DE3616245A1 - Interferometersystem zur laengen- oder winkelmessung - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Interferometer zur Längen- oder Winkelmessung, das ein bewegliches Reflexions­ element in einem Meßarm und ein feststehendes Reflexions­ element in einem Vergleichsarm hat, daß außer dem Interferometersystem mit Teilstrahlen ein Referenzsystem bzw. ein zweites Interferometersystem mit Teilstrahlen hat und das eine evakuierbare Einrichtung zur Bestimmung der Brechzahl der das Interferometer umgebenden Luft hat.

Bei genauen interferometrischen Längen- oder Winkel­ messungen muß die Brechzahl der das Interferometer umgebenden Luft berücksichtigt werden, da sie unmittelbar in das Ergebnis der Messung eingeht. Aus der DE-OS 34 01 900 ist ein Interferometer mit Referenzsystem bekannt, mit dem gleichzeitig sowohl die Brechzahl als auch eine Länge oder ein Winkel gemessen werden kann. Dazu ist in einem Teilstück des Vergleichsarmes eine evakuierbare Kammer angeordnet und das Reflexionselement dieses oder des anderen Teilstrahles wird zur Längen- oder Winkelmessung bewegt.

Nachteilig bei diesem bekannten Interferometer ist, daß die Genauigkeit der Längen- und der Brechzahlmessung sehr hohen Anforderungen nicht genügt.

Aus einer Veröffentlichung von W. Kinder (Zeiss Werkzeit­ schrift Heft 43 (1962) Seite 3) ist ein Meter-Komparator für interferometrische Längenbestimmungen in Vakuum­ wellenlängen bekannt, bei dem die Empfindlichkeit der Brechzahlbestimmung dadurch verdoppelt wird, daß für sie zwei Kammerpaare so verwendet werden, daß zwei interfero­ metrische Systeme gegenläufig zueinander arbeiten. Die Längenmessung erfolgt auf herkömmliche Art mit von der Brechzahlbestimmung unabhängigen Strahlen.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Interferometer zu schaffen, bei dem nicht nur die Brechzahl der Luft mit großer Genauigkeit bestimmt wird, sondern bei dem auch die Längen- bzw. Winkelmessung mit möglichst großer Genauigkeit erfolgt. Dabei soll das Interferometer trotzdem möglichst einfach im Aufbau sein, d. h. nur die unbedingt notwendige Anzahl von Teilstrahlen besitzen.

Die gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß durch die evakuierbare Einrichtung mindestens ein Teilstrahl vom Meßarm des einen Interfero­ metersystems und ein Teilstrahl vom Vergleichsarm des anderen Interferometersystems geführt ist.

In einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung sind durch die evakuierbare Einrichtung alle vier Teilstrahlen geführt und die evakuierbare Einrichtung besteht aus zwei voneinander unabhängigen Gruppen von Kammern. Am Anfang einer Messung bzw. Meßreihe sind alle evakuierbaren Kammern luftleer. Am Ende der ersten Messung und während aller weiteren Messungen einer Meßreihe sind diejenigen evakuierbaren Kammern, die in dem einen Interferometersystem im Meßarm und in dem anderen Interferometersystem im Vergleichsarm angeordnet sind, mit der Umgebungsluft des Interferometers gefüllt.

Die möglichen Anordnungen der evakuierbaren Kammern und ihre Zustände am Anfang und Ende der ersten Messung werden im Anschluß an die ausführliche Beschreibung einer Ausführungsform besprochen und sind in einer Tabelle am Schluß der Beschreibung zusammengefaßt.

Die Anordnung der evakuierten und der mit Luft gefüllten Kammern in den zwei interferometrischen Systemen ent­ spricht der oben zitierten Veröffentlichung von W. Kinder. Die durch die Kammern laufenden Teilstrahlen werden jedoch bei der vorliegenden Erfindung gleichzeitig zur Längen- bzw. Winkelmessung benutzt, wobei auch die Längen- bzw. Winkelmessung mit der doppelten Genauigkeit gegenüber herkömmlichen Verfahren ausgeführt wird.

In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform werden als Reflexionselemente Tripelspiegel oder Tripelprismen benutzt. Da in diesem Fall die Teilstrahlen nicht in sich selbst reflektiert werden, sondern parallel versetzt zurücklaufen, werden bis zu acht evakuierbare Kammern benutzt, die in zwei voneinander unabhängigen Gruppen zusammengefaßt sind.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen und der folgenden Beschreibung hervor.

Die Erfindung wird am folgenden anhand von in den Fig. 1 bis 2 dargestellten Ausführungsbeispielen und einer Tabelle näher erläutert. Bei den Figuren zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung eines grundsätz­ lichen Aufbaus und

Fig. 2 eine Skizze für die Anordnung der evakuierbaren Kammern zu zwei Tripelprismen.

In Fig. 1 werden von einer geeigneten Lichtquelle (31), z. B. einem Laser, zwei Parallelstrahlbündel (10) und (20) erzeugt. Das Parallelstrahlbündel (10) gehört zum Interferometersystem 1; es wird durch den Teilerwürfel (32) in die beiden Teilstrahlen (11) und (12) aufge­ spalten. Der Teilstrahl (11) durchläuft nach einer Umlenkung am Prisma (33) den Vergleichsarm (V) mit der evakuierbaren Kammer (41) und wird durch den Spiegel (5) wieder in den Teilerwürfel (32) zurückreflektiert. Der Teilstrahl (12) durchläuft den Meßarm (M) mit der evakuierbaren Kammer (42) und wird durch den Spiegel (6) ebenfalls zum Teiler­ würfel (32) zurückreflektiert, wo er sich mit dem Teil­ strahl (11) zum gemeinsamen Strahlenbündel (13) ver­ einigt, wobei durch die Überlagerung der beiden Teilstrahlen Interferenzen entstehen, welche durch den Empfänger (7) meßtechnisch erfaßt und durch die Auswerte­ einheit (9 verarbeitet werden.

Das Parallelstrahlbündel (20) gehört zum Interferometer­ system 2; es wird im Teilerwürfel (32) in die Teilstrahlen (21) und (22) aufgespalten. Der Teilstrahl (21) läuft parallel zum Teilstrahl (11) über das Umlenkprisma (33) durch den Vergleichsarm (V) mit der evakuierbaren Kammer (43) zum Spiegel (5) und wird von diesem ebenfalls zum Teilerwürfel (32) zurückreflektiert. Der Teilstrahl (22) läuft parallel zum Teilstrahl (12) durch den Meßarm (M) mit der evakuierbaren Kammer (44) und wird vom Spiegel (6) in den Teilerwürfel (32) zurückreflektiert, wo er sich mit dem Teilstrahl (21) zum gemeinsamen Strahlenbündel (32) vereinigt, wobei ebenfalls zwischen den beiden Teil­ strahlen Interferenzen entstehen, welche durch den Empfänger (8) meßtechnisch erfaßt und durch die Auswerte­ einheit (9) verarbeitet werden.

Für die folgenden Ausführungen wird vorausgesetzt, daß alle Fenster (15, 16) der evakuierbaren Kammern (41, 42, 43, 44) die gleiche Dicke haben. Außerdem wird die Länge der Teilstrahlen (11, 12, 21, 22) ab dem Austritt aus dem Teilerwürfel (32) oder aus dem Umlenkprisma (33) bzw. bis zum Wiedereintritt in diese gerechnet, da die unter­ schiedlichen Wege in diesen Bauteilen sich ohnehin im Laufe der Rechnung gegenseitig eliminieren würden. Es bedeuten:

(11), (12) Teilstrahlen des Interferometersystems 1
(21), (22) Teilstrahlen des Interferometersystems 2
ALuftweg der Teilstrahlen (12) und (22) im Meßarm (M) ohne evakuierbare Kammern (42) und (44) RLuftweg der Teilstrahlen (11) und (21) im Vergleichsarm (V) ohne evakuierbare Kammern (41) und (43) nBrechzahl der Luft LLänge der evakuierbaren Kammern h _ÿ Ordnungszahl der Interferenzen im Zustand i des Interferometersystems j wVakuumwellenzahl

Im Ausgangszustand des Interferometers sind alle vier Kammern (41, 42, 43, 44) evakuiert und die Brechzahl der das Interferometer umgebenden Luft ist n₀. Die optischen Weglängen betragen dann

im Teilstrahl (11): Rn₀+L (1a)
im Teilstrahl (12): An₀+L (1b)
im Teilstrahl (21): Rn₀+L (1c)
im Teilstrahl (22): An₀+L (1d)

Damit ergibt sich für die Ordnungszahlen (Anzahl der Interferenzstreifen)

im Interferometersystem 1: h₀₁=2wn₀(A-R) (2a)
im Interferometersystem 2: h₀₂=2wn₀(A-R) (2b)

Für die Differenz dieser Ordnungszahlen gilt im Ausgangs­ zustand

h₀₁-h₀₂=0 (3)

Für die erste Messung werden die Kammern (41) und (44) mit Luft gefüllt. Gleichzeitig kann der Spiegel (6) um S₁ an den Bezugspunkt der folgenden Messung verschoben werden (wenn er nicht schon dort steht), bzw. es kann seine Drift gegenüber dem Ausgangszustand festgestellt werden. Die Brechzahl der das Interferometer umgebenden Luft ist jetzt n₁. Die optischen Weglängen betragen dann

im Teilstrahl (11): Rn₁+Ln₁ (4a)
im Teilstrahl (12): An₁+L+S₁n₁ (4b)
im Teilstrahl (21): Rn₁+L (4c)
im Teilstrahl (22): An₁+Ln₁+S₁n₁ (4d)

Damit ergibt sich für die Ordnungszahlen im Interferometersystem 1:

h₁₁=2w((A-R)n₁-L(n₁-1)+S₁n₁) (5a)
im Interferometersystem 2:
h₁₂=2w((A-R)n₁+L(n₁-1)+S₁n₁) (5b)

Als Differenz der Ordnungszahlen gegenüber dem Ausgangs­ zustand ergibt sich

für Interferometersystem 1:
h₁₁-h₀₁=2w((A-R)(n₁-n₀)-L(n₁-1)+S₁n₁) (6a)
für Interferometersystem 2:
h₁₂-h₀₂=2w((A-R)(n₁-n₀)+L(n₁-1)+S₁n₁) (6b)

Die Subtraktion der Änderungen von beiden Interferometer­ systemen ergibt die Brechzahl n₁

h₁₂-h₀₂-h₁₁+h₀₁=4wL(n₁-1) (7)

Die Addition der Änderungen von beiden Interferometer­ systemen ergibt mit Gleichung (7) die Verschiebung S₁ des Spiegels 6 (und einen Störterm)
h₁₁-h₀₁+h₁₂-h₀₂=4wS₁n₁+4w(A-R)(n₁-n₀) (8)

Die geometrische Unsymmetrie A-R des Interferometers kann auf herkömmliche Art oder mit dem Interferometer selbst ohne Brechzahlkorrektur auf bekannte Weise gemessen werden, denn für eine Brechzahländerung n₁-n₀=10^-6 (entsprechend einer Temperaturänderung von 1 K) gibt ein Fehler von 1 mm für A-R erst einen Störterm von 10^-3 Mikrometer, der vernachlässigbar ist.

Für die zweite Messung wird der Spiegel (6) um die Strecke S₂ verschoben. Die Brechzahl der das Inter­ ferometer umgebenden Luft und in den Kammern (41) und (44) hat sich auf n₂ geändert. Die optischen Weglängen betragen dann:

im Teilstrahl (11): Rn₂+Ln₂ (9a)
im Teilstrahl (12): An₂+L+S₁n₂+S₂n₂ (9b)
im Teilstrahl (21): Rn₂+L (9c)
im Teilstrahl (22): AN₂+Ln₂+S₁n₂+S₂n₂ (9d)

Damit ergibt sich für die Ordnungszahlen im Interferometersystem 1:

h₂₁=2w((A-R)n₂-L(n₂-1)+S₂n₂+S₁n₂) (10a)
im Interferometersystem 2:
h₂₂=2w(A-R)n₂+L(n₂-n₁)+S₂n₂+S₁n₂) (10b)

Als Differenz der Ordnungszahlen gegenüber dem vorherigen Zustand ergibt sich
für Interferometersystem 1:

h₂₁-h₁₁=2w((A-R)(n₂-n₁)-L(n₂-n₁)+S₂n₂+S₁(n2-n₁))-(11a) für Interferometersystem 2:
h₂₂-h₁₂=2w((A-R)(n₂-n₁)+L(n₂-n₁)+S₂n₂+S₁(n₂-n₁))-(11b)

Die Subtraktion der Änderungen von beiden Interferometer­ systemen ergibt die Änderung der Brechkraft

h₂₂-h₁₂+h₂₁-h₁₁=4wL(n₂-n₁) (12)

Die Addition der Änderungen von beiden Interferometer­ systemen ergibt mit den Gleichungen (7), (8) und (12) die Verschiebung S₂ des Spiegels (6)

h₂₁-h₁₁+h₂₂-h₁₂=4wS₂n₂+4wS₁(n₂-n₁)+4w(A-R)(n₂-n₁)-(13)

Für den Störterm durch die geometrische Unsymetrie (A-R) gilt das bei Gleichung (8) Gesagte. Das Produkt S₁(n₂-n₁) ist bei kleinen Änderungen von S₁ vernachlässigbar.

Für alle folgenden Messungen einer Meßreihe erfolgt die Auswertung entsprechend der letzten Beschreibung.

Für die Messungen ist es zweckmäßig, den Spiegel (6) zunächst so einzustellen, daß das Interferometer geometrisch abgeglichen ist, als A=R ist. Damit erreicht man vernachlässigbare Störterme und optimale Driftfreiheit.

Aus den Gleichungen (7) und (12) erhält man die Brechzahl mit doppelter Genauigkeit im Vergleich zur üblichen Interferometrie. Ebenso ergibt sich die Verschiebung S₂ des Spiegels (6) aus Gleichung (13) mit doppelter Genauigkeit.

Aus den Gleichungen (6a) und (6b) bzw. (11a) und (11b) erhält man mit den Gleichungen (8) und (13) zwei Werte für die Brechzahl (Doppelmessung) und damit die Möglichkeit, die Streuung des Verfahrens aus Doppelmessungen zu gewinnen und das Meßergebnis gegen Fehler durch Ver­ zählen abzusichern. Aus den Gleichungen (11a) und (11b) erhält man ebenfalls mit Gleichung (8) und (12) zwei Werte für die Verschiebung des Spiegels S₂ mit den erwähnten Vorteilen der Doppelmessung.

Fig. 1 ist nur eine schematische Darstellung eines grund­ sätzlichen Aufbaues. Es ist selbstverständlich, daß an Stelle der einzelnen Empfänger (7) und (8) in bekannter Weise jeweils vier Empfänger einschließlich einer Lambdaviertel-Platte und Polarisatoren verwendet werden können, wodurch die Phasenlage verfolgt werden kann. Außerdem wird man z. B. an Stelle der Planspiegel (5) und (6) in bekannter Weise Tripelspiegel oder -prismen (5 a) und (6 b) verwenden, die den Vorteil haben, daß der reflektierte Stahl immer parallel zum einfallenden Strahl zurückläuft. Mit derartigen Tripelprismen werden die Strahlenlängen jedoch sehr unübersichtlich, so daß in Fig. 2 nur eine Draufsicht auf die Tripelprismen mit einem Schnitt durch die Teilstrahlen und evakuierbaren Kammern dargestellt ist. Das Tripelprisma (5 a) ersetzt den Spiegel (5) und das Tripelprisma (6 a) den Spiegel (6). Im Falle von Tripelspiegeln oder Tripelprismen werden die Teilstrahlen nicht in sich selbst reflektiert, sondern laufen seitlich und in der Höhe versetzt zurück. Der Teilstrahl (11) wird vom Tripelprisma (5 a) in Fig. 2 als Teilstrahl (11 a) reflektiert, der Teilstrahl (21) als (21 a). Entsprechend werden vom Tripelprisma (6 a) der Teilstrahl (12) als (12 a) und der Teilstrahl (22) als (22 a) reflektiert. Infolge dieser Versetzung der Teil­ strahlen durch ihre Reflexionen an den Tripelprismen ist es zweckmäßig, insgesamt acht evakuierbare Kammern vorzu­ sehen, wobei die Kammern (43, 43 a , 42 und 42 a), welche im oben beschriebenen Beispiel immer evakuiert sind, unter­ einander verbunden sind und die Kamern (41, 41 a , 44 und 44 a), welche nur am Beginn einer Meßreihe evakuiert werden, ebenfalls untereinander verbunden sind.

Besonders vorteilhaft ist es, das bekannte Zwei-Frequenz- Verfahren zu benutzen, bei dem die Änderung einer Länge oder eine Brechzahl nicht aus den Änderungen der Amplitude sondern aus den Änderungen der Frequenz gewonnen wird. Dazu werden die beiden Frequenzen überlagert und die durch die Änderung der Länge oder der Brechzahl hervorgerufene Dopplerverschiebung der Überlagerungs­ frequenz wird ausgewertet. Ein hierfür geeigneter Aufbau ist in Fig. 3 der DE-OS 34 01 900 angegeben.

Der erfindungsgemäße Interferometeraufbau kann auch in bekannter Weise zur Winkelmessung benutzt werden, indem der Spiegel (6) in Fig. 1 durch einen Tripelspiegel ersetzt wird, der um einen Punkt außerhalb seiner optischen Achse drehbar ist. Dies ist ebenfalls in der DE-OS 34 01 900 näher beschrieben.

An Stelle des mit Fig. 1 beschriebenen Interferometers vom Twyman-Typ können auch andere entsprechend modifizierte Interferometer, z. B. vom Jamin-Typ, verwendet werden.

Das mit den Fig. 1 und 2 beschriebene Ausführungs­ beispiel ist eine von insgesamt acht Möglichkeiten für die Anordnung der evakuierbaren Kammern und deren Zustände am Anfang und Ende der Messungen. Eine Übersicht über alle Möglichkeiten gibt die folgende Tabelle. Bei ihr sind in den ersten beiden Spalten eine fortlaufende Nummer und die Nummer des entsprechenden Anspruches angegeben. In den Spalten auf der rechten Seite sind Interferometerarme, Interferometersysteme, Teilstrahlen und Kammern wie in der Fig. 1 bezeichnet. Die Bezeichnung Anfang bedeutet Anfang einer Messung bzw. Meßreihe. Die Bezeichnung Ende bedeutet Ende der ersten Messung; dieser Zustand bleibt während aller weiteren Messungen einer Meßreihe.

In der Tabelle bedeutet
vdie Kammer ist evakuiert,ldie Kammer ist mit der Umgebungsluft des Interferometers gefüllt,(l)die Kammer ist ständig mit der Umgebungsluft des Interferometers gefüllt und ist daher überflüssig.

Als Anordnung 1 ist in der Tabelle das ausführlich be­ sprochene Beispiele angegeben. Bei der Anordnung 2 gehören diejenigen Kammern, die mit Luft gefüllt werden, jeweils zu dem anderen Interferometersystem. Die Anordnungen 1 und 2 sind in Anspruch 2 enthalten. Es ist selbstver­ ständlich, daß für die Anordnung 2 die Auswertung den Gleichungen (1a) bis (13) entsprechend erfolgt und daß keine prinzipiellen Unterschiede bestehen.

Bei den Anordnungen 3 und 4 sind am Anfang alle Kammern mit Luft gefüllt und zwei Kammern sind am Ende der ersten Messung evakuiert. Daher sind nur zwei Kammern notwendig, die natürlich zu einer einzigen evakuierbaren Einrichtung zusammengefaßt werden können, durch welche die Teilstrahlen (21) und (12) bzw. (11) und (22) gehen. Auch im Falle der Verwendung von Tripelspiegeln oder -prismen ist in diesem Fall der Aufbau der evakuierbaren Einrichtung wesentlich einfacher als bei den Anordnungen 1 und 2. Diesem Vorteil der Anordnungen 3 und 4 steht der Nachteil gegenüber, daß die Evakuierung von Kammern im allgemeinen länger dauert als die Belüftung und daß daher für die erste Längenmessung mehr Zeit als bei den Anordnungen 1 und 2 benötigt wird.

Die Anordnungen 5 bis 8 entsprechen den Anordnungen 1 bis 4 bis auf den Unterschied, daß Evakuierung und Lüftung vertauscht sind. Bei diesen Anordnungen wird die Änderung der Brechzahl während der ersten Längenmessung nicht erfaßt. Sie sind daher weniger vorteilhaft, können jedoch immer verwendet werden, wenn keine oder nur geringe Änderungen der Brechzahl zu erwarten sind.

Bei allen Anordnungen erfolgt die Auswertung sinngemäß wie bei der ausführlich dargestellten Auswertung für die Ausführung 1. Bei allen Anordnungen erfolgt sowohl die Brechzahlmesser als auch die Längen- bzw. Winkelmessung mit doppelter Genauigkeit gegenüber konventionellen Einrichtungen.

Selbstverständlich kann das Interferometer in allen Fällen an Stelle von Luft auch von einem Gas umgeben sein, welches zur Füllung der evakuierbaren Kammern verwendet wird. Außerdem können zur weiteren Erhöhung der Genauigkeit die Meßverfahren der verschiedenen Anordnungen abwechselnd nacheinander ausgeführt werden, z. B. die Meßverfahren der Anordnungen 1 und 5.

Claims (9)

1. Interferometer zur Längen- oder Winkelmessung, das ein bewegliches Reflexionselement (6) in einem Meßarm (M) und ein feststehendes Reflexionselement (5) in einem Vergleichsarm (V) hat, daß außer dem Interferometer system (1) mit Teilstrahlen (11) und (12) ein Referenzsystem bzw. ein Interferometersystem (2) mit Teil­ strahlen (21) und (22) hat und das eine evakuierbare Einrichtung zur Bestimmung der Brechzahl der das Interferometer umgebenden Luft hat, dadurch gekenn­ zeichnet, daß durch evakuierbare Einrichtung (42, 43) mindestens ein Teilstrahl (12) vom Meßarm (M) des einen Interferometersystems und ein Teilstrahl (21) vom Vergleichsarm (V) des anderen Interferometer­ systems geführt ist.

2. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß durch die evakuierbare Einrichtung alle vier Teilstrahlen (11, 12, 21, 22) geführt sind, daß die evakuierbare Einrichtung aus zwei voneinander unabhängigen Systemen mit den Kammern (41, 44 und 42, 43) besteht, daß am Anfang einer Messung bzw. Meßreihe alle evakuierbaren Kammern (41, 42, 43, 44) luftleer sind und daß am Ende der ersten Messung und während aller weiteren Messungen einer Meßreihe diejenigen evakuier­ baren Kammern (41, 44) die in dem einen Interferometer­ system (2) im Meßraum (M) und in dem anderen Interfero­ metersystem (1) im Vergleichsarm (V) angeordnet sind, mit der Umgebungsluft des Interferometers gefüllt sind.

3. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß durch die evakuierbare Einrichtung (42, 43) ein Teilstrahl (12) vom Meßarm (M) des einen Inter­ ferometersystems (1) und ein Teilstrahl (21) vom Vergleichsarm (V) des anderen Interferometersystems (2) geführt ist, daß am Anfang einer Messung bzw. Meßreihe die evakuierbare Einrichtung mit der Umgebungsluft des Interferometers gefüllt ist und daß am Ende der ersten Messung und während aller weiteren Messungen einer Meßreihe die evakuierbare Einrichtung luftleer ist.

4. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß durch die evakuierbare Einrichtung alle vier Teilstrahlen geführt sind, daß die evakuierbare Ein richtung aus zwei voneinander unabhängigen Systemen mit den Kammern (41, 44 und 42, 43) besteht, daß am Anfang einer Messung bzw. Meßreihe diejenigen evakuier­ baren Kammern (41, 44), die in dem einen Inter­ ferometersystem (2) im Meßarm (M) und in dem anderen Interferometersystem (1) im Vergleichsarm (V) angeordnet sind, mit der Umgebungsluft des Interferometers gefüllt sind und daß am Ende der ersten Messung und während aller weiteren Messungen einer Meßreihe alle evakuierbaren Kammern (41, 42, 43, 44) luftleer sind.

5. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß durch die evakuierbare Einrichtung (42, 43) ein Teilstrahl (12) vom Meßarm (M) des einen Inter­ ferometersystems (1) und ein Teilstrahl (21) vom Vergleichsarm (V) des anderen Interferometersystems (2) geführt ist, daß am Anfang einer Messung bzw. Meßreihe die evakuierbare Einrichtung (42, 43) luftleer ist und daß am Ende der ersten Messung während aller weiteren Messungen die evakuierbare Einrichtung mit der Umgebungsluft des Interferometers gefüllt ist.

6. Interferometer nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß als Reflexionselemente (5, 6) Tripelspiegel oder Tripelprismen (5 a, 6 a) vorgesehen sind.

7. Interferometer nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß sowohl in den auf die Tripelspiegel oder Tripelprismen (5 a, 6 a) auftreffenden Teilstrahlen (11, 12, 21, 22) als auch in den von den Tripelspiegeln oder Tripelprismen reflektierten Teilstrahlen (11 a, 12 a, 21 a, 22 a) evakuierbare Kammern (41, 42, 43, 44, 41 a, 42 a, 43 a, 44 a) angeordnet sind.

8. Interferometer nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß einer der Tripelspiegel um einen Punkt, der nicht auf der optischen Achse des Tripelspiegels liegt, zur Winkelmessung drehbar ist.

9. Interferometer nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß eine Lichtquelle mit zwei Frequenzen vorgesehen ist, daß optische Mittel vorhanden sind, durch welche die eine Frequenz die Teil­ strahlen (11, 21) im Vergleichsarm (V) und die die andere Frequenz die Teilstrahlen (12, 22) im Meßarm (M) durchläuft und daß Zähler sowie Subtrahierer zur Auswertung der Hell-Dunkel-Wechsel der Überlagerungs­ frequenzen vorgesehen sind.