber immer denselben Objektpunkt auf.

Fig. 6 zeigt auf Basis von Fig. 5 wie sich dieses System beliebig weiter ausbauen läßt, um beispielsweise eine On-line-Beobachtung des Punktes P′ in der Bildebene mit P′′B zu ermöglichen. Ebenso läßt sich beispielsweise durch Anbringen eines Fotoelementes FZ im weiteren Verlauf des Strahlengangs die integrale Helligkeit des Objekts messen, was zu Regelzwecken von Intensitätseinstellungen verwendet werden kann. TE1 bis TE4 sind strahlteilende Elemente.

Claims

1. Meßkopf für ein kombiniertes Speckle- und Speckle-Scher- Interferometer, dessen konstruktives und auf weitere Applikationen erweiterbares Grundprinzip es erlaubt, sowohl als Speckle-Interferometer und/oder als Speckle-Scher-Interferometer zu arbeiten, dadurch gekennzeichnet, daß ein Zwischenbildübertragungssystem mit mindestens zwei optischen Abbildungssystemen zwischen der Aufnahmeoptik und dem photosensitiven Medium vorhanden ist, in dem optische Elemente wie eine oder mehrere Vorrichtungen zur Einkopplung weiterer Strahlenbündel oder eine oder mehrere Vorrichtungen zur Erzeugung zweier versetzter Bilder oder eine oder mehrere Vorrichtungen zur Auskopplung von Anteilen oder des gesamten Strahlenbündels einzeln oder zusammen plaziert werden können.

2. Meßkopf nach Anspruch 1, in dem Befestigungsmittel vorhanden sind, um optische Komponenten zu plazieren, welche als Vorrichtung zur Ein- oder Auskopplung von Strahlenbündeln oder Teilen davon, als Vorrichtung zur Erzeugung zweier versetzter Bilder oder als Teile dieser Vorrichtung eingesetzt werden.

3. Meßkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß, wenn sich sowohl eine oder mehrere Vorrichtungen zur Erzeugung zweier versetzter Bilder als auch eine oder mehrere Vorrichtungen zur Einkopplung des Referenzlichts gleichzeitig im Strahlengang des Zwischenbildübertragungssystems befindet, die sowohl für das Speckle-Scher-Interferometer als auch für das Speckle-Interferometer resultierende Bildinformation gleichzeitig gewonnen werden kann.

4. Meßkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß, wenn sich sowohl eine oder mehrere Vorrichtungen zur Erzeugung zweier versetzter Bilder als auch eine oder mehrere Vorrichtungen zur Einkopplung des Referenzlichts gleichzeitig im Strahlengang des Zwischenbildübertragungssystems befindet, die sowohl für das Speckle-Scher-Interferometer als auch für das Speckle-Interferometer resultierende Bildinformation zeitlich voneinander getrennt gewonnen werden kann.

5. Meßkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß, wenn sich sowohl eine oder mehrere Vorrichtungen zur Erzeugung zweier versetzter Bilder als auch eine oder mehrere Vorrichtungen zur Einkopplung des Referenzlichts gleichzeitig im Strahlengang des Zwischenbildübertragungssystems befindet und mindestens ein photosensitives Medium vorhanden ist, der Meßkopf wahlweise als Speckle-Interferometer oder als Speckle-Scher-Interferometer verwendet werden kann.

6. Meßkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß, wenn sich sowohl eine oder mehrere Vorrichtungen zur Erzeugung zweier versetzter Bilder als auch eine oder mehrere Vorrichtungen zur Einkopplung des Referenzlichts gleichzeitig im Strahlengang des Zwischenbildübertragungssystems befindet und mehr als ein photosensitives Medium vorhanden ist, der Meßkopf gleichzeitig als Speckle-Interferometer oder als Speckle-Scher-Interferometer verwendet werden kann.

7. Meßkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß, wenn sich sowohl eine oder mehrere Vorrichtungen zur Erzeugung zweier versetzter Bilder als auch eine oder mehrere Vorrichtungen zur Einkopplung des Referenzlichts gleichzeitig im Strahlengang des Zwischenbildübertragungssystems befindet und mindestens ein photosensitives Medium vorhanden ist, der Meßkopf allein als Speckle- Interferometer verwendet werden kann.

8. Meßkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß, wenn sich sowohl eine oder mehrere Vorrichtungen zur Erzeugung zweier versetzter Bilder als auch eine oder mehrere Vorrichtungen zur Einkopplung des Referenzlichts gleichzeitig im Strahlengang des Zwischenbildübertragungssystems befindet und mindestens ein photosensitives Medium vorhanden ist, der Meßkopf allein als Speckle- Scher-Interferometer verwendet werden kann.

9. Meßkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich nur eine Vorrichtung zur Einkopplung des Referenzlichts im Strahlengang des Zwischenbildübertragungssystems befindet.

10. Meßkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich nur eine Vorrichtung zur Erzeugung zweier versetzter Bilder im Strahlengang des Zwischenbildübertragungssystems befindet.

11. Meßkopf nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß sich im Strahlengang des Zwischenbildübertragungssystems mindestens eine weitere Vorrichtung zur Auskopplung oder zur Umlenkung vom Strahlenbündel oder Teilen davon oder zur Einkopplung von Lichtstrahlen anderer Wellenlängen befindet.

12. Meßkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß sich im Strahlengang des Zwischenbildübertragungssystems mindestens eine weitere Vorrichtung zur Auskopplung oder zur Umlenkung vom Strahlenbündel oder Teilen davon oder zur Einkopplung von Lichtstrahlen anderer Wellenlängen befindet.

13. Meßkopf nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß sich im Strahlengang des Zwischenbildübertragungssystems mindestens eine weitere Vorrichtung zur Auskopplung oder zur Umlenkung vom Strahlenbündel oder Teilen davon oder zur Einkopplung von Lichtstrahlen anderer Wellenlängen befindet.

14. Meßkopf nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß sich im Strahlengang des Zwischenbildübertragungssystems mindestens eine weitere Vorrichtung zur Auskopplung oder zur Umlenkung vom Strahlenbündel oder Teilen davon oder zur Einkopplung von Lichtstrahlen anderer Wellenlängen befindet.

15. Meßkopf nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß sich im Strahlengang des Zwischenbildübertragungssystems mindestens eine weitere Vorrichtung zur Auskopplung oder zur Umlenkung vom Strahlenbündel oder Teilen davon oder zur Einkopplung von Lichtstrahlen anderer Wellenlängen befindet.

16. Meßkopf nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß sich im Strahlengang des Zwischenbildübertragungssystems mindestens eine weitere Vorrichtung zur Auskopplung oder zur Umlenkung vom Strahlenbündel oder Teilen davon oder zur Einkopplung von Lichtstrahlen anderer Wellenlängen befindet.

17. Meßkopf nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß sich im Strahlengang des Zwischenbildübertragungssystems mindestens eine weitere Vorrichtung zur Auskopplung oder zur Umlenkung vom Strahlenbündel oder Teilen davon oder zur Einkopplung von Lichtstrahlen anderer Wellenlängen befindet.

18. Meßkopf nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß sich im Strahlengang des Zwischenbildübertragungssystems mindestens eine weitere Vorrichtung zur Auskopplung oder zur Umlenkung vom Strahlenbündel oder Teilen davon oder zur Einkopplung von Lichtstrahlen anderer Wellenlängen befindet.

19. Meßkopf nach Anspruch 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß er nur eine Aufnahmeoptik besitzt.

20. Meßkopf nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufnahmeoptik ein Wechselobjektiv ist und auf einer Wechselobjektivhalterung befestigt ist.

21. Meßkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßkopf mindestens einen Diodenlaser aufweist.

22. Meßkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßkopf Einrichtungen zur Einkopplung eines externen Laserstrahls über Lichtwellenleiter aufweist.

23. Meßkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung zur Erzeugung der zwei versetzten Bilder ein optisches System oder eine optische Komponente ist, welches einen Teiel der Teilstrahlen um einen vorbestimmten Winkel ablenkt.

24. Meßkopf nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung zur Erzeugung zweier versetzter Bilder zwischen den beiden Abbildungselementen aus mindestens zwei Spiegeln besteht, die verschiedene Teilstrahlen unabhängig voneinander wieder auf das zweite Abbildungselement (-system) lenken.

25. Meßkopf nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß eine Kippvorrichtung zur Verkippung mindestens eines Spiegels um mindestens eine Achse vorhanden ist, so daß ein vorbestimmter Versatz der beiden Bilder auf dem photosensitiven Medium erzielbar ist.

26. Meßkopf nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß eine Verschiebevorrichtung zur Verschiebung mindestens eines Spiegels in einer etwa zur Spiegelfläche senkrecht stehenden Richtung vorhanden ist, so daß zwischen den beiden versetzten Bildern eine vorbestimmte Phasenverschiebung einstellbar ist.

27. Meßkopf nach Anspruch 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß durch Veränderung der Weglänge und damit der Phasenlage von mindestens einem Referenzlicht eine vorbestimmte Phasenverschiebung zum entsprechenden, kohärenten Objektivlicht einstellbar ist.

28. Meßkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Teil des Strahlengangs im Zwischenbildübertragungssystem mittels spiegelnden Flächen gefaltet ist, um minimalsten mechanischen Aufwand bei allen Verstell- und Einsatzmöglichkeiten zu gewährleisten.