DE3611634A1 - Pyrometrisches messverfahren und mehrkanalpyrometer - Google Patents

Pyrometrisches messverfahren und mehrkanalpyrometer

Info

Publication number
DE3611634A1
DE3611634A1 DE19863611634 DE3611634A DE3611634A1 DE 3611634 A1 DE3611634 A1 DE 3611634A1 DE 19863611634 DE19863611634 DE 19863611634 DE 3611634 A DE3611634 A DE 3611634A DE 3611634 A1 DE3611634 A1 DE 3611634A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
temperature
emissivity
voltages
spectral signal
determined
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19863611634
Other languages
English (en)
Other versions
DE3611634C2 (de
Inventor
Ulrich Dipl Ing Kienitz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MESSGERAETE GMBH MAGDEBURG, O-3011 MAGDEBURG, DE
Original Assignee
WEINERT E MESSGERAETEWERK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by WEINERT E MESSGERAETEWERK filed Critical WEINERT E MESSGERAETEWERK
Publication of DE3611634A1 publication Critical patent/DE3611634A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3611634C2 publication Critical patent/DE3611634C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/60Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using determination of colour temperature

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)

Description

Anwendungsgebiet der Erfindung
Die Erfindung betrifft ein pyrometrisches Meßverfahren und ein Mehrkanalpyrometer zu Bestimmung der Temperatur T o von Oberflächen mit unterschiedlichen Emissionsgraden durch Messung der spektralen Signalspannungen U j bei j = 1-n effektiven Wellenlängen.
Charakteristik der bekannten technischen Lösungen
In der Gesamtstrahlungspyrometrie ist es üblich, den Emissionsgrad eines Meßobjektes zu schützen oder durch seine künstliche Erhöhung den Einfluß auf die Verfälschung des Meßergebnisses einer berührungslosen Temperaturmessung zu vermindern. Die Verfahren lassen jedoch nur eine näherungsweise Bestimmung der Objekttemperatur zu und/oder erfordern eine Veränderung der Meßobejektoberfläche bzw. -umgebung.
Es wurden deshalb verschiedene Verfahren entwickelt, mit Hilfe von Spektral- bzw. Bandstrahlungspyrometern durch eine Messung der infraroten Strahlung bei mehreren effektiven Wellenlängen eine emissionsgradunabhänige Temperaturmessung zu erreichen.
Eine erste Gruppe von Verfahren setzt einen linearen Verlauf des Emissionsgrades voraus. Die damit aufgebauten einfachen und erweiterten Quotientenpyrometer verringern den Meßfehler nur dann, wenn diese Voraussetzung tatsächlich erfüllt ist. Bei realen Meßobjektiven führt jedoch schon eine geringe Abweichung von der vorausgesetzten Emissionsgradverteilung durch die Quotientenbildung der Pyrometersignale zu einem größeren Meßfehler als die Schätzung des Emissionsgrades und anschließende Messung mit einem Bandstrahlungspyrometer.
In DE-OS 16 48 233 wird ein Meßverfahren vorgeschlagen, welches im Hochtemperaturbereich und nach einer Kalibrierung des betreffenden Meßobjektes veränderliche Emissionsgrade durch Bildung eines temperaturinvarianten Bandstrahlungsverhältnissignals berücksichtigt. Nachteilig dabei ist die aufwendige Kalibrierung aller möglichen Emissionsgradverhältnisse, da das Meßverfahren sonst zur Berechnung einer falschen Objekttemperatur führt.
Zur Messung der Infrarotstrahlung in mehreren effektiven Wellenlängen werden Mehrkanalpyrometer mit zwei oder drei Kanälen eingesetzt. Die Infrarotstrahlung des Meßobjekts gelangt durch eine Optik auf die Eingänge der Kanäle. Es werden die Signalspannungen U j der j = 1 bis n kanalspezifischen Wellenlängen gemessen. An die Kanäle ist zur Auswertung ein Steuerrechner und an den Steuerrechner eine Dialogeinheit angeschlossen. Im Steuerrechner ist die am Schwazen Strahler kalibrierte Abhängigkeit der spektralen Signalspannungen U oj und U uj von der Oberflächentemperatur T o bzw. der Umgebungstemperatur T u gespeichert.
Ziel der Erfindung
Ziel der Erfindung ist es, sowohl im Hoch- als auch im Niedertemperaturbereich die Meßsicherheit zu erhöhen.
Darlegung des Wesens der Erfindung
Aufgabe der Erfindung ist es, durch eine Infrarotstrahlungsmessung bei wenigstens zwei effektiven Wellenlängen die Information über die Objektemperatur und die aktuell vorliegenden Emissionsgradverhältnisse bei ausgewählten Oberflächenmaterialien, wie sie für einen Anwender typisch sind, zu gewinnen.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß die spektralen Signalspannungen U ÿ in Abhängigkeit von der Differenz U oj -U uj für eine diskrete Zahl i = 1 bis n von im Emissionsgrad unterschiedlichen Oberflächenmaterialien festgestellt, aus den gemessenen spektralen Signalspannungen U j unter Verwendung der festgestellten Anhängigkeit für jeden Emissionsgrad e ÿ die hypothetisch möglichen spektralen Spannungen U oÿ und hieraus die wahrscheinliche Objekttemperatur T o und das wahrscheinlich zutreffende Oberflächenmaterial ermittelt werden.
Aus dem bekannten Zusammenhang folgen für eine gemessene spektrale Signalspannung U j die theoretisch möglichen wobei für ε ÿ der vorher durch Messung festzustellende Zusammenhang für alle i einzusetzen ist. Beim Einsetzen der zutreffenden Emissionsgradverhältnisse ε ÿ ist die Streuung der den U oÿ über eine Kalibrierkennlinie zugeordneten Objekttemperaturen theoretisch Null und praktisch klein. Den Werten mit der kleinsten Streuung kann mit großer Sicherheit die tatsächliche Objekttemperatur zugeordnet werden, insbesondere dann, wenn ihre Streuung unterhalb eines vorher festzulegenden Schwellwertes liegt. Zur Durchführung des Verfahrens kann erfindungsgemäß ein Mehrkanalpyrometer mit Steuerrechner und Dialogeinheit(en) eingesetzt werden, bei dem dem Steuerrechner ein nichtflüchtiger RAM mit den Abhängigkeiten der spektralen Signalspannungen U ÿ von U oj -U uj für eine diskrete Zahl i = 1 bis n von für den Anwender typischen im Emissionsgrad unterschiedlichen Oberflächen im Speicherinhalt zugeordnet ist.
Mit einer derartigen Konfiguration ist Echtzeitbetrieb möglich, so daß forlaufend neue Strahlungsmeßwerte behandelt werden können. Die Zahl der notwendigen spektralen Meßbereiche wird dabei maßgeblich von der Zahl der zu unterscheidenden Materialien bzw. deren Emissionsgradverlaufen sowie der notwendigen Erkennungssicherheit bestimmt.
Ausführungsbeispiel
In den Zeichnungen zeigen
Fig. 1 die Abhängigkeit der Differenz U oj -U ÿ von der Temperatur eines Schwarzen Strahlersund
Fig. 2 eine erfindungsgemäße Anordnung.
Die Temperaturstrahlung eines Meßobjektes 1 gelangt durch eine Infrarotoptik 2 auf die n = 3 Kanäle eines Mehrkanalwechsellichtpyrometers 3. Am Ausgang der Kanäle werden die spektralen Signalspannungen U j gemessen. Nach einer (nicht dargestellten) Analog/Digitalwandlung werden die U j gemessen. Nach einer (nicht dargestellten) Analog/Digitalwandlung werden die U j einem Steuerrechner 4 zugeführt. Der Steuerrechner 4 ist mit einem nichtflüchtigen RAM 6 und einer bzw. mehreren üblichen Dialogeneinheiten 5 gekoppelt. Im RAM 6 sind anwenderspezifisch die Abhängigkeiten der Signalspannungen U ÿ von den Differenzen U oj -U uj für i = 10 im Emissionsgrad unterschiedliche Oberflächen gespeichert. Wie üblichen werden die spektralen Signalspannungen U oj -U uj bei der Oberflächentemperatur T o und der Umgebungstemperatur T u am Schwarzen Strahler und im ROM des Steuerrechners gespeichert. Die Speicherung der Kalibrierwerte für die Schwarzstrahlerkennlinie geschieht werkseitig im ROM. Die Ermittlung der Emissionsgrade und ihre Speicherung im nichtflüchtigen RAM erfolgt beim Anwender entsprechend seinem Meßproblem.
Bei der Temperaturmessung eines Objekts mit unbekannten Emissionsgraden werden zunächst die n = 3 Spannungen U 1 ... U 3 gemessen. Gemäß Gleichung 2 werden den für die 10 Materialien gespeicherten 30 Emissionsgraden ε ÿ 30 hypothetische Spannungen U oÿ ermittelt. In der Matrix dieser Spannungswerte entsprechen jeder Zeile U oi1, U oi3, U oi2 gemäß den im ROM gespeicherten Kalibrierkennlinien die Temperaturwerte T oi1, T oi2, T oi3.
Bei einer Variante des Ausführungsbeispiels werden alle diese Werte ausgedruckt und Zeile für Zeile miteinander verglichen. Liegen die Werte einer Zeile sehr dicht beieinander, dann kann mit großer Wahrscheinlichkeit angenommen werden, daß damit die wahre Objekttemperatur ermittelt wurde und es sich um das Material, das dieser Zeile entspricht, handelt.
Zur Erhöhung der Sicherheit der Aussage wird in einer zweiten Variante aus den T oi jeder Zeile der jeweilige Mittelwert oi und über die im ROM gespeicherten Kalibrierkennlinien die dem Mittelwert entsprechenden oÿ bestimmt. Danach wird zeilenweise die Streuung der Spannungen errechnet und im Vergleich aller io Werte der kleinste ermittelt. Die dieser Zeile zugehörige mittlere Temperatur oi wird als die wahre Temperatur angenommen, wobei die Sicherheit dieser Aussage höher ist, als die bei der ersten Variante.
Da durchaus die Temperatur eines Objektes gemessen werden kann. dessen spektrale Emissionsgrade nicht kalibriert wurden, wird zur weiteren Erhöhung der Sicherheit in einer dritten Variante die nach der zweiten Variante ermittelte kleinste Streuung S i mit einem Schnellwert verglichen. Liegt die kleinste Streuung über diesem Schwellwert, gilt das Material als nicht kalibriert.
Aufstellung über die verwendeten Bezugszeichen
1 Meßobjekt
2 Infrarotoptik
3 Mehrkanalpyrometer
4 Steuerrechner
5 Dialogeinheit
6 anwenderspezifischer RAM

Claims (3)

1. Pyrometrisches Meßverfahren zur Bestimmung der Temperatur T o von Oberflächen mit unterschiedlichen Emissionsgraden durch die Messung der spektralen Signalspannungen U j bei j = 1 bis n effektiven Wellenlängen bei einer bekannten mittleren Umgebungstemperatur T u und einer durch Kalibrierung festgestellten Abhängigkeit der Differenz U oj -U uj von den Temperaturen eines Schwarzen Strahlers, gekennzeichnet dadurch, daß die spektralen Signalspannungen U ÿ in Abhängigkeit von der Differenz U oj -U uj für eine diskrete Zahl i = 1 bis n von im Emissionsgrad unterschiedlichen Oberflächenmaterialien festgestellt, aus den gemessenen spektralen Signalspannungen U j unter Verwendung der festgestellten Abhängigkeit für jeden Emissionsgrad ε ÿ die hypothetisch möglichen spektralen Spannungen U oÿ und hieraus die wahrscheinliche Objekttemperatur T o und das wahrscheinlich zustreffene Oberflächenmaterial ermittelt werden.
2. Pyrometrisches Meßverfahren nach Punkt 1. gekennzeichnet dadurch, daß den hypothetisch möglichen spektralen Spannungen U oÿ , die gegenüber dem Mittelwert oj die geringste Streuung haben, die wahrscheinlichste Objekttemperatur T o zugeordnet wird, sofern die Streuung unterhalb eines Schwellwertes liegt.
3. Mehrkanalpyrometer mit j = 1 bis n Kanälen, einem Steuerrechner (4), in dem die durch Kalibrierung am Schwarzen Strahler kalibrierten Abhängigkeiten der spektralen Signalspannungsdifferenzen U oj -U uj von der Oberflächen- und Umgebungstemperatur gespeichert sind, und einer oder mehreren Dialogeneinheiten zur Bestimmung der Temperatur von Oberflächen mit unterschiedlichen Emissionsgraden, gekennzeichnet dadurch, daß dem Steuerrechner (4) ein nichtflüchtiger RAM (6) mit den Abhängigkeiten der spektralen Signalspannungen U ÿ von U oj -U uj für eine diskrete Zahl i = 1 bis n von für den Anwender typischen im Emissionsgrad unterschiedlichen Oberflächen im Speicherinhalt zugeordnet ist.
DE19863611634 1985-07-30 1986-04-07 Pyrometrisches messverfahren und mehrkanalpyrometer Granted DE3611634A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD85279119A DD254114A3 (de) 1985-07-30 1985-07-30 Pyrometrisches messverfahren

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3611634A1 true DE3611634A1 (de) 1987-02-05
DE3611634C2 DE3611634C2 (de) 1992-05-14

Family

ID=5570056

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19863611634 Granted DE3611634A1 (de) 1985-07-30 1986-04-07 Pyrometrisches messverfahren und mehrkanalpyrometer

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4880314A (de)
JP (1) JPS6285829A (de)
DD (1) DD254114A3 (de)
DE (1) DE3611634A1 (de)
GB (1) GB2179445B (de)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4008816A1 (de) * 1989-03-27 1990-10-04 Gen Electric Temperaturmessung und steuerung fuer photothermische prozesse
DE4113266A1 (de) * 1990-04-23 1991-10-31 Keller Gmbh Temperatur-messgeraet zur beruehrungslosen bestimmung der temperatur
DE4114369A1 (de) * 1990-05-02 1991-11-28 Keller Gmbh Pyrometer
DE4028408A1 (de) * 1990-09-07 1992-03-19 Tzn Forschung & Entwicklung Verfahren und vorrichtung zur beruehrungslosen temperaturmessung
DE4092221C2 (de) * 1989-12-11 1994-04-21 Hitachi Ltd Vakuumverarbeitungsapparatur und Vakuumverarbeitungsverfahren
EP0420108B1 (de) * 1989-09-25 1994-06-08 Europäische Atomgemeinschaft (Euratom) Mehrwellenlängen-Pyrometer
DE102004023846A1 (de) * 2004-05-13 2005-12-08 BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH Temperatursensor für ein Gargerät, Gargerät mit elektronischer Temperaturregelung und Verfahren zur Temperaturerfassung

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3476584D1 (en) * 1983-11-28 1989-03-09 Deutsche Forsch Luft Raumfahrt Method for the contactless, emissivity-independent radiation measurement of the temperature of an object
US5132922A (en) * 1989-01-12 1992-07-21 Massachusetts Institute Of Technology Emissivity independent multiwavelength pyrometer
US5249142A (en) * 1989-03-31 1993-09-28 Tokyo Electron Kyushu Limited Indirect temperature-measurement of films formed on semiconductor wafers
US5255980A (en) * 1990-10-18 1993-10-26 Rosemount Inc. Black body TRD temperature sensor
US5114242A (en) * 1990-12-07 1992-05-19 Ag Processing Technologies, Inc. Bichannel radiation detection method
US5314249A (en) * 1991-11-19 1994-05-24 Kawasaki Steel Corporation Surface condition measurement apparatus
US5272340A (en) * 1992-09-29 1993-12-21 Amara, Inc. Infrared imaging system for simultaneous generation of temperature, emissivity and fluorescence images
US5326173A (en) * 1993-01-11 1994-07-05 Alcan International Limited Apparatus and method for remote temperature measurement
ES2101921T3 (es) * 1993-10-27 1997-07-16 Euratom Metodo para evaluar las señales de los canales de un pirometro multicanal.
US5868496A (en) * 1994-06-28 1999-02-09 Massachusetts Institute Of Technology Non-contact surface temperature, emissivity, and area estimation
US5690429A (en) * 1994-12-07 1997-11-25 Ng; Daniel Method and apparatus for emissivity independent self-calibrating of a multiwavelength pyrometer
WO1997004292A1 (en) * 1995-07-21 1997-02-06 University Of Utah Research Foundation Multicolor optical pyrometer
DE19613229C2 (de) * 1996-04-02 1999-01-28 Braun Ag Verfahren zur Kalibrierung eines Strahlungsthermometers
US6183127B1 (en) 1999-03-29 2001-02-06 Eaton Corporation System and method for the real time determination of the in situ emissivity of a workpiece during processing
US6461036B1 (en) 1999-03-29 2002-10-08 Axcelis Technologies, Inc. System and method for determining stray light in a thermal processing system
US6610968B1 (en) 2000-09-27 2003-08-26 Axcelis Technologies System and method for controlling movement of a workpiece in a thermal processing system
GB0314788D0 (en) * 2003-06-25 2003-07-30 Rolls Royce Plc Component temperature measuring method
US7004624B2 (en) * 2003-11-14 2006-02-28 Yan Liu Temperature measurement apparatuses and method utilizing the alexandrite effect
US7121998B1 (en) * 2004-06-08 2006-10-17 Eurica Califorrniaa Vented microcradle for prenidial incubator
DE102004053659B3 (de) * 2004-11-03 2006-04-13 My Optical Systems Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Erfassung von thermischen Eigenschaften einer Objektoberfläche
ATE543081T1 (de) * 2009-05-12 2012-02-15 Laytec Ag Verfahren zur kalibrierung eines pyrometers, verfahren zur bestimmung der temperatur eines halbleiterwafers und system zur bestimmung der temperatur eines halbleiterwafers
DE102011016102A1 (de) * 2011-01-07 2012-07-12 Heraeus Noblelight Gmbh Verfahren zur Bestimmung der Infrarot-Abstrahlung
CN109916534B (zh) * 2019-05-05 2021-08-13 国网黑龙江省电力有限公司哈尔滨供电公司 一种分布式光纤的测温系统及其测温方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1648233A1 (de) * 1967-04-18 1972-01-13 Inst Metallurg Im A A Bajkowa Verfahren und Einrichtung zum Messen der wahren Koerpertemperatur nach der Ausstrahlung
DE3343043A1 (de) * 1983-11-28 1985-06-05 Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln Verfahren zur beruehrungslosen, emissionsgradunabhaengigen strahlungsmessung der temperatur eines objektes
DE3115887C2 (de) * 1981-04-21 1986-07-03 Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Infrarot-Strahlungsmessung der Temperatur eines Strahlers

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
LU45905A1 (de) * 1964-04-18 1965-10-18
US3483378A (en) * 1968-06-19 1969-12-09 United States Steel Corp Apparatus for determining the emittance of a body
US3610592A (en) * 1969-07-29 1971-10-05 United States Steel Corp Method and apparatus for estimating errors in pyrometer readings
JPS5234230B2 (de) * 1971-12-27 1977-09-02
WO1981000764A1 (en) * 1979-09-12 1981-03-19 M Jacobs Hand-held digital temperature measuring instrument
US4465382A (en) * 1980-03-04 1984-08-14 Nippon Steel Corporation Method of and an apparatus for measuring surface temperature and emmissivity of a heated material
US4435092A (en) * 1980-07-25 1984-03-06 Nippon Steel Corporation Surface temperature measuring apparatus for object within furnace
GB2099990B (en) * 1981-06-05 1984-11-28 Philips Electronic Associated Temperature measurement using thermal imaging apparatus
US4433924A (en) * 1981-09-18 1984-02-28 Honeywell Inc. Thermal reference apparatus
US4504922A (en) * 1982-10-28 1985-03-12 At&T Bell Laboratories Condition sensor
US4592002A (en) * 1983-12-13 1986-05-27 Honeywell Inc. Method of digital temperature compensation and a digital data handling system utilizing the same
US4611930A (en) * 1983-12-16 1986-09-16 Exxon Research And Engineering Co. Pyrometer measurements in the presence of intense ambient radiation

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1648233A1 (de) * 1967-04-18 1972-01-13 Inst Metallurg Im A A Bajkowa Verfahren und Einrichtung zum Messen der wahren Koerpertemperatur nach der Ausstrahlung
DE3115887C2 (de) * 1981-04-21 1986-07-03 Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Infrarot-Strahlungsmessung der Temperatur eines Strahlers
DE3343043A1 (de) * 1983-11-28 1985-06-05 Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln Verfahren zur beruehrungslosen, emissionsgradunabhaengigen strahlungsmessung der temperatur eines objektes

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4008816A1 (de) * 1989-03-27 1990-10-04 Gen Electric Temperaturmessung und steuerung fuer photothermische prozesse
EP0420108B1 (de) * 1989-09-25 1994-06-08 Europäische Atomgemeinschaft (Euratom) Mehrwellenlängen-Pyrometer
DE4092221C2 (de) * 1989-12-11 1994-04-21 Hitachi Ltd Vakuumverarbeitungsapparatur und Vakuumverarbeitungsverfahren
DE4113266A1 (de) * 1990-04-23 1991-10-31 Keller Gmbh Temperatur-messgeraet zur beruehrungslosen bestimmung der temperatur
DE4114369A1 (de) * 1990-05-02 1991-11-28 Keller Gmbh Pyrometer
DE4028408A1 (de) * 1990-09-07 1992-03-19 Tzn Forschung & Entwicklung Verfahren und vorrichtung zur beruehrungslosen temperaturmessung
DE102004023846A1 (de) * 2004-05-13 2005-12-08 BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH Temperatursensor für ein Gargerät, Gargerät mit elektronischer Temperaturregelung und Verfahren zur Temperaturerfassung

Also Published As

Publication number Publication date
GB2179445B (en) 1989-11-15
DD254114A3 (de) 1988-02-17
US4880314A (en) 1989-11-14
GB2179445A (en) 1987-03-04
JPS6285829A (ja) 1987-04-20
GB8617606D0 (en) 1986-08-28
DE3611634C2 (de) 1992-05-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3611634A1 (de) Pyrometrisches messverfahren und mehrkanalpyrometer
DE3536038A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum entdecken von feuer und explosionen
EP0427037B1 (de) Nichtdispersiver Infrarot-Gasanalysator zur gleichzeitigen Messung der Konzentration mehrerer Komponenten einer Gasprobe
DE3617161A1 (de) System zur bestimmung der konzentration von bestandteilen von koerperfluessigkeiten
DE102017223535A1 (de) Verfahren und Batteriesensor zur Ermittlung eines Laststroms
DE2214586A1 (de) Vorrichtung zur Bestimmung der wahren Temperatur einer Fläche
LU87595A1 (de) Mehrwellenlaengen-pyrometer
EP0277124B1 (de) Wärmestrahlungssensor
DE3202560A1 (de) Vorrichtung zur in situ erfolgenden eichung eines gamma-thermometers
DE4334578C2 (de) Spektral abstimmbarer Infrarot-Sensor
CH685405A5 (de) Temperaturmessung mit Zweiwellenlängenpyrometern.
DE2530897A1 (de) Temperaturmesselement
DE3149523A1 (de) Verfahren und einrichtung zur beruehrungslosen temperaturmessung
Heiligman et al. The anomalous luminosity function of galaxies in compact groups
DE3611567A1 (de) Verfahren zur beruehrungslosen temperaturmessung mit einem mehrkanalpyrometer
DE3520691C2 (de)
DE2612253C3 (de) Vulkameter zur Bestimmung des Vulkanisationsverlaufs von Kautschuk und seinen Mischungen
DE3539977A1 (de) Spektrofluorophotometer
EP0217884B1 (de) Einrichtung zur messung der relativen feuchte der luft
DE2439665A1 (de) Materialmessanordnung
DE19711494C1 (de) Verfahren zur Partikelgrößenmessung
DE2604672C2 (de) Vorrichtung zur Kontrolle der Homogenität der radialen Intensitätsverteilung eines ionisierenden Strahlungsbündels
DE3011499C2 (de) Spannungsprüfvorrichtung
DE10150320A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von festen und flüssigen Niederschlägen
DE1948192A1 (de) Anordnung zur Bestimmung einer Komponente eines Gasgemisches

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: MESSGERAETE GMBH MAGDEBURG, O-3011 MAGDEBURG, DE

D2 Grant after examination
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: ULTRAKUST INFRA SENSOR GMBH MAGDEBURG, O-3018 MAGD

8339 Ceased/non-payment of the annual fee