DE3601907C2 - Fluiddruckregler - Google Patents
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Fluiddruckregler und
insbesondere auf einen Fluiddruckregler vom nicht belüfteten bzw.
nicht offenen Typ, bei welchem kein Fluiddruck an Atmosphäre
abgegeben wird; dabei handelt es sich insbesondere um Fluiddruck
regler, welche sich zur Regelung des Druckes eines Fluides,
z. B. eines Sauerstoffgases, proportional zu einem angelegten
elektrischen Signal und zur Erzeugung eines geregelten Fluid
druckes als Ausgangsdruck eignen.
Fluiddruckregler mit einem elektrischen Umsetzer und einem Druck
wandler in Kombination sind zur Regelung eines Fluidausgangs
druckes auf einen konstanten Pegel durch die Verwendung eines
elektrischen Signals bekannt. Ein derartiger üblicher Fluid
regler ist in den Fig. 1 und 2 der Zeichnung dargestellt.
Wie in Fig. 1 veranschaulicht, hat ein elektropneumatischer
Umsetzer 2 für die Umwandlung eines elektrischen Signals in
ein pneumatisches Drucksignal einen Ausgang, welcher mit einer
ersten Öffnung 6 eines Druckumwandlers 4 verbunden ist,
welcher ein Diaphragma 8 aufgenommen enthält. Der Druckum
wandler 4 hat auch ein Regelventil 10, dessen eines Ende gegen
das Diaphragma 8 gehalten ist und dessen gegenüberliegendes
Ende in einem Ventilloch 15 positioniert ist, welches
zwischen einer zweiten Öffnung 12, welche als Druckversor
gungsöffnung dient, und einer dritten Öffnung 14, welche als
Druckauslaßöffnung für die Erzeugung eines Ausgangsfluid
druckes dient, gebildet ist. Deswegen ist der Druckumwandler
4 vom nicht belüfteten bzw. nicht offenen Typ, bei welchem
kein pneumatischer Druck an Atmosphäre abgegeben wird.
Fig. 2 zeigt Einzelheiten des elektropneumatischen Umsetzers 2.
Der elektropneumatische Umsetzer 2 hat einen Drehmoment
erzeuger 16 mit einer Spule 18, über welche sich ein Schwing
hebel 22 erstreckt, der mittig von einem Zapfen 20 gehalten
wird. Eine Rückkopplungsspiralfeder 24 ist an einem Ende mit
einem Ende des Schwinghebels 22 verbunden. Das andere Ende der
Rückkopplungsspiralfeder 24 ist an einem Rückkopplungshebel
26 schwenkbar an einem Ende gelagert und an seinem Mittelab
schnitt von einem Rückkopplungsbalg 28 mit Druck beaufschlagt.
Das andere Ende des Schwinghebels 22 ist nahe einer Düse 34
positioniert, welche mit Luft unter vorgegebenem Druck von
einer Luftdruckquelle 30 über eine feststehende Verengung 32
versorgt wird. Der Ausgangsluftdruck von der Düse 34 wird zu
einem Steuerventil 36 geleitet, welcher ein Ausgangsluftdruck
erzeugt, der von der Luft geregelt wird, welcher von der
Luftdruckquelle 30 abgezweigt wird. Der Ausgangsluftdruck von
dem Steuerventil 36 verzweigt sich zu den Rückkopplungsbälgen
28. Der Drehmomenterzeuger 16 hat einen Magneten 38, welcher
um die Spule 18 angeordnet ist, welche mit Leitern 40 verbun
den ist, über welche ein elektrisches Eingangssignal an die
Spule 18 gegeben wird.
Wenn das elektrische Eingangssignal über die Leiter 40 vari
iert wird, so bewirkt eine solche Signaländerung eine
Veränderung in dem elektrischen Strom, welcher durch die Spule
18 fließt, worauf eine Veränderung in dem magnetischen Fluß
bewirkt wird, der von ihm erzeugt wird. Die magnetische Kraft,
welche auf den Schwinghebel 22 einwirkt, verändert sich dann,
so daß sich der auf dem Zapfen 20 gehaltene Schwinghebel 22
dreht, so daß sich der Abstand zwischen der Düse 34 und dem
entsprechenden Ende des Schwinghebels 22 verändert. Dadurch
wird auch der Gegendruck der Düse 34 verändert. Der
Düsengegendruck wird in dem Steuerventil 36 in einen
Ausgangsluftdruck verstärkt. Ein Teil des Ausgangsluftdruckes
von dem Steuerventil 36 wird an die Rückkopplungsbälge 28
gegeben, um auf den Rückkopplungshebel 26 zu drücken. Der
Rückkopplungshebel 26 wird dadurch winkelmäßig verstellt, um
an der Rückkopplungsfeder 24 zu ziehen, welche dann den
Schwinghebel 22 winkelmäßig verstellt, um wiederum den
Düsengegendruck zu verändern. Insbesondere wirkt die Feder 24
dahingehend, die Kraft auszugleichen, welche dazu neigt, den
Schwinghebel 22 auf das elektrische Eingangssignal hin,
welches an die Spule 18 angelegt wird, zu verstellen. Der
Schwinghebel 22 wird in einen Gleichgewichtszustand gebracht,
wenn die an dem Schwinghebel 22 auf das elektrische
Eingangssignal hin erzeugte Kraft gleich der Kraft ist, die
auf den Schwinghebel 22 von den Rückkopplungsbälgen 28
ausgeübt wird. Auf diese Weise kann der Ausgangsluftdruck von
dem Steuerventil 36 immer proportional zu dem angelegten
elektrischen Eingangssignal erzeugt werden.
Hieraus ist zu entnehmen, daß der übliche Regler im wesent
lichen aus einem Mechanismus zur Umwandlung eines elektrischen
Eingangssignals in ein Luftdrucksignal und einem Mechanismus
zur Regelung eines Fluiddruckes proportional zu dem umgewan
delten Luftdruck zusammengesetzt ist. Wo ein Düsenklappenme
chanismus verwendet wird, ist es im allgemeinen möglich, den
elektropneumatischen Umsetzer mit hoher Genauigkeit zu bauen,
da der Düsengegendruck sehr genau einreguliert werden kann.
Es wäre jedoch schwierig, ein Düsenklappenmechanismus in dem
Druckumwandler unterzubringen, welcher mit dem sehr genauen
elektropneumatischen Umsetzer gekoppelt ist, da ein Gas, wie
beispielsweise Sauerstoff, nicht als Ausgangsdruck an
Atmosphäre abgegeben werden kann. Deswegen ist es üblich
geworden, in Kombination einen sehr genauen elektropneumati
schen Umsetzer und einen Druckumwandler zu verwenden, welcher
nicht so genau ist. Der bekannte Fluiddruckregler ist deswegen
nachteilig, weil seine Gesamtgenauigkeit nicht auf das gewün
schte Maß angehoben werden kann.
Aus der DE 32 20 815 A1 ist eine Druckregelvorrichtung für
gasförmige und flüssige Strömungsmittel mit einem Druckregler
bekannt, der einen Eingang und einen Ausgang für das
Strömungsmittel, einen dazwischen angeordneten Druckraum,
dessen Druck geregelt werden soll, ein die Strömung des
Strömungsmittels durch den Druckraum bestimmendes Hauptventil
als Stellglied, einen elektromagnetischen Sollwerteinsteller,
eine mit dem zu regelnden Druckraum verbundene Ist
wert-Meßkammer und eine Soll-Ist-Vergleichsvorrichtung aufweist,
die in Abhängigkeit vom Vergleich zwischen dem vom
Sollwerteinsteller vorgegebenen Solldruck und dem Ist-Druck
der Istwert-Kammer das Hauptventil betätigt. Um bei Änderungen
des Sollwerts und des Ist-Wertes den Ist-Wert unter Vermeidung
von die Genauigkeit störenden Einflüssen schnell und genau auf
den Sollwert einstellen zu können, ist ein Sollwertumformer
vorgesehen, der einen den Druck des zu regelnden Druckraumes
ausgesetzten, ein dem jeweiligen Druck entsprechendes
elektrisches Ist-Signal erzeugenden Istwertfühler und einen
Vergleicher aufweist, der das elektrische Ist-Signal mit einem
ihm vorgegebenen Sollwert vergleicht und ein diesem Vergleich
entsprechendes korrigiertes Sollwertsignal an den
elektromagnetischen Sollwerteinsteller liefert. Die dadurch
erreichte Strömungsmittelrückkopplung mit der Ist
wert-Meßkammer soll auf Druckänderungen in der zu regelnden
Druckkammer und auch auf Druckänderungen des
Sollwerteinstellers schnell ansprechen und in sehr kurzer Zeit
eine Anpassung des Istwertes an den Sollwert bewirken. Dennoch
verbleibende Regelabweichungen sollen durch eine durch den
Sollwertumformer gegebene elektrische Rückkopplung behoben
werden. Durch die Verwendung eines Druckentlastungsventils,
bestehend aus einem Ventilkörper und einem Ventilsitz, ist
jedoch keine ausreichend genaue Steuerung der Druckentlastung
möglich.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, einen
Fluiddruckregler zu schaffen, welcher bei einfachem Aufbau und
einfacher Herstellungsweise höhere Genauigkeiten zuläßt.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch
einen Fluiddruckregler gemäß Anspruch 1 gelöst.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus
den Unteransprüchen
Weiterbildungen, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispieles anhand der beilie genden Zeichnung.
Weiterbildungen, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispieles anhand der beilie genden Zeichnung.
Es zeigen:
Fig. 1 einen schematischen Querschnitt eines
üblichen Fluiddruckreglers;
Fig. 2 eine schematische Ansicht eines elektropneumatischen
Umsetzers in dem Fluiddruckregler gemäß Fig. 1 und
Fig. 3 eine Schnittansicht eines Fluiddruckreglers nach der
Erfindung.
Der erfindungsgemäße Fluiddruckregler 50 nach Fig. 3 enthält ein
Gehäuse 52, einen Düsenklappenmechanismus 54, angeordnet in
einem oberen Teil des Gehäuses 52, und eine Steuerventilan
ordnung 56, angeordnet in einem unteren Teil des Gehäuses 52.
Der Düsenklappenmechanismus 54 besteht aus einer Düse 60,
welche einen vorgegebenen Düsendurchmesser hat und mit einer
Düsengegendruckkammer 58 der Steuerventilanordnung 56 in
Strömungsverbindung steht, sowie einer flachen Prallplatte 62.
Die Prallplatte 62 besitzt ein freies Ende, welches in vorge
gebenem Abstand von der Düse 60 angeordnet ist. Das äußere
Ende der Prallplatte 62 ist an dem Gehäuse 52 mittels Schraube
64 befestigt. Die Prallplatte 62 hat ein flaches elektrostrik
tives Element, bestehend aus zwei piezoelektrischen kerami
schen Schichten 66 mit Elektroden und einer Elektrodenschicht
68, welche sandwich-artig zwischen den piezoelektrischen
keramischen Schichten 66 liegt. Eine vorgegebene Spannung wird
an die Prallplatte 62 mittels einer Steuereinrichtung 62 über
Leiter 70 angelegt, welche an die piezoelektrischen kerami
schen Schichten 66 geführt sind. Die Steuerventilanordnung 56
enthält zwei vertikal im Abstand befindliche, einander gegen
überliegende Diaphragmen (Membrane) 74, 76, einen Kolben 78,
welcher die Diaphragmen in Abstandsbeziehung in im wesentli
chen mittigen Abschnitten hält, und einen Ventilkörper 80,
welcher in eine konische Ausnehmung 78a eingreift, die in dem
unteren Ende des Kolbens 78 gebildet ist. Das Diaphragma 74
hat eine größere Druckaufnahmefläche als das Diaphragma 76.
Der Ventilkörper 80 besteht im wesentlichen aus einem halb
sphärischen Vorsprung 82, welcher in der konischen Ausnehmung
78a sitzt, einem Stab 84, welcher sich nach unten von dem
halbsphärischen Vorsprung 82 aus erstreckt, und einem halb
sphärischen inneren Ventil 86, welches an dem unteren Ende des
Stabes 84 festliegt. Der Ventilkörper 80 wird normalerweise
mit einer Spiralfeder 88, welche gegen das innere Ventil 86
anliegt, nach oben gedrückt, um den Vorsprung 82 in die Aus
nehmung 78a des Kolbens 78 zu drücken. Unter normalen Be
dingungen sitzt daher die obere halbsphärische Seite des
inneren Ventils 86 auf einem Ventilsitz 90, welcher an dem
Gehäuse 52 vorgesehen ist, um die Fluidverbindung zu
schließen, welche mittels Durchlässen 96, 98, 100 zwischen
einer Versorgungsöffnung 92 und einer Auslaßöffnung 94, die in
dem Gehäuse 52 gebildet sind, vorgesehen ist.
Das Gehäuse 52 hat auch eine Öffnung 102 oberhalb der Versor
gungsöffnung 92, jedoch ohne Verbindung zu dieser, für die
Zufuhr von Luft. Die Öffnung 102 steht in Strömungsverbindung
mit der Düsengegendruckkammer 58 über Durchlässe 104a, 104b,
104c, 104d, 104e. Der Durchlaß 104d hat eine Mundstücköffnung
106, um unter Druck bei konstanter Strömungsgeschwindigkeit
jederzeit Luft in die Düsengegendruckkammer 58 einzuführen.
Von dem Durchlaß 104b zweigt ein Durchlaß 104f ab, welcher mit
einer Versorgungsdruckkammer 108 in Strömungsverbindung steht,
welche zwischen den Diaphragmen 74, 76 gebildet ist. Die
Düsengegendruckkammer 58 ist im Volumen größer als die Versor
gungsdruckkammer 108. Das Diaphragma 76 und das Gehäuse 52
bilden zwischen sich eine Atmosphärendruckkammer 110, welche
über einen Durchlaß 112 zur Atmosphäre hin belüftet ist.
Durchlässe 114a, 114b, 114c erstrecken sich in gegenseitiger
Strömungsverbindung von der Auslaßöffnung 94, wobei die Durch
lässe 114a, 114b, 114c nicht mit der Atmosphärendruckkammer
110 in Strömungsverbindung stehen und mit einer Vertiefung 116
verbunden sind. Ein Drucksensor 118 ist fest in der Vertiefung
116 angeordnet, wobei der Drucksensor 118 ein halbleitendes
Diaphragma (nicht dargestellt) aufweist. Eine Verschiebung des
Halbleiterdiaphragmas wird als Spannungsänderung aufgenommen,
welche über Leiter 120 zu der Steuer
einrichtung 72 gegeben wird. Wenn beispielsweise der
Ausgangsfluiddruck über die Durchlässe 114a, 114b, 114c an den
Drucksensor 118 gelegt wird, wird das Halbleiterdiaphragma
verschoben, um seinen eigenen elektrischen Widerstand derart
zu ändern, daß der Ausgangsfluiddruck als ein elektrisches
Signal nachgewiesen werden kann.
Ein so aufgebauter Fluiddruckregler arbeitet wie folgt:
Es sei angenommen, daß ein Sauerstoffgas, welches nicht an Atmosphäre abgegeben wird, der Zufuhröffnung 92 zugeführt und geregelt in seinem Druck von dem Ventilkörper 80, aus der Auslaßöffnung 94 abgegeben wird. Wenn ein elektrisches Ein gangssignal der Steuereinrichtung 72 Zugeführt wird, liefert die Steuereinrichtung 72 eine vorgegebene Spannung an den Düsenklappenmechanismus 54 über die Leiter 70. Abhängig von der Polarität der Spannung, die von der Steuereinrichtung 72 angelegt wird, werden die piezoelektrischen keramischen Schichten 66 veranlaßt, den Abstand zwischen ihnen und dem Mundstück der Düse 60 zu ändern. Im Ergebnis wird der Düsen gegendruck in der Düsengegendruckkammer 58, die mit Luft versorgt wird, über die Düse 60 verändert. Wenn beispielsweise der Düsengegendruck in der Düsengegendruckkammer 58 ansteigt wird der Kolben 58, wie mit Pfeil A angedeutet, abgesenkt, um den halbsphärischen Vorsprung 82 an der Ausnehmung 78a abwärts zu bewegen, wodurch sich der Ventilkörper 80 nach unten gegen die Federkraft der Spiralfeder 88 bewegt. Das innere Ventil 86 ist nunmehr nach unten von dem Ventilsitz 90 abgehoben, um eine Strömungsverbindung von der Zufuhröffnung 92 über die Durchlässe 96, 98, 100 vorzusehen, wodurch das Sauerstoffgas, welches von der Versorgungsöffnung 92 aus zugeführt wird, der Auslaßöffnung 94 zugeleitet wird.
Es sei angenommen, daß ein Sauerstoffgas, welches nicht an Atmosphäre abgegeben wird, der Zufuhröffnung 92 zugeführt und geregelt in seinem Druck von dem Ventilkörper 80, aus der Auslaßöffnung 94 abgegeben wird. Wenn ein elektrisches Ein gangssignal der Steuereinrichtung 72 Zugeführt wird, liefert die Steuereinrichtung 72 eine vorgegebene Spannung an den Düsenklappenmechanismus 54 über die Leiter 70. Abhängig von der Polarität der Spannung, die von der Steuereinrichtung 72 angelegt wird, werden die piezoelektrischen keramischen Schichten 66 veranlaßt, den Abstand zwischen ihnen und dem Mundstück der Düse 60 zu ändern. Im Ergebnis wird der Düsen gegendruck in der Düsengegendruckkammer 58, die mit Luft versorgt wird, über die Düse 60 verändert. Wenn beispielsweise der Düsengegendruck in der Düsengegendruckkammer 58 ansteigt wird der Kolben 58, wie mit Pfeil A angedeutet, abgesenkt, um den halbsphärischen Vorsprung 82 an der Ausnehmung 78a abwärts zu bewegen, wodurch sich der Ventilkörper 80 nach unten gegen die Federkraft der Spiralfeder 88 bewegt. Das innere Ventil 86 ist nunmehr nach unten von dem Ventilsitz 90 abgehoben, um eine Strömungsverbindung von der Zufuhröffnung 92 über die Durchlässe 96, 98, 100 vorzusehen, wodurch das Sauerstoffgas, welches von der Versorgungsöffnung 92 aus zugeführt wird, der Auslaßöffnung 94 zugeleitet wird.
Das Sauerstoffgas, welches unter gegebenem Druck von der
Auslaßöffnung 94 abgegeben wird, wird auch über die Durchlässe
14a, 14b, 14c in die Vertiefung 116 geleitet, in welcher das
Sauerstoffgas das halbleitende Diaphragma des Drucksensors 118
beaufschlagt. Das halbleitende Diaphragma erzeugt nun ein
Spannungssignal, welches dem angelegten Druck des Sauerstoff
gases entspricht und liefert das Spannungssignal über die
Leiter 120 an die Steuereinrichtung 72. Daher wird das Aus
gangsdrucksignal an die Steuereinrichtung 72 zurückgeführt.
Die Steuereinrichtung 72 vergleicht das so zurückgeführte
Spannungssignal mit dem elektrischen Eingangssignal; wenn dort
irgendeine Differenz besteht, wird ein Differenzspannungssig
nal an den Düsenklappenmechanismus 54 gelegt, um eine derarti
ge Signaldifferenz zu beseitigen. Die Steuereinrichtung 72
bewirkt jederzeit eine Rückkopplungssteuerung durch Vergleich
zwischen dem elektrischen Eingangssignal und dem Ausgangsdruck
signal, welches zurückgeführt wird. Wenn keine Differenz
zwischen dem elektrischen Eingangssignal und dem Ausgangs
drucksignal besteht, wird die Düsenanordnung 56 in ihren
Gleichgewichtszustand gebracht. Beim Erreichen des Gleichge
wichtszustandes wird ein Sauerstoffgasdruck proportional zu
dem elektrischen Eingangssignal an der Ausgangsöffnung 94
erzeugt.
Mit der Anordnung entsprechend der Erfindung wird der Aus
gangssauerstoffgasdruck an den sehr genauen elektropneuma
tischen Umsetzersensor zurückgeführt, welcher einen Düsen
klappenmechanismus benutzt. Folglich kann der Sauerstoffgas
druck mit hoher Genauigkeit kontrolliert werden. Der Fluiddruck
regler ist einfach im Aufbau. Da ein elektrostriktives Element
zur Steuerung des Düsengegendruckes verwendet wird, kann der
Fluidregler auf einfache Weise elektrisch gesteuert und in
seiner Größe verringert werden, und er ist sehr widerstands
fähig gegen mechanische Ermüdungserscheinungen bei wieder
holtem Gebrauch. Deswegen hat der erfindungsgemäße Fluiddruckregler
größerem Wartungszeiten. Bei dem dargestellten Ausführungsbei
spiel ist Sauerstoffgas als das Fluid beschrieben, welches von
der Versorgungsöffnung an die Auslaßöffnung geführt wird,. Es
kann jedoch Druck nicht nur von Gas, sondern auch von Flüssig
keit geregelt werden,
da der Fluiddurchlaß von der Versorgungsöffnung zu der
Auslaßöffnung von dem Fluiddurchlaß getrennt ist, welcher dem
Düsenklappenmechanismus zugeordnet ist.
Obgleich ein bestimmtes bevorzugtes Ausführungsbeispiel ge
zeigt und beschrieben worden ist, ist klar, daß zahlreiche
Änderungen und Modifikationen vorgenommen werden können, ohne
vom Erfindungsgedanken abzuweichen.
Claims (4)
1. Fluiddruckregler zur Regelung des Fluiddruckes eines
ersten Fluids in Abhängigkeit von einem elektrischen Eingangs
signal, mit einem Gehäuse (52) und einer Düse (60) sowie einer
Düsengegendruckkammer (58) welche mit der Düse (60) in
Strömungsverbindung steht, mit einem Ventilkörper (80),
welcher beweglich in dem Gehäuse (52) angeordnet ist, um den
Fluidstrom durch einen Durchlaß (96, 98, 100) zu steuern,
welcher in dem Gehäuse (52) zwischen einer Versorgungsöffnung
(92) und einer Auslaßöffnung (94) angeordnet ist, und zwar in
Abhängigkeit von der Änderung des Düsengegendrucks in der
Düsengegendruckkammer (58), mit einem Sensor (118) in dem Gehäuse
(52) zur Umwandlung des Ausgangsfluiddrucks, welcher von der
Auslaßöffnung (94) abgegriffen wird, in ein elektrisches
Rückkopplungssignal, und mit einer Steuereinrichtung (72) zur
Steuerung des Düsengegendrucks derart, daß die Differenz
zwischen dem elektrischen Eingangssignal und dem elektrischen
Rückkopplungssignal beseitigt wird, dadurch gekennzeichnet,
daß in dem Gehäuse (52) ein von dem elektrischen Ausgangs
signal der Steuereinrichtung gesteuerter Düsenklappenmecha
nismus (54) angeordnet ist, der in Abhängigkeit von der
Differenz eine Änderung des Düsengegendruckes in der Düsen
gegendruckkammer (58) erzeugt, daß die Düsengegendruckkammer
(58) mit einem,zweiten Fluid beaufschlagt ist, welches von dem
ersten Fluid in dem Durchlaß (96, 98, 100) verschieden ist,
daß eine Diaphragmaanordnung (74, 76) vorgesehen ist, die zwei Diaphragmen (74,
76) mit unterschiedlichen Druckaufnahmeflächen aufweist, wobei
eine Oberfläche des Diaphragmas (74) mit größerer Druckauf
nahmefläche dem Düsengegendruck und eine Oberfläche des
Diaphragmas (76) mit geringerer Druckaufnahmefläche dem
Atmosphärendruck ausgesetzt ist, daß der Raum zwischen den
Diaphragmen (74, 76) über einen Durchlaß (104f) mit dem
zweiten Fluid in Strömungsverbindung steht und daß der
Ventilkörper (80) von der Diaphragmaanordnung (74, 76)
bewegbar ist.
2. Fluiddruckregler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
eine Wand der Düsengegendruckkammer (58) von der Diaphragmaan
ordnung (74, 76) gebildet ist, die in Abhängigkeit von der
Änderung des Düsengegendruckes verschiebbar ist, daß die
Diaphragmaanordnung (74, 76) einen Kolben (78) aufweist,
welcher an der Diaphragmaanordnung (74, 76) angebracht ist,
und daß der Ventilkörper (80) in eine Ausnehmung (78a)
eingreift, die in einem Ende des Kolbens (78) gebildet ist.
3. Fluiddruckregler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß das zweite Fluid Luft ist.
4. Fluiddruckregler nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß der Düsenklappenmechanismus (54) ein
flaches elektrostriktives Element (62) aufweist.
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DE (1) | DE3601907C2 (de) |
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