DE3611947A1 - Elektrostatisch unterstuetztes, mechanisches faltenfoermiges filterelement - Google Patents
Elektrostatisch unterstuetztes, mechanisches faltenfoermiges filterelementInfo
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- B03C3/155—Filtration
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- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Gasreinigung von Feststoffteilchen
oder Aerosolen, mittels eines faserförmigen
oder porösen Filtermediums mit dielektrischen Eigenschaften
in dem mit Hilfe von Ionenzonen die in das Filtermedium
ein- oder durchdringen eine elektrische Ladung
erzeugen oder zusätzlich durch Einführung von
Elektroden die außerhalb in den Falten des Filtermediums
oder sich nur auf einer Seite befinden, ein
elektrisches Feld erzeugen.
Es ist bekannt, daß der Abscheidegrad eines dielektrischen
Filtermediums für die Gasreinigung, wenn sich das Filtermedium
in einem elektrischen Feld befindet, erheblich zunimmt.
Es ist auch bekannt, daß der Abscheidegrad zunimmt,
je mehr der Gasstrom ionisiert worden ist.
Bei allen diesen Systemen, auch Elektro-HEPA-Filter genannt,
ist nicht nur der Abscheidegrad sehr hoch, sondern auch die
Struktur zur Ablagerung des Staubes im faserförmigen Medium
wird erheblich verbessert, weil die Ablagerung der
Staubpartikel die Fasern des Filtermediums nicht verdicken,
sondern der Staub in Form von Zweigen, Dendriten
genannt, erfolgt und hierdurch die Druckdifferenz des
Filtermediums erheblich langsamer ansteigt als bei einem
nicht elektrisierten Filtermedium, wodurch erhebliche
Energiekosten eingespart werden können.
Die Gründe, die eine hohe Abscheidegradsteigerung verursachen
sind bekannt. Die Abscheidegradsteigerung, besonders
für untermikronische Partikel, ist auf die
elektrostatischen Kräfte, die zwischen den polarisierten
Fasern und den elektrisch geladenen oder elektrisch
polarisierten Partikeln entstehen, zurückzuführen. Eine
Aufladung der Partikel wird durch Ionenbombardierungen
oder durch UV-Bestrahlung oder durch ihren Durchgang
durch ein elektrisches Feld erzeugt. Die Faserpolarisierung
wird durch Bildung eines elektrischen Feldes im
Filtermedium erzeugt.
Der gegenwärtige Stand der Technik bietet Lösungen sowohl
zur Ionisierung der Partikel, als auch zur Bildung
eines elektrischen Feldes im faserförmigen Filtermedium.
Diese Lösungen sind aber insgesamt sehr teuer und unsicher
im Betrieb.
In den Patenten
DE 31 22 515 und
DE 32 37 780
werden derartige Konstruktionen und Lösungen gezeigt. Der
Gasstrom strömt zuerst durch einen Ionisator einer allgemein
bekannten Konstruktion, diese besteht aus sehr feinen
Drähten, die sich unter Hochspannung befinden und die gegenüber
den Gegenelektroden in Form von geerdeten Platten,
Korona entladen. Die Teilchen, die durch den Ionisator
strömen, werden elektrisch aufgeladen. Hiernach strömt der
Gasstrom durch ein zickzackförmiges Filterelement mit
leitfähigen Abstandshaltern, die auf beiden Seiten, auf
der Rohluftseite und auf der Reinluftseite des Filterelements
eingebaut worden sind. Alle Abstandshalter einer
Seite sind miteinander galvanisch verbunden und an ein
Hochspannungspotential von ca. 1,2 kV angeschlossen, während
alle Abstandshalter der gegenüberliegenden Seite
auch miteinander verbunden und ans Erdpotential angeschlossen
sind.
Folglich befindet sich jede halbe Falte des faltenförmigen
Filterelements zwischen zwei Abstandshaltern verschiedener
Polaritäten, also in einem elektrischen Feld,
das die Fasern polarisiert.
Eine gleichartige Konstruktion wird in der DE 33 39 828
gezeigt. In dieser Patentanmeldung werden anstatt der
zickzackförmigen Abstandshalter leitfähige Lamellen ins
faltenförmige Filterelement eingebaut.
Die Nachteile der Lösungen in den o. g. Patenten sind erheblich.
So z. B. ist die galvanische Verbindung der Abstandshalter
sehr teuer. Sie muß mit einer leitfähigen
Paste oder einem leitfähigen Gummi durchgeführt werden.
Die Praxis hat gezeigt, daß diese Verbindungen nie vollkommen
sind und das immer unverbundene Abstandshalter
übrig bleiben.
Ein weiterer Nachteil ist der, daß teilweise isolierte
Abstandshalter verwendet werden, so daß im faltenförmigen
Filterelement keine Kurzschlüsse entstehen. Die isolierten
Abstandshalter sind jedoch teuer und ihre galvanische Verbindung
sehr problematisch.
Ein zusätzlicher Nachteil ist der, daß die durch das
faltenförmige Filterelement hindurchströmenden Ionen einer
einzigen Polarität,
in Richtung Reinluftseite transportiert
werden.
Die gleiche Polarität haben auch die unfiltrierten Partikel,
die in die Reinluftseite eindringen. In der Reinluftseite
entsteht eine Raumladung einer einzigen Polarität,
mit den bekannten negativen Auswirkungen. Die Anzahl der
Ionen gegensätzlicher Polarität befindet sich nicht im
gleichen Verhältnis. Hierdurch ist der Neutralisierungseffekt
der elektrischen Ladung, die sich auf die Gegenstände
des Reinraums auswirken, sehr gering.
Es ist durchaus möglich, daß derartige Systeme sogar
zu einer höheren Aufladung der Gegenstände im Reinraum
führen.
Eine Neutralisierungswirkung der elektrisch aufgeladenen
Gegenstände im Reinraum ist, wie bereits bekannt,
von sehr großer Wichtigkeit, besonders bei der Herstellung
mikroelektronischer Bauelemente.
Der Stand der Technik bietet mehrere Lösungen zur Beseitigung
von Raumladungen. Diese Vorrichtungen sind sogenannte
Ionisatoren oder Neutralisatoren, die unter dem
HEPA-Filter, in den reinen Räumen an der Reinluftseite
angebracht werden können.
Wie aus der Fachliteratur bekannt, sind derartige Ionisatoren
unerwünscht, nicht nur weil sie sehr teuer sind,
sondern auch weil die Ionisatoren Partikelanhäufer und
die Störobjekte für die Laminarität des filtrierten Gasstroms
darstellen und sogar Generatoren von untermikronischen
Metallpartikeln sind, die sich von den Elektroden
ablösen, gleichgültig des benutzten Metalls und sich dadurch
für die Herstellung mikroelektronischer Bauelemente
besondere Gefahren ergeben.
Des weiteren werden an den gleichen Stellen sukzessive
Lawinen von Plus und Minus Ionen erzeugt, z. B. mit einer
Frequenz von 50 Hz, bei denen sich im Luftstrom die elektrische
Ladung gegenseitig besonders rege aufhebt.
Folglich ist der Wirkungsgrad der vom gegenwärtigen Stand
der Technik gebotenen Ionisatoren-Neutralisatoren nur für
einen geringen Abstand ca. 0,3-0,5 m zufriedenstellend
einsetzbar.
Ein anderer Nachteil ist der, daß beim gegenwärtigen Stand
der Technik, sich beim HEPA-Filter auf der Reinluftseite
Abstandshalter befinden, die mit der Zeit eine Partikelschicht
ansammeln, welche sich lösen und mit dem
Gasstrom in den Reinraum strömen können und dort eine unerwünschte
Kontamination verursachen.
Im Patent DE 35 22 286 wird eine Lösung ohne Abstandshalter
zwischen den Falten des faltenförmigen Filterelements
gezeigt. Hier wird das elektrische Feld mit Hilfe
von leitfähigen Fäden gebildet, die die Falten des HEPA-
Filters fixieren und in einem nötigen Abstand halten.
Diese Problemlösung stellt zum gegenwärtigen Stand der
Technik schon eine Verbesserung dar, jedoch ist der Abscheidegrad
dieses Typs von Elektro-HEPA-Filter geringer,
weil der Abstand zwischen den Fäden zur Faltenabstandshalterung
verschiedener Polarität über 30 mm beträgt und
dadurch ein schwächeres elektrisches Feld erzeugt wird.
Außerdem werden bei der hier genannten Lösung die
leitfähigen Fäden unmittelbar auf das faltenförmige
Filtermedium aufgetragen, was dazu führt, daß es besonders
durch atmosphärischen, leitfähigen Staub zu Kurzschlüssen
im Medium kommt.
Als weiterer Nachteil der zum gegenwärtigen Stand der
Technik gehörenden Lösungen ist noch zu erwähnen, daß die
zuvor beschriebenen Elektro-HEPA-Filter mit galvanisch
verbundenen Abstandshaltern, mit speziellen Anschlußbuchsen
und Drähten zur Verbindung der Hochspannung usw.
ausgerüstet werden müssen.
Hierdurch steigen die Kosten für ein Elektro-HEPA-Filter
erheblich, im Vergleich zu den unelektrisierten HEPA-
Filtern, an.
Außerdem können alle genannten Lösungen nicht auch als
Neutralisatoren für elektrische Ladungen in den Reinräumen
eingesetzt werden.
Die Erfindung hat sich die Aufgabe zum Ziel gesetzt, den
gegenwärtigen Stand der Technik auf dem Gebiet der Betriebssicherheit
und Zuverlässigkeit zu verbessern und
darüber hinaus kostengünstigere und vielseitigere Anwendungsmöglichkeiten
zu bieten.
Ein wichtiger Vorteil ist der, daß diese Lösung in der
Reinraumseite keine Partikelanhäufenden Vorrichtungsteile
hat, wie z. B. Abstandshalter oder Elektroden-Lamellen.
Durch diese Lösung wird die Gefahr der Kontamination des
Reinraums beseitigt.
Ein anderer Vorteil ist der, daß nicht spezielle Elektro-
HEPA-Filter hergestellt werden müssen, sondern jedes auf
dem Markt erhältliche faltenförmige HEPA-Filter verwendet
werden kann. Weil durch das HEPA-Filter Plus und
Minus Ionenschichten strömen, und dadurch im Reinraum
ein Gleichgewicht von Plus und Minus Ionen hergestellt
wird, entsteht ein weiterer Vorteil, hierdurch ist das
HEPA-Filter auch zugleich ein wirksamer Neutralisator
für die elektrisch aufgeladenen Gegenstände im Reinraum.
Ein anderer Vorteil der Erfindung ist der, daß sich die
Ionisatoren nicht im Reinraum sondern in der Rohluftseite
angebracht sind und folglich werden die von ihnen erzeugten
Metall-Partikel im faltenförmigen HEPA-Filter abgeschieden.
Außerdem werden bei dieser Lösung nicht sukzessive
Plus- und Minus Ionenlawinen erzeugt, bei denen
sich in einem hohen Grad die elektrische Ladung aufhebt
und der Neutralisierungsgrad entfällt, sondern es bilden
sich Ionenzonen oder parallele Ionenschichten bei denen
eine gegenseitige Aufhebung der elektrischen Ladungen sehr
viel geringer ist und der Neutralisierungsgrad selbst für
große Abstände zum Objekt gewährleistet wird.
Ein besonderer Vorteil ist der, daß die Ionisierungsseite
und die Seite, die ein elektrisches Feld erzeugt, keine
Verbindung mit dem faltenförmigen HEPA-Filter haben, weil
sich zwischen diesen beiden Stufen ein Abstand befindet,
der somit Kurzschlüsse sicher und vollständig beseitigt.
Hierdurch wird die Betriebssicherheit und die Zuverlässigkeit
gegenüber allen existierenden Systemen des
gegenwärtigen Standes der Technik erheblich verbessert.
Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung ist der,
daß der sogenannte elektrische Teil eines faltenförmigen
HEPA-Filters völlig separat in einem Gehäuse montiert
werden kann und ein eventueller Wechsel eines faltenförmigen
HEPA-Filters unproblematisch ist.
Ein weiterer Vorteil der Erfindung ist der, daß das elektrostatische
Vorfilter als erste Stufe auch die Funktion
der Elektrifizierung eines Faserfilters erfüllt,
und auch die Funktion eines Ionengenerators
beider Polaritäten hat und die elektrischen
Ladungen in den reinen Räumen neutralisiert werden können.
Die vorliegende Erfindung kann in den Bereichen der Reinraumtechnik,
bei der Herstellung von mikroelektronischen
Bauelementen, in Klimaanlagen und in vielen anderen
Einsatzfällen angewendet werden.
Fig. 1 zeigt mehrere elektrostatische Möglichkeiten
um bei einem faltenförmigen Filterelement 1
einen höheren Abscheidegrad zu erreichen und
gleichzeitig Plus- und Minus Ionen 2 in Form
von Plus- und Minus Ionenzonen 4 die in einen
Reinraum 8, ohne daß im Reinraum Ionisatoren
montiert sind, zu erzeugen.
Fig. 2 zeigt verschiedene Möglichkeiten zur Beschleunigung
der Ionen 2 bei ihrem Durchgang durch
das faltenförmige Filterelement 1, so daß im
Reinraum 8 eine größere Ionendichte entsteht.
Fig. 3 zeigt weitere Möglichkeiten zur Erzeugung von
Ionen 2 im Reinraum 8 sowie auch verschiedene
Möglichkeiten, ein elektrostatisches Feld E im
Filterelement 1 zu erzeugen.
In Fig. 1 wird ein in einer Zulufthaube 12 eingebautes
faltenförmiges Filterelement 1 gezeigt, welches von einem
zu filtrierenden Gasstrom durchströmt wird.
Die im Gasstrom enthaltenen Feststoffteilchen werden in
der sog. ersten Stufe von einer UV-Quelle 10, von deren
ultravioletter Strahlung, elektrostatisch aufgeladen.
In der sog. zweiten Stufe strömt der Gasstrom durch eine
ionenerzeugende Vorrichtung 3, wo eine erneute elektrische
Aufladung der Feststoffteilchen durchgeführt
wird. Für den Fall, bei dem Plus- und Minus Ionenzonen 4
das faltenförmige Filterelement 1 durchströmen sollen
und nicht nur ein verbesserter Abscheidegrad beabsichtigt
wird, muß die UV-Quelle 10 entfernt werden. Nur die
ionenerzeugende Vorrichtung 3 sorgt für die Aufladung
der Feststoffteilchen. Die ionenerzeugende Vorrichtung 3,
wie in Fig. 1 gezeigt, wird von Potentialen mit verschiedenen
Polaritäten versorgt, so daß die Plus- und
Minus Ionenzonen entstehen.
In dem Fall, in dem nur ein verbesserter Abscheidegrad erreicht
werden soll, kann die UV-Quelle 10 eingebaut bleiben.
Die ionenerzeugende Vorrichtung 3 wird in diesem Fall
von einem Potential einer einzigen Polarität versorgt.
Eine Ionisierung der Aerosole wird in den beiden
genannten Bauelementen durchgeführt.
In dem Fall, in dem die UV-Quelle 10 entfernt worden ist,
wird die ionenerzeugende Vorrichtung 3 Plus- und Minus
Ionenzonen 4, also Ionen 2 beider Polaritäten erzeugen.
Die Aerosole werden in den Pluszonen positiv und in den
Minuszonen negativ aufgeladen. Mit diesen Plus- und Minus
Ionenzonen 4 und den unterschiedlich polarisierten Aerosolen
strömt der Gasstrom in das faltenförmige Filterelement
1 ein.
Hierdurch werden sich im faltenförmigen Filterelement 1
Plus- und Minus Ionenzonen 4 bilden, zwischen denen ein
elektrisches Feld E entsteht, das die Fasern polarisiert.
Zwischen den aufgeladenen Partikeln oder Aerosolen und
den polarisierten Fasern des faltenförmigen Filterelements
1 werden die Anziehungskräfte erheblich zunehmen
und folglich wird der Abscheidegrad besonders für untermikronische
Partikel erhöht.
Die Plus- und Minus Ionenzonen 4 des faltenförmigen
Filterelements 1 werden bis zur Sättigung elektrisch aufgeladen,
wobei die Ionen 2 abgestoßen werden und mit dem
Gasstrom zwischen den Fasern des faltenförmigen Filterelements
1 hindurch, in den Reinraum 8 strömen.
Folglich werden im Reinraum 8 alle Ionen 2, die nicht vom
faltenförmigen Filterelement 1 abgeschieden werden, in
Form von Plus- und Minus Ionenzonen 4, eine Neutralisierung
eventuell aufgeladener Objekte erzeugen.
Zusätzlich wird ein Teil der Aerosole von der ionenerzeugenden
Vorrichtung 3 angezogen und abgeschieden, so daß
die ionenerzeugende Vorrichtung 3 gleichzeitig auch die
Funktion eines Vorabscheiders erfüllt.
In Fig. 1 sind auch die geerdeten Gegenstände 9 zu sehen,
die die Ionen 2 beider Polaritäten anziehen.
In dem Fall, in dem der Abscheidegrad nicht hoch genug
sein sollte, bietet die vorliegende Erfindung noch weitere
Möglichkeiten zur Abscheidegradsteigerung.
Durch eine Anordnung von Plus- und Minuselektroden 5 in der
Nähe des faltenförmigen Filterelements 1, wird in das faltenförmige
Filterelement 1 ein elektrisches Feld injiziert,
wobei die Fasern noch stärker polarisiert und der Abscheidegrad
erhöht wird. Diese Elektroden 5 können auch die
Aufgabe eines Vorabscheider erfüllen.
Eine weitere Möglichkeit den Abscheidegrad des faltenförmigen
Filterelements 1 zu erhöhen, wird durch Einführen
von Plus- und Minuselektroden 11 in den Falten des Filters
auf der Rohluftseite erreicht, wobei die Elektroden 11
im faltenförmigen Filterelement 1 ein elektrisches
Feld E erzeugen.
Die Ionenmenge 2, die durch das faltenförmige Filterelement
1 strömt, kann mittels Sensoren gemessen und
durch Regelung der ionenerzeugenden Vorrichtung 3 und
deren angelegten Spannung, eingestellt werden.
In Fig. 2 wird eine weitere Möglichkeit der vorliegenden
Erfindung gezeigt. Zwischen dem faltenförmigen Filterelement
1 und der ionenerzeugenden Vorrichtung 3 wird
ein Beschleunigungsgitter 13 für die Ionen 2 montiert.
Die Ionen 2 erhalten eine höhere Geschwindigkeit und werden
das faltenförmige Filterelement 1 in größerer Menge
durchströmen. Hierdurch können folglich auch eine größere
Menge von Ionen 2 in den Reinraum 8 einströmen.
In Fig. 2 wird auch eine andere Möglichkeit zur Ionenbeschleunigung
gezeigt. Auch die leitfähigen Fäden 14, die
auf den Falten der Reinluftseite des faltenförmigen
Filterelements 1 aufgetragen und die an ein Hochspannungspotential
angelegt worden sind, können die Funktion eines
Beschleunigungsgitters haben.
In Fig. 2 wird auch gezeigt, wie eine größere Anzahl
von Ionen 2 für den Reinraum 8 erzeugt werden können.
Mit Hilfe einer Düse wird ein Gas oder Nebel 15 in der
Rohluftseite injiziert, dessen Moleküle oder Aerosole
sog. Molekülcluster bilden, die in der ionenerzeugenden
Vorrichtung 3 elektrisch aufgeladen werden und das faltenförmige
Filterelement 1 durchströmen.
Das Gas oder der Nebel 15 muß elektrisch aufladbar, sollte
jedoch für den Menschen und Produkte unschädlich sein.
Des weiteren können Korona entladene Elemente wie z. B.
Kanten oder Spitzen zwischen den Falten des faltenförmigen
Filterelements 1 eingebaut werden und dort die Funktion
von Ionenerzeugern 16 erhalten.
Es wird auch in Fig. 2 gezeigt, daß die leitfähigen
Fäden 14 an der Reinluftseite des faltenförmigen Filterelements
1, wenn sie sich unter Hochspannung befinden,
auch Ionen 2 für den Reinraum 8 erzeugen können.
In Fig. 3 wird eine Möglichkeit zur Erzeugung eines
elektrischen Feldes E im faltenförmigen Filterelement 1
dargestellt, das zwischen den leitfähigen Fäden 14, der
Reinluftseite des faltenförmigen Filterelements 1 und
einem leitfähigen Gitter 17 entsteht.
Das leitfähige Gitter 17 wird an eine Hochspannung angelegt.
Ist die Hochspannung eine Wechselspannung, so wird nicht
nur ein alternatives elektrisches Feld E im faltenförmigen
Filterelement 1 erzeugt, sondern die leitfähigen
Fäden 14 werden auch Koronaentladen und dabei positive
und negative Ionen 2 für den Reinraum 8 erzeugen.
In Fig. 3 wird auch gezeigt, daß die ionenerzeugende
Vorrichtung 3 in zylindrischer Form im Zuluftrohr der
Zulufthaube 12 montiert werden kann.
Es besteht auch die Möglichkeit, daß das leitfähige
Gitter 17 geerdet ist und daß die leitfähigen Fäden 14
an eine Gleich- oder Wechsel-Hochspannung angeschlossen
werden.
- 1 faltenförmiges Filterelement
2 Ionen
3 ionenerzeugende Vorrichtung
4 Plus oder Minusionenzonen
5 Elektroden im Abstand zum Filterelement
6 Platten
7 Drähte
8 Reinraum
9 leitfähige, geerdete Gegenstände
10 UV-Quellen
11 Elektroden zwischen den Falten
12 Zulufthaube
13 Beschleunigungsgitter
14 leitfähige Fäden
15 Gas oder Nebel
16 Ionenerzeuger zwischen den Falten
17 leitfähiges Gitter
Claims (17)
1. Elektrostatisch unterstütztes, mechanisches, faltenförmiges
Filterelement (1), bestehend aus einem
dielektrischen Medium aus Fasern oder einer porösen
Struktur mit einer Rohluftseite und einer
Reinluftseite und mit einer vorgeschalteten
elektrostatischen Stufe, dadurch gekennzeichnet,
daß mit dem Gasstrom, der
durch das faltenförmige Filterelement (1) strömt,
Plus und Minus Ionen (2), die durch eine ionenerzeugende
Vorrichtung (3) in der Rohluftseite des
faltenförmigen Filterelements (1) erzeugt und durch
den Gasstrom durch das faltenförmige Filterelement (1)
transportiert werden, in Form von streifenförmigen,
nebeneinander oder durch eine spezielle Vorrichtung
ineinander angeordneten Zonen (4) bilden, wobei die
Plus und Minus Ionen (2) in separaten Zonen (4) im
faltenförmigen Filterelement (1) ein elektrisches Feld
erzeugen (E) oder die in einem Abstand zum faltenförmigen
Filterelement (1) montierten Elektroden (5), die entweder
auf der Rohluftseite oder auf der Reinluftseite
des faltenförmigen Filterelements (1) angebracht
sein können und die ionenerzeugende Vorrichtung (3)
gleichzeitig auch die Funktion eines elektrostatischen
Vorabscheiders haben kann.
2. Elektrostatisch unterstütztes, mechanisches, faltenförmiges
Filterelement nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die ionenerzeugende
Vorrichtung (3) aus rechteckigen oder zylindrischen
Platten (6) und Drähten (7) oder Spitzen besteht.
3. Elektrostatisch unterstütztes, mechanisches, faltenförmiges
Filterelement nach Anspruch 1 bis 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Ionenzonen
(4) bestehend aus Plus und Minus Ionen eine neutralisierende
Wirkung auf elektrostatisch geladene Gegenstände
ausüben.
4. Elektrostatisch unterstütztes, mechanisches, faltenförmiges
Filterelement nach Anspruch 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß nach der
Gasdurchströmung durch das faltenförmige Filterelement
(1) die Ionenschichten (4) sich im inneren eines
Reinraums (8) vertikal oder horizontal mit einer
Gasstromgeschwindigkeit zwischen 0,35 bis 0,75 m/s bewegen.
5. Elektrostatisch unterstütztes, mechanisches, faltenförmiges
Filterelement nach Anspruch 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß sich die
Ionen, die durch das faltenförmige Filterelement (1)
hindurchströmen im Reinraum (8) in Richtung der Spitzen,
Kanten, Drähte, Platten oder anderer Formen geerdeter
leitfähiger Gegenstände (9) bewegen.
6. Elektrostatisch unterstütztes, mechanisches, faltenförmiges
Filterelement nach Anspruch 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß vor oder
zwischen der ionenerzeugenden Vorrichtung (3) und dem
faltenförmigen Filterelement (1) eine oder mehrere UV-
Quellen (10) montiert werden können.
7. Elektrostatisch unterstütztes, mechanisches, faltenförmiges
Filterelement nach Anspruch 1 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, daß die Elektroden
(6/7) der ionenerzeugenden Vorrichtung (3) oder
die Elektroden (5), die im faltenförmigen Filterelement
(1) ein elektrisches Feld erzeugen und einen sogenannten
elektrischen Wind erzeugen, so daß die
Staubpartikel oder Aerosole aus dem Gasstrom in bestimmte
Partikelanhäufungszonen des faltenförmigen
Filterelements (1) gelenkt werden.
8. Elektrostatisch unterstütztes, mechanisches, faltenförmiges
Filterelement nach Anspruch 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß die
ionenerzeugende Vorrichtung (3) und/oder elektrostatischer
Vorabscheider in dem rohrförmigen Zuluftrohr,
welches zylindrisch oder rechteckig sein kann,
in der trichterförmigen Zulufthaube (12) oder nach
der trichterförmigen Zulufthaube, vor dem faltenförmigen
Filterelement montiert werden kann.
9. Elektrostatisch unterstütztes, mechanisches, faltenförmiges
Filterelement nach Anspruch 1 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, daß die
Ionenkonzentration im Gasstrom nach Austritt aus dem
faltenförmigen Filterelement (1), mittels Sensoren
gemessen und durch eine Erhöhung oder eine Verminderung
der an den Sprühelektroden angelegten Hochspannung
automatisch geregelt werden kann.
10. Elektrostatisch unterstütztes, mechanisches, faltenförmiges
Filterelement nach Anspruch 1 bis 9, dadurch
gekennzeichnet, daß die Elektroden
(11), die im faltenförmigen Filterelement (1) ein
elektrisches Feld erzeugen, ausschließlich alle entweder
auf der Rohluftseite oder alle auf der Reinluftseite
zwischen den Falten des faltenförmigen Filterelements (1)
eingeführt werden.
11. Elektrostatisch unterstütztes, mechanisches, faltenförmiges
Filterelement nach Anspruch 1 bis 10, dadurch
gekennzeichnet, daß die
Ionen (2), die durch das faltenförmige Filterelement (1)
hindurchströmen, mit Hilfe eines Beschleunigungsgitters
(13), das an ein hohes Potential angeschlossen,
zwischen der ionenerzeugenden Vorrichtung (3) und
dem faltenförmigen Filterelement (1) eingebaut wird
und die Ionengeschwindigkeit erhöht werden kann.
12. Elektrostatisch unterstütztes, mechanisches, faltenförmiges
Filterelement nach Anspruch 1 bis 11, dadurch
gekennzeichnet, daß das Beschleunigungsgitter
(13) aus leitfähigen Fäden (14)
besteht, die an der Reinluftseite des faltenförmigen
Filterelements (1) montiert sind.
13. Elektrostatisch unterstütztes, mechanisches, faltenförmiges
Filterelement nach Anspruch 1 bis 12, dadurch
gekennzeichnet, daß die an
dem faltenförmigen Filterelement (1) aufgetragenen
leitfähigen Fäden (14) aus einem leitfähigen Polymer
bestehen.
14. Elektrostatisch unterstütztes, mechanisches, faltenförmiges
Filterelement nach Anspruch 1 bis 13, dadurch
gekennzeichnet, daß dem einströmenden
Gasstrom vor seinem Durchgang durch das
faltenförmige Filterelement (1) ein Gas oder Nebel (15)
oder ein Aerosol eingespritzt wird, dessen Gasmolekülcluster
oder Tröpfchen elektrische Ladungsträger
sein können.
15. Elektrostatisch unterstütztes, mechanisches, faltenförmiges
Filterelement nach Anspruch 1 bis 14, dadurch
gekennzeichnet, daß sich
zwischen den Falten des faltenförmigen Filterelementes (1)
an der Rohluftseite oder an der Reinluftseite
Ionenerzeuger in Form von Spitzen, Nadeln, Drähten
oder andere geometrische Formen (16) montiert sind,
die eine koronaentladende Wirkung haben.
16. Elektrostatisch unterstütztes, mechanisches, faltenförmiges
Filterelement nach Anspruch 1 bis 15, dadurch
gekennzeichnet, daß die Abstandshaltefäden
(14) des dielektrischen, faltenförmigen
Filterelements (1) leitfähig sind und selber
Ionenerzeuger sein können.
17. Elektrostatisch unterstütztes, mechanisches, faltenförmiges
Filterelement nach Anspruch 1 bis 16, dadurch
gekennzeichnet, daß das
elektrische Feld (E) im faltenförmigen Filterelement (1)
von leitfähigen Abstandshaltefäden (14) und/oder von
einem leitfähigen Gitter (17) oder anderer Elektroden
erzeugt werden kann.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19863611947 DE3611947A1 (de) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | Elektrostatisch unterstuetztes, mechanisches faltenfoermiges filterelement |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19863611947 DE3611947A1 (de) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | Elektrostatisch unterstuetztes, mechanisches faltenfoermiges filterelement |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3611947A1 true DE3611947A1 (de) | 1987-10-08 |
Family
ID=6298324
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19863611947 Withdrawn DE3611947A1 (de) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | Elektrostatisch unterstuetztes, mechanisches faltenfoermiges filterelement |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
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