DE3615836C2 - - Google Patents

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DE3615836C2
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    • H05B6/22—Furnaces without an endless core
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Description

Zonenziehverfahren zum Zwecke des Umkristallisierens und Rei­ nigens stabförmiger Materialien sind bekannt. Bei diesen wird der eigentliche Ziehprozeß durch eine mechanische Bewegung der Wärmequelle gegenüber dem Materialstab vollzogen. Der Tempera­ turkoeffizient des elektrischen Widerstandes des Materials ist dabei von untergeordneter Bedeutung.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen radial gerich­ teten Zonenziehprozeß für flächenförmige Materialien ohne Re­ lativbewegung zwischen Wärmequelle und Material zu erzeugen.
Bei dem hier beschriebenen Zonenziehverfahren für Scheiben ist ein genügend hoher Temperaturkoeffizient des Materials erfor­ derlich.
Angenommen der Temperaturkoeffizient ist negativ, so läßt sich ein selbstablaufender Zonenziehprozeß in Gang setzen, bei dem die zu erwärmende Scheibe bei eingeschaltetem HF-Feld in der Mitte durch eine Fremdheizung (z. B. Halogenlampe, Laser usw.) so weit erwärmt wird, daß ihr spezifischer Widerstand genügend klein wird, um nun aus dem Magnetfeld zusätzlich Leistung aufzunehmen. Nach Abschalten der Zusatzheizung bleibt die HF- Heizung in der Mitte erhalten. Wegen der Stromverdrängung in der zu erwärmenden Scheibe fließen auf dem äußeren Rand der niederohmig gewordenen Zone Wirbelströme, die diese weiter erwärmen. Die Mitte der Scheibe kühlt ab. Durch Wärmeleitung nach außen vergrößert der aufgeheizte Ring seinen Durchmesser, bis er den Rand erreicht.
Dieses Verfahren eignet sich auch für PTC-Materialien. Dabei läuft der Zonenziehprozeß von außen nach innen ab. Eine Zusatzheizung kann hier entfallen, da das PTC-Material bei Prozeßbeginn leitfähig ist.

Claims (6)

1. Verfahren zum induktiven Zonenziehen von flächenhaften Mate­ rialien geringer Dicke (Scheiben), dadurch gekennzeichnet, daß
  • a) in der Scheibe ein im wesentlichen senkrecht zur Scheibenflä­ che gerichtetes magnetisches Wechselfeld erzeugt wird und
  • b) bei einem Material mit negativem Temperaturkoeffizienten des elektrischen Widerstandes die Mitte der Scheibe durch Fremdheizung soweit erwärmt wird, daß ein durch Wärmeleitung radial nach außen gerichteter Zonenziehprozeß und
  • c) bei einem Material mit positivem Temperaturkoeffizienten des elektr. Widerstandes ein nach innen gerichteter Zonenziehprozeß, aufgrund der beim Prozeßbeginn vorhandenen elektrischen Leitfä­ higkeit, ohne Zusatzheizung gestartet wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es zum Tempern des Materials verwendet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß es zum Aktivieren im Material vorhandener Ladungsträger verwendet wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es zur Erzielung eines Monokristalls verwendet wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es zur Erreichung einer radialen Textur im Material verwendet wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß bei elektrisch hochohmigem zuzonenziehendem Material die Erwär­ mung durch Wärmeübertragung von einem einen geeigneten Temperatur­ koeffizienten aufweisenden Material erfolgt.
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Cited By (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9111718B2 (en) 2011-05-24 2015-08-18 Trumpf Huettinger Gmbh + Co. Kg Method for matching the impedance of the output impedance of a high-frequency power supply arrangement to the impedance of a plasma load and high-frequency power supply arrangement

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