DE3642798A1 - Mikroskop - Google Patents

Description

Die Erfindung liegt auf dem Gebiet von Mikroskopen. Sie befaßt sich insbesondere mit Mikroskopen, in denen große und schwere Mikroskoptische Verwendung finden, wie sie beispielsweise in der Halbleitertechnik zunehmend zum Einsatz kommen, und bei denen die Anforderungen an die Vergrößerung sowie an die Refraktionsfreiheit und Stabilität des Mikroskoptisches immer größer werden.

Hierbei hat sich gezeigt, daß die auch heute noch am weitesten verbreitete Vertikalführung des Objekttisches an dem eine Grundplatte und ein Querhaupt des Stativs verbindenden Vertikalbereich des Stativs zu Schwierigkeiten führt. Aufgrund des großen Abstands der Vertikalführung des Objekttisches von der optischen Achse, d. h. des vom Objekt zum Objektiv laufenden Strahlengangs, kommt es zu Schwingungen und Instabilitäten in der Vertikalführung und im Objekttisch selbst, und es kann zu Verbiegungen des letzteren und auch des Stativs kommen, die auch mit Abwandlungen dieser herkömmlichen Bauweise nicht zu beheben sind.

Die US-PS 42 99 440 beschreibt ein Mikroskop mit einem C-förmigen Stativ, das eine Grundplatte, ein Querhaupt und einen diese verbindenden Vertikalbereich aufweist. Bei diesem Mikroskop ist ein Tischträger von einer frei vor dem Vertikalbereich des Stativs stehenden Vertikalführung getragen, wobei die Führung und die Antriebsmittel für die Vertikalverstellung in dieser Einheit untergebracht sind. Der auf dem Tischträger angebrachte große, als Kreuztisch ausgebildete Objekttisch, neigt jedoch noch ebenfalls zu Verbiegungen und Schwingungen, insbesondere dann, wenn der Kreuztisch eine erhebliche Ausdehnung und ein entsprechend großes Gewicht aufweist. Wenn der Kreuztisch in Richtung auf den Betrachter weit ausgefahren ist, kommt es auch zu einer Verbiegung der Tischführung nach unten, die bei dieser Ausgestaltung des Mikroskops zu einer starken Defokussierung führt, nachdem durch das Gewicht des Tisches nicht auch das Stativ selbst und damit auch das das Objektiv tragende Querhaupt abgebogen wird, was zumindest in gewissem Umfange einer Defokussierung entgegenwirkt.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Mikroskop zu schaffen, bei dem die Vertikalführung des Objekttisches eine erhöhte Vibrationsfreiheit und Stabilität aufweist.

Die Erfindung schlägt zur Lösung dieser Aufgabe ein Mikroskop vor, mit einem Stativ, das eine Grundplatte, ein Querhaupt und einen diese verbindenden Vertikalbereich aufweist, mit einem Objekttisch, der an frei vor dem Vertikalbereich stehenden Führungsmitteln in vertikaler Richtung verschiebbar gelagert ist, wobei die Führungsmittel versetzt zu der optischen Achse des Mikroskops angebracht sind, sowie mit Antriebsmitteln zur Vertikalverschiebung des Objekttisches, die zumindest eine unabhängige, von den Führungsmitteln beabstandete Abstützung des Objekttisches bilden. Unter der Bezeichnung Objekttisch wird im Rahmen dieser Anmeldung jede im wesentlichen horizontale, zur Aufnahme eines zu untersuchenden Objektes direkt oder indirekt dienende Vorrichtung verstanden, die im einfachen Falle der eigentliche Objekttisch selbst sein kann, und bei aufwendigeren Konstruktionen der Tischträger und ein darauf angebrachter Mikroskoptisch, der beispielsweise ein Kreuztisch mit oder ohne Motorantrieb sein kann. Mit der Bezeichnung Grundplatte wird jeder nicht unbedingt plat­ tenförmiger Grund- oder Basisbereich des Objektstatives ver­ standen.

Die Erfindung ermöglicht eine Mehrfachlagerung des Objekttisches, die ein Durchbiegen sowie unerwünschte Vibrationen während des Einstellvorgangs verhindert.

Die Führungsmittel für die Vertikalverschiebung und die Antriebsmittel dafür werden im Rahmen dieser Anmeldung auch als Führungsvorrichtung und Antriebsvorrichtung bezeichnet.

Als besonders zweckmäßig hat es sich erwiesen, wenn die zusätzliche, von der Antriebsvorrichtung bewirkte Abstützung des Objekttisches versetzt zur optischen Achse des Mikroskops an dem Objekttisch angreift.

Gemäß einer besonders bevorzugten Ausgestaltung des Mikroskops enthält die Führungsvorrichtung zumindest eine an ihrem unteren Ende starr bzw. ortsfest gelagerte Säule, mit deren vertikal verlaufenden Führungsflächen von der Unterseite des Objekttisches herabreichende Eingriffsmittel zusammenwirken.

Gemäß einer besonders bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung, enthält die Führungseinrichtung zumindest zwei Säulen und zugehörige Eingriffsmittel, wobei zwei der Säulen und die Abstützung durch die Antriebsmittel des Vertikalvorschubs nicht in einer Ebene liegen sollen.

Vorzugsweise ist hierbei, bezogen auf den Durchtritt der optischen Achse des Mikroskops durch den Objekttisch, zumindest eine Säule auf der dem Vertikalbereich des Stativs zugekehrten und zumindest eine Säule auf der dem Vertikalbereich des Stativs abgekehrten Seite angeordnet. Entsprechend einem weiteren Aspekt der Erfindung werden zwei Säulen, bezogen auf den Durchtritt der optischen Achse des Mikroskops durch den Objekttisch, auf der dem Vertikalbereich des Stativs zugekehrten Seite angeordnet, und zwar vorzugsweise im Eckbereich des Objekttisches und im gleichen Abstand von der optischen Achse, so daß sie vorzugsweise symmetrisch zur Längsmittelebene des Objekttisches belegen sind.

Gemäß einer besonders bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung werden die vorstehend erwähnten Merkmale derart kombiniert, daß zwei Säulen und die zugehörigen Eingriffsmittel benachbart zu dem Vertikalbereich des Stativs angeordnet sind, während eine dritte Säule sowie die zugehörigen Eingriffsmittel an dem dem Betrachter zugekehrten Ende des Objekttisches, und zwar bevorzugt im Bereich von dessen Längsmittelachse, angeordnet ist. Diese Ausgestaltung erlaubt eine Steigerung der Genauigkeit um bis zu einer Zehnerpotenz gegenüber der vereinfachten Version, bei der die dritte, zwischen Betrachter und optischer Achse gelegene Säule fehlt. Die vorgenannte dritte Säule kann auch durch ein Paar von Säulen ersetzt werden, die vorzugsweise symmetrisch zur Längsmittelachse des Objekttisches unter diesem angeordnet sind, so daß dieser unter allen vier Ecken von je einer Säule und den zugehörigen Eingriffsmitteln gestützt ist.

Bei der Anordnung der Säulen und der zugehörigen Eingriffsmittel ist es wichtig, daß, wenn drei oder mehr Säulen verwendet werden, zumindest drei derselben nicht in einer Ebene liegen.

Damit die Fokussierung des Mikroskops alleine durch den Vertikaltrieb bewirkt werden kann und in der Fokussierungsstellung verschiedene Bereiche des Objekts abgetastet werden können, sofern diese in derselben Ebene liegen, empfiehlt es sich, die Säulen parallel zur optischen Achse des Mikroskops auszurichten.

Gemäß einer besonders zweckmäßigen Ausgestaltung der Erfindung wirken die vertikal verlaufenden Führungsflächen der jeweiligen Säulen und die zugehörigen Eingriffsmittel über Kugelführungen derart zusammen, so daß die Säulen und Eingriffsmittel in vertikaler Richtung gegeneinander verschiebbar sind, ohne daß ein störendes Spiel zwischen diesen Teilen verbleibt, das zu einem Kippen führen würde.

Gemäß einer besonders bevorzugten Ausgestaltung dieser Konstruktion sind die Säulen zylindrisch ausgebildet, wobei im Hinblick auf einen besonders einfachen Zusammenbau kreiszylindrischen Säulen der Vorzug gegeben wird, während die Eingriffsmittel von an der Unterseite des Objekttisches befestigten, zylindrischen Führungsteilen gebildet werden, wobei zwischen der jeweiligen Säule und dem zugehörigen zylindrischen Führungsteil ein zylindrischer Kugelkäfig angeordnet ist, dessen Kugeln auf der Außenfläche der Säule und der Innenfläche des zylindrischen Führungsteils anliegen und auf diesen abrollen. Zweckmäßigerweise ist das zylindrische Führungsteil hierzu im Inneren mit einer Laufbüchse versehen, welche die eigentliche Lauffläche für die Kugeln bildet.

Gemäß einer weiteren zweckmäßigen Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Objektivs, das dieses besonders geeignet für die Waver-Herstellung macht, enthält der Objekttisch einen Träger, an dessen Unterseite die Führungsvorrichtung und die Antriebsvorrichtung angreifen, sowie einen darauf angeordneten Kreuztisch, wobei der Träger und der Kreuztisch im Bereich der optischen Achse jeweils eine Durchtrittsöffnung aufweisen und massemäßig derart abgestimmt sind, daß der Eingriffspunkt der Abstützung an der Unterseite des Trägers in etwa mit der Schwerelinie des gesamten Objekttisches zusammenfällt, wenn dieser im Normalbetrieb die am häufigsten verwendete Stellung der Teile zueinander einnimmt.

Die Antriebsmittel für die Vertikalverstellung des Objekttisches enthalten zweckmäßigerweise eine von der Unterseite des Objekttisches im wesentlichen vertikal nach unten verlaufende Zahnstange, die mit einem Ritzel in Eingriff steht, das gegebenenfalls über ein Zahnradzwischengelege von zumindest einer Fokussierungseinrichtung betätigbar ist, wobei in der Regel eine Grobfokussierungsvorrichtung und eine Feinfokussierungsvorrichtung bekannter Bauart verwendet werden. Der Objekttisch, seine Führungsvorrichtung und seine Antriebsmittel können als separate Baueinheit ausgestaltet sein. Vorzugsweise werden diese jedoch in die Grundplatte des Mikroskops integriert oder zumindest an dieser befestigt.

Die vorstehend beschriebenen Maßnahmen ermöglichen eine schwingungsfreie und stabile Vertikalführung des Objekttisches. Diese Eigenschaften kommen besonders dann voll zum Tragen, wenn durch weitere Maßnahmen gewährleistet ist, daß auch das Objektiv des Mikroskops jeweils eine exakt definierte Lage einnimmt und nicht Schwingungen oder anderen Instabilitäten unterworfen ist. Durch die vorbeschriebene Konstruktion wird dies bereits weitgehend erreicht, da der Objekttisch und dessen Vertikalverschiebung zu keinen Verbiegungen des Vertikalbereichs und zu keiner Absenkung des Querhaupts des Stativs führen. Verbessern läßt sich jedoch dieses Ergebnis noch dadurch, daß man das Stativ in seinem mechanischen Aufbau besonders fest und verwindungssteif gestaltet und nicht durch eine Vielzahl von Öffnungen, z. B. für die Lampen, schwächt. Bei sehr straken Vergrößerun­ gen können jedoch trotz dieser Maßnahmen Schwierigkeiten dadurch auftreten, daß durch die von der Lichtquelle oder den verwendeten Lichtquellen abgestrahlte Wärme auf Teile des Stativs übergreift und dort thermisch bedingte Dimen­ sionsänderungen bewirkt. Die Erfindung wirkt diesen Pro­ blemen entgegen.

Gemäß einer besonders bevorzugten Weiterbildung der Erfindung wird die zumindest eine für die Mikroskopbeleuchtung verwendete Lampe einschließlich deren Fassung in dem Vertikalbereich des Stativs an einem im wesentlichen in vertikaler Richtung ein- und ausschiebbaren Schieber befestigt, der vorzugsweise in einem im wesentlichen vertikal verlaufenden Schacht aufgenommen ist, welcher an seinem unteren und oberen Ende mit unten bzw. oben im Vertikalbereich des Stativs angeordneten Luftzuführungs- bzw. -abführungsöffnungen in Verbindung steht. Der Schieber ermöglicht zum einen einen einfachen Lampenaustausch oder -wechsel von der Oberseite des Mikroskops, so daß dieses zu diesem Zwecke nicht verschoben werden muß. Seine Anordnung ermöglicht daneben auch die Verhinderung von Wärmestaus und trägt somit zur weiteren Stabilisierung des Mikroskops bei. Der Schacht ist zumindest an seinen Seitenbereichen und seiner Rückseite mit einer im wesentlichen durchgehenden Wandung versehen, so daß er eine entsprechende Kaminwirkung ausübt. Die Luftzuführungs- und -abführungsöffnungen sind zweckmäßigerweise an der Ober- und an der Unterseite des Mikroskops, vorzugsweise in dessen Vertikalbereich, angeordnet. Die vorgenannte Wirkung wird noch weiter verbessert, wenn der Schieber gegenüber dem Schacht und/oder wenn der Schacht gegenüber dem Stativ, insbesondere dessen Vertikalbereich, thermisch isoliert sind. Als zusätzliche Maßnahme sind in die Lichtaustrittsöffnungen des Schachtes lichtdurchlässige Wärmefilter eingesetzt. Des weiteren ist der Schieber selbst zweckmäßigerweise aus einem gut wärmeleitenden Material, wie beispielsweise Aluminium oder einem anderen Metall, gefertigt, wobei die Wärmeabfuhr durch in Längsrichtung verlaufende Rippen unterstützt wird, welche so ausgebildet sind, daß sich die Schiene bei einer Erwärmung nicht verwirft.

Mit der Erfindung wird auch ein Support geschaffen, der zur Halterung auf einer Grundplatte eines Mikroskops geeignet ist, um einen stabilen und leichtgängig justierbaren Objekttisch zu schaffen, wobei dieser eine Mehrzahl von vertikalen Führungsgliedern enthält, die sich von der Grundplatte des Mikroskops nach oben erstrecken, sowie eine Vielzahl von Folgegliedern, die sich nach unten von dem Objekttisch erstrecken, wobei jedes der Folgeglieder so ausgebildet ist, daß es gleitend in Eingriff mit einem entsprechenden von der Vielzahl der Führungsglieder tritt, sowie mit einer Fokussierungseinrichtung, die sich von der Grundplatte zu dem Objekttisch erstreckt, um letzteren in vertikaler Richtung selektiv zu verschieben. Die Mehrzahl der Führungsglieder - in einer bevorzugten Ausgestaltung drei derselben - liegt nicht in einer gemeinsamen Ebene. Ein Beleuchtungsstrahlengang führt von der Grundplatte durch den Objekttisch längs einer Achse, die parallel zu der Mehrzahl der Führungsglieder verläuft.

Weitere Einzelheiten und Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus der beiliegenden Zeichnung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels.

Fig. 1 zeigt in schematisierter Seitenansicht ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Mikroskops.

Fig. 2 zeigt in einer teilgeschnittenen Detailansicht des in Fig. 1 gezeigten Mikroskops den Objekttisch, dessen Führungsvorrichtung und dessen Verstellvorrichtung, wobei im linken Bereich der Fig. 2 der Objekttisch seine maximal hochgefahrene, im rechten Teil von Fig. 2 der Objekttisch seine maximal nach unten gefahrene Lage einnimmt.

Fig. 3 zeigt eine Draufsicht in Richtung des Pfeiles III-III von Fig. 2 auf den Objekttisch, wobei der Kreuzsupport zur Aufnahme des Objekts aus Gründen der Übersichtlichkeit weggelassen und zur besseren Erkennung des Antriebsmechanismus ein Bereich aufgebrochen ist.

Fig. 1 zeigt in Seitenansicht ein Mikroskop 10, mit einem C-förmigen Stativ 11, das aus einem im wesentlichen parallel zu einer Auflagefläche 12 verlaufender Grundplatte 13, einem Vertikalbereich 14 und einem Querhaupt 15 besteht. An der Stirnseite des Querhaupts 15 ist ein Binokulargehäuse 16 mit Okularen 17 angebracht, auf der Unterseite ein Objektivrevolver 18 mit einer Reihe von Objektiven unterschiedlicher Vergrößerung, von denen das Objektiv 19 mit der optischen Achse O-O′ des Mikroskops im dargestellten Zustand ausgerichtet ist. Im rückwärtigen Teil des Vertikalbereichs 14 belegen, befindet sich, wie durch die Strichlierung angedeutet, ein Schacht 20, der beispielsweise einen rechteckförmigen Querschnitt aufweisen kann und von der Unterseite 21 des Mikroskops bis zu der Oberseite 22 desselben reicht. Durch Lufteintrittsschlitze 23, die am rückwärtigen Ende der Unterseite 21 des Stativs 11 angebracht sind, strömt, wie durch die Pfeile K angedeutet, Kühlluft in den Schacht 20, um Lampen der in dem Schacht 20 angebrachten Beleuchtungseinrichtung zu kühlen. Die Beleuchtungseinrichtung enthält im dargestellten Fall eine Lampe LD für Durchlichtbeleuchtung und eine Lampe LA für Auflichtbeleuchtung, die beide an einem nur schematisch angedeuteten Schieber 24 befestigt sind, welcher von der Oberseite 22 des Objektivs durch eine Öffnung 25, die mittels eines Deckels 26 verschließbar ist, in den Schacht 20 einschiebbar und aus diesem herausziehbar ist. Der Deckel 26 enthält schrägliegende Lamellen, zwischen denen Öffnungen 27 gebildet sind, welche die von den Lampen LA bzw. LD erhitzte Luft, wie durch die Pfeile W angedeutet, am oberen Ende des Schachts 20 austreten läßt.

Der Schacht 20 enthält auf seiner Vorderseite Austrittsöffnungen 28, 29 für die Beleuchtungsstrahlenbündel, wobei die optische Achse für das Auflichtbeleuchtungsstrahlenbündel mit A, und das Durchlichtbeleuchtungsstrahlenbündel mit D angedeutet ist. In die Öffnungen 28, 29 sind Wärmeschutzfilter 30, 31 eingesetzt. Über ein nicht dargestelltes Prisma kann des weiteren von der Seite eine zusätzliche Beleuchtung eingespiegelt werden, wie dies beispielsweise für eine Fluoreszenzbeleuchtung durch das Bezugszeichen 32 angedeutet ist.

Der Schacht 20 ist in dem Vertikalbereich 14 fest montiert, wobei, wie durch die Bezugszeichen 33, 34 angedeutet, wärmeisolierende Bauelemente zwischengeschaltet sind, die eine Wärmeleitung von dem Schacht an das Stativ verhindern.

Auch die Halterung der Schiene 24 in dem Schacht 20 erfolgt über die Zwischenschaltung wärmeisolierender Mittel. Beispielsweise mittels der an der Rückseite des Schachts 20 gezeigten beiden Steckverbindungen 35, 36, die seitlich gegeneinander versetzt sind, damit die Schiene 24 - bei geöffnetem Deckel 26 - einfach in den Schacht 20 einschiebbar ist. Die Steckverbindungen 35, 36 können gleichzeitig die nicht dargestellte Stromzuführung zu den Lampen LA und LD bewirken, die jedoch auch auf andere Weise, beispielsweise mittels einer Stromschiene durchführbar ist.

In der optischen Achse O-O′ ist, wie aus dem rechten Teil von Fig. 1 hervorgeht, ein Objekttisch 40 angebracht, der im dargestellten Fall aus einem vertikal verschiebbaren Tischträger 41 und einem auf diesem aufgesetzten Kreuzsupport 42 besteht, wobei letzterer nicht Gegenstand der Erfindung ist.

Im Bereich der optischen Achse O-O′ verläuft durch den Tischträger 41 und dem Kreuzsupport 42 eine Bohrung, die durch das Bezugszeichen 43 angedeutet ist, und an deren unterem Ende, in ebenfalls nicht näher dargestellter Weise, ein Kondensor 44 für die Durchlichtbeleuchtung halterbar ist.

Der Objekttisch 40 ist freistehend vor dem Vertikalbereich 14 des Stativs 11 auf Säulen 45, 46 gelagert, welche die Führung für die Vertikalverschiebung des Objekttisches 40 bilden. Die unteren Enden der Säulen 45, 46 sind in der Grundplatte 13 des Stativs 11 gehaltert. Die oberen Enden der Säulen 45, 46 sind von zylindrischen Führungsteilen 48, 49 erfaßt, welche an der Unterseite des Tischträgers 41 angebracht sind, und re­ lativ zu den Säulen 45, 46 längs derselben verschiebbar sind.

Eine Antriebsvorrichtung für die Vertikalverstellung des Objekttisches 40 in Richtung des Doppelpfeiles V ist durch den zweifachen Betätigungsknopf 50 angedeutet, durch dessen Verdrehung im Uhrzeiger- oder Gegen- Uhrzeigersinn der Objekttisch 40 in bekannter Weise angehoben oder abgesenkt wird.

Im folgenden wird auf die Führungseinrichtung und die Antriebseinrichtung für die Vertikalverschiebung des Objekttisches 40 anhand der Fig. 2 und 3 näher eingegangen, welche zeigen, daß drei Säulen 45, 46 und 47 vorgesehen sind. Die beiden Säulen 45 und 47 sind hierbei symmetrisch zur Längsmittelachse des Tischträgers 41 im Bereich von dessen, dem Vertikalbereich 14 des Stativs 11 zugekehrten Ende angebracht, während die dritte Säule 46 im Bereich der Längsmittelachse benachbart zu dem freien, dem Betrachter zugekehrten Ende des Tischträgers 41 vorgesehen ist, wobei letzterer eine rechteckförmige, längliche Platte bildet. In Fig. 3 sind strichliert weitere Säulen 46′, 46′′ eingezeichnet, welche symmetrisch zur Längsmittelachse des Tischträgers 41 an dessen, dem Betrachter zugekehrten Ende belegen sind, die anstelle der Säule 46 verwendet werden könnten, was jedoch einen größeren technischen Aufwand notwendig macht. Die Säulen 45, 46, 47 sind mit ihren unteren Enden in Säulenlagern 55, 56 befestigt, was vorzugsweise dadurch geschieht, daß die Säulenlager 55, 56 warm auf die Säulen 45, 46, 47 aufgezogen werden. Anschließend werden die Säulenlager an entsprechenden, nach unten ragenden Flanschen 57, 58 der Grundplatte 13 befestigt, beispielsweise mittels lediglich angedeuteter Schraubverbindungen 59, wobei dafür Sorge zu tragen ist, daß die Säulen streng parallel zueinander und parallel zur optischen Achse O-O′ verlaufen. Kreiszylindrische Kugelkäfige 60, 61 mit einer Vielzahl von gleichmäßig über ihre gesamte Fläche verteilten, nach innen und außen vorstehenden Kugeln 62, sind auf der vertikalen Außenfläche der Säulen 45, 46, 47 derart angeordnet, daß sie mittels der Kugeln 62 auf dieser abrollen. Auf der Unterseite des Tischträgers 41 sind mittels Schrauben 68, welche den Tischträger 41 von der Oberseite her durchsetzen und mit ihren Köpfen in diese eingelassen sind, die zylindrischen Führungsstücke 48, 49 festgeschraubt, die innen mit Laufbüchsen 63 versehen sind. Die zylindrischen Führungsstücke sind derart angeordnet und ausgerichtet, daß ihre Längsmittelachsen exakt mit den Längsmittelachsen der Säulen 45, 46, 47 fluchten. Der Durchmesser der Laufbüchsen entspricht dem Durchmesser der Säulen 45, 46, 47, zusätzlich dem doppelten Durchmesser der Kugeln 62, so daß die Kugeln auf der Innenfläche der Laufbüchsen 63 abrollen. Auf diese Weise ist der Objekttisch 40 zwischen der rechts in Fig. 3 gezeigten tiefsten Lage und der links in Fig. 3 gezeigten höchsten Lage, spielfrei nach allen Richtungen geführt, in vertikaler Richtung verschiebbar. Die Hubhöhe ist im dargestellten Fall derart gewählt, daß die Oberkanten der Säulen 45, 46, 47 durch entsprechende Bohrungen 65, 66, 67 über die Oberfläche des Tischträgers 41 hinaufragen können. Die Hubhöhe ist in Fig. 2 mit H angedeutet.

Die Antriebsvorrichtung für die Vertikalverstellung des Objekttisches 40 besteht aus einer an der Unterseite des Tischträgers 41 angeschraubten Zahnstange 70, deren parallel zur optischen Achse verlaufende Zahnung 71 mit einem Ritzel 72 kämmt, das von einer auf der Oberseite der Grundplatte 13 über Lagerblöcke 73, 74 gehalterten Welle 75 drehfest gelagert ist. Auf der Welle 75 ist des weiteren ein Zahnrad 76 mit im Vergleich zum Ritzel 72 großen Durchmesser drehfest gelagert, das mit einem Einstellzahnrad 77 kämmt, welches auf einer Welle 78 drehfest gelagert ist, die ebenfalls an der Grundplatte 13 befestigt ist. Auf die Welle 78 wirkt in bekannter Weise ein Grobfokussierungsmechanismus, der von dem Drehknopf 50 a betätigbar ist, und ein Feinfokussierungsmechanismus, der durch den Drehknopf 50 b betätigbar ist. Diese Art von Fokussierungen sind bekannt, so daß auf diese nicht näher eingegangen werden muß.

In Fig. 2 und Fig. 3 erkennt man des weiteren noch einen Umlenkspiegel 80 für das Beleuchtungsstrahlenbündel B, sowie Abdeckelemente 81 und 82, die von dem Tischträger 41 bzw. der Grundplatte 13 vertikal abstehen, und die Betätigungseinrichtung sowie die Führungsvorrichtung vor Schmutz und Fremdteilen schützen, wenn der Objekttisch 40 die verschiedenen vertikalen Lagen einnimmt.

Claims (28)

1. Mikroskop mit einem Stativ, das eine Grundplatte, ein Querhaupt und einen diese verbindenden Vertikalbereich aufweist, mit einem Objekttisch, der an einer frei vor dem Vertikalbereich stehenden Führungsvorrichtung in vertikaler Richtung verschiebbar gelagert ist, wobei der Eingriff zwischen der Führungsvorrichtung und dem Objekttisch versetzt zur optischen Achse des Mikroskops erfolgt, und mit einer Antriebseinrichtung zur Vertikalverschiebung des Objekttisches, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebseinrichtung zumindest eine unabhängige, von der Führungsvorrichtung beabstandete Abstützung des Objekttisches bildet.

2. Mikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstützung versetzt zur optischen Achse des Mikroskops an dem Objekttisch angreift.

3. Mikroskop nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsvorrichtung zumindest eine an ihrem unteren Ende ortsfest gelagerte Säule enthält, mit deren vertikal verlaufender Führungsfläche von der Unterseite des Objekttisches herabreichende Eingriffsmittel zusammenwirken.

4. Mikroskop nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsvorrichtung zumindest zwei Säulen und zugehörige Eingriffsmittel enthält, und daß zwei Säulen und die Abstützung durch die Antriebseinrichtung nicht in einer Ebene liegen.

5. Mikroskop nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß, bezogen auf den Durchtritt der optischen Achse des Mikroskops durch den Objekttisch, zumindest eine Säule auf der dem Vertikalbereich des Stativs zugekehrten und zumindest eine Säule auf der dem Vertikalbereich des Stativs abgekehrten Seite angeordnet ist.

6. Mikroskop nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Säulen, bezogen auf den Durchtritt der optischen Achse des Mikroskops durch den Objekttisch, auf der dem Vertikalbereich des Stativs zugekehrten Seite angeordnet sind.

7. Mikroskop nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Säulen und die zugehörigen Eingriffsmittel benachbart zu dem Vertikalbereich des Stativs angeordnet sind, und daß eine dritte Säule sowie die zugehörigen Eingriffsmittel an dem dem Betrachter zugekehrten Ende des Objekttisches angeordnet sind.

8. Mikroskop nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß bei Verwendung von drei oder mehr Säulen zumindest drei derselben nicht in einer ge­ meinsamen Ebene liegen.

9. Mikroskop nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß unter allen vier Ecken des Objekttisches je eine Säule und zugehörige Eingriffsmittel vorgesehen sind.

10. Mikroskop nach einem der Ansprüche 3 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Säulen parallel zur optischen Achse des Mikroskops ausgerichtet sind.

11. Mikroskop nach einem der Ansprüche 3 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die vertikal verlaufende Führungsfläche der jeweiligen Säulen und die zugehörigen Eingriffsmittel über eine Kugelführung zusammenwirken.

12. Mikroskop nach einem der Ansprüche 3 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Säule zylindrisch ausgebildet ist, daß die Eingriffsmittel ein an der Unterseite des Objekttisches befestigtes, zylindrisches Führungsteil sind, und daß zwischen der Säule und dem zylindrischen Führungsteil ein zylindrischer Kugelkäfig angeordnet ist, dessen Kugeln auf der Außenfläche der Säule und der Innenfläche des zylindrischen Führungsteils anliegend abrollen.

13. Mikroskop nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das zylindrische Führungsteil im Inneren mit einer Laufbüchse versehen ist, an der die Kugeln abrollen.

14. Mikroskop nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Objekttisch einen Träger enthält, an dessen Unterseite die Führungsvorrichtung und der Antriebsmechanismus angreifen, sowie einen darauf angeordneten Kreuztisch, die im Bereich der optischen Achse jeweils eine Durchtrittsöffnung aufweisen und die massenmäßig derart abgestimmt sind, daß der Eingriffspunkt der Abstützung an der Unterseite des Trägers in etwa mit der Schwerelinie des Objekttisches zusammenfällt.

15. Mikroskop nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebseinrichtung eine an der Unterseite des Objekttisches befestigte und von dort vertikal nach unten verlaufende Zahnstange enthält, mit der ein Ritzel in Eingriff steht, das mit zumindest einer Fokussierungsvorrichtung in Wirkverbindung steht.

16. Mikroskop nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsvorrichtung und Teile der Antriebseinrichtung in der Grundplatte des Stativs befestigt sind.

17. Mikroskop nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Vertikalbereich des Stativs zumindest eine Lampe für die Mikroskopbeleuchtung an einem von oben in das Vertikalteil im wesentlichen in vertikaler Richtung ein- und ausschiebbaren Schieber befestigt ist.

18. Mikroskop nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Schieber in einem Schacht geführt ist, der unten und oben im Vertikalbereich des Stativs mit zumindest einer Lüftungsöffnung in Verbindung steht.

19. Mikroskop nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß der Schieber zumindest in seinen Seitenbereichen und an seiner Rückseite mit einer durchgehenden Wandung versehen ist.

20. Mikroskop nach einem der Ansprüche 17 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß der Schieber gegenüber dem Schacht thermisch isoliert ist.

21. Mikroskop nach Anspruch 17 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Schacht gegenüber dem Vertikalbereich des Stativs thermisch isoliert ist.

22. Mikroskop nach einem der Ansprüche 17 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß benachbart zu den Lampen Mittel zur Wärmeabfuhr angeordnet sind.

23. Mikroskop nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß der Schieber aus einem guten, wärmeleitfähigen Material besteht.

24. Mikroskop nach Anspruch 23 oder 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Wärmeabfuhr Längsrippen aufweisen.

25. Ein Support, der auf einer Mikroskopgrundplatte angeordnet werden kann, um einen stabilen und leicht nachstellbaren Objekttisch zu ergeben, der eine Mehrzahl von sich, ausgehend von der Mikroskopgrundplatte, nach oben erstreckenden vertikalen Führungsgliedern, eine Mehrzahl von sich, ausgehend vom Objekttisch, nach unten erstreckenden Folgegliedern und Einstellmittel zum selektiven Bewegen des Objekttisches in vertikaler Richtung umfaßt, wobei jedes der Folgeglieder durch Verschieben in Eingriff mit einem entsprechenden Führungsglied aus der besagten Mehrzahl von Führungsgliedern gebracht werden kann.

26. Der Support nach Anspruch 25, bei dem sich die besagte Mehrzahl von Führungsgliedern nicht in einer gemeinsamen Ebene erstreckt.

27. Der Support nach Anspruch 26, bei dem drei vertikale Führungsglieder und drei Folgeglieder vorgesehen sind.

28. Der Support nach Anspruch 26, bei dem sich ein Beleuchtungsstrahlengang durch den besagten Objekttisch entlang einer Achse erstreckt, die zu der besagten Mehrzahl von Führungsgliedern parallel verläuft.